CN218593005U - 一种硅片加工用传送机械臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片加工用传送机械臂，包括两个纵向电动丝杆，两个所述纵向电动丝杆之间设有横向滑行架，所述横向滑行架上设有安装架，所述安装架内设有电动升降杆，所述电动升降杆的顶端设有连接件，所述连接件的前端连接着第一支臂，所述第一支臂的前端连接着竖向设置的第二支臂，所述第二支臂的前端设有弧形板，所述弧形板上设有多个U型托盘，本实用新型结构简单，设计新颖，通过设置的多个U型托盘，不仅能够同时托起承载盒内的多个硅片，一起进行移动传送，而且其也只与硅片底面相接触，从而不会伤及硅片表面，杜绝了划伤硅片表面的风险。

Description

一种硅片加工用传送机械臂

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片加工用传送机械臂。

背景技术

在对硅片表面进行成膜加工前，需要对硅片表面进行清洗，因为一旦成膜后，颗粒被盖在下层就不能被去除，更重要的是表面的金属离子在高温时会非常活跃，渗入底层器件结构，导致器件失效。

因此就需要将硅片送入清洗设备内，现有的清洗设备内部，所配备的机械臂一般是将承载盒内的硅片一个个夹起，传送至清洗设备内，机械臂单独的对硅片进行夹持不仅效率低下，还容易导致硅片表面划伤。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片加工用传送机械臂，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片加工用传送机械臂，包括两个纵向电动丝杆，两个所述纵向电动丝杆之间设有横向滑行架，所述横向滑行架上设有安装架，所述安装架内设有电动升降杆，所述电动升降杆的顶端设有连接件，所述连接件的前端连接着第一支臂，所述第一支臂的前端连接着竖向设置的第二支臂，所述第二支臂的前端设有弧形板，所述弧形板上设有多个U型托盘。

优选的，所述横向滑行架包括两个平行设置的横向滑轨，所述安装架滑动设置在两个横向滑轨之间，其中位于下方的横向滑轨的底部设有两个连接块，两个所述连接块分别与对应的电动丝杆上的滑块相连接。

优选的，两个所述横向滑轨的两端均通过支撑板固定连接，其中一侧所述支撑板上安装有气缸，所述气缸的活塞杆端部连接着安装架的侧壁。

优选的，所述U型托盘的表面设有一层防滑层。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，设计新颖，通过设置的多个U型托盘，不仅能够同时托起承载盒内的多个硅片，一起进行移动传送，而且其也只与硅片底面相接触，从而不会伤及硅片表面，杜绝了划伤硅片表面的风险。

附图说明

图1为本实用新型整体结构侧视示意图；

图2为本实用新型横向滑行架的结构示意图；

图3为本实用新型U型托盘的结构示意图。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片加工用传送机械臂，包括两个纵向电动丝杆1，将这两个纵向电动丝杆安装于清洗设备内部，再两个所述纵向电动丝杆1之间设置一个横向滑行架2，并在该横向滑行架2上设置一个可以滑行的安装架3，然后再所述安装架3内安装上电动升降杆31，并将所述电动升降杆31顶端的连接件32，与第一支臂41进行连接，所述第一支臂41的前端还连接着竖向设置的第二支臂42，多个U型托盘4安装于第二支臂前端的弧形板43上，用于托起硅片。

本实施例中，所述横向滑行架2包括两个平行设置的横向滑轨21，将两个所述横向滑轨21的两端通过支撑板23进行固定连接，并在其中一侧所述支撑板23上安装有气缸24，然后将安装架3滑动设置在两个横向滑轨21之间，并让气缸24的活塞杆端部连接着安装架3的侧壁，这样就可以通过启动气缸的活塞杆伸缩，来让安装架在横向滑行架上左右移动；

然后再在其中位于下方的横向滑轨21的底部设置两个连接块22，并将这两个连接块22分别与对应的电动丝杆1上的滑块11相连接，这样在启动电动丝杆后就可以带动整个横向滑行架进行前后移动。

本实施例中，通过在所述U型托盘4的表面设置一层防滑层44，来增加硅片底部与U型托盘的摩擦力，防止硅片在移动时滑落。

工作原理：将整个传送机械臂安装于清洗设备内部，此时U型托盘对应着设备的进料口，然后工作人员将放有硅片的承载盒，竖着立于进料口处；

然后启动电动丝杆，驱动整个横向滑行架前移，直至U型托盘插入硅片与硅片的缝隙之间，此时在启动电动升降杆上升，以带动U型托盘将硅片底部托起；

然后再次启动电动丝杆，驱动整个横向滑行架后移，然后再启动气缸，推动安装架在横向滑行架上移动，直至U型托盘对应设备内的清洗放置架；

然后启动电动丝杆，驱动整个横向滑行架前移，直至U型托盘带动硅片进入清洗放置架内，此时在启动电动升降杆下降，以使硅片置于清洗放置架上，最后再驱动整个横向滑行架后移，等待硅片清洗结束后，机械臂会再通过上述方式将清洗后的硅片，再次传送送回至进料口处的承载盒内。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种硅片加工用传送机械臂，包括两个纵向电动丝杆（1），两个所述纵向电动丝杆（1）之间设有横向滑行架（2），其特征在于：所述横向滑行架（2）上设有安装架（3），所述安装架（3）内设有电动升降杆（31），所述电动升降杆（31）的顶端设有连接件（32），所述连接件（32）的前端连接着第一支臂（41），所述第一支臂（41）的前端连接着竖向设置的第二支臂（42），所述第二支臂（42）的前端设有弧形板（43），所述弧形板（43）上设有多个U型托盘（4）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用传送机械臂，其特征在于：所述横向滑行架（2）包括两个平行设置的横向滑轨（21），所述安装架（3）滑动设置于两个横向滑轨（21）之间，其中位于下方的横向滑轨（21）的底部设有两个连接块（22），两个所述连接块（22）分别与对应的电动丝杆（1）上的滑块（11）相连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片加工用传送机械臂，其特征在于：两个所述横向滑轨（21）的两端均通过支撑板（23）固定连接，其中一侧所述支撑板（23）上安装有气缸（24），所述气缸（24）的活塞杆端部连接着安装架（3）的侧壁。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用传送机械臂，其特征在于：所述U型托盘（4）的表面设有一层防滑层（44）。

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