CN218398101U - 夹取装置及龙门装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种夹取装置，涉及硅片制备领域。该夹取装置包括：机架；固定夹爪，与机架连接并在第一方向上与机架相对固定；活动夹爪，与机架连接，并沿第一方向与固定夹爪间隔设置，活动夹爪能够相对机架沿第一方向运动以调整与固定夹爪的间距。本实用新型还提供一种龙门装置，应用了上述夹取装置，能够夹取不同尺寸的硅片，适用范围较大。

Description

夹取装置及龙门装置

技术领域

本实用新型涉及硅片制备领域，尤其涉及一种夹取装置及龙门装置。

背景技术

龙门装置是在硅片的制备过程中，需要通过龙门装置将待加工的硅片放置于生产线的传输设备上，还需要通过龙门装置将加工完成后的硅片从传输设备上移出。相关的龙门装置设置有夹爪装置，通过夹爪装置夹取硅片，这种龙门装置用于夹取特定尺寸的硅片，适用范围较为狭窄。

实用新型内容

本实用新型提供一种夹取装置及一种龙门装置，用于解决如何能够夹取不同尺寸的硅片，以扩大龙门装置的适用范围的技术问题。

本实用新型实施例提供一种夹取装置，该夹取装置包括：机架；固定夹爪，与所述机架连接并在第一方向上与所述机架相对固定；活动夹爪，与所述机架连接，并沿第一方向与所述固定夹爪间隔设置，所述活动夹爪能够相对所述机架沿所述第一方向运动以调整与所述固定夹爪的间距；沿所述第一方向延伸的滑轨，与所述机架连接；滑动件，套设于所述滑轨的至少部分的外部，且能够相对所述滑轨沿所述第一方向运动；转接板，与所述滑动件固定连接；其中，所述活动夹爪与所述滑动件固定连接；多个所述活动夹爪通过所述转接板与所述滑动件固定连接。

进一步的，所述夹取装置还包括：夹爪驱动件，与所述机架固定连接，并与所述活动夹爪连接，用于驱动所述活动夹爪沿所述第一方向运动。

进一步的，所述夹爪驱动件包括：第一夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的一侧；第二夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的所述一侧的相对的另一侧；其中，所述活动夹爪具有多个，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的两侧，且靠近所述第一夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第一夹爪驱动件连接，靠近所述第二夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第二夹爪驱动件连接。

进一步的，所述活动夹爪和所述固定夹爪均包括沿第二方向间隔设置的两个夹持部，所述夹持部可相对所述机架沿所述第二方向运动，所述第二方向与所述第一方向垂直。

进一步的，所述夹取装置还包括：开合驱动组件，与所述机架固定连接，并与两个所述夹持部连接以驱动两个所述夹持部在所述第二方向上反向运动。

进一步的，所述开合驱动组件包括：开合电机，与所述机架固定连接；第一传动组件，与所述开合电机连接，并与靠近所述第一传动组件的所述夹持部连接；第二传动组件，与所述第一传动组件连接，随所述第一传动组件运动，并与靠近所述第二传动组件的所述夹持部连接；其中，连接于所述第一传动组件的所述夹持部，和连接于所述第二传动组件的所述夹持部反向运动。

本实用新型实施例还提供一种龙门装置，该龙门装置包括：抬升横移机构以及如上所述的夹取装置；其中，所述抬升横移机构与所述机架连接，以使所述夹取装置垂直于所述第一方向运动。

进一步的，所述抬升横移机构具有两个，沿第一方向分别设置于所述夹取装置的两侧，且均与所述机架连接；其中，两个所述抬升横移机构用于使所述夹取装置沿所述第一方向的两端同时沿相同的方向运动相同距离。

本实用新型实施例提供一种夹取装置，该夹取装置包括机架，与机架连接并在第一方向上与机架相对固定的固定夹爪和与机架连接，以及与机架连接，沿第一方向与固定夹爪间隔设置，且能够相对机架沿第一方向运动的活动夹爪。通过使活动夹爪能够相对机架沿第一方向运动，以使活动夹爪与固定夹爪沿第一方向的间距可调，从而使固定夹住和活动夹爪的间距能够根据夹取装置用于夹取的硅片的尺寸进行适应性调节，进而使夹取装置能够用于夹取不同尺寸的硅片，扩大了夹取装置的适用范围。本实用新型实施例还提供一种应用了该夹取装置的龙门装置，能够适用于夹取不同尺寸的硅片，扩大了该龙门装置的适用范围。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种夹取装置的结构示意图；

图2为实用新型实施例提供的夹取装置中的一种滑轨、滑动件和活动夹爪的装配示意图；

图3为本实用新型实施例提供的另一种夹取装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的夹取装置中的一种夹爪驱动件的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的夹取装置中的一种夹持部与开合驱动组件的装配示意图；

图6为本实用新型实施例提供的夹取装置中的另一种夹持部与开合驱动组件的装配示意图；

图7为本实用新型实施例提供的夹取装置中的第一种类型的第一传动组件和第一种类型的第二传动组件的装配示意图；

图8为本实用新型实施例提供的夹取装置中的第二种类型的第一传动组件和第二种类型的第二传动组件的装配示意图；

图9为本实用新型实施例提供的一种龙门装置的结构示意图；

图10为本实用新型实施例提供的龙门装置中的一种抬升横移结构与机架的装配示意图。

附图标记说明

1、龙门装置；10、夹取装置；100、机架；200、固定夹爪；300、活动夹爪；400、滑轨；410、滑槽；500、滑动件；600、转接板；700、夹爪驱动件； 710、步进电机；720、螺纹杆；730、滑移件；740、限位件；800、夹持部；900、开合驱动组件；910、开合电机；920、第一传动组件；920A、第一种类型的第一传动组件；921A、第一螺纹杆；922A、第一滑动件；923A、第一限位件；924A、第一外螺纹；920B、第二种类型的第一传动组件；921B、第一齿轮；922B、第一齿条；930、第二传动组件；930A、第一种类型的第二传动组件；931A、第二螺纹杆；932A、第二滑动件；933A、第二限位件；934A、第二外螺纹； 930B、第二种类型的第二传动组件；931B、第二齿轮；932B、第二齿条；20、抬升横移机构。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在具体实施例中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，例如通过不同的具体技术特征的组合可以形成不同的实施例和技术方案。为了避免不必要的重复，本实用新型中各个具体技术特征的各种可能的组合方式不再另行说明。

在以下的描述中，所涉及的术语“第一\第二\...”仅仅是区别不同的对象，不表示各对象之间具有相同或联系之处。应该理解的是，所涉及的方位描述“上方”、“下方”、“外”、“内”均为正常使用状态时的方位，“左”、“右”方向表示在具体对应的示意图中所示意的左右方向，可以为正常使用状态的左右方向也可以不是。

需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个…”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。术语“连接”在未特别说明的情况下，既包括直接连接也包括间接连接。

在具体实施方式中，夹取装置可以用于夹取任何类型的硅片，例如，该硅片可以为用于制造芯片的硅片，该硅片例如还可以为用于制造太阳能电池板的硅片。为了便于说明，以下均以该夹取装置用于夹取用于制造太阳能电池板的硅片为例对该夹取装置的具体结构和工作原理进行示例性说明。该夹取装置用于夹取的硅片的类型对该夹取装置的结构不造成任何影响。

在一些实施例中，如图1所示，夹取装置10包括：机架100、固定夹爪200 和活动夹爪300。固定夹爪200与机架100连接并在第一方向上与机架相对固定，即，机架100用于限制固定夹爪200相对机架100沿第一方向的运动。其中，固定夹爪200的固定可以理解为在第一方向上，固定夹爪200与机架100 的相对位置不发生改变，在与第一方向成预设角度的方向上，固定夹爪200可以相对于机架100运动，从而使固定夹爪200能够夹持或松开硅片。示例性的，固定夹爪200包括多个沿与第一方向成预设夹角的方向间隔设置，且各夹持部分均能够沿该方向运动，以调节各夹持部分的间距，通过调节各夹持部分的间距夹持或松开硅片。具体的，通过使各夹持部分相向运动，以使各夹持部分的间距缩小，从而使固定夹爪200夹持硅片；通过使各夹持部分相背运动，以使各夹持部分的间距增大，从而使固定夹爪200松开硅片。

活动夹爪300与机架100连接，并沿第一方向与固定夹爪200间隔设置，活动夹爪300能够相对机架100沿第一方向运动以调整与固定夹爪200的间距。其中，活动夹爪300在能够相对机架100沿第一方向运动的同时，还能够相对机架100沿与第一方向成预设角度的方向运动，从而使活动夹爪300能够夹持或松开硅片。活动夹爪300夹持或松开硅片的原理，与固定夹爪200夹持或松开硅片的原理相似，故不再赘述。通过设置在第一方向上与机架100相对固定的固定夹爪200和能够相对机架100在第一方向上运动的活动夹爪300，以使活动夹爪300和固定夹爪200的间距可调，从而使活动夹爪300和固定夹爪200 的相对位置可以根据生产线上的硅片的尺寸适应性地调节，进而使夹取装置10 可以用于夹取不同尺寸的硅片。为了便于理解，下面以夹取装置10分别用于夹取两种不同尺寸的硅片为例，对活动夹爪300和固定夹爪200的间距可调，从而使夹取装置10能够夹取不同尺寸的硅片的原理进行适应性说明。

第一方向与硅片在生产线上的间隔设置方向平行，固定夹爪200和活动夹爪300用于夹取在沿第一方向相邻的硅片，同时，固定夹爪200和活动夹爪300 均夹持硅片的沿第一方向的中部，以更稳定地夹持硅片。在第一种情况下，夹取装置10用于夹取的硅片的沿第一方向的尺寸为40毫米，相邻的硅片的间距为10毫米，对应的，固定夹爪200和活动夹爪300在第一方向上的间距为50；在第二种情况下，夹取装置10用于夹取的硅片的沿第一方向的尺寸为80毫米，相邻的硅片的间距为10毫米，对应的，固定夹爪200和活动夹爪300在第一方向上的间距为90毫米。即，通过使活动夹爪300与固定夹爪200在第一方向上的间距在40毫米和90毫米之间切换，可以使夹取装置10能够夹取不同尺寸的硅片，扩大了夹取装置10适用范围。

本实用新型实施例提供一种夹取装置，该夹取装置包括机架，与机架连接并在第一方向上与机架相对固定的固定夹爪和与机架连接，以及与机架连接，沿第一方向与固定夹爪间隔设置，且能够相对机架沿第一方向运动的活动夹爪。通过使活动夹爪能够相对机架沿第一方向运动，以使活动夹爪与固定夹爪沿第一方向的间距可调，从而使固定夹住和活动夹爪的间距能够根据夹取装置用于夹取的硅片的尺寸进行适应性调节，进而使夹取装置能够用于夹取不同尺寸的硅片，扩大了夹取装置的适用范围。

在一些实施例中，活动夹爪300的数量可以为1个，也可以为多个。在活动夹爪300具有多个的情况下，多个活动夹爪300沿第一方向间隔设置，各活动夹爪300可以分别与机架100连接，各活动夹爪300沿第一方向的间距也可以进行调节，以使活动夹爪300和固定夹爪200在第一方向上的位置能够更自由地调节，从而扩大夹取装置10能够夹取的硅片的尺寸范围，进一步扩大夹取装置10的适用范围；多个活动夹爪300也可以固结为整体的夹爪组件，并整体与机架100连接，该夹爪组件与固定夹爪200在第一方向上的间距可调，且夹爪组件中的各活动夹爪的沿第一方向的间距保持不变，从而减小活动夹爪300 的间距调节的工作量。

在一些实施例中，如图2所示，夹取装置10还包括：滑轨400和滑动件500。滑轨400沿第一方向延伸，与机架100连接。滑动件500的套设于滑轨 400的至少部分的外部，且能够相对滑轨400沿第一方向运动，即，在垂直于第一方向的截面内，滑动件500可以完全包绕滑轨400的外轮廓，也可以包绕滑轨400的部分的外轮廓。为了便于理解，下面结合图2对滑动件500包绕滑轨400的部分的外轮廓的情况下，滑轨400与滑动件500的结构进行示例性说明。滑轨400的垂直于第一方向的两个相对的侧面设置有沿第一方向延伸的滑槽410，在垂直于第一方向的截面内，滑动件500包绕滑轨400的位于下方的部分，且滑动件500的一部分延伸至滑槽410内，即，滑动件400套设于滑轨 400的部分的外部，且能够相对滑轨400沿第一方向运动。其中，活动夹爪300 与滑动件500固定连接，即，活动夹爪300通过滑动件500与滑轨400可活动地连接，并通过与机架100连接的滑轨400与机架100可活动地连接，从而使活动夹爪300能够相对机架100沿第一方向运动。

在一些实施例中，如图2所示，夹取装置10还包括转接板600，转接板600 与滑动件500固定连接，其中，多个活动夹爪300通过转接板600与滑动件500 固定连接，即，多个活动夹爪300与滑动件500固结为一个活动夹爪组件后，再整体与滑动件500连接，以使该活动夹爪组件的能够相对机架100沿第一方向运动，以调节该活动夹爪组件与固定夹爪200的间距。其中，同一个活动夹爪组件中的活动夹爪300沿第一方向的间距固定，且各活动夹爪300沿第一方向的间距与夹取装置10的用于夹取的硅片的尺寸对应。示例性的，夹取装置 10用于夹取的硅片在第一方向上的尺寸为40毫米，相邻的硅片的间距为10毫米，对应的，该活动夹爪组件中相邻的活动夹爪300的间距为50毫米。通过使多个活动夹爪300通过转接板600与滑动件500连接，能够整体调节活动夹爪组件中的多个活动夹爪300与固定夹爪200的间距，而无需对每个活动夹爪300 的位置进行逐个调节，减少了活动夹爪300的位置调节的工作量。

在一些实施例中，如图3所示，夹取装置10还包括夹爪驱动件700，夹爪驱动件700与机架100固定连接，并与活动夹爪300连接，用于驱动活动夹爪 300沿第一方向运动。通过设置夹爪驱动件700，以驱动夹爪组件300沿第一方向运动，从而调节活动夹爪300与固定夹爪200的间距，而无需手动调节活动夹爪300的位置，使夹取装置10的使用更加方便。需要说明的是，夹爪驱动件 700为任何能够驱动活动夹爪300相对机架100沿第一方向运动的装置。下面结合图3，对夹爪驱动件700的结构进行示例性说明，本领域技术人员应当理解，夹爪驱动件700还可以为除图4外所示的其他结构，夹爪驱动件700例如还可以为直线电机。

如图4所示，夹爪驱动件700包括：步进电机710、螺纹杆720、滑移件 730和限位件740。步进电机710与图1中的机架100固定连接，且能够输出旋转运动。螺纹杆720沿第一方向延伸，与步进电机710连接以绕自身轴线自转，且螺纹杆720的外表面设置有外螺纹。滑移件730设置有螺纹孔，且该螺纹孔的内螺纹与螺纹杆720的外螺纹相匹配，滑移件730通过螺纹孔套设于螺纹杆 720的外部，且滑移件730与图1中的活动夹爪300连接。限位件740与机架 100固定连接，并与滑移件730接触，用于限制滑移件730绕螺纹杆720的旋转运动。螺纹杆720在步进电机的驱动下，绕自身轴线旋转，以通过外螺纹对内螺纹施加沿第一方向的正压力以及绕螺纹杆的旋转轴线的摩擦力，该正压力用于驱动滑移件730沿第一方向运动，该摩擦力用于驱动滑移件730随螺纹杆 720一同绕螺纹杆720的中心轴线旋转。同时，限位件740与滑移件730接触，限制滑移件730绕螺纹杆720的中心轴线的旋转运动，从而使滑移件730能够在该正压力的作用下相对螺纹杆720沿第一方向运动，并使滑移件730带动活动夹爪300沿第一方向运动。通过螺纹传动结构驱动活动夹爪300沿第一方向运动，可以根据螺纹杆720的转角以及外螺纹的螺距对活动夹爪300沿第一方向的位移进行准确控制，同时，通过不仅电机710驱动螺纹杆720旋转，能够进一步对螺纹杆720的转角进行准确控制，进一步提高了对活动夹爪300沿第一方向的位移的控制精度。示例性的，活动夹爪300沿第一方向的位移与螺纹杆720的转角的关系可以为：

式中X为活动夹爪300沿第一方向的位移，d为螺纹杆720的外螺纹的螺距，θ为螺纹杆720绕自身中心轴线自转的角度。

可选的，如图3所示，多个活动夹爪300与转接板600固定连接，形成活动夹爪组件，且该活动夹爪组件与夹爪驱动件700连接，同时，该夹爪组件还与滑动件500固定连接，从而使夹爪驱动件700能够驱动活动夹爪组件中的多个活动夹爪300同时沿第一方向运动，减少了需要设置的夹爪驱动件700的数量，以及夹爪驱动件700的控制难度。可选的，夹爪驱动件700的数量与活动夹爪300的数量相同，一个夹爪驱动件700与一个对应活动夹爪300连接，从而通过夹爪驱动件700单独控制每一个活动夹爪300独立地沿第一方向运动，以使相邻的活动夹爪300的间距的调节，以及活动夹爪300与固定夹爪200的间距的调节更加灵活。

在一些实施例中，如图3所示，夹爪驱动件700包括：第一夹爪驱动件700A 和第二夹爪驱动件700B。第一夹爪驱动件700A与机架100固定连接，沿第一方向设置于固定夹爪200的一侧，第二夹爪700B与机架100固定连接，且沿第一方向设置于固定夹爪200的设置有第一夹爪驱动件700A的一侧的相对的另一侧，即，沿第一方向，活动夹爪300设置于第一驱动件700A和第二驱动件700B之间。其中，活动夹爪300具有多个，在第一方向上，一部分的活动夹爪300设置于固定夹爪200的一侧，另一个部分的活动夹爪300设置于固定夹爪200的另一侧，同时，靠近第一夹爪驱动件700A的活动夹爪300与第一夹爪驱动件700A连接，靠近第二夹爪驱动件700B的活动夹爪300与第二夹爪驱动件700B连接。可以理解为，在第一方向上，一部分的活动夹爪300设置于第一夹爪驱动件700A和固定夹爪200之间，设置于第一夹爪驱动件700A和固定夹爪200之间的活动夹爪300与第一夹爪驱动件700A连接；另一部分的活动夹爪300设置于第二夹爪驱动件700B和固定夹爪200之间，设置于第二夹爪驱动件700B和固定夹爪200之间的活动夹爪300与第二夹爪驱动件700B 连接。通过设置两个夹爪驱动件在固定夹爪200的两侧分别驱动活动夹爪300 沿第一方向运动，从而分别调节位于固定夹爪200两侧的活动夹爪300与固定夹爪200的间距，以使活动夹爪300与固定夹爪200的间距的调节范围更大，进而进一步扩大夹取装置10的适用范围。

如图5所示，活动夹爪300和固定夹爪200均包括沿第二方向间隔设置的两个夹持部800，夹持部800可相对机架100沿第二方向运动，且该第二方向与第一方向垂直。通过使两个夹持部800沿第二方向运动，能够使活动夹爪300 和活动夹爪300开合运动，从而使活动夹爪300和固定夹爪200能够夹取或放开硅片。示例性的，使同一个夹爪的两个夹持部800在第二方向上相向运动，以使两个夹持部800的间距减小，从而使该夹爪能够夹取硅片；使同一个夹爪的两个夹持部800在第二方向上向背运动，以使两个夹持部800的间距增大，从而使该夹爪放开对硅片的夹持。可选的，夹持部800的用于与硅片接触的端部设置为斜面，在夹持部800夹持硅片的过程中，该斜面与硅片的背面成预设角度，以使夹持部800能够夹持硅片的同时，使该斜面与硅片的背面形成线接触，从而减小了夹持部800在夹取硅片的过程中对硅片的影响。

在一些实施例中，在一些实施例中，如图5所示，夹取装置10还包括：开合驱动组件900，开合驱动组件900与机架100固定连接，并与两个夹持部800 连接，以驱动两个夹持部800在第二方向上反向运动，即，开合驱动组件900 驱动两个夹持部800在第二方向上同时相向运动或向背运动，从而驱动夹爪开合，以使活动夹爪300和固定夹爪200能够夹持或松开硅片。需要说明的是，开合驱动组件900可以为任何能够驱动夹持部800沿第二方向反向运动的结构，例如，开合驱动组件900可以为两个沿第二方向间隔设置的直线电机，并分别与夹持部800连接，从而使两个夹持部800沿第二方向反向运动。

在一些实施例中，如图6所示，开合驱动组件900包括：开合电机910、第一传动组件920和第二传动组件930。开合电机910与机架固定连接，能够输出旋转运动。第一传动组件920与开合电机910连接，并与靠近第一传动组件920的夹持部800连接。第二传动组件930与第一传动组件920连接，随第一传动组件920运动，并与靠近第二传动组件930的夹持部800连接。其中，连接于第一传动组件920的夹持部800，和连接于第二传动组件930的夹持部在第二方向上反向运动，即，第一传动组件920和第二传动组件930能够在一个开合电机910的驱动下，同时驱动两个夹持部800反向运动，使开合驱动组件900的结构更加紧凑。需要说明的是，第一传动组件920和第二传动组件930 为任何能够传递动力，并在传递的过程中使动力反向的结构，下面结合图7和图8对第一传动组件920和第二传动结构930的具体结构以及使动力反向的原理进行示例性说明。本领域技术人员应当理解，第一传动组件920和第二传动组件930的结构还可以为除图7和图8所示外的其他形式。

如图7所示，第一种类型的第一传动组件920A包括：第一螺纹杆921A、第一滑动件922A和第一限位件923A。第一螺纹杆921A沿第二方向延伸，且第一螺纹杆921A的外表面设置有第一外螺纹924A，同时，第一螺纹杆921A 与图6中的开合电机910连接，以在开合电机910的驱动下绕自身中心轴线自转。第一滑动件922A设置有螺纹孔，且该螺纹孔具有与第一外螺纹924A相匹配的第一内螺纹，第一滑动件922A通过该螺纹孔套设在第一螺纹杆921A的外部。第一限位件923A与图1中的机架100固定连接，并与第一滑动件922A接触，用于限制第一滑动件922A绕第一螺纹杆921A的中心轴线的旋转运动。第一种类型的第二传动组件930A包括：第二螺纹杆931A、第二滑动件932A和第二限位件933A。第二螺纹杆931A沿第二方向延伸，且第二螺纹杆931A的外表面设置有第二外螺纹934A，第二外螺纹934A的旋向与第一外螺纹924A 的旋向相反，同时，第二螺纹杆931A与螺纹杆921A的端部连接，且第二螺纹杆931A的中心轴线与第一螺纹杆921A的中心轴线重合，以随第一螺纹杆921A 的旋转一同绕第二螺纹杆931A的中心轴线自转。第二滑动件932A设置有螺纹孔，且该螺纹孔内设置有与第二外螺纹934A相匹配的第二内螺纹。第二限位件933A与第二滑动件932A接触，用于限制第二滑动件932A绕第二螺纹杆 931A的中心轴线的旋转运动。在第一螺纹杆921A旋转的过程中，第一滑动件 923A在第一外螺纹924A对第一内螺纹施加的沿第二方向的第一正压力的驱动下，驱动第一滑动件922A沿第二方向运动。同时，第二螺纹杆931A随第一螺纹杆932A一同绕自身中心轴线旋转，在第二螺纹杆931A旋转的过程中，第二滑动件933A在第二外螺纹934A对第二内螺纹施加的沿第二方向的第二正压力的驱动下，驱动第二滑动件932A沿第二方向运动。其中，通过将第一外螺纹 924A和第二外螺纹934A设置为旋向相反的螺纹，以使第一正压力的方向与第二正压力的方向相反，从而使第一螺纹杆921A和第二螺纹杆931A同向旋转时，使第一螺纹杆921A和第二螺纹杆931A分别带动第一滑动件923A和第二滑动件933A在第二方向上反向运动。将第一滑动件923A和第二滑动件933A分别与图6中的两个夹持部800连接，能够驱动两个夹持部800沿第二方向反向运动。

如图8所示，第二种类型的第一传动组件920B包括：第一齿轮921B和第一齿条922B。第一齿轮921B与图6中的开合电机910连接，以在开合电机910 的驱动下旋转，且第一齿轮921B的旋转中心轴线与第一方向平行。第一齿条 922B沿第二方向延伸且与第一齿轮921B啮合，以随第一齿轮921B的旋转沿第二方向运动。第二种类型的第二传动组件930B包括：第二齿轮931B和第二齿条932B。第二齿轮931B与第一齿轮921B外啮合，以随第一齿轮921B的旋转而旋转，且第二齿轮931B的旋转方向与第一齿轮921B的旋转方向相反。第二齿条932B与第二齿轮931B啮合，以随第二齿轮922B的旋转沿第二方向运动，且第二齿条932B的运动方向与第一齿条922B的运动方向相反。将第一齿条922B和第二齿条932B分别与图6中的两个夹持部800连接，能够驱动两个夹持部800沿第二方向反向运动。

需要说明的是，滑轨400和滑动件500具有两个，两个滑轨400沿第二方向间隔设置，滑动件500分别套设在对应的滑轨400的至少部分的外部。其中，活动夹爪300的沿第二方向间隔设置的夹持部800分别通过对应的滑动件500 与滑动件500连接，从而使活动夹爪300能够相对图1中的机架100沿第一方向运动的同时，还能够使活动夹爪300的夹持部800沿第二方向反向运动。同时，活动夹爪300与夹爪驱动件700沿第一方向相对固定，以使活动夹爪300 能够在夹爪驱动件700的驱动下沿第一方向运动。活动夹爪300的沿第二方向间隔设置的夹持部800均与夹爪驱动件700可活动地连接，且能够相对夹爪驱动件700沿第二方向运动，从而使活动夹爪300的夹持部800能够在开合驱动组件900的驱动下沿第二方向反向运动，从而使活动夹爪300能够开合以夹持或松开硅片。

本实用新型还提供一种龙门装置，该龙门装置应用于硅片的制备生产线，用于将待加工的硅片放置在生产线上，并将加工完成后的硅片从生产线上移出。龙门装置可以应用于任何类型的硅片的生产线，例如，该龙门装置可以应用于用于制造芯片的硅片，该龙门装置还可以应用于制造太阳能电池板的硅片的生产线。为了便于说明，以下均以该龙门装置应用于用于制造太阳能电池板的硅片的生产线为例，对该龙门装置的具体结构和工作原理进行示例性说明。该龙门装置应用于硅片的生产线的类型对该龙门装置的结构不造成任何影响。

在一些实施例中，如图9所示，该龙门装置1包括：抬升横移机构20以及如说明书附图1至8中任意一幅所示的夹取装置10。其中，抬升横移机构20 与机架100连接，以使夹取装置10垂直于第一方向运动。为了便于说明，以下将第一方向作为X方向，以垂直与第一方向的两个正交的方向分别作为Y方向和Z方向建立空间直角坐标系，对抬升横移机构20带动夹取装置10的运动方向进行示例性说明。抬升横移机构20使夹取装置10垂直于第一方向运动，可以理解为，抬升横移机构20驱动夹取装置10在YZ平面内运动。通过设置抬升横移机构20驱动夹取装置在YZ平面内运动，以根据硅片的位置整体调节夹取装置10中的各夹爪的位置，同时，夹取装置10中的活动夹爪300与固定夹爪200的沿X方向的间距能够根据硅片的尺寸调节，从而使龙门装置1中的夹取装置10能够夹取不同尺寸的硅片，扩大了龙门装置的适用范围。

需要说明的是，抬升横移机构20可以为任何能够驱动夹取装置10在YZ 平面内运动的装置，下面结合图10对抬升横移机构20的结构进行示例性说明，本领域技术人员应当理解，抬升横移机构20还可以为除图10外的其他结构。

如图10所示，抬升横移机构20包括：抬升滑台21和横移滑台22。抬升滑台21沿Z方向延伸，并与机架100固定连接，用于驱动夹取装置10沿Z方向运动。横移滑台22沿Y方向延伸，并与抬升滑台21固定连接，用于驱动抬升滑台21和夹取装置10共同沿Y方向运动，从而使夹取装置10能够在YZ 平面内运动。

在一些实施例中，如图9所示，抬升横移机构20具有两个，并沿第一方向间隔设置于夹取装置10的两侧，且均与机架100连接。其中，两个抬升横移机构20用于使夹取装置10沿第一方向的两端同时沿相同的方向运动相同的距离。可以理解为，两个抬升横移机构20用于驱动夹取装置10的两端同步运动，从而在更可靠地驱动夹取装置10在YZ平面内运动的同时，使夹取装置10中的固定夹爪200与活动夹爪300的间隔设置的方向与第一方向的夹角小于预设的夹角。示例性的，该预设的夹角为2度，对应的，夹取装置10在YZ平面内运动的过程中，固定夹爪200与活动夹爪300的间隔设置的方向与第一方向(X 方向)的夹角不大于2度。

以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种夹取装置，其特征在于，包括：

机架；

固定夹爪，与所述机架连接并在第一方向上与所述机架相对固定；

活动夹爪，与所述机架连接，并沿第一方向与所述固定夹爪间隔设置，所述活动夹爪能够相对所述机架沿所述第一方向运动以调整与所述固定夹爪的间距；

沿所述第一方向延伸的滑轨，与所述机架连接；

滑动件，套设于所述滑轨的至少部分的外部，且能够相对所述滑轨沿所述第一方向运动；

转接板，与所述滑动件固定连接；

其中，所述活动夹爪与所述滑动件固定连接；多个所述活动夹爪通过所述转接板与所述滑动件固定连接。

2.根据权利要求1所述的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置还包括：

夹爪驱动件，与所述机架固定连接，并与所述活动夹爪连接，用于驱动所述活动夹爪沿所述第一方向运动。

3.根据权利要求2所述的夹取装置，其特征在于，所述夹爪驱动件包括：

第一夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的一侧；

第二夹爪驱动件，与所述机架固定连接，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的所述一侧的相对的另一侧；

其中，所述活动夹爪具有多个，且沿所述第一方向设置于所述固定夹爪的两侧，且靠近所述第一夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第一夹爪驱动件连接，靠近所述第二夹爪驱动件的所述活动夹爪与所述第二夹爪驱动件连接。

4.根据权利要求1所述的夹取装置，其特征在于，所述活动夹爪和所述固定夹爪均包括沿第二方向间隔设置的两个夹持部，所述夹持部可相对所述机架沿所述第二方向运动，所述第二方向与所述第一方向垂直。

5.根据权利要求4所述的夹取装置，其特征在于，所述夹取装置还包括：

开合驱动组件，与所述机架固定连接，并与两个所述夹持部连接以驱动两个所述夹持部在所述第二方向上反向运动。

6.根据权利要求5所述的夹取装置，其特征在于，所述开合驱动组件包括：

开合电机，与所述机架固定连接；

第一传动组件，与所述开合电机连接，并与靠近所述第一传动组件的所述夹持部连接；

第二传动组件，与所述第一传动组件连接，随所述第一传动组件运动，并与靠近所述第二传动组件的所述夹持部连接；

其中，连接于所述第一传动组件的所述夹持部，和连接于所述第二传动组件的所述夹持部反向运动。

7.一种龙门装置，其特征在于，所述龙门装置包括：

抬升横移机构以及如权利要求1至6中任一项所述的夹取装置；

其中，所述抬升横移机构与所述机架连接，以使所述夹取装置垂直于所述第一方向运动。

8.根据权利要求7所述的龙门装置，其特征在于，所述抬升横移机构具有两个，沿第一方向分别设置于所述夹取装置的两侧，且均与所述机架连接；

其中，两个所述抬升横移机构用于使所述夹取装置沿所述第一方向的两端同时沿相同的方向运动相同距离。

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