CN218525550U - 一种基板切割线绘线装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种基板切割线绘线装置，包括：工作台、墨池、气压控制器接收端、Z轴移动模块、供液模块和喷头，墨池放置在工作台的一端；Z轴移动模块设置在工作台上靠近墨池的方向，Z轴移动模块底部通过Y轴移动模块安装在工作台内，顶部连接有X轴移动模块；气压控制器接收端设置在X轴移动模块上，气压控制器接收端上方设有供液模块下方设有喷头，气压控制器接收端接收总控制端根据编程发出的信号控制各轴移动模块与供液模块的运作；供液模块穿设在气压控制器接收端上底部与喷头相连，喷头底部安装有喷嘴，顶部与供液装置相连，确保在倒装焊接工程焊接点表面的清洁度，解决划线不准确导致多余油墨形成的绿漆污染影响芯片与基板的焊接问题。

Description

一种基板切割线绘线装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，尤其是涉及半导体先进封装领域，具体为一种基板切割线绘线装置。

背景技术

在对于新型基板的加工中因划线不精准，人工用手工划线工具出墨不均匀导致在加工过程中出现的基板绿漆导致基板二次污染，在烘烤过程中，形成的多余油墨形成的绿漆受热融化容易粘在基板上，在倒装焊接时影响芯片与基板的焊接，其中手工划线精准度全看人工手感没有一个标准规范化的控制划线，导致后续生产中合格率降低。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种基板切割线绘线装置，用于解决现有技术的难点。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种基板切割线绘线装置，包括：

工作台1；

墨池2，所述墨池2放置在工作台1的一端，所述墨池2的开口朝上设置；

Z轴移动模块3，所述Z轴移动模块3设置在工作台1上靠近墨池2的方向，所述Z轴移动模块3底部通过Y轴移动模块4安装在工作台1内沿着工作台1内的凹槽移动，所述Z轴移动模块3顶部连接有X轴移动模块5；

气压控制器接收端6，所述气压控制器接收端6设置在X轴移动模块5远离墨池2的一端竖直设置，所述气压控制器接收端6上方设有供液模块7，下方设有喷头8，所述气压控制器接收端6接收总控制端根据编程发出的信号控制各轴移动模块与供液模块7的运作；

供液模块7，所述供液模块7穿设在气压控制器接收端6上，底部与喷头8相连，所述喷头8底部安装有喷嘴9；

喷头8，所述喷头8底部安装有喷嘴9，顶部与供液装置相连，所述喷头8与供液模块之间设有电磁阀10，通过接收气压控制器接收端6发出的信号控制墨油的出料。

根据优选方案，喷头8与喷嘴9通过生产需求可拆卸更换。

根据优选方案，Y轴移动模块4包括：

轨道401，所述轨道401呈凹陷状设置在工作台1靠近墨池2的一侧上；

滑台气缸402，所述滑台气缸402设置在轨道401底部，所述滑台气缸402中的导向杆两端分别设在轨道401两端，所述滑台气缸402中的滑台与滑块403相连，其中滑块403在滑台气缸402的驱动下沿着轨道401在Y方向上来回移动；

滑块403，所述滑块403安装在轨道401内，所述滑块403顶端与Z轴移动模块3中Z轴气缸301的缸筒相连。

根据优选方案，所述轨道401的内壁设置有一对凹槽，滑块403的两端嵌设在轨道401内。

根据优选方案，Z轴移动模块3包括：

Z轴气缸301，所述Z轴气缸301一端缸筒与滑块403固定安装，通过滑块403的移动带动Z轴气缸301在Y轴上移动，另一端气缸杆上设置有X轴移动模块5，通过调整Z轴气缸301带动X轴移动模块5的升降。

根据优选方案，Z轴气缸301的气缸杆呈椭圆柱形。

根据优选方案，X轴移动模块5包括：

双轴气缸501，所述双轴气缸501一端的密封箱502底部焊接在Z轴气缸301的气缸杆上，另一端气缸杆与连接块503相连；

连接块503，所述连接块503的底部安装在气压控制器接收端6上方。

根据优选方案，双轴气缸501的气缸杆有两个呈对称设置。

根据优选方案，供液模块7：

储液瓶701，所述储液瓶701安装在气压控制器接收端6上方远离墨池2的平台上，底部通过电磁阀10与喷头8相连；

抽液泵702，所述抽液泵702安装在气压控制器接收端6上方储液瓶701相对的一端；

液路管703，所述液路管703穿设在储液瓶701和抽液泵702靠近的两端，由抽液泵702另一端伸出连接在墨池2内，所述液路管703内油墨通过抽液泵702抽取自墨池2内输送入储液瓶701中。

根据优选方案，抽液泵702底部设置有缓震块。

根据优选方案，储液瓶701与抽液泵702之间的液路管703设有一对呈对称设置。

本实用新型采用工作台、墨池、气压控制器接收端、Z轴移动模块、供液模块、喷头，的增加了在基板上划线的精度，并可以确保在倒装焊接工程焊接点表面的清洁度，杜绝因为污染影响芯片与基板的焊接问题。改善半导体使用的基板的污染。

下文中将结合附图对实施本实用新型的最优实施例进行更详尽的描述，以便能容易地理解本实用新型的特征和优点。

附图说明

图1显示为本实用新型的立体结构示意图；

图2显示为本实用新型的主示图；

图3显示为本实用新型三轴移动模块的具体示意图；

图4显示为本实用新型Y轴移动模块中滑台气缸与轨道的具体结构示意图

标号说明

1、工作台；2、墨池；3、Z轴移动模块；301、Z轴气缸；4、Y轴移动模块；401、轨道；

402、滑台气缸；403滑块；5、X轴移动模块；501、双轴气缸；502、密封箱；503、连接块；6、气压控制器接收端；7、供液模块；701、储液瓶；702、抽液泵；703、液路管；8、喷头；9、喷嘴；10、电磁阀。

具体实施方式

为了使得本实用新型的技术方案的目的、技术方案和优点更加清楚，下文中将结合本实用新型具体实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。附图中相同的附图标记代表相同的部件。需要说明的是，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

与附图所展示的实施例相比，本实用新型保护范围内的可行实施方案可以具有更少的部件、具有附图未展示的其他部件、不同的部件、不同地布置的部件或不同连接的部件等。此外，附图中两个或更多个部件可以在单个部件中实现，或者附图中所示的单个部件可以实现为多个分开的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不必然表示数量限制。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

本实用新型提出一种基板切割线绘线装置，用于半导体设备管理工艺中，本实用新型对加工基板的类型不做限制，但该供液模块和移动模块的结构出料均匀定位准确特别适用于基板的划线中。

总体上，本实用新型所提出的基板切割线绘线装置主要包括工作台1、墨池2、Z轴移动模块3、气压控制器接收端6、供液模块7和喷头8，其中可以参见图1，其示出了工作台1、墨池2、Z轴移动模块3、气压控制器接收端6、供液模块7和喷头8的布置关系。

如图1所示，本产品为三轴联动设计包括有Z轴移动模块3、Y轴移动模块4、和X轴移动模块5，Z轴移动模块3设置在工作台1上靠近墨池2的方向，Z轴移动模块3底部通过Y轴移动模块4安装在工作台1内沿着工作台1内的凹槽移动，所述Z轴移动模块3顶部连接有X轴移动模块5。其中Y轴移动模块4包括设置有轨道401、滑台气缸402、滑块403，上述结构中的轨道401呈凹陷状设置在工作台1靠近墨池2的一侧上；滑台气缸402设置在轨道401底部，其中的导向杆两端分别设在轨道401两端，滑台气缸402中的滑台与滑块403相连驱动滑块403沿着轨道401在Y方向上来回移动，滑块403安装在轨道401内，滑块403顶端与Z轴气缸301的缸筒相连，Y轴移动模块4需要的有效行程比较长，并且需要精度要求高，采用滑台气缸402可以达到此目的；Z轴移动模块3内设有Z轴气缸301，Z轴气缸301一端缸筒与滑块403固定安装，通过滑块403的移动带动Z轴气缸301在Y轴上移动，另一端气缸杆上设置有X轴移动模块5，通过调整Z轴气缸301带动X轴移动模块5的升降。X轴移动模块5包括设置有双轴气缸501与连接块503，其中双轴气缸501一端的密封箱502底部焊接在Z轴气缸301的气缸杆上，另一端气缸杆与连接块503相连，连接块503的底部安装在气压控制器接收端6上方。通过气压控制器接收端6接收总控制端根据编程发出的信号进行三轴移动达到生产定位的目的。此三轴联动设计可以精准的对于需要绘线的部分进行三轴定位进行切割线的绘制。

墨池2放置在工作台的一端，墨池2的开口朝上设置，墨池2内放置油墨，需要注意墨池2需要放置在阴凉处，并且需要做好防灰措施，防止油墨受到污染影响切线绘制的准确度。

需要具体说明的是在上文提到过的X轴移动模块5远离墨池的一端竖直设置有气压控制器接收端6，气压控制器接收端6上方设有供液模块7，下方设有喷头8，气压控制器接收端6接收总控制端根据编程发出的信号控制供液模块7的运作。

在上文中提到的供液模块7，供液模块7穿设在气压控制器接收端6上，底部与喷头8相连，供液模块7包括设置有储液瓶701、抽液泵702和液路管703，其中储液瓶701安装在气压控制器接收端6上方远离墨池2的平台上；对油墨进行储存，需要注意的是需要对储液瓶701先行注墨，不能和抽液泵702同时运行，否则会使储液瓶701发生形变导致设备损坏。抽液泵702安装在气压控制器接收端6上方储液瓶701相对的一端；把墨池2内的油墨抽入储液瓶701内，液路管703穿设在储液瓶701和抽液泵702靠近的两端，由抽液泵702另一端伸出连接在墨池2内。通过抽液泵702把油墨从墨池2里抽出进入到储液瓶701当储液瓶有充足的油墨后根据气压控制器接收端6发出的信息来控制电磁阀10进行出料划线。

根据上述的产品结构配置比起原先使用人工手划基板的方式，改变成用设备自动涂墨的方式，增加了在基板上划线的精度，并可以确保划线油墨均匀，提高在倒装焊接工程焊接点表面的清洁度，避免了因为污染影响芯片与基板的焊接问题，并且降低半导体使用的基板因为划线不准确工具出墨不均匀导致的污染的问题，提高了生产的合格率，并且由机械化生产编写一个程序可以让多设备同时运作相比人工提高了生产效率。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (5)

1.一种基板切割线绘线装置，其特征在于，包括：

工作台(1)；

墨池(2)，所述墨池(2)放置在工作台(1)的一端，所述墨池(2)的开口朝上设置；

Z轴移动模块(3)，所述Z轴移动模块(3)设置在工作台(1)上靠近墨池(2)的方向，所述Z轴移动模块(3)底部通过Y轴移动模块(4)安装在工作台(1)内沿着工作台(1)内的凹槽移动，所述Z轴移动模块(3)顶部连接有X轴移动模块(5)；

气压控制器接收端(6)，所述气压控制器接收端(6)设置在X轴移动模块(5)远离墨池(2)的一端竖直设置，所述气压控制器接收端(6)上方设有供液模块(7)，下方设有喷头(8)，所述气压控制器接收端(6)接收总控制端根据编程发出的信号控制各轴移动模块与供液模块(7)的运作；

供液模块(7)，所述供液模块(7)穿设在气压控制器接收端(6)上，底部与喷头(8)相连，所述喷头(8)底部安装有喷嘴(9)；

喷头(8)，所述喷头(8)底部安装有喷嘴(9)，顶部与供液装置相连，所述喷头(8)与供液模块之间设有电磁阀(10)，通过接收气压控制器接收端(6)发出的信号控制墨油的出料。

2.根据权利要求1所述的基板切割线绘线装置，其特征在于，所述Y轴移动模块(4)包括：

轨道(401)，所述轨道(401)呈凹陷状设置在工作台(1)靠近墨池(2)的一侧上；

滑台气缸(402)，所述滑台气缸(402)设置在轨道(401)底部，所述滑台气缸(402)中的导向杆两端分别设在轨道(401)两端，所述滑台气缸(402)中的滑台与滑块(403)相连驱动滑块(403)沿着轨道(401)在Y方向上来回移动；

滑块(403)，所述滑块(403)安装在轨道(401)内，所述滑块(403)顶端与Z轴移动模块(3)中Z轴气缸(301)的缸筒相连。

3.根据权利要求2所述的基板切割线绘线装置，其特征在于，所述Z轴移动模块(3)包括：

Z轴气缸(301)，所述Z轴气缸(301)一端缸筒与滑块(403)固定安装，通过滑块(403)的移动带动Z轴气缸(301)在Y轴上移动，另一端气缸杆上设置有X轴移动模块(5)，通过调整Z轴气缸(301)带动X轴移动模块(5)的升降。

4.根据权利要求3所述的基板切割线绘线装置，其特征在于，所述X轴移动模块(5)包括：

双轴气缸(501)，所述双轴气缸(501)一端的密封箱(502)底部焊接在Z轴气缸(301)的气缸杆上，另一端气缸杆与连接块(503)相连；

连接块(503)，所述连接块(503)的底部安装在气压控制器接收端(6)上方。

5.根据权利要求4所述的基板切割线绘线装置，其特征在于，所述供液模块(7)包括：

储液瓶(701)，所述储液瓶(701)安装在气压控制器接收端(6)上方远离墨池(2)的平台上，底部通过电磁阀(10)与喷头(8)相连；

抽液泵(702)，所述抽液泵(702)安装在气压控制器接收端(6)上方储液瓶(701)相对的一端；

液路管(703)，所述液路管(703)穿设在储液瓶(701)和抽液泵(702)靠近的两端，由抽液泵(702)另一端伸出连接在墨池(2)内。

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