CN218024236U - 一种用于硅片清洗的分片输送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于硅片清洗的分片输送机构，包括输送台，所述输送台的一端固定连接有支撑板，支撑板的底部固定连接有第一电机，第一电机的输出端穿过支撑板固定连接有第一螺杆，第一螺杆的顶端螺纹套设有套筒，套筒的顶部固定连接有放置板，所述支撑板的顶部固定连接有两个伸缩杆，伸缩杆的顶端与放置板固定连接，所述输送台的一侧固定连接有侧板，侧板的一侧滑动连接有滑板，滑板的底部固定连接有吸盘，滑板的顶部固定连接有抽吸泵。本实用新型通过在抽吸泵的作用下使得硅片吸在吸盘上，然后，在第二电机的带动下使得滑板进行移动，从而将硅片移动到输送台的上方，从而对硅片进行分片，且效率高。

Description

一种用于硅片清洗的分片输送机构

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其涉及一种用于硅片清洗的分片输送机构。

背景技术

硅片在生产时须经严格清洗，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，而在清洗前，硅片大都叠放在硅片篮中，需要人工将叠放的硅片逐个分开，然后在输送到清洗机构中清洗。

目前现有的用于硅片清洗的分片输送机构，大多存在以下的不足：在对叠放的硅片进行分片时，大都通过人工进行分片，浪费了较多的人力，且效率较低，影响了硅片清洗的效率，不能满足人们的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于硅片清洗的分片输送机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于硅片清洗的分片输送机构，包括输送台，所述输送台的一端固定连接有支撑板，支撑板的底部固定连接有第一电机，第一电机的输出端穿过支撑板固定连接有第一螺杆，第一螺杆的顶端螺纹套设有套筒，套筒的顶部固定连接有放置板，所述支撑板的顶部固定连接有两个伸缩杆，伸缩杆的顶端与放置板固定连接，所述输送台的一侧固定连接有侧板，侧板的一侧滑动连接有滑板，滑板的底部固定连接有吸盘，滑板的顶部固定连接有抽吸泵，抽吸泵的进气端与吸盘连通，所述侧板的一侧固定连接有第二电机，第二电机的输出端固定连接有第二螺杆，第二螺杆的外壁螺纹套设有滑块，滑块与滑板固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案，所述放置板的顶部设有硅片篮，硅片篮的底部固定连接有两个T形滑杆，T形滑杆与放置板滑动连接。

作为本实用新型再进一步的方案，所述硅片篮的一侧固定连接有卡块，卡块与放置板接触。

作为本实用新型再进一步的方案，所述输送台顶部的两侧均固定连接有固定板，固定板的一侧固定连接有限位板。

作为本实用新型再进一步的方案，所述输送台的另一端固定连接有导向板，导向板的底部固定连接有支撑杆，支撑杆的另一端与输送台固定连接。

本实用新型的有益效果为：

1.通过在抽吸泵的作用下使得硅片吸在吸盘上，然后，在第二电机的带动下使得滑板进行移动，从而将硅片移动到输送台的上方，从而对硅片进行分片，且效率高。

2.通过支撑板和放置板之间设有伸缩杆的设置能够硅片篮的移动进行导向，从而提升硅片篮移动的平稳性，进而防止硅片篮的掉落，以免导致硅片造成损坏。

3.通过固定板和限位板的设置能够在硅片的输送过程中对硅片进行限位，从而防止硅片在输送的过程中发生脱落。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于硅片清洗的分片输送机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于硅片清洗的分片输送机构的部分立体结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种用于硅片清洗的分片输送机构的俯视结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种用于硅片清洗的分片输送机构的局部立体结构示意图。

图中：1、输送台；2、支撑板；3、第一螺杆；4、伸缩杆；5、放置板；6、套筒；7、侧板；8、滑板；9、吸盘；10、抽吸泵；11、滑块；12、第二螺杆；13、硅片篮；14、T形滑杆；15、卡块；16、固定板；17、限位板；18、导向板；19、支撑杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-图4，一种用于硅片清洗的分片输送机构，包括输送台1，输送台1的一端通过螺栓固定有支撑板2，支撑板2的底部通过螺栓固定有第一电机，第一电机的输出端穿过支撑板2键连接有第一螺杆3，第一螺杆3的顶端螺纹套设有套筒6，套筒6的顶部通过螺栓固定有放置板5，支撑板2的顶部通过螺栓固定有两个伸缩杆4，伸缩杆4的顶端与放置板5固定连接，放置板5带动伸缩杆4进行收缩，从而对放置板5进行导向，输送台1的一侧通过螺栓固定有侧板7，侧板7的一侧滑动连接有滑板8，滑板8的底部通过螺栓固定有吸盘9，在第一电机的带动下第一螺杆3进行转动，从而使得套筒6向上移动，进而带动硅片篮13向上移动，从热使得硅片与吸盘9接触，滑板8的顶部通过螺栓固定有抽吸泵10，抽吸泵10的进气端与吸盘9连通，侧板7的一侧通过螺栓固定有第二电机，第二电机的输出端键连接有第二螺杆12，第二螺杆12的外壁螺纹套设有滑块11，滑块11与滑板8固定连接，在抽吸泵10的作用下使得硅片吸在吸盘9上，然后，在第二电机的带动下第二螺杆12进行转动，从而使得滑块11进行移动，进而带动滑板8进行移动，从而将硅片移动到输送台1的上方。

本实用新型中，放置板5的顶部设有硅片篮13，硅片篮13的底部通过螺栓固定有两个T形滑杆14，T形滑杆14与放置板5滑动连接，通过T形滑杆14与放置板5的滑动连接将硅片篮13安装在放置板5上，硅片篮13的一侧通过螺栓固定有卡块15，卡块15与放置板5接触，输送台1顶部的两侧均通过螺栓固定有固定板16，固定板16的一侧通过螺栓固定有限位板17，固定板16和限位板17对硅片进行限位，从而防止硅片在输送的过程中发生脱落，输送台1的另一端通过螺栓固定有导向板18，硅片沿着导向板18输送下输送台1，导向板18的底部通过螺栓固定有支撑杆19，支撑杆19的另一端与输送台1固定连接。

工作原理：使用时，首先，将硅片放在硅片篮13里，然后，通过T形滑杆14与放置板5的滑动连接将硅片篮13安装在放置板5上，然后，第一电机启动，在第一电机的带动下第一螺杆3进行转动，从而使得套筒6向上移动，进而带动硅片篮13向上移动，从热使得硅片与吸盘9接触，接着，在抽吸泵10的作用下使得硅片吸在吸盘9上，然后，在第二电机的带动下第二螺杆12进行转动，从而使得滑块11进行移动，进而带动滑板8进行移动，从而将硅片移动到输送台1的上方，接着，抽吸泵10停止工作，吸盘9收去吸力，硅片落在输送台1上。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于硅片清洗的分片输送机构，包括输送台(1)，其特征在于，所述输送台(1)的一端固定连接有支撑板(2)，支撑板(2)的底部固定连接有第一电机，第一电机的输出端穿过支撑板(2)固定连接有第一螺杆(3)，第一螺杆(3)的顶端螺纹套设有套筒(6)，套筒(6)的顶部固定连接有放置板(5)，所述支撑板(2)的顶部固定连接有两个伸缩杆(4)，伸缩杆(4)的顶端与放置板(5)固定连接，所述输送台(1)的一侧固定连接有侧板(7)，侧板(7)的一侧滑动连接有滑板(8)，滑板(8)的底部固定连接有吸盘(9)，滑板(8)的顶部固定连接有抽吸泵(10)，抽吸泵(10)的进气端与吸盘(9)连通，所述侧板(7)的一侧固定连接有第二电机，第二电机的输出端固定连接有第二螺杆(12)，第二螺杆(12)的外壁螺纹套设有滑块(11)，滑块(11)与滑板(8)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的分片输送机构，其特征在于，所述放置板(5)的顶部设有硅片篮(13)，硅片篮(13)的底部固定连接有两个T形滑杆(14)，T形滑杆(14)与放置板(5)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片清洗的分片输送机构，其特征在于，所述硅片篮(13)的一侧固定连接有卡块(15)，卡块(15)与放置板(5)接触。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的分片输送机构，其特征在于，所述输送台(1)顶部的两侧均固定连接有固定板(16)，固定板(16)的一侧固定连接有限位板(17)。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的分片输送机构，其特征在于，所述输送台(1)的另一端固定连接有导向板(18)，导向板(18)的底部固定连接有支撑杆(19)，支撑杆(19)的另一端与输送台(1)固定连接。

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