CN218464924U - 一种可旋转晶片取放头模组 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及弹簧上料设备技术领域，特别涉及一种可旋转晶片取放头模组，包括安装座，安装座上安装有驱动组件，驱动组件上驱动连接有旋转套管，旋转套管通过旋转轴承安装于安装座上，旋转套管内上下两端固定插接有两个第一直线轴承，第一直线轴承内滑动插接有真空取放轴，真空取放轴的外壁上设有滑动键，旋转套管上开设有第一腰型槽，滑动键滑动插接于第一腰型槽内，真空取放轴的上端转动连接有旋转接头，真空取放轴的下端设有吸盘，吸盘取放头自重较小对晶片压力可忽略不计，可提升良率。增加力超限反馈模组，若压力过大则机构脱离报警，保护晶片和取放模组，减少损失。增加旋转模组，满足晶片角度调整需求，提高组装精度和良率。

Description

一种可旋转晶片取放头模组

技术领域

本实用新型涉及晶片取放设备技术领域，特别涉及一种可旋转晶片取放头模组。

背景技术

晶片安装时会有顶针机构将晶片从晶圆上顶起，然后取放头移动过来利用吸盘吸附晶片，再将晶片移至组装工位。现有的取放头模组在对晶片进行取放时存在如下缺陷：1、当取放头取放过程中需要吸盘和晶片进行贴合时，下降过程中易对晶片产生挤压，造成晶片和顶针接触表面破损；2、由于部分晶片存在角度需求且取放过程中晶片角度发生微小偏移，会造成晶片安装位置存在偏差。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可旋转晶片取放头模组，吸盘取放头自重较小对晶片压力可忽略不计，可提升良率。增加力超限反馈模组，若压力过大则机构脱离报警，保护晶片和取放模组，减少损失。增加旋转模组，即驱动组件、旋转套管等部件，满足晶片角度调整需求，提高组装精度和良率。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种可旋转晶片取放头模组，包括安装座，所述安装座上安装有驱动组件，所述驱动组件上驱动连接有旋转套管，所述旋转套管通过旋转轴承安装于所述安装座上，所述旋转套管内上下两端固定插接有两个第一直线轴承，所述第一直线轴承内滑动插接有真空取放轴，所述真空取放轴的外壁上设有滑动键，所述旋转套管上开设有第一腰型槽，所述滑动键滑动插接于所述第一腰型槽内，所述真空取放轴的上端转动连接有旋转接头，所述真空取放轴的下端设有吸盘。

优选的，所述驱动组件包括：步进电机、主动带轮、从动带轮和传动带；所述安装座上安装有所述步进电机，所述步进电机的输出端设有所述主动带轮，所述旋转套管上套设有所述从动带轮，所述主动带轮与所述从动带轮之间绕接有所述传动带。

优选的，还包括皮带张紧座，所述皮带张紧座的顶部中部开设有通槽，所述皮带张紧座的顶部前后两端对称开设有第二腰型槽，所述第二腰型槽内插接有锁紧螺钉，通过所述锁紧螺钉与所述第二腰型槽相配合，将所述皮带张紧座螺纹锁紧于所述安装座上，所述皮带张紧座的左端面还包括前后对称分布抵接的定位销，所述定位销螺纹插接于所述安装座上，所述安装座上还包括开设的第三腰型槽，所述第三腰型槽位于所述通槽的底部。

优选的，还包括力超限反馈模组，所述力超限反馈模组包括：第二直线轴承、导向销、弹簧、力控压板、U型槽、力控电磁铁、龙门架和接近开关；所述安装座上前后两侧对称固定插接有所述第二直线轴承，所述第二直线轴承内滑动插接有所述导向销，所述导向销的上端可拆卸锁紧有所述力控压板，所述力控压板和所述第二直线轴承之间抵接有所述弹簧，所述弹簧套设于所述导向销上，所述力控压板的左端开设有所述U型槽，所述真空取放轴穿过所述U型槽，所述力控压板的底部右端抵接吸附有所述力控电磁铁，所述力控电磁铁固定插接于所述安装座上，所述安装座上还包括设置的所述龙门架，所述龙门架上设有所述接近开关，用于对所述力控压板上移的位置进行感应检测。

优选的，还包括角度传感器，所述旋转套管的上端设有所述角度传感器。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型的吸盘取放头自重较小，即真空取放轴和吸盘的自重，对晶片压力可忽略不计，可提升良率。

2、本实用新型增加力超限反馈模组，若压力过大则机构脱离报警，保护晶片和取放模组，减少损失。

3、本实用新型增加旋转模组，即驱动组件、旋转套管等部件，满足晶片角度调整需求，提高组装精度和良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的正视图。

图2为本实用新型的剖视图。

图3为本实用新型中旋转套管的剖视图。

图4为本实用新型中皮带张紧座的结构图。

图5为本实用新型中力超限反馈模组的局部结构剖视图。

图中：1-安装座、2-驱动组件、21-步进电机、22-主动带轮、23-从动带轮、24-传动带、3-旋转套管、4-旋转轴承、5-第一直线轴承、6-真空取放轴、7-滑动键、8-第一腰型槽、9-旋转接头、10-吸盘、11-皮带张紧座、12-通槽、13-第二腰型槽、14-锁紧螺钉、15-定位销、16-第三腰型槽、17-力超限反馈模组、171-第二直线轴承、172-导向销、173-弹簧、174-力控压板、175-U型槽、176-力控电磁铁、177-龙门架、178-接近开关、18-角度传感器。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参照图1-5，本实用新型提供了一种可旋转晶片取放头模组，包括安装座1，安装座1上安装有驱动组件2，驱动组件2上驱动连接有旋转套管3，旋转套管3通过旋转轴承4安装于安装座1上，旋转套管3内上下两端固定插接有两个第一直线轴承5，第一直线轴承5内滑动插接有真空取放轴6，真空取放轴6的外壁上设有滑动键7，旋转套管3上开设有第一腰型槽8，滑动键7滑动插接于第一腰型槽8内，真空取放轴6的上端转动连接有旋转接头9，真空取放轴6的下端设有吸盘10。

在本实施例中，驱动组件2包括：步进电机21、主动带轮22、从动带轮23和传动带24；安装座1上安装有步进电机21，步进电机21的输出端设有主动带轮22，旋转套管3上套设有从动带轮23，主动带轮22与从动带轮23之间绕接有传动带24。驱动组件2工作时，步进电机21工作，带动主动带轮22旋转，通过传动带24的传动，带动从动带轮23转动，进而带动旋转套管3及其真空取放轴6转动。

还包括皮带张紧座11，皮带张紧座11的顶部中部开设有通槽12，皮带张紧座11的顶部前后两端对称开设有第二腰型槽13，第二腰型槽13内插接有锁紧螺钉14，通过锁紧螺钉14与第二腰型槽13相配合，将皮带张紧座11螺纹锁紧于安装座1上，皮带张紧座11的左端面还包括前后对称分布抵接的定位销15，定位销15螺纹插接于安装座1上，安装座1上还包括开设的第三腰型槽16，第三腰型槽16位于通槽12的底部。步进电机21通过皮带张紧座11可调节安装至安装座1上，通槽12和第二腰型槽13便于步进电机21的输出轴穿过，当需要对传动带24进行张紧调节时，利用第二腰型槽13和第三腰型槽16的设置，可以调节锁紧螺钉14在第二腰型槽13上的位置，即调节皮带张紧座11在安装座1上的左右锁紧位置，即调节步进电机21在安装座1上的左右位置，实现对传动带24的张紧程度调节，而且通过上述设置的定位销15，可以在对皮带张紧座11左右位置移动调节时，通过转动前后两侧的定位销15，使其定位销15的右端始终与皮带张紧座11的左端面相抵接，对皮带张紧座11进行摆正，不产生偏移。

还包括力超限反馈模组17，力超限反馈模组17包括：第二直线轴承171、导向销172、弹簧173、力控压板174、U型槽175、力控电磁铁176、龙门架177和接近开关178；安装座1上前后两侧对称固定插接有第二直线轴承171，第二直线轴承171内滑动插接有导向销172，导向销172的上端可拆卸锁紧有力控压板174，力控压板174和第二直线轴承171之间抵接有弹簧173，弹簧173套设于导向销172上，力控压板174的左端开设有U型槽175，真空取放轴6穿过U型槽175，力控压板174的底部右端抵接吸附有力控电磁铁176，力控电磁铁176固定插接于安装座1上，安装座1上还包括设置的龙门架177，龙门架177上设有接近开关178，用于对力控压板174上移的位置进行感应检测。上述当力控压板174顶起时，会带动导向销172在第二直线轴承171的配合下上移，克服力控电磁铁176的预设力，脱离力控电磁铁176，直至力控压板174上移与接近开关178相触碰时，控制器会报警、机组停机。通过上述设置的弹簧173，当力控压板174下移时，会对力控压板174下移时的自身重力进行缓冲吸收。

还包括角度传感器18，旋转套管3的上端设有角度传感器18，便于达到对真空取放轴6的旋转角度进行精确检测。

工作原理：本实用新型采用取放压力极小原理，晶片取放时(即将安装座1与外部机架上的升降机构相连，实现本取放模组的上下移动取放)，真空取放轴6带动吸盘10下降和晶片接触，由于真空取放轴6和旋转套管3连接关系采用滑动键7与第一腰型槽8上下滑动配合，且由第一直线轴承5限位故可顺畅上下滑动，在晶片取放时压力为真空取放轴6(约20g)的重力，可大大减少晶片表面破损率。本实用新型采用旋转模组原理，即步进电机21动作，将扭力通过传动带24传动至旋转套管3上，旋转套管3和真空取放轴6之间靠滑动键7和第一腰型槽8键连故可同步转动，吸盘10吸取晶片后可实现角度旋转功能。本实用新型采用力超限反馈模组17，当取放异常压力过大时，则真空取放轴6会顶起力控压板174(力控压板174初始被力控电磁铁176吸附住，存在预设力)，接近开关178则检测感应力控压板174的位置信号，直至力控压板174与接近开关178触碰时，控制器会报警、机组停机，发生异常时可保护取放模组和晶片两者，降低成本损失。

上述涉及的电器元件的控制方式是通过与其配套的PLC控制器进行控制的，且上述控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，未对其进行改进，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细对控制方式和电路连接进行赘述。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (5)

1.一种可旋转晶片取放头模组，包括安装座(1)，其特征在于，所述安装座(1)上安装有驱动组件(2)，所述驱动组件(2)上驱动连接有旋转套管(3)，所述旋转套管(3)通过旋转轴承(4)安装于所述安装座(1)上，所述旋转套管(3)内上下两端固定插接有两个第一直线轴承(5)，所述第一直线轴承(5)内滑动插接有真空取放轴(6)，所述真空取放轴(6)的外壁上设有滑动键(7)，所述旋转套管(3)上开设有第一腰型槽(8)，所述滑动键(7)滑动插接于所述第一腰型槽(8)内，所述真空取放轴(6)的上端转动连接有旋转接头(9)，所述真空取放轴(6)的下端设有吸盘(10)。

2.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片取放头模组，其特征在于，所述驱动组件(2)包括：步进电机(21)、主动带轮(22)、从动带轮(23)和传动带(24)；所述安装座(1)上安装有所述步进电机(21)，所述步进电机(21)的输出端设有所述主动带轮(22)，所述旋转套管(3)上套设有所述从动带轮(23)，所述主动带轮(22)与所述从动带轮(23)之间绕接有所述传动带(24)。

3.根据权利要求2所述的一种可旋转晶片取放头模组，其特征在于，还包括皮带张紧座(11)，所述皮带张紧座(11)的顶部中部开设有通槽(12)，所述皮带张紧座(11)的顶部前后两端对称开设有第二腰型槽(13)，所述第二腰型槽(13)内插接有锁紧螺钉(14)，通过所述锁紧螺钉(14)与所述第二腰型槽(13)相配合，将所述皮带张紧座(11)螺纹锁紧于所述安装座(1)上，所述皮带张紧座(11)的左端面还包括前后对称分布抵接的定位销(15)，所述定位销(15)螺纹插接于所述安装座(1)上，所述安装座(1)上还包括开设的第三腰型槽(16)，所述第三腰型槽(16)位于所述通槽(12)的底部。

4.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片取放头模组，其特征在于，还包括力超限反馈模组(17)，所述力超限反馈模组(17)包括：第二直线轴承(171)、导向销(172)、弹簧(173)、力控压板(174)、U型槽(175)、力控电磁铁(176)、龙门架(177)和接近开关(178)；所述安装座(1)上前后两侧对称固定插接有所述第二直线轴承(171)，所述第二直线轴承(171)内滑动插接有所述导向销(172)，所述导向销(172)的上端可拆卸锁紧有所述力控压板(174)，所述力控压板(174)和所述第二直线轴承(171)之间抵接有所述弹簧(173)，所述弹簧(173)套设于所述导向销(172)上，所述力控压板(174)的左端开设有所述U型槽(175)，所述真空取放轴(6)穿过所述U型槽(175)，所述力控压板(174)的底部右端抵接吸附有所述力控电磁铁(176)，所述力控电磁铁(176)固定插接于所述安装座(1)上，所述安装座(1)上还包括设置的所述龙门架(177)，所述龙门架(177)上设有所述接近开关(178)，用于对所述力控压板(174)上移的位置进行感应检测。

5.根据权利要求1所述的一种可旋转晶片取放头模组，其特征在于，还包括角度传感器(18)，所述旋转套管(3)的上端设有所述角度传感器(18)。

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