CN218256360U - 一种晶圆载具的生产模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆载具的生产模具，属于晶圆载具加工生产技术领域，包括下模座，下模座顶部通过导向杆固定有顶板，导向杆上套设安装有上模座，下模座顶部处设置有下模具，上模座底部安装有上模具，下模具顶部处安装有固定板，上模座底部和下模具顶部处均开设有卡接腔，卡接腔内设置有定位组件，固定板底部以及上模具顶部均突出设置有卡接块；定位组件包括转动杆，转动杆的中段处套设安装有蜗轮，蜗轮上对称套设安装有J型的定位块，卡接腔内横向转动安装有蜗杆，卡接块的两端开设有供定位块卡接的卡紧槽。该一种晶圆载具的生产模具，可以在对不同尺寸的晶圆载具进行生产时，直接更换可拆卸的上模具和下模具，降低拆卸以及操作难度。

Description

一种晶圆载具的生产模具

技术领域

本实用新型属于晶圆载具加工生产技术领域，尤其涉及一种晶圆载具的生产模具。

背景技术

目前用于生产电路芯片的晶圆大小不一，晶圆直径有多种，比如4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸、16英寸、18英寸等等。晶圆加工时，多片晶圆放在晶圆仓内，晶圆仓再放入加工槽内，使流体流过晶圆仓内的晶圆进行加工，流体包括化学药液、气体、去离子纯净水，在晶圆成产过程中，通常通过晶圆载具来对晶圆进行承接，为使载具适应不同晶圆的生产需要，需要通过生产模具注塑形成不同尺寸的载具。

现有的生产模具，只能对单一的尺寸的晶圆载具进行生产，对不同晶圆载具进行生产时，需要通过龙门吊对整体模具进行更换，整体更换操作较为繁琐。

为此，我们提出来一种晶圆载具的生产模具解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中，现有的生产模具，只能对单一的尺寸的晶圆载具进行生产，对不同晶圆载具进行生产时，需要通过龙门吊对整体模具进行更换，整体更换操作较为繁琐的问题，而提出的一种晶圆载具的生产模具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆载具的生产模具，包括下模座，所述下模座顶部四角均固定有导向杆，所述导向杆顶部处固定有顶板，所述导向杆上套设安装有上模座，所述下模座顶部处开设有注塑腔，注塑腔内部设置有下模具，所述上模座底部安装有上模具，所述下模具顶部处安装有固定板，所述上模座底部和所述下模具顶部处均开设有卡接腔，卡接腔内设置有定位组件，所述固定板底部以及所述上模具顶部均突出设置有卡接块，所述卡接块与所述定位组件配合卡接；

所述定位组件包括横向转动安装在卡接腔下方的转动杆，所述转动杆的中段处套设安装有蜗轮，所述蜗轮上对称套设安装有J型的定位块，所述卡接腔内横向转动安装有蜗杆，所述蜗杆与蜗轮之间配合传动，所述卡接块的两端开设有供定位块卡接的卡紧槽。

对于设置的定位组件，反转蜗杆，蜗杆与蜗轮配合传动，从而使蜗轮转动，进而带动转动杆转动，转动杆与定位块之间螺纹配合，从而使定位块整体收回，更换上对应的尺寸的上模具或下模具，可以在工作过程中，可以在对不同尺寸的晶圆载具进行生产时，直接更换可拆卸的上模具和下模具，即可完成不同尺寸晶圆载具的生产，并不需要对整体生产模具通过龙门吊进行更换，降低拆卸以及操作难度。

作为进一步的优选方案，所述转动杆上对称开设有两个螺旋方向相反的螺纹，所述转动杆与定位块之间螺纹配合。

作为进一步的优选方案，所述下模座内部开设有滑动腔，滑动腔垂直固定有固定杆，所述固定杆上套设滑动设置有承接板，所述固定杆上套设安装有辅助承接板压覆的顶出弹簧。

得益于设置的顶出弹簧，可以在工作过程中保证承接板在升起的过程中各位置受力均匀。

作为进一步的优选方案，所述固定杆顶部穿过滑动腔固定在所述固定板底部处。

作为进一步的优选方案，所述滑动腔的中段处固定有滑杆，滑杆内转动设置有转杆，所述承接板上开设有滑腔，滑腔内固定有滑块，所述滑块套设安装在所述转杆上。

得益于安装在滑杆内的转杆，转杆与滑块之间配合使承接板上移，可以在承接板上移的过程中固定杆上移，从而使下模具整体上升，从而将成型后的载具整体撑起，能在载具加工完毕后能起到辅助脱模的作用，尽量避免出现载具在注塑腔内无法有效脱出的情况

作为进一步的优选方案，所述滑块与转杆之间螺纹配合，所述下模座内部安装有带动转杆转动的伺服电机。

作为进一步的优选方案，所述下模座底部外缘以及所述顶板外缘处均固定有安装板，所述安装板上开设有供安装的安装孔。

得益于设置安装板以及其上的安装孔，可以在工作过程中方便将上模座和下模座固定到对应的位置处。

综上所述，本实用新型的技术效果和优点：该一种晶圆载具的生产模具，通过设置的安装板以及上模座上定位组件，定位组件中的蜗轮、蜗杆、转动杆、定位块以及上模具和下模具上的卡接块和卡接槽之间的配合，可以在对不同尺寸的晶圆载具进行生产时，直接更换可拆卸的上模具和下模具，即可完成不同尺寸晶圆载具的生产，并不需要对整体生产模具通过龙门吊进行更换，降低拆卸以及操作难度；

通过设置的承接板、滑块、转动杆、伺服电机以及滑杆之间的配合，可以在工作过程中方便对生产后的晶圆载具进行有效的撑起，能避免晶圆载具在注塑腔中无法有效脱出等问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的纵向剖视图；

图3为本实用新型下模具与固定板拆分后的结构示意图；

图4为本实用新型固定板对应定位组件处的纵向剖视图；

图5为本实用新型图2中A处的放大图。

图中：1、下模座；2、顶板；3、导向杆；4、上模座；41、上模具；5、安装板；6、下模具；7、固定板；8、承接板；81、滑块；9、转杆；10、伺服电机；101、固定杆；102、顶出弹簧；11、定位组件；12、蜗轮；13、蜗杆；14、转动杆；15、定位块；16、卡接块；161、卡紧槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1和图2，一种晶圆载具的生产模具，包括下模座1，下模座1顶部四角均固定有导向杆3，导向杆3顶部处固定有顶板2，导向杆3上套设安装有上模座4，下模座1顶部处开设有注塑腔，注塑腔内部设置有下模具6，上模座4底部安装有上模具41，下模具6顶部处安装有固定板7。

上述下模座1底部外缘以及顶板2外缘处均固定有安装板5，安装板5上开设有供安装的安装孔，通过设置的安装板5以及其上的安装孔，可以在工作过程中方便将上模座4和下模座1固定到对应的位置处。

参照图2、图3和图4，上模座4底部和下模具6顶部处均开设有卡接腔，卡接腔内设置有定位组件11，固定板7底部以及上模具41顶部均突出设置有卡接块16，卡接块16与定位组件11配合卡接，定位组件11包括横向转动安装在卡接腔下方的转动杆14，转动杆14的中段处套设安装有蜗轮12，蜗轮12上对称套设安装有J型的定位块15，卡接腔内横向转动安装有蜗杆13，蜗杆13与蜗轮12之间配合传动，卡接块16的两端开设有供定位块15卡接的卡紧槽161。

通过设置的定位组件11，反转蜗杆13，蜗杆13与蜗轮12配合传动，从而使蜗轮12转动，进而带动转动杆14转动，转动杆14与定位块15之间螺纹配合，从而使定位块15整体收回，更换上对应的尺寸的上模具41或下模具6，可以在工作过程中，可以在对不同尺寸的晶圆载具进行生产时，直接更换可拆卸的上模具41和下模具6，即可完成不同尺寸晶圆载具的生产，并不需要对整体生产模具通过龙门吊进行更换，降低拆卸以及操作难度。

上述转动杆14上对称开设有两个螺旋方向相反的螺纹，转动杆14与定位块15之间螺纹配合。

参照图2和图5，下模座1内部开设有滑动腔，滑动腔垂直固定有固定杆101，固定杆101上套设滑动设置有承接板8，固定杆101上套设安装有辅助承接板8压覆的顶出弹簧102，通过设置的顶出弹簧102，可以在工作过程中保证承接板8在升起的过程中各位置受力均匀，固定杆101顶部穿过滑动腔固定在固定板7底部处，滑动腔的中段处固定有滑杆，滑杆内转动设置有转杆9，承接板8上开设有滑腔，滑腔内固定有滑块81，滑块81套设安装在转杆9上，滑块81与转杆9之间螺纹配合，下模座1内部安装有带动转杆9转动的伺服电机10。

脱模时，伺服电机10带动转杆9转动，转杆9与滑块81之间螺纹配合，从而使承接板8上移，在承接板8上移的过程中固定杆101上移，从而使下模具6整体上升，从而将成型后的载具整体撑起，能在载具加工完毕后能起到辅助脱模的作用，尽量避免出现载具在注塑腔内无法有效脱出的情况。

工作原理：当需要对上模具41或下模具6进行更换时，首先将下模具6顶出，反转蜗杆13，蜗杆13与蜗轮12配合传动，从而使蜗轮12转动，进而带动转动杆14转动，转动杆14与定位块15之间螺纹配合，从而使定位块15整体收回，更换上对应的尺寸的上模具41或下模具6，并将卡接块16卡接安装在卡接腔中，正转蜗杆13，进而使定位块15卡接安装在卡紧槽161中，从而完成上模具41和下模具6的定位安装。

注塑工作时，使上模座4压覆在下模座1顶部处，使上模具41与下模具6之间配合形成供注塑成型的载具形状，注塑成型后，启动伺服电机10，伺服电机10带动转杆9转动，转杆9与滑块81之间螺纹配合，从而使承接板8上移，在承接板8上移的过程中固定杆101上移，从而使下模具6整体上下推动，在下模具6推动的过程中将注塑成型的载具从注塑腔中推出，同时在承接板8移动的过程中顶出弹簧102被压缩，保证承接板8的各位置受力均匀，当载具推出后，将下模具6恢复原有状态。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆载具的生产模具，包括下模座(1)，其特征在于，所述下模座(1)顶部四角均固定有导向杆(3)，所述导向杆(3)顶部处固定有顶板(2)，所述导向杆(3)上套设安装有上模座(4)，所述下模座(1)顶部处开设有注塑腔，注塑腔内部设置有下模具(6)，所述上模座(4)底部安装有上模具(41)，所述下模具(6)顶部处安装有固定板(7)，所述上模座(4)底部和所述下模具(6)顶部处均开设有卡接腔，卡接腔内设置有定位组件(11)，所述固定板(7)底部以及所述上模具(41)顶部均突出设置有卡接块(16)，所述卡接块(16)与所述定位组件(11)配合卡接；

所述定位组件(11)包括横向转动安装在卡接腔下方的转动杆(14)，所述转动杆(14)的中段处套设安装有蜗轮(12)，所述蜗轮(12)上对称套设安装有J型的定位块(15)，所述卡接腔内横向转动安装有蜗杆(13)，所述蜗杆(13)与蜗轮(12)之间配合传动，所述卡接块(16)的两端开设有供定位块(15)卡接的卡紧槽(161)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述转动杆(14)上对称开设有两个螺旋方向相反的螺纹，所述转动杆(14)与定位块(15)之间螺纹配合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述下模座(1)内部开设有滑动腔，滑动腔垂直固定有固定杆(101)，所述固定杆(101)上套设滑动设置有承接板(8)，所述固定杆(101)上套设安装有辅助承接板(8)压覆的顶出弹簧(102)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述固定杆(101)顶部穿过滑动腔固定在所述固定板(7)底部处。

5.根据权利要求3所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述滑动腔的中段处固定有滑杆，滑杆内转动设置有转杆(9)，所述承接板(8)上开设有滑腔，滑腔内固定有滑块(81)，所述滑块(81)套设安装在所述转杆(9)上。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述滑块(81)与转杆(9)之间螺纹配合，所述下模座(1)内部安装有带动转杆(9)转动的伺服电机(10)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆载具的生产模具，其特征在于，所述下模座(1)底部外缘以及所述顶板(2)外缘处均固定有安装板(5)，所述安装板(5)上开设有供安装的安装孔。

Images