CN218932288U - 一种真空镀膜机的工件支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种真空镀膜机的工件支架，包括固定板，所述固定板的上表面固定有壳体，所述壳体的内部设有旋转机构，所述旋转机构上设有四个固定块，所述固定块上设有固定机构，所述固定块的内部滑动连接有顶板，所述顶板的正面铰接有底板，所述固定机构包括固定于左右两个固定块内腔相对一侧的限位块和开设于左右两个顶板相对一侧的限位槽，所述第一凹槽内腔的上下两侧之间固定有两个固定杆。该真空镀膜机的工件支架，通过设置的固定机构，按压推杆，带动移动板和卡块移动并挤压弹簧，将限位槽与限位块相连后，松开推杆，移动板复位，卡块卡入卡槽中，对顶板和底板进行安装，反之即可对其进行快速拆装，操作简单，效率更高。

Description

一种真空镀膜机的工件支架

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机的工件支架。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

例如中国专利（公告号：CN 215481240 U）中公开了一种真空镀膜用工件装载工装，包括支架，所述支架的底部设置有支撑座，所述支架内腔从上到下依次设置有多个等间距分布的第二转轴，所述第二转轴的两端均延伸至支架的外侧并连接有可拆卸的装载板，且所述支架上设置有用于驱动第二转轴转动的驱动机构，本实用新型通过支架、第二转轴及装载板之间的配合，能同时存放较多的工件进行镀膜，镀膜效率高，通过启动电机，使得第一转轴转动，在皮带轮与皮带之间的作用下，使得多个第二转轴转动，从而使得位于第二转轴两端的装载板进行旋转，从而可以对装载板中的工件进行均匀镀膜。

上述真空镀膜用工件装载工装还存在一定的不足，由于需要将工件放置于底板的分隔板上，再通过螺栓将第二固定孔与第一固定孔固定，导致拆卸时不仅效率低，而且费时费力，影响拆卸与取出工件的速度，故而，提出一种真空镀膜机的工件支架以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机的工件支架，具备拆卸方便等优点，解决了现有的真空镀膜机的工件支架拆卸不便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机的工件支架，包括固定板，所述固定板的上表面固定有壳体，所述壳体的内部设有旋转机构，所述旋转机构上设有四个固定块，所述固定块上设有固定机构，所述固定块的内部滑动连接有顶板，所述顶板的正面铰接有底板；

所述固定机构包括固定于左右两个固定块内腔相对一侧的限位块和开设于左右两个顶板相对一侧的限位槽，所述固定机构还包括开设于左右两个固定块内腔相对一侧的两个第一凹槽和开设于左右两个顶板相对一侧的两个第二凹槽，所述第一凹槽内腔的上下两侧之间固定有两个固定杆，所述固定杆的外表面套接有弹簧，两个所述固定杆的外表面滑动连接有移动板，两个所述移动板相背的一侧均固定有推杆，上下两个所述移动板相背的一侧均固定有两个卡块，所述固定机构还包括开设于顶板内部且与第二凹槽相连通的卡槽。

进一步，所述限位块滑动连接于限位槽的内部，所述固定块呈U形。

进一步，所述推杆呈T形，所述卡块滑动连接于卡槽的内部。

进一步，所述第一凹槽与第二凹槽相对应，所述顶板和底板均呈回字形。

进一步，上下两个所述弹簧相对的一侧分别固定于两个第一凹槽内腔相对的一侧，上下两个所述弹簧相背的一侧分别固定于两个移动板相对的一侧。

进一步，所述旋转机构包括固定于壳体右侧的电机，所述电机的输出轴设有传动组件，所述旋转机构还包括通过轴承座转动连接于壳体内腔左侧的第一转杆，所述第一转杆的外表面固定有第一齿轮，所述旋转机构还包括通过轴承转动连接于壳体内部的两个第二转杆，所述第二转杆的外表面固定有第二齿轮。

进一步，所述传动组件包括固定于电机输出轴的第一转轮和固定于第一转杆外表面的第二转轮，所述第一转轮和第二转轮的外表面传动连接有皮带。

进一步，所述第一齿轮与下端第二齿轮相啮合，两个所述第二齿轮相啮合，左右两个所述固定块相对的一侧分别固定于第二转杆的左右两侧。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该真空镀膜机的工件支架，通过设置的固定机构，按压推杆，带动移动板和卡块移动并挤压弹簧，将限位槽与限位块相连后，松开推杆，移动板复位，卡块卡入卡槽中，对顶板和底板进行安装，反之即可对其进行快速拆装，操作简单，效率更高。

2、该真空镀膜机的工件支架，通过设置的旋转机构，电机通过传动组件使第一转杆和第一齿轮旋转，第一齿轮旋转带动下端第二齿轮和第二转杆旋转，下端第二齿轮使上端第二齿轮和上端第二转杆一起旋转，两个第二转杆旋转，使固定块、顶板和底板一起旋转，方便镀膜。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的顶板和底板的俯视结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处的放大结构示意图；

图4为本实用新型旋转机构的结构示意图。

图中：1固定板、2壳体、3旋转机构、301电机、302传动组件、303第一转杆、304第一齿轮、305第二转杆、306第二齿轮、4固定块、5固定机构、501限位块、502限位槽、503第一凹槽、504固定杆、505弹簧、506移动板、507推杆、508卡块、509卡槽、510第二凹槽、6顶板、7底板。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一，请参阅图1，本实施例中的一种真空镀膜机的工件支架，包括固定板1，固定板1的上表面固定有壳体2，壳体2的内部设有旋转机构3，方便镀膜，旋转机构3上设有四个固定块4，固定块4呈U形，固定块4上设有固定机构5，固定块4的内部滑动连接有顶板6，顶板6的正面铰接有底板7，通过固定机构5固定顶板6和底板7。

其中，顶板6和底板7均呈回字形，顶板6和底板7相背的一次侧均固定有钢丝网，顶板6和底板7的内部均固定有多个隔板，方便放置多个工件。

实施例二，在实施例一的基础上，请参阅图2-3，为了方便安装与拆卸顶板6和底板7，本实施例中的固定机构5包括固定于左右两个固定块4内腔相对一侧的限位块501和开设于左右两个顶板6相对一侧的限位槽502，固定机构5还包括开设于左右两个固定块4内腔相对一侧的两个第一凹槽503和开设于左右两个顶板6相对一侧的两个第二凹槽510，第一凹槽503与第二凹槽510相对应，第一凹槽503内腔的上下两侧之间固定有两个固定杆504，固定杆504的外表面套接有弹簧505，两个固定杆504的外表面滑动连接有移动板506，上下两个弹簧505相对的一侧分别固定于两个第一凹槽503内腔相对的一侧，上下两个弹簧505相背的一侧分别固定于两个移动板506相对的一侧，通过弹簧505使移动板506复位，两个移动板506相背的一侧均固定有推杆507，推杆507呈T形，用于推动移动板506移动，上下两个移动板506相背的一侧均固定有两个卡块508，固定机构5还包括开设于顶板6内部且与第二凹槽510相连通的卡槽509。

其中，限位块501滑动连接于限位槽502的内部，用于限制顶板6和底板7的位置，卡块508滑动连接于卡槽509的内部，用于固定固定块4和顶板6。

本实施例中的固定机构5，按压推杆507，带动移动板506和卡块508移动并挤压弹簧505，将限位槽502与限位块501相连后，松开推杆507，移动板506复位，卡块508卡入卡槽509中，对顶板6和底板7进行安装。

实施例三，在实施例一与实施例二的基础上，请参阅图4，为了方便旋转镀膜，本实施例中的旋转机构3包括固定于壳体2右侧的电机301，电机301的输出轴设有传动组件302，旋转机构3还包括通过轴承座转动连接于壳体2内腔左侧的第一转杆303，电机301通过传动组件302带动第一转杆303旋转，第一转杆303的外表面固定有第一齿轮304，旋转机构3还包括通过轴承转动连接于壳体2内部的两个第二转杆305，第二转杆305的外表面固定有第二齿轮306。

其中，传动组件302包括固定于电机301输出轴的第一转轮和固定于第一转杆303外表面的第二转轮，第一转轮和第二转轮的外表面传动连接有皮带，电机301通过传动组件302带动第一转杆303旋转。

另外，第一齿轮304与下端第二齿轮306相啮合，通过第一齿轮304旋转，带动下端第二齿轮306旋转，两个第二齿轮306相啮合，通过下端第二齿轮306旋转，带动上端第二齿轮306旋转，左右两个固定块4相对的一侧分别固定于第二转杆305的左右两侧，通过第二转杆305旋转，带动固定块4旋转。

本实施例中的旋转机构3，电机301通过传动组件302使第一转杆303和第一齿轮304旋转，第一齿轮304旋转带动下端第二齿轮306和第二转杆305旋转，下端第二齿轮306使上端第二齿轮306和上端第二转杆305一起旋转，两个第二转杆305旋转，使固定块4、顶板6和底板7一起旋转，方便镀膜。

上述实施例的工作原理为：

（1）相对按压两个推杆507，推杆507带动移动板506在固定杆504的外表面滑动并挤压弹簧505，移动板506移动时会同时带动卡块508一起移动，此时，将顶板6上的限位槽502对准限位块501插入后，松开推杆507，移动板506和卡块508会在弹簧505的作用下复位，使卡块508卡入卡槽509中，方便对顶板6和底板7进行安装，反之，方便对其进行拆卸。

（2）开启电机301，电机301带动第一转轮旋转，第一转轮通过皮带带动第二转轮和第一转杆303旋转，第一转杆303旋转时，会带动第一齿轮304旋转，第一齿轮304旋转时，会带动啮合的下端第二齿轮306一起旋转，并带动下端第二转杆305旋转，下端第二齿轮306旋转时，会带动上端第二齿轮306一起旋转，并带动上端第二转杆305一起旋转，通过两个第二转杆305同时旋转，带动固定块4、顶板6和底板7一起旋转，方便镀膜。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机的工件支架，包括固定板（1），其特征在于：所述固定板（1）的上表面固定有壳体（2），所述壳体（2）的内部设有旋转机构（3），所述旋转机构（3）上设有四个固定块（4），所述固定块（4）上设有固定机构（5），所述固定块（4）的内部滑动连接有顶板（6），所述顶板（6）的正面铰接有底板（7）；

所述固定机构（5）包括固定于左右两个固定块（4）内腔相对一侧的限位块（501）和开设于左右两个顶板（6）相对一侧的限位槽（502），所述固定机构（5）还包括开设于左右两个固定块（4）内腔相对一侧的两个第一凹槽（503）和开设于左右两个顶板（6）相对一侧的两个第二凹槽（510），所述第一凹槽（503）内腔的上下两侧之间固定有两个固定杆（504），所述固定杆（504）的外表面套接有弹簧（505），两个所述固定杆（504）的外表面滑动连接有移动板（506），两个所述移动板（506）相背的一侧均固定有推杆（507），上下两个所述移动板（506）相背的一侧均固定有两个卡块（508），所述固定机构（5）还包括开设于顶板（6）内部且与第二凹槽（510）相连通的卡槽（509）。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件支架，其特征在于：所述限位块（501）滑动连接于限位槽（502）的内部，所述固定块（4）呈U形。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件支架，其特征在于：所述推杆（507）呈T形，所述卡块（508）滑动连接于卡槽（509）的内部。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件支架，其特征在于：所述第一凹槽（503）与第二凹槽（510）相对应，所述顶板（6）和底板（7）均呈回字形。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件支架，其特征在于：上下两个所述弹簧（505）相对的一侧分别固定于两个第一凹槽（503）内腔相对的一侧，上下两个所述弹簧（505）相背的一侧分别固定于两个移动板（506）相对的一侧。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的工件支架，其特征在于：所述旋转机构（3）包括固定于壳体（2）右侧的电机（301），所述电机（301）的输出轴设有传动组件（302），所述旋转机构（3）还包括通过轴承座转动连接于壳体（2）内腔左侧的第一转杆（303），所述第一转杆（303）的外表面固定有第一齿轮（304），所述旋转机构（3）还包括通过轴承转动连接于壳体（2）内部的两个第二转杆（305），所述第二转杆（305）的外表面固定有第二齿轮（306）。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机的工件支架，其特征在于：所述传动组件（302）包括固定于电机（301）输出轴的第一转轮和固定于第一转杆（303）外表面的第二转轮，所述第一转轮和第二转轮的外表面传动连接有皮带。

8.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机的工件支架，其特征在于：所述第一齿轮（304）与下端第二齿轮（306）相啮合，两个所述第二齿轮（306）相啮合，左右两个所述固定块（4）相对的一侧分别固定于第二转杆（305）的左右两侧。

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