CN218319352U - 一种硅片传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片传输装置，包括固定台、横移机构、升降机构及传送机构，横移机构与升降机构相连，传送机构与横移机构相连，固定台上设置有硅片支撑架，硅片支撑架上具有多个硅片支撑位，传送机构位于硅片支撑位的内部，传送机构上设有多个支撑卡点，硅片支撑位上设有多个硅片支撑杆。本实用新型的硅片传输装置能够实现硅片的传送，在传送过程中与硅片的接触面积小，能够减少硅片的划伤，提高硅片的产品质量。

Description

一种硅片传输装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池板领域，更具体的说，是一种硅片传输装置。

背景技术

在光伏行业太阳能电池片载板镀膜工艺中，需要将承载于承载盒（花篮）和载板中的硅片互导。其中，承载于工具花篮和载板中的硅片互导共分为两个步骤：1、将镀膜后的位于载板上的硅片装入硅片承载盒（花篮）中；2、将没有镀膜的硅片从硅片承载盒（花篮）中取出，放到载板上。

在上述两个步骤中，将硅片装入硅片承载盒或者将硅片从硅片承载盒中取出的过程中都需要用到硅片传输装置。传统的硅片传输装置一般采用传送皮带将硅片一片片从承载盒中传出或者将硅片一片片的往承载盒内传送。但是通过传送皮带传送时，硅片与传送皮带的接触面积大，且在传送过程中硅片与传送皮带会有相对滑动从而划伤硅片，影响硅片的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片传输装置，该硅片传输装置能够实现硅片的传送，在传送过程中与硅片的接触面积小，能够减少硅片的划伤，提高硅片的产品质量。

其技术方案如下：

一种硅片传输装置，包括固定台、横移机构、升降机构及传送机构，横移机构与升降机构相连，传送机构与横移机构相连，固定台上设置有硅片支撑架，硅片支撑架上具有多个硅片支撑位，传送机构位于硅片支撑位的内部，传送机构上设有多个支撑卡点，硅片支撑位上设有多个硅片支撑杆。

优选地，所述传送机构包括传送组件，传送组件包括两个相对设置的传送架及传送滑轨，传送架与传送滑轨相连，多个支撑卡点分别相对设置于两个传送架上。

优选地，所述传送组件为两个，两个传送组件在固定台的宽度方向上并排排列。

优选地，所述支撑卡点包括卡点主体，卡点主体上设有卡点部，所述卡点部为由卡点主体的上表面向下凹陷并向卡点主体的侧边倾斜的斜面。

优选地，沿着传送架的长度方向，相邻支撑卡点的卡点部相对或相背设置。

优选地，多个支撑杆分别位于卡点部相对设置的相邻支撑卡点之间。

优选地，所述固定台上还固定有规整机构，所述传送架穿过所述规整机构后将硅片输送至硅片支撑架。

优选地，所述规整机构包括规整固定架、规整驱动气缸及规整架，规整驱动气缸固定于规整固定架上，规整驱动气缸与规整架相连，相对设置的两个传送架位于两个规整架之间，规整架上固定有规整杆。

优选地，所述固定台上还固定有缓存机构，缓存机构位于规整机构与硅片支撑架之间。

优选地，所述缓存机构包括缓存移动组件、缓存固定板、缓存固定架，所述缓存固定板与缓存移动组件相连，缓存移动组件带动缓存固定板上下移动，缓存固定架固定于缓存固定板上，相对设置的两个传送架位于两个缓存固定架之间，缓存固定架的竖向方向上设置有多个缓存固定槽。

下面对本实用新型的优点或原理进行说明：

硅片传输装置上固定有硅片支撑架及传送机构，使用该硅片传输装置进行硅片的传送时，首先将传送机构传送至硅片载具的下方，然后由升降机构将传送机构顶升，在传送机构顶升过程中将硅片从载具内顶出。接着由横移机构带动传送机构移动，在硅片移动至硅片支撑架后，由升降机构带动硅片向下移动，从而将传送机构上的硅片放置于硅片支撑架上。硅片在传送机构上时由硅片支撑卡点支撑，在硅片支撑架上时由硅片支撑杆支撑。

硅片与硅片支撑卡点的接触为线接触，硅片与硅片支撑杆的接触为点接触，硅片与硅片支撑卡点及硅片支撑杆的接触面积小，能够减少硅片的划伤，提高硅片的产品质量。

附图说明

图1是本实施例的硅片传输装置的立体图；

图2是本实施例的硅片传输装置的主视图；

图3是本实施例的硅片传输装置的左视图；

图4是本实施例的硅片传输装置的俯视图；

图5是本实施例的传送组件的结构示意图；

图6是本实施例的支撑卡点的结构示意图；

附图标记说明：

10、固定台；20、横移机构；30、升降机构；40、传送机构；50、硅片支撑架；41、支撑卡点；51、硅片支撑杆；42、传送组件；420、传送架；421、传送滑轨；60、硅片；410、卡点主体；411、卡点部；70、缓存机构；71、缓存移动组件；72、缓存固定板；73、缓存固定架；74、缓存固定槽；80、规整机构；81、规整固定架；82、规整驱动气缸；83、规整架；84、规整杆。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“中”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1至图4所示，本实施例公开一种硅片传输装置，包括固定台10、横移机构20、升降机构30及传送机构40。横移机构20与升降机构30相连，传送机构40与横移机构20相连。升降机构30带动横移机构20上下移动，横移机构20带动传送机构40左右移动。固定台10上设置有硅片支撑架50，硅片支撑架50上具有多个硅片支撑位，传送机构40位于硅片支撑位的内部，传送机构40上设有多个支撑卡点41，硅片支撑位上设有多个硅片支撑杆51。

使用该硅片传输装置进行硅片60的传送时，首先将传送机构40传送至盛放硅片60的载具的下方，然后由升降机构30将传送机构40顶升，在传送机构30顶升过程中将硅片60从载具内顶出。接着由横移机构20带动传送机构40移动，在硅片60移动至硅片支撑架50后，由升降机构30带动硅片60向下移动，从而将传送机构40上的硅片60放置于硅片支撑架50上。硅片60在传送机构40上时由硅片支撑卡点41支撑，在硅片支撑架50上时由硅片支撑杆51支撑。硅片60与硅片支撑卡点41的接触为线接触，硅片60与硅片支撑杆51的接触为点接触，硅片60与硅片支撑卡点41及硅片支撑杆51的接触面积小，能够减少硅片60的划伤，提高硅片60的产品质量。

如图5所示，为了实现硅片60的传送，本实施例的传送机构40包括两个传送组件42，两个传送组件42在固定台10的宽度方向上并排排列。通过两个传送组件42可同时实现硅片60的输送，从而提高硅片60的传送效率。进一步地，传送组件42包括两个相对设置的传送架420及传送滑轨421，传送架420与传送滑轨421相连，传送架420由横移机构20带动在传送滑轨421上滑动，多个支撑卡点41分别相对设置于两个传送架420上。硅片60在传送时与支撑卡点41相接触，通过支撑卡点41进行支撑。

如图6所示，为了实现支撑卡点41对硅片60的支撑，支撑卡点41包括卡点主体410，卡点主体410上设有卡点部411，所述卡点部411为由卡点主体410的上表面向下凹陷并向卡点主体410的侧边倾斜的斜面。优选地，沿着传送架420的长度方向，相邻支撑卡点41的卡点部411相对或相背设置。硅片60在传送时，硅片60位于两个相邻的且卡点部411相对设置的支撑卡点41之间，硅片60的两端通过支撑卡点41的卡点部411固定支撑。

优选地，多个支撑杆分别位于卡点部411相对设置的相邻支撑卡点41之间。横移机构20带动传送组件42移动至硅片支撑架50处后，升降机构30带动传送架420向下移动，并令支撑卡点41的卡点部411移动至硅片支撑杆51顶部的下方。在传送架420向下移动的过程中，硅片60脱离卡点部411后置于硅片支撑杆51上，通过硅片支撑杆51进行支撑。此时硅片60处于的位置处于抓取位，用于外部的其他装置将硅片60抓取移动。

本实施例的横移机构20及升降机构30可为现有市面上使用的直线导轨模组，该直线导轨模组通过步进电机驱动移动。本实施例的升降机构30还可通过气缸等驱动升降。本实施例通过传送组件42实现硅片60的传送，相对于传统的传送皮带传送，避免了长时间运行下传送皮带脏污掉粉等污染产品。在硅片60传送的过程中，通过支撑卡点41对硅片60进行定位，定位精度高，且能够防止硅片60在传输过程中滑动。

为了对硅片60进行缓存，在固定台10上还固定有缓存机构70，缓存机构70用于在空闲时将硅片60缓存于该机构上，避免在更换载具时断片。为了实现硅片60的缓存，缓存机构70包括缓存移动组件71、缓存固定板72、缓存固定架73。其中，所述缓存固定板72与缓存移动组件71相连，缓存移动组件71带动缓存固定板72上下移动，缓存固定架73固定于缓存固定板72上。相对设置的两个传送架420位于两个缓存固定架73之间，缓存固定架73的竖向方向上设置有多个缓存固定槽74。优选地，缓存移动组件71可为现有市面上使用的直线导轨模组，缓存移动组件71通过伺服电机带动滚珠丝杆转动，进而带动缓存固定板72向上或向下移动。

进一步地，在本实施例中，共设置有六个缓存固定架73，位于两个传送组件42之间的两个缓存固定架73的相对两侧均设置有缓存固定槽74，另外四个缓存固定架73分别位于该两个缓存固定架73的两侧。

当需要对硅片60进行缓存时，首选由缓存移动组件71带动缓存固定架73向上移动，并令最上方的缓存固定槽74与输送的硅片60的高度平齐。当硅片60输送至缓存机构70时，硅片60直接进入缓存固定槽74内，接着由缓存移动组件71带动缓存固定架73向上移动即可，硅片60即可从硅片支撑卡点41上脱离。依次重复，即可将硅片60依次缓存进入缓存固定架73的缓存固定槽74内。硅片60与缓存固定槽74也为线接触，接触面积小，对硅片60的损伤小。

为了令硅片60能够顺利进入缓存机构70进行缓存，在固定台10上还固定有规整机构80，缓存机构70位于规整机构80与硅片支撑架50之间。规整机构80包括规整固定架81、规整驱动气缸82及规整架83，规整驱动气缸82固定于规整固定架81上，规整驱动气缸82与规整架83相连，相对设置的两个传送架420位于两个规整架83之间，规整架83上固定有规整杆84。硅片60输送至规整机构80后，由规整驱动气缸82带动规整架83向靠近硅片60的方向移动，并通过规整杆84对硅片60进行规整，令硅片60的两侧整理整齐以便顺利缓存机构70。

本实用新型的实施方式不限于此，按照本实用新型的上述内容，利用本领域的普通技术知识和惯用手段，在不脱离本实用新型上述基本技术思想前提下，本实用新型还可以做出其它多种形式的修改、替换或组合，均落在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅片传输装置，其特征在于，包括固定台、横移机构、升降机构及传送机构，横移机构与升降机构相连，传送机构与横移机构相连，固定台上设置有硅片支撑架，硅片支撑架上具有多个硅片支撑位，传送机构位于硅片支撑位的内部，传送机构上设有多个支撑卡点，硅片支撑位上设有多个硅片支撑杆。

2.如权利要求1所述的硅片传输装置，其特征在于，所述传送机构包括传送组件，传送组件包括两个相对设置的传送架及传送滑轨，传送架与传送滑轨相连，多个支撑卡点分别相对设置于两个传送架上。

3.如权利要求2所述的硅片传输装置，其特征在于，所述传送组件为两个，两个传送组件在固定台的宽度方向上并排排列。

4.如权利要求1至3任一项所述的硅片传输装置，其特征在于，所述支撑卡点包括卡点主体，卡点主体上设有卡点部，所述卡点部为由卡点主体的上表面向下凹陷并向卡点主体的侧边倾斜的斜面。

5.如权利要求4所述的硅片传输装置，其特征在于，沿着传送架的长度方向，相邻支撑卡点的卡点部相对或相背设置。

6.如权利要求5所述的硅片传输装置，其特征在于，多个支撑杆分别位于卡点部相对设置的相邻支撑卡点之间。

7.如权利要求2所述的硅片传输装置，其特征在于，所述固定台上还固定有规整机构，所述传送架穿过所述规整机构后将硅片输送至硅片支撑架。

8.如权利要求7所述的硅片传输装置，其特征在于，所述规整机构包括规整固定架、规整驱动气缸及规整架，规整驱动气缸固定于规整固定架上，规整驱动气缸与规整架相连，相对设置的两个传送架位于两个规整架之间，规整架上固定有规整杆。

9.如权利要求2所述的硅片传输装置，其特征在于，所述固定台上还固定有缓存机构，缓存机构位于规整机构与硅片支撑架之间。

10.如权利要求9所述的硅片传输装置，其特征在于，所述缓存机构包括缓存移动组件、缓存固定板、缓存固定架，所述缓存固定板与缓存移动组件相连，缓存移动组件带动缓存固定板上下移动，缓存固定架固定于缓存固定板上，相对设置的两个传送架位于两个缓存固定架之间，缓存固定架的竖向方向上设置有多个缓存固定槽。

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