CN218964701U - 真空腔内夹具 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种真空腔内夹具，包括：基座；转套，可转动地套设于基座；多个夹爪模块围绕基座设置，且与转套相对设置，夹爪模块朝向基座周部的一侧设有导向孔，以及朝向转套的一侧设有滑槽；随动件与夹爪模块一一对应，随动件连接转套朝向夹爪模块的一侧，且可滑动地容纳于滑槽；导向柱组件与夹爪模块对应且并连接基座的周部，且穿设于导向孔；在转套进行转动的情况下，随动件可随转套绕基座转动，以及在滑槽中进行滑动，转套通过随动件驱动夹爪模块靠近或远离基座。综上，本申请通过转套产生驱动力实现夹具的松开或夹紧，能够省去夹具中气、液路的设计，从而减小夹具体积。

Description

真空腔内夹具

技术领域

本申请涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种真空腔内夹具。

背景技术

夹具用于实现对工件的夹紧和定位，进而便于机床等设备完成对工件的加工，常见的夹具诸如车床上的四爪卡盘夹具、三爪卡盘夹具等。夹具通常以气压或者液压作为动力，实现对工件的夹紧。

但是气压夹具或者液压夹具使用中，一方面需要专门对夹具设计气路或者液路，这将使夹具结构复杂且笨重，在狭小的空间使用困难，另一方面在一些特定的工作场景，比如真空环境下，气压夹具或者液压夹具无法参与工作。

综上，相关技术中，由于夹具驱动方式的限制，使得夹具在一些特定工作场景无法进行使用。

实用新型内容

本申请实施例公开了一种真空腔内夹具，能够解决相关技术中由于夹具驱动方式的限制，导致无法在诸如狭小空间、真空环境等特定工作场景使用的问题。

为了实现上述目的，本申请公开一种真空腔内夹具，包括：基座；转套，转套套设于基座，且可绕基座的轴向转动；多个夹爪模块，多个夹爪模块呈环形布局且围绕基座的外周设置，夹爪模块具有朝向转套的设置的滑槽，以及朝向基座周部设置的导向孔；滑槽具有相对设置的近端和远端，近端与基座的距离小于远端与基座的距离；多个随动件，多个随动件分别与多个夹爪模块一一对应，随动件的一端连接转套朝向夹爪模块的一侧，随动件的另一端可滑动地容纳于滑槽内；多个导向柱组件，多个导向柱组件分别与多个夹爪模块一一对应，导向柱组件的一端连接基座的周部，导向柱组件的另一端向远离基座的周部的方向延伸，导向孔可活动地套设于导向柱组件；在转套进行转动的情况下，随动件的一端可随转套绕基座的轴向转动，此时随动件的另一端可在滑槽内由近端向远端滑动，以使夹爪模块靠近基座，或者，随动件的另一端可由远端向近端滑动，以使夹爪模块远离基座。

可选地，随动件为柱状结构，滑槽为长条槽，滑槽的槽周面围绕随动件的外周设置。

可选地，导向柱组件包括导向柱和弹性复位件；导向孔包括沿远离基座的方向依次设置的第一孔部和第二孔部，第一孔部的横截面积小于第二孔部的横截面积，第一孔部和第二孔部之间形成第一台阶；导向柱包括沿远离基座的方向依次设置的连接部、导向部和限位部，导向部的横截面积小于限位部的横截面积，导向部和限位部之间形成第二台阶，连接部连接基座，弹性复位件套设于导向部的外周，且位于第一台阶和第二台阶之间，弹性复位件可驱动夹爪模块运动，以使夹爪模块靠近基座。

可选地，导向柱组件还包括导向套；导向孔还包括第三孔部，第一孔部、第二孔部和第三孔部沿远离基座的方向依次设置；导向套可活动地套设于导向部的外周，导向套的至少部分位于第二孔部内，弹性复位件至少部分位于第三孔部内，导向套和弹性复位件均位于第一台阶和第二台阶之间；夹爪模块通过导向套与导向柱的导向配合，以减小导向柱组件和导向孔之间的接触面积；弹性复位件可通过导向套驱动夹爪模块运动。

可选地，导向柱组件多个成组形成导向组，导向组设置多组，多组导向组与多个夹爪模块一一对应，各导向组中的导向柱组件的延伸方向相互平行；导向孔为多个，多组导向组中的多个导向柱组件与多个导向孔一一对应。

可选地，夹爪模块包括夹爪和随动块；多个夹爪呈环形布局且围绕基座的外周设置，随动块设于夹爪朝向转套的一侧；导向孔设于夹爪朝向基座的一侧，滑槽设于随动块朝向转套的一侧；转套通过随动件驱动夹爪运动，以使夹爪靠近或远离基座。

可选地，夹爪模块共设置为四个，四个夹爪模块分为第一组和第二组，第一组和第二组均包括两个互为相对设置的夹爪模块，第一组中的一个夹爪模块、第二组中的一个夹爪模块、第一组中的另一个夹爪模块以及第二组中的另一个夹爪模块围绕基座的外周依次设置。

可选地，夹爪模块朝向基座的一面为圆弧面。

可选地，真空腔内夹具还包括轴承，轴承可转动地套设于基座，且轴承位于转套和基座之间。

可选地，基座包括相互连接的基板部和基轴部，转套可转动地套设于基轴部，多个夹爪模块围绕基轴部设置；基板部、转套和多个夹爪模块沿着基轴部的长度方向依次设置；转套包括顶板部和套壁部，套壁部设于顶板部朝向基板部的一侧，且套壁部围绕轴承的外周设置；顶板部围绕基轴部的外周设置，轴承设置于顶板部与基板部之间，以使套壁部与基板部间隔设置，以及，轴承位于套壁部与基轴部之间。

与现有技术相比，本申请的有益效果是：

一种真空腔内夹具，包括：基座；转套，转套套设于基座，且可绕基座的轴向转动；多个夹爪模块，多个夹爪模块呈环形布局且围绕基座的外周设置，夹爪模块具有朝向转套的设置的滑槽，以及朝向基座周部设置的导向孔；滑槽具有相对设置的近端和远端，近端与基座的距离小于远端与基座的距离；多个随动件，多个随动件分别与多个夹爪模块一一对应，随动件的一端连接转套朝向夹爪模块的一侧，随动件的另一端可滑动地容纳于滑槽内；多个导向柱组件，多个导向柱组件分别与多个夹爪模块一一对应，导向柱组件的一端连接基座的周部，导向柱组件的另一端向远离基座的周部的方向延伸，导向孔可活动地套设于导向柱组件；在转套进行转动的情况下，随动件的一端可随转套绕基座的轴向转动，此时随动件的另一端可在滑槽内由近端向远端滑动，以使夹爪模块靠近基座，或者，随动件的另一端可由远端向近端滑动，以使夹爪模块远基座。

可以看出，随动件的运动轨迹为绕基座轴向的圆周轨迹，随动件行驶至其圆周轨迹中的不同位置的同时，也将滑动至滑槽的不同位置。

而受随动件与滑槽之间相互约束的影响，转套将通过随动件对夹爪模块产生驱动力，而夹爪模块又受到与导向柱组件导向配合的约束，故转套对夹爪模块的驱动力，将驱动夹爪模块沿导向柱组件的延伸方向运动，即转套通过随动件驱动夹爪模块靠近或远离基座，比如夹爪模块靠近基座，以使夹具处于夹紧状态，此时可以实现对工件的夹紧，或者夹爪模块远离基座，以使夹具处于松开状态，此时可以将工件放入夹具等待夹紧，或者将已加工完毕的工件从夹具中取出。

综上，本申请通过转套产生驱动力，并通过随动件和滑槽的相互约束，以及导向柱组件和夹爪模块的相互约束，实现夹爪模块的运动，进而实现夹具的松开或夹紧，相比于相关技术中气动夹具或者液动夹具来说，本申请的中转套驱动夹具运动的方式，能够替代气压驱动和液压驱动，进而可省去夹具中气路或液路的设计，从而减小夹具体积，以使夹具适应更多的工作场景，比如狭小空间或者真空环境。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请公开的一种真空腔内夹具的爆炸图；

图2为本申请公开的一种真空腔内夹具的整体图；

图3为本申请公开的一种真空腔内夹具的部分结构图；

图4为本申请图3的I处放大图；

图5为本申请公开的一种真空腔内夹具的内部结构图；

图6为本申请图5的II处放大图；

图7为本申请公开的导向柱组件与导向孔配合关系图；

图8为本申请公开的一种真空腔内夹具的夹紧状态图；

图9为本申请公开的一种真空腔内夹具的张开状态图。

附图标记说明：

X-延伸方向、Y-轴向、

100-基座、

110-基板部、120-基轴部、

200-转套、

210-顶板部、220-套壁部、

300-夹爪模块、

310-夹爪、

320-随动块、

330-导向孔、

331-第一孔部、332-第二孔部、333-第三孔部、332a-第一台阶、

340-滑槽、

341-近端、342-远端、

400-随动件、

500-导向柱组件、

510-导向柱、

511-连接部、512-导向部、513-限位部、513a-第二台阶、

520-弹性复位件、

530-导向套、

600-轴承。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”等主要是用于区分不同的装置、元件或组成部分(具体的种类和构造可能相同也可能不同)，并非用于表明或暗示所指示装置、元件或组成部分的相对重要性和数量。除非另有说明，“多个”的含义为两个或两个以上。

相关技术中通常用夹具实现对工件的夹紧和定位，而夹具通常以气压或者液压作为动力，实现对工件的夹紧。但是气压夹具或者液压夹具使用中，一方面需要专门对夹具设计气路或者液路，使得夹具结构复杂且笨重，在狭小的空间使用困难，另一方面在一些特定的工作场景，比如真空环境下，气压夹具或者液压夹具无法参与工作。为解决上述技术问题，遂产生本申请技术方案，下面结合图1～图9进行阐述。

本申请公开一种真空腔内夹具，该真空腔内夹具主要用于真空环境使用。真空腔内夹具可以包括基座100、转套200、多个夹爪模块300、多个随动件400和多个导向柱组件500。

其中，基座100为本申请的安装基础，具体来说，转套200套设于基座100，且可绕基座100的轴向Y转动，多个夹爪模块300呈环形布局且围绕基座100，多个夹爪模块300与转套200朝轴向Y相对设置。转套200用于为本申请真空腔内夹具的张开或者夹紧动作提供动力，夹爪模块300为真空腔内夹具实现夹紧的终端部件。

本申请中，夹爪模块300具有朝向转套200的设置的滑槽340，以及朝向基座100周部设置的导向孔330。其中，滑槽340具有相对设置的近端341和远端342，近端341与基座100的转轴的距离小于远端342与基座100转轴的距离。

随动件400为转套200所产生的驱动力的传递介质，具体来说，多个随动件400可以分别与多个夹爪模块300一一对应，随动件400的一端连接转套200朝向夹爪模块300的一侧，随动件400的另一端可滑动地容纳于滑槽340内。

导向柱组件500用于约束夹爪模块300的运动路径，具体来说，多个导向柱组件500分别与多个夹爪模块300对应，导向柱组件500的一端连接基座100的周部，导向柱组件500的另一端向远离基座100的周部的方向延伸，导向孔330可活动地套设于导向柱组件500；导向柱组件500的延伸方向X与轴向Y相交；导向孔330可活动地套设于导向柱组件500。

本申请的真空腔内夹具工作可以通过转套200的转动实现，下面进行详述：

在转套200进行转动的情况下，随动件400的一端可随转套200绕轴向Y转动，随动件400的另一端相对于夹爪模块300在滑槽340中进行滑动。

可以看出，随动件400的运动轨迹为绕基座100轴向Y的圆周轨迹，随动件400处于其圆周轨迹中的不同位置的同时，也将滑动至滑槽340的不同位置，比如随动件400由图8所示的位置，运动至图9所示的位置。

而受随动件400与滑槽340之间相互约束的影响，转套200将通过随动件400对夹爪模块300产生驱动力，而夹爪模块300又受到与导向柱组件500导向配合的约束，故转套200对夹爪模块300的驱动力，将驱动夹爪模块300运动，以使夹爪模块300朝导向柱组件500的延伸方向X靠近或远离基座100。

举例来说，在转套200进行转动的情况下，随动件400的另一端可在滑槽340内由近端341向远端342滑动，以使夹爪模块300朝导向柱组件500的延伸方向X靠近所述基座100，从而使本申请装置处于夹紧状态，实现对工件的夹紧，具体如图8所示。

以及，在转套200进行转动的情况下，随动件400的另一端可在滑槽340内由远端342向近端341滑动，以使夹爪模块300朝导向柱组件500的延伸方向X远离所述基座100，从而使本申请装置处于松开状态，实现工件装入本申请装置或者由本申请装置取出，具体如图9所示。

综上，本申请通过转套200产生驱动力，并通过随动件400和滑槽340的相互约束，以及导向柱组件500对夹爪模块300的导向作用，实现夹爪模块300朝延伸方向X的运动，进而实现真空腔内夹具的松开或夹紧，较之相关技术中气动夹具或者液动夹具来说，本申请中转套200驱动夹具运动的方式，能够替代气压驱动和液压驱动，进而可省去夹具中气路或液路的设计，从而减小夹具体积，以使夹具适应更多的工作场景，比如狭小空间或者真空环境。

可选地，夹爪模块300共设置四个，四个夹爪模块300分为第一组和第二组，具体来说，第一组和第二组均包括两个互为相对设置的夹爪模块300，所述第一组中的一个所述夹爪模块300、所述第二组中的一个所述夹爪模块300、所述第一组中的另一个所述夹爪模块300以及所述第二组中的另一个所述夹爪模块300围绕所述基座的外周依次设置。这样夹具类似四爪卡盘夹具，能够较好的保证定位精度。当然，夹爪模块300也可以设置三个，三个夹爪模块300环形阵列均布以形成三爪卡盘的结构；或者仅设置两个夹爪模块300，两个夹爪模块300对半开合；或者夹爪模块300也可以设置更多个，此处不再详述。

可选地，夹爪模块300朝向基座100的一面为圆弧面，这样可适合于对回转体工件的夹持和定位，防止夹伤工件。可选地，在夹具的夹紧状态，四个夹爪模块300的圆弧面可以围成整圆面，从而实现对工件更好的包覆和夹紧。

可选地，随动件400可以为柱状结构，滑槽340为长条槽，滑槽340的槽周面围绕随动件400的外周设置，这样随动件400和滑槽340的接触为线接触，从而减少两者之间的接触面积，使得随动件400相对于滑槽340的运动更加顺畅无卡滞。

而滑槽340的长条槽设计，可以使随动件400相对于夹爪模块300在滑槽340内进行线性运动，如此方便进行路径规划，保证在转套200进行转动的过程中，夹爪模块300的运动平稳，速度均匀，更易实现本申请装置对工件的装夹。

可选地，转套200可以设置螺纹孔，随动件400用于连接转套200的一端可以设置为螺柱，从而使随动件400和转套200之间进行螺纹相连，这样方便对随动件400维护更换。当然也可以采用焊接、过盈配合等方式实现连接，此处不再详述。

可选地，如图5～图7所示，导向柱组件500包括导向柱510和弹性复位件520，弹性复位件520可以为弹簧、弹性套等。导向孔330包括沿远离基座100的方向依次设置的第一孔部331和第二孔部332，第一孔部331的横截面积小于第二孔部332的横截面积，第一孔部331和第二孔部332之间形成第一台阶332a。

导向柱510可以包括沿远离基座100的方向依次设置的连接部511、导向部512和限位部513。导向部512的横截面积小于限位部513的横截面积，导向部512和限位部513之间形成第二台阶513a。

连接部511连接基座100，比如连接部511采用螺纹连接、过盈配合等方式实现与基座100之间相连。弹性复位件520套设于导向部512的外周，且位于第一台阶332a和第二台阶513a之间。弹性复位件520可驱动夹爪模块300运动，以使夹爪模块300靠近基座100，即弹性复位件520的设置可以实现真空腔内夹具的自动夹紧，具体原理如下：

在转套200进行转动的情况下，第一台阶332a和第二台阶513a的间距将发生变化。具体来说，第一台阶332a和第二台阶513a的间距减小时，夹爪模块300远离基座100，从而使真空腔内夹具逐渐松开，此时弹性复位件520受压产生压缩形变；而第一台阶332a和第二台阶513a的间距增大时，夹爪模块300靠近基座100，从而使真空腔内夹具逐渐夹紧，此时弹性复位件520逐渐恢复形变。

这样在解除对转套200的驱动力时，弹性复位件520的压缩形变将对夹爪模块300产生驱动力，弹性复位件520通过恢复形变驱动第一台阶332a远离第二台阶513a，从而使夹爪模块300逐渐靠近基座100，真空腔内夹具逐渐夹紧。

基于上述论述，本申请的真空腔内夹具可以按照下述方式使用：

操作者可以转动转套200，以使夹爪模块300远离基座100，从而使真空腔内夹具处于张开状态，比如图9所示，以便将工件放入真空腔内夹具中。由上述可以知道，真空腔内夹具的张开状态下，弹性复位件520处于压缩形变状态。

然后释放转套200，此时将解除对弹性复位件520的约束，弹性复位件520逐渐恢复形变，并释放势能以对夹爪模块300产生驱动力，以使夹爪模块300逐渐靠近基座100，从而完成对工件的夹紧，比如图8所示。

从上述论述可以知道，由于弹性复位件520的设置，一旦在真空腔内夹具的张开状态下释放转套200，将使真空腔内夹具自动复位至夹紧状态，这样无需多余动作操作，从而提高本申请真空腔内夹具的自动化程度，进而降低操作难度。

可选地，如图5～图7所示，导向柱组件500还可以包括导向套530，导向孔330还包括第三孔部333，第一孔部331、第二孔部332和第三孔部333沿远离基座100的方向依次设置，第二孔部332朝基座100的延伸方向X的横截面积小于第三孔部333朝基座100的延伸方向X的横截面积。

导向套530可活动地套设于导向部512的外周，导向套530的至少部分位于第二孔部332内，弹性复位件520的至少部分位于第三孔部333内，导向套530和弹性复位件520均位于第一台阶332a和第二台阶513a之间。

夹爪模块300通过导向套530与导向柱510的导向配合，以减小导向柱组件500和导向孔330之间的接触面积。具体来说，导向套530的外径大于弹性复位件520的外径，以及大于导向柱510的外径，导向套530的内孔面与导向部512的外周面之间相互接触，或者，间隙小于0.05mm，导向套530的外周面可与导向孔330的内孔面之间相互接触，或者，间隙小于0.05mm。弹性复位件520可通过导向套530驱动夹爪模块300运动。

如此，通过导向套530设计，可以减小导向柱组件500和导向孔330之间的接触面积，两者之间仅通过导向套530进行接触，在保证导向精度的同时减小导向柱组件500与夹爪模块300之间相对运动时产生的摩擦力，使得夹爪模块300相对于导向柱组件500的运动更加顺畅无卡滞。同时通过导向套530设计，可以避免导向孔330和导向柱510直接进行接触，进而避免导向孔330的磨损，提高本申请装置的使用寿命。

可选地，导向柱组件500多个成组形成导向组，导向组设置多组，多组导向组与多个夹爪模块300一一对应，比如导向组共两个导向柱组件500，夹爪模块300分别对应两个导向柱组件500。

各导向组中的导向柱组件500的延伸方向相互平行，夹爪模块300中的导向孔330为多个，多组导向组中的多个导向柱组件500与多个导向孔330一一对应。如此，可以使得导向柱组件500对夹爪模块300的导向更加平稳。

可选地，夹爪模块300包括夹爪310和随动块320，多个夹爪310呈环形布局且围绕基座100的外周设置，多个夹爪310与转套200朝轴向Y相对设置，随动块320设于夹爪310朝向转套200的一侧，比如随动块320和夹爪310之间采用穿设螺栓、焊接、铆接等方式实现连接。导向孔330设于夹爪310朝向基座100的一侧，滑槽340设于随动块320朝向转套200的一侧，转套200通过随动件400驱动夹爪310随随动块320运动，以使夹爪310靠近或远离基座100。

可以看出，夹爪模块300的此种分体式设计，便于进行维护更换，使得本申请装置的设计更具有灵活性。

可选地，本申请真空腔内夹具还包括轴承600，轴承600可转动地套设于基座100，且位于转套200和基座100之间，轴承600可以采用深沟球轴承等。通过轴承600作为中间介质，可以使转套200相对基座100的转动更加顺畅无卡滞。

可选地，基座100包括相互连接的基板部110和基轴部120，转套200可转动地套设于基轴部120，多个夹爪模块300围绕基轴部120设置，基板部110、转套200和多个夹爪模块300沿着基轴部120的长度方向依次设置，即朝轴向Y依次设置，真空腔内夹具可以通过基板部110连接外接工作台，比如通过穿设螺栓的方式，使基板部110拉接固定在工作台上。

转套200包括顶板部210和套壁部220，套壁部220设于顶板部210朝向基板部110的一侧，且套壁部220围绕轴承600的外周设置，顶板部210围绕基轴部120的外周设置，轴承600设置于顶板部210与基板部110之间，以使套壁部220与基板部110间隔设置，以及，轴承600位于套壁部220与基轴部120之间。

如此，在基座100可实现连接外接工作台的情况下，轴承600作为中间介质，隔开基板部110和顶板部210，以及隔开基轴部120和套壁部220，进一步避免基座100和转套200相互接触，以保证转套200的流畅转动。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种真空腔内夹具，其特征在于，包括：

基座；

转套，所述转套套设于所述基座，且可绕所述基座的轴向转动；

多个夹爪模块，多个所述夹爪模块呈环形布局且围绕所述基座的外周设置，所述夹爪模块具有朝向所述转套设置的滑槽以及朝向所述基座周部设置的导向孔，所述滑槽具有相对设置的近端和远端，所述近端与所述基座的距离小于所述远端与所述基座的距离；

多个随动件，多个所述随动件分别与多个所述夹爪模块一一对应，所述随动件的一端连接所述转套朝向所述夹爪模块的一侧，所述随动件的另一端可滑动地容纳于所述滑槽内；

多个导向柱组件，多个所述导向柱组件分别与多个所述夹爪模块对应，所述导向柱组件的一端连接所述基座的周部，所述导向柱组件的另一端向远离所述基座的周部的方向延伸，所述导向孔可活动地套设于所述导向柱组件；

在所述转套进行转动的情况下，所述随动件的所述一端可随所述转套绕所述基座的所述轴向转动，此时所述随动件的所述另一端可在所述滑槽内由所述近端向所述远端滑动，以使所述夹爪模块靠近所述基座，或者，所述随动件的所述另一端可由所述远端向所述近端滑动，以使所述夹爪模块远离所述基座。

2.根据权利要求1所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述随动件为柱状结构，所述滑槽为长条槽，所述滑槽的槽周面围绕所述随动件的外周设置。

3.根据权利要求1所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述导向柱组件包括导向柱和弹性复位件；

所述导向孔包括沿远离所述基座的方向依次设置的第一孔部和第二孔部，所述第一孔部的横截面积小于所述第二孔部的横截面积，所述第一孔部和所述第二孔部之间形成第一台阶；

所述导向柱包括沿远离所述基座的方向依次设置的连接部、导向部和限位部，所述导向部的横截面积小于所述限位部的横截面积，所述导向部和所述限位部之间形成第二台阶，所述连接部连接所述基座，所述弹性复位件套设于所述导向部的外周，且位于所述第一台阶和所述第二台阶之间，所述弹性复位件可驱动所述夹爪模块运动，以使所述夹爪模块靠近所述基座。

4.根据权利要求3所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述导向柱组件还包括导向套；

所述导向孔还包括第三孔部，所述第一孔部、所述第二孔部和所述第三孔部沿远离所述基座的方向依次设置；

所述导向套可活动地套设于所述导向部的外周，所述导向套的至少部分位于所述第二孔部内，所述弹性复位件至少部分位于所述第三孔部内，所述导向套和所述弹性复位件均位于所述第一台阶和所述第二台阶之间；

所述夹爪模块通过所述导向套与所述导向柱的导向配合，以减小所述导向柱组件和所述导向孔之间的接触面积；

所述弹性复位件可通过所述导向套驱动所述夹爪模块运动。

5.根据权利要求1所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述导向柱组件多个成组形成导向组，所述导向组设置多组，多组所述导向组与多个所述夹爪模块一一对应，各所述导向组中的所述导向柱组件的延伸方向相互平行；

所述导向孔为多个，多组所述导向组中的多个所述导向柱组件与多个所述导向孔一一对应。

6.根据权利要求1所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述夹爪模块包括夹爪和随动块；

多个所述夹爪呈环形布局且围绕所述基座的外周设置，所述随动块设于所述夹爪朝向所述转套的一侧；

所述导向孔设于所述夹爪朝向所述基座的一侧，所述滑槽设于所述随动块朝向所述转套的一侧；

所述转套通过所述随动件驱动所述夹爪运动，以使所述夹爪靠近或远离所述基座。

7.根据权利要求1所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述夹爪模块共设置为四个，四个所述夹爪模块分为第一组和第二组，所述第一组和所述第二组均包括两个互为相对设置的夹爪模块，所述第一组中的一个所述夹爪模块、所述第二组中的一个所述夹爪模块、所述第一组中的另一个所述夹爪模块以及所述第二组中的另一个所述夹爪模块围绕所述基座的外周依次设置。

8.根据权利要求1所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述夹爪模块朝向所述基座的一面为圆弧面。

9.根据权利要求1所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述真空腔内夹具还包括轴承，所述轴承可转动地套设于所述基座，且所述轴承位于所述转套和所述基座之间。

10.根据权利要求9所述的真空腔内夹具，其特征在于，所述基座包括相互连接的基板部和基轴部，所述转套可转动地套设于所述基轴部，多个所述夹爪模块围绕所述基轴部设置；

所述基板部、所述转套和多个所述夹爪模块沿着所述基轴部的长度方向依次设置；

所述转套包括顶板部和套壁部，所述套壁部设于所述顶板部朝向所述基板部的一侧，且所述套壁部围绕所述轴承的外周设置；

所述顶板部围绕所述基轴部的外周设置，所述轴承设置于所述顶板部与所述基板部之间，以使所述套壁部与所述基板部间隔设置，以及，所述轴承位于所述套壁部与所述基轴部之间。

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