CN219475551U - 一种硅片缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片缺陷检测装置，涉及硅片缺陷检测技术领域，包括检测台，所述检测台的顶部安装有固定框，且固定框的内部连接有直线电机，所述直线电机的外部安装有固定盒，且固定盒的内部安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有连接块，且连接块的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部连接有安装块，且安装块的内部连接有螺栓，所述安装块的外部安装有放置板。本实用新型中，设置有放置板、伺服电机、检测台以及连接块，通过控制伺服电机就方便带动放置板进行旋转操作，这样就使得放置板上的硅片进行翻转工作，不需要人工手动对硅片进行翻转，降低了工作人员的工作量，提高了硅片缺陷检测效率。

Description

一种硅片缺陷检测装置

技术领域

本实用新型涉及硅片缺陷检测技术领域，尤其涉及一种硅片缺陷检测装置。

背景技术

随着半导体特征尺寸的不断减小，半导体行业对于小型硅片的表面缺陷要求越来越高；半导体行业不仅对硅片正面的缺陷要求越来越高，而且对硅片背面缺陷和边缘缺陷的要求也越来越苛刻，这些缺陷例如包括污点、刮痕以及硅片边缘的缺口等，这些缺陷通常由人为通过检测装置发现。

现有的硅片缺陷检测装置，在使用过程中，通常需要人工翻转对硅片的反面进行检测，增加了工作人员的工作量，降低了硅片缺陷检测效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有的硅片缺陷检测装置，在使用过程中，通常需要人工翻转对硅片的反面进行检测，增加了工作人员的工作量，降低了硅片缺陷检测效率的缺点，而提出的一种硅片缺陷检测装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅片缺陷检测装置，包括：

检测台，所述检测台的顶部安装有固定框，且固定框的内部连接有直线电机，所述直线电机的外部安装有固定盒，且固定盒的内部安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有连接块，且连接块的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部连接有安装块，且安装块的内部连接有螺栓，所述安装块的外部安装有放置板。

优选的，所述放置板的内部安装有伸缩杆，且伸缩杆的外部与放置板的内部设置有弹簧，所述弹簧的一侧与伸缩杆的一侧安装有夹持块，且夹持块的外部连接有橡胶块。

优选的，所述橡胶块与放置板之间通过夹持块、弹簧构成弹力结构，且夹持块分布有两组。

优选的，所述放置板与检测台之间通过伺服电机、连接块构成旋转结构，且连接块关于放置板的横轴对称。

优选的，所述放置板与检测台之间通过直线电机、固定框、连接块构成移动结构，且固定框的内部呈中空状结构。

优选的，所述放置板与连接块之间通过安装槽、安装块、螺栓构成可拆卸结构，且安装块的横截面积小于安装槽的横截面积。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，设置有放置板、伺服电机、检测台以及连接块，通过控制伺服电机就方便带动放置板进行旋转操作，这样就使得放置板上的硅片进行翻转工作，不需要人工手动对硅片进行翻转，降低了工作人员的工作量，提高了硅片缺陷检测效率。

2、本实用新型中，设置有放置板、螺栓、连接块、安装槽以及安装块，通过操作螺栓就方便解除安装块的限制，再通过操作放置板就方便带动安装块进行移动操作，这样就方便完成放置板的拆卸，便于对伺服电机进行检修更换工作。

附图说明

图1为本实用新型中硅片缺陷检测装置俯视结构示意图；

图2为本实用新型中硅片缺陷检测装置局部结构示意图；

图3为图2中A处放大结构示意图。

图例说明：

1、检测台；2、固定框；3、固定盒；4、伺服电机；5、连接块；6、放置板；7、夹持块；8、直线电机；9、橡胶块；10、伸缩杆；11、弹簧；12、安装槽；13、安装块；14、螺栓。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-3，一种硅片缺陷检测装置，包括检测台1，检测台1的顶部安装有固定框2，且固定框2的内部连接有直线电机8，直线电机8的外部安装有固定盒3，且固定盒3的内部安装有伺服电机4，伺服电机4的输出端连接有连接块5，且连接块5的内部开设有安装槽12，安装槽12的内部连接有安装块13，且安装块13的内部连接有螺栓14，安装块13的外部安装有放置板6，放置板6与检测台1之间通过伺服电机4、连接块5构成旋转结构，且连接块5关于放置板6的横轴对称，启动伺服电机4，伺服电机4通过连接块5带动放置板6进行旋转操作，这样就方便完成硅片的翻转，便于对硅片的反面进行检测，放置板6与检测台1之间通过直线电机8、固定框2、连接块5构成移动结构，且固定框2的内部呈中空状结构，启动直线电机8，直线电机8通过固定框2、连接块5带动放置板6进行移动操作，这样就方便将硅片移动至检测区域，放置板6与连接块5之间通过安装槽12、安装块13、螺栓14构成可拆卸结构，且安装块13的横截面积小于安装槽12的横截面积，人工操作螺栓14，螺栓14将旋转移动至安装块13外，这样就方便解除安装块13的限制，再人工操作放置板6，放置板6带动安装块13进行移动，安装块13将移动至安装槽12外，这样就方便完成放置板6的拆卸，便于对伺服电机4进行检修更换工作；

放置板6的内部安装有伸缩杆10，且伸缩杆10的外部与放置板6的内部设置有弹簧11，弹簧11的一侧与伸缩杆10的一侧安装有夹持块7，且夹持块7的外部连接有橡胶块9，橡胶块9与放置板6之间通过夹持块7、弹簧11构成弹力结构，且夹持块7分布有两组，人工操作夹持块7，夹持块7使得弹簧11进行压缩操作，再将硅片放置在放置板6上，松开夹持块7，使得橡胶块9通过弹簧11的作用力进行复位工作，这样就方便对硅片进行夹持工作。

工作原理：使用时，首先人工操作夹持块7，夹持块7使得弹簧11进行压缩操作，再将硅片放置在放置板6上，松开夹持块7，使得橡胶块9通过弹簧11的作用力进行复位工作，这样就方便对硅片进行夹持工作，启动直线电机8，直线电机8通过固定框2、连接块5带动放置板6进行移动操作，这样就方便将硅片移动至检测区域，这样就方便对硅片进行检测，启动伺服电机4，伺服电机4通过连接块5带动放置板6进行旋转操作，这样就方便完成硅片的翻转，便于对硅片的反面进行检测，不需要人工翻转硅片，提高了硅片的检测效率，人工操作螺栓14，螺栓14将旋转移动至安装块13外，这样就方便解除安装块13的限制，再人工操作放置板6，放置板6带动安装块13进行移动，安装块13将移动至安装槽12外，这样就方便完成放置板6的拆卸，便于对伺服电机4进行检修更换工作(上述电器具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，具体选型计算方法采用本领域现有技术，故不再详细赘述，并且电器的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的，在此不予详细说明)。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片缺陷检测装置，其特征在于，包括：

检测台(1)，所述检测台(1)的顶部安装有固定框(2)，且固定框(2)的内部连接有直线电机(8)，所述直线电机(8)的外部安装有固定盒(3)，且固定盒(3)的内部安装有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的输出端连接有连接块(5)，且连接块(5)的内部开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)的内部连接有安装块(13)，且安装块(13)的内部连接有螺栓(14)，所述安装块(13)的外部安装有放置板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述放置板(6)的内部安装有伸缩杆(10)，且伸缩杆(10)的外部与放置板(6)的内部设置有弹簧(11)，所述弹簧(11)的一侧与伸缩杆(10)的一侧安装有夹持块(7)，且夹持块(7)的外部连接有橡胶块(9)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述橡胶块(9)与放置板(6)之间通过夹持块(7)、弹簧(11)构成弹力结构，且夹持块(7)分布有两组。

4.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述放置板(6)与检测台(1)之间通过伺服电机(4)、连接块(5)构成旋转结构，且连接块(5)关于放置板(6)的横轴对称。

5.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述放置板(6)与检测台(1)之间通过直线电机(8)、固定框(2)、连接块(5)构成移动结构，且固定框(2)的内部呈中空状结构。

6.根据权利要求1所述的一种硅片缺陷检测装置，其特征在于：所述放置板(6)与连接块(5)之间通过安装槽(12)、安装块(13)、螺栓(14)构成可拆卸结构，且安装块(13)的横截面积小于安装槽(12)的横截面积。