CN218547242U - 一种方形基片涂胶治具 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种方形基片涂胶治具，包括：吸附件，其轴向方形的底部与匀胶平台转动连接，用于吸附基片；延伸件，周向分布在所述吸附件的四周；所述延伸件靠近吸附件的表面向下凹陷，与所述吸附件表面形成定位凹槽，所述延伸件的其余部分表面形成承接平台；其中，所述定位凹槽呈方形，与基片形状适配。承接平台承接四角堆积的光刻胶，减少方形基片在旋涂过程中因风阻压力导致四角光刻胶堆积的面积，扩大了方形基片的有效使用面积。

Description

一种方形基片涂胶治具

技术领域

本实用新型属于匀胶机涂胶治具领域，具体涉及一种方形基片涂胶治具。

背景技术

现有匀胶机在涂布方形基片时，方形基片在匀胶机平台上做圆周运动。由于离心作用，方形板上的光刻胶会呈现圆形向外扩散，导致方形板的四角会产生较大面积的光刻胶堆积现象，导致方形胶板可使用的面积变小。

有鉴于此，需要研究一种装置以减少光刻胶涂布方形基片过程中的堆积现象，进而增加基片的可使用面积。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本实用新型提供一种方形基片涂胶治具。

一种方形基片涂胶治具，包括：吸附件，其轴向方形的底部与匀胶平台转动连接，用于吸附基片；延伸件，周向分布在所述吸附件的四周；所述延伸件靠近吸附件的表面向下凹陷，与所述吸附件表面形成定位凹槽，所述延伸件的其余部分表面形成承接平台；其中，所述定位凹槽呈方形，与基片形状适配。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述定位凹槽的深度等于所述方形基片的厚度。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述定位凹槽与承接平台的连接处开设有两个取放孔，两个所述取放孔分别位于所述吸附件径向方向的两个端部。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述取放孔远离吸附件的一端呈弧形。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述吸附件轴向方向的顶部表面开设有多个吸附口，所述吸附件底部设有吸附孔，所述吸附口与所述吸附孔通过孔道连通；所述孔道位于所述吸附件内部；所述吸附孔通过管路与气泵连通。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述吸附口在吸附件表面的开口呈狐形；每个所述吸附口以相同半径均匀分布在所述吸附件表面。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述吸附件轴向方向的底部设有转轴套，所述转轴套用于与匀胶平台的电机轴连；转轴套侧壁设有卡接口，用于与电机轴侧壁的销轴卡接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述延伸件数量为多个，均有分布在所述吸附件四周；所述吸附件周侧壁、延伸件底部设有伸缩卡爪；所述伸缩卡爪与所述延伸件的数量对应；所述伸缩卡爪长度方方向一端与吸附件周侧壁连接，另一端与延伸件远离吸附件的外端壁卡接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述伸缩卡爪包括：卡接部，长度方向一端与延伸件端部卡接；伸缩部，长度方向一端滑动套设在卡接部另一端；固定部，长度方向一端滑动套设在伸缩部另一端，另一端与吸附件侧壁连接。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述卡爪包括所述延伸件数量为4个，四个延伸件组合后呈方形；相应卡爪数量也为4个，所述卡爪位于延伸件组合的对角线上，所述卡接部与延伸件组合角部适配。

本实用新型的有益效果：

由于本实用新型在吸附件的四周设置了延伸件，且延伸件靠近吸附件的表面与吸附件表面形成定位凹槽，且定位凹槽与方形基片形状适配，用于卡接基片。延伸件的其余部分表面形成承接平台。可以理解的是，将基片放置在定位凹槽中，吸附件将基片吸附在治具上。旋涂时，承接平台可以承接基片四角的光刻胶，使得堆积的面积减少，从而增大了基片的有效面积。与现有治具相比，减少方形基片在旋涂过程中因风阻压力导致四角光刻胶堆积的面积，扩大了方形基片的有效使用面积。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型所述的治具俯视结构示意图；

图2为本实用新型所述的治具仰视结构示意图；

图3为本实用新型所述的治具侧视结构示意图。

附图标记说明：

1、吸附件；11、吸附口；12、卡接口；13、转轴套；

2、延伸件；

3、定位凹槽；

4、承接平台；

5、取放孔；

6、伸缩卡转；61、卡接部；62、伸缩部；63、固定部。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

一种方形基片涂胶治具，包括：吸附件1，其轴向方形的底部与匀胶平台转动连接，用于吸附基片；延伸件2，周向分布在所述吸附件1的四周；所述延伸件2靠近吸附件1的表面向下凹陷，与所述吸附件1表面形成定位凹槽3，所述延伸件2的其余部分表面形成承接平台4；其中，所述定位凹槽3呈方形，与基片形状适配。

请具体地参考附图1所示，匀胶平台上设有吸附件1，吸附件1将基片吸附在治具上，治具在匀胶平台上转动进而带动基片转动，完成光刻胶的涂覆工作。

本实用新型在吸附件1的四周设置了延伸件2。

吸附件1呈圆形，延伸件2与吸附件1形状适配。

由于本实用新型在吸附件1的四周设置了延伸件2，且延伸件2靠近吸附件1的表面与吸附件1表面形成定位凹槽3，且定位凹槽3与方形基片形状适配，用于卡接基片。延伸件2的其余部分表面形成承接平台4。可以理解的是，将基片放置在定位凹槽3中，吸附件1将基片吸附在治具上。旋涂时，承接平台4承接基片四角的光刻胶，使得堆积的面积减少，从而增大了基片的有效面积。与现有治具相比，减少方形基片在旋涂过程中因风阻压力导致四角光刻胶堆积的面积，扩大了方形基片的有效使用面积。

在本实用新型某些实施方式中，所述定位凹槽3的深度等于所述方形基片的厚度。

请具体地参考附图3所示，定位凹槽3的深度等于所述方形基片的厚度，在方形基片位于定位凹槽3中，保证方形基片上表面与承接平台4上表面位于同一个水平面上。

旋涂时，承接平台4承接基片四角光刻胶。

例如，方形基片的厚度为10mm，定位凹槽3的深度可以是5mm。

在本实用新型某些实施方式中，所述定位凹槽3与承接平台4的连接处开设有两个取放孔5，两个所述取放孔5分别位于所述吸附件1径向方向的两个端部。

请具体地参考附图2所示，由于方形基片非常薄，取放孔5的设置方便基片的拿取。

优选的，两个取放孔5位于吸附件1径向方形的端部，方便有两根手指直接取放。

在本实用新型某些实施方式中，所述取放孔5远离吸附件1的一端呈弧形。

请具体地参考附图1所示，弧形边边部的取放孔5方便手指的插入。

在本实用新型某些实施方式中，所述吸附件1轴向方向的顶部表面开设有多个吸附口11，所述吸附件1底部设有吸附孔，所述吸附口11与所述吸附孔通过孔道连通；

所述孔道位于所述吸附件1内部；

所述吸附孔通过管路与气泵连通。

具体地，将基片卡接在定位槽中，为了防止基片在旋涂过程中发生位移，气泵依次通过吸附孔、孔道和吸附口11将基片吸附在吸附件1上。吸附完毕，关闭气泵，可以进行基片的取放工作。

在本实用新型某些实施方式中，所述吸附口11在吸附件1表面的开口呈狐形；每个所述吸附口11以相同半径均匀分布在所述吸附件1表面。

具体地，这样设置对基片吸附更均匀牢靠。

可以理解的是，吸附口11尽可能的靠近吸附件1外边缘。

当然，吸附口11也可以是一个，在吸附件1表面的开口呈圆环状。

在本实用新型某些实施方式中，所述吸附件1轴向方向的底部设有转轴套13，所述转轴套13用于与匀胶平台的电机轴连；转轴套13侧壁设有卡接口12，用于与电机轴侧壁的销轴卡接。

具体地，电机轴位于电机顶部，电机轴侧壁设有销轴，所述销轴与卡接口12卡接，使得电机启动后，电机轴转动带动吸附件1转动，进而带动方形基片转动。

具体地，电机顶部设有风孔，电机侧壁与气泵连接，气泵与风孔连通。这样电机启动同时气泵启动，转轴套套设在电机轴上时，电机顶部风孔刚好可以与转轴套顶部、吸附件底部的吸附孔连通，气泵通过电机顶部的风孔与转轴套13顶部的吸附孔连通，进而与孔道和吸附口11连通，将基片吸附在吸附件1上。

在本实用新型某些实施方式中，所述延伸件2数量为多个，均有分布在所述吸附件1四周；所述吸附件1周侧壁、延伸件2底部设有伸缩卡爪6；所述伸缩卡爪6与所述延伸件2的数量对应；所述伸缩卡爪6长度方方向一端与吸附件1周侧壁连接，另一端与延伸件2远离吸附件1的外端壁卡接。

请具体地参考附图2所示，伸缩卡爪6将延伸件2固定在吸附件1四周。将所述吸附件1、延伸件2连接成一体的同时，伸缩卡爪6使得延伸件2可沿远离和靠近吸附件1的方向往复移动。由于伸缩卡爪6的设置，使得本治具适用多种规格的方形基片。

在本实用新型某些实施方式中，所述伸缩卡爪6包括：卡接部61，长度方向一端与延伸件2端部卡接；伸缩部62，长度方向一端滑动套设在卡接部61另一端；固定部63，长度方向一端滑动套设在伸缩部62另一端，另一端与吸附件1侧壁连接。

请具体地参考附图2所示，向远离吸附件1的方向拨动延伸件2或者卡爪时，卡接部61伸出伸缩部62，伸缩部62伸出固定部63，伸缩卡爪6长度变长，适用稍大规格的方形基片；向靠近吸附件1的方向拨动延伸件2或者卡爪时，卡接部61伸入伸缩部62，伸缩部62伸入固定部63，伸缩卡爪6长度变短，适用稍小规格的方形基片。

在本实用新型某些实施方式中，所述卡爪包括所述延伸件2数量为4个，四个延伸件2组合后呈方形；相应卡爪数量也为4个，所述卡爪位于延伸件2组合的对角线上，所述卡接部61与延伸件2组合角部适配。

请具体地参考附图2所示，在一实施例中，所述延伸件2的数量为4个，这样保证以数量最少的延伸件2实现光刻胶的承接，同时节省成本。

应用场景：

将转轴套13放置在匀胶平台电机轴处。将延伸件2放置在吸附件1的四个伸缩卡爪6上。将方形基片至于定位凹槽3中。当然，此时可以根据方形基片的规格调整伸缩卡爪6的长度。保证方形基片上表面与承接平台4上表面位于同一个水平面上。

打开气泵，开启电机，吸附件1转动带动整个治具进而带动方形基片转动，完成基片的旋涂工作。此时，由于承接平台4承接基片圆周运动中甩出的光刻胶，减少匀胶过程中方形基片四角对接的光刻胶，增大基片的可使用面积。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种方形基片涂胶治具，其特征在于，包括：

吸附件(1)，其轴向方形的底部与匀胶平台转动连接，用于吸附基片；

延伸件(2)，周向分布在所述吸附件(1)的四周；所述延伸件(2)靠近吸附件(1)的表面向下凹陷，与所述吸附件(1)表面形成定位凹槽(3)，所述延伸件(2)的其余部分表面形成承接平台(4)；其中，

所述定位凹槽(3)呈方形，与基片形状适配。

2.根据权利要求1所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，

所述定位凹槽(3)的深度等于所述方形基片的厚度。

3.根据权利要求1所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，

所述定位凹槽(3)与承接平台(4)的连接处开设有两个取放孔(5)，两个所述取放孔(5)分别位于所述吸附件(1)径向方向的两个端部。

4.根据权利要求3所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，所述取放孔(5)远离吸附件(1)的一端呈弧形。

5.根据权利要求1所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，

所述吸附件(1)轴向方向的顶部表面开设有多个吸附口(11)，所述吸附件(1)底部设有吸附孔，所述吸附口(11)与所述吸附孔通过孔道连通；

所述孔道位于所述吸附件(1)内部；

所述吸附孔通过管路与气泵连通。

6.根据权利要求5所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，所述吸附口(11)在吸附件(1)表面的开口呈狐形；每个所述吸附口(11)以相同半径均匀分布在所述吸附件(1)表面。

7.根据权利要求1所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，

所述吸附件(1)轴向方向的底部设有转轴套(13)，所述转轴套(13)用于与匀胶平台的电机轴连；转轴套(13)侧壁设有卡接口(12)，用于与电机轴侧壁的销轴卡接。

8.根据权利要求1所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，

所述延伸件(2)数量为多个，均有分布在所述吸附件(1)四周；

所述吸附件(1)周侧壁、延伸件(2)底部设有伸缩卡爪(6)；

所述伸缩卡爪(6)与所述延伸件(2)的数量对应；

所述伸缩卡爪(6)长度方方向一端与吸附件(1)周侧壁连接，另一端与延伸件(2)远离吸附件(1)的外端壁卡接。

9.根据权利要求8所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，所述伸缩卡爪(6)包括：

卡接部(61)，长度方向一端与延伸件(2)端部卡接；

伸缩部(62)，长度方向一端滑动套设在卡接部(61)另一端；

固定部(63)，长度方向一端滑动套设在伸缩部(62)另一端，另一端与吸附件(1)侧壁连接。

10.根据权利要求9所述的一种方形基片涂胶治具，其特征在于，所述卡爪包括所述延伸件(2)数量为4个，四个延伸件(2)组合后呈方形；

相应卡爪数量也为4个，所述卡爪位于延伸件(2)组合的对角线上，所述卡接部(61)与延伸件(2)组合角部适配。

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