CN218137438U - 一种真空吸附平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种真空吸附平台,包括用于与运动模组连接的连接板,连接板上设有至少真空吸附区,每个真空吸附区内设有吸附模组,每组吸附模组包括安装在连接板上的吸附座,吸附座上设有吸附孔板,吸附座内设有真空腔,真空腔连通有抽真空管;每组吸附模组的吸附孔板与相邻吸附模组的吸附孔板保持平齐。与现有技术相比,本实用新型提供一种真空吸附平台,在连接板上划分多个真空吸附区,每个真空吸附区都设有单独的真空吸附模组,这样可根据产品的需要,选择对应的真空吸附区域内的吸附模组进行吸附,能应用于大尺寸产品的高精度真空吸附,可应用于激光打二维码设备、曝光机设备、高精度贴合设备、激光钻孔设备及激光切割设备等。
Description
技术领域
本实用新型涉及曝光加工领域,特别是一种真空吸附平台。
背景技术
现有的真空吸附平台,通常为一整块吸附孔板设置在安装架上,在吸附产品时,不能针对产品的大小进行调节吸附区域,并且整个吸附面积较小,不能吸附大尺寸产品;另外现有的吸附平台,精度低,加工制作难度大,成本高。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型提供了一种真空吸附平台,能应用于大尺寸产品的高精度真空吸附,可应用于激光打二维码设备、曝光机设备、高精度贴合设备 、激光钻孔设备及激光切割设备等。
本实用新型采用的技术方案为:
一种真空吸附平台,包括用于与运动模组连接的连接板,连接板上设有至少真空吸附区,每个真空吸附区内设有吸附模组,每组吸附模组包括安装在连接板上的吸附座,吸附座上设有吸附孔板,吸附座内设有真空腔,真空腔连通有抽真空管;每组吸附模组的吸附孔板与相邻吸附模组的吸附孔板保持平齐。
优选地,每组吸附模组中的吸附座通过平整度调节螺栓安装在连接板上,每个吸附座的两侧分别设有至少两个平整度调节螺栓,连接板上设有与平整度调节螺栓对应的螺栓孔。
更优选地,所述连接板的背面设有多个用于供抽真空管穿过的空槽。
更优选地,相邻两个吸附座上的两个抽真空管穿过同一个空槽。
更优选地,所述吸附孔板通过螺栓安装在吸附座的底面。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:本实用新型提供一种真空吸附平台,在连接板上划分多个真空吸附区,每个真空吸附区都设有单独的真空吸附模组,这样可根据产品的需要,选择对应的真空吸附区域内的吸附模组进行吸附,能应用于大尺寸产品的高精度真空吸附,可应用于激光打二维码设备、LDI曝光机设备、高精度贴合设备 、激光钻孔设备及激光切割设备等。
附图说明
图1,为本实用新型提供的一种真空吸附平台的示意图一;
图2,为本实用新型提供的一种真空吸附平台的示意图二;
图3,为本实用新型提供的一种真空吸附平台的爆炸图;
图4,为本实用新型提供的一种真空吸附平台中真空吸附模组的爆炸图。
具体实施方式
根据附图对本实用新型提供的优选实施方式做具体说明。
图1至图4,为本实用新型提供的一种真空吸附平台的优选实施方式。如图1至图4所示,该真空吸附平台包括用于与运动模组连接的连接板10,连接板上设有至少真空吸附区101,每个真空吸附区内设有吸附模组20,每组吸附模组包括安装在连接板上的吸附座21,吸附座上设有吸附孔板22,吸附孔板22通过螺栓安装在吸附座21的底面,吸附座内设有真空腔211,真空腔连通有抽真空管23;每组吸附模组的吸附孔板22与相邻吸附模组的吸附孔板22保持平齐,这样可根据产品的需要,选择对应的真空吸附区域101内的吸附模组进行吸附,能应用于大尺寸产品的高精度真空吸附,可应用于激光打二维码设备、LDI曝光机设备、高精度贴合设备 、AOI设备、激光钻孔设备及激光切割设备等。作为一种实施方式,整个吸附平台长为2000mm,宽为800mm,分为四个真空吸附区101,四个真空吸附区101对应四个吸附模组20。
每组吸附模组20中的吸附座21通过平整度调节螺栓30安装在连接板10上,每个吸附座的两侧分别设有至少两个平整度调节螺栓30,连接板10上设有与平整度调节螺栓对应的螺栓孔,这样可依据需要调整吸附座的平整度,保持连为一体的吸附孔板22平齐。
所述连接板10的背面设有多个用于供抽真空管穿过的空槽11;相邻两个吸附座上的两个抽真空管穿过同一个空槽11,这样节省空间,并且布局美观。
综上所述,本实用新型的技术方案可以充分有效的实现上述实用新型目的,且本实用新型的结构及功能原理都已经在实施例中得到充分的验证,能达到预期的功效及目的,在不背离本实用新型的原理和实质的前提下,可以对实用新型的实施例做出多种变更或修改。因此,本实用新型包括一切在专利申请范围中所提到范围内的所有替换内容,任何在本实用新型申请专利范围内所作的等效变化,皆属本案申请的专利范围之内。
Claims (5)
1.一种真空吸附平台,其特征在于:包括用于与运动模组连接的连接板,连接板上设有至少真空吸附区,每个真空吸附区内设有吸附模组,每组吸附模组包括安装在连接板上的吸附座,吸附座上设有吸附孔板,吸附座内设有真空腔,真空腔连通有抽真空管;每组吸附模组的吸附孔板与相邻吸附模组的吸附孔板保持平齐。
2.根据权利要求1所述的真空吸附平台,其特征在于:每组吸附模组中的吸附座通过平整度调节螺栓安装在连接板上,每个吸附座的两侧分别设有至少两个平整度调节螺栓,连接板上设有与平整度调节螺栓对应的螺栓孔。
3.根据权利要求1所述的真空吸附平台,其特征在于:所述连接板的背面设有多个用于供抽真空管穿过的空槽。
4.根据权利要求3所述的真空吸附平台,其特征在于:相邻两个吸附座上的两个抽真空管穿过同一个空槽。
5.根据权利要求1所述的真空吸附平台,其特征在于:所述吸附孔板通过螺栓安装在吸附座的底面。
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Legal Events
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