CN212810258U - 一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构 - Google Patents

一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构 Download PDF

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靳立辉
杜晨朋
赵晓光
杨骅
尹擎
王拓
耿名强
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    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

本发明创造提供了一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,包括外部框架、安装在外部框架上的竖向移动模组、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组;片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置、以及位于承载装置上方的扶正装置;承载装置滑动安装在竖向移动模组上,承载装置上设有承载底板,承载底板上放置有片篮盒,回弹装置安装在承载装置的侧壁上,回弹装置与承载板呈垂直状态,扶正装置安装在承载底板的上方,回弹装置与扶正装置配合将片固定在承载装置上。本发明创造所述的增强的机构结构简单,操作方便,多种定位实现片篮盒稳定运行,大大提高插片稳定性。

Description

一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构
技术领域
本发明创造属于光伏硅片制造技术领域,尤其是涉及一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构。
背景技术
随着传统化石能源枯竭,可再生能源研究收到重视,太阳能储量大、安全清洁等优势成为未来主要能源之一。产业高速发展、政策利好以及技术进步等因素的共同助力下,国内光伏发电产业的成长势头迅猛,产业维持高速增长。
在光伏硅片的制造过程中,硅片清洗是整个硅片制作流程的关键环节,发挥着重大作用。硅片插片也是提高硅片清洗效率的重要流程。硅片在清洗过程中,插片技术将硅片插入片篮中保证上道工序到下道工序间不产生任何报废品并提高工时利用率。
现有的插片机构结构比较简单,采用单一定位,导致插片过程中片篮运动不稳定,出现碎片,隐裂情况。插片机构结构复杂的占用面积大,机构笨重不方面维护。
发明内容
有鉴于此,本发明创造旨在提出一种基于硅片插片清洗机插片机构,以解决硅片插片清洗机插片机构的结构采用单一定位,导致插片过程中片篮运动不稳定,出现碎片,隐裂情况,以及插片机构结构复杂的占用面积大,机构笨重不方面维护的问题。
为达到上述目的,本发明创造的技术方案是这样实现的:
一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,包括外部框架、安装在外部框架上的竖向移动模组、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组;
所述片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置、以及位于承载装置上方的扶正装置;
所述承载装置滑动安装在竖向移动模组上,所述承载装置上设有承载底板,所述承载底板上放置有片篮盒,所述回弹装置安装在承载装置的侧壁上,所述回弹装置与承载板呈垂直状态,所述扶正装置安装在承载底板的上方,所述回弹装置与扶正装置配合将片固定在承载装置上。
进一步的,所述承载装置包括稳定装置、承载板,所述竖向移动模组包括拖链、直线模组,所述直线模组上设有多个滑动块,所述承载板通过螺栓固定在滑动块上,所述稳定装置包括滚轮、滚轮安装座,所述滚轮安装座设置在承载板顶部,所述滚轮安装在滚轮安装座上,所述滚轮直径大于承载板厚度,所述滚轮端面贴合于直线模组的侧壁,所述框架上设有横梁,所述拖链一端安装在横梁上,所述拖链的另一端安装在其中一个滑动块的侧壁上,其中一个滑动块侧壁上安装有安装件,所述拖链的另一端通过螺栓安装在安装件上。
进一步的,所述回弹装置包括主推板、与主推板连接的光轴、以及套接在光轴外壁的弹簧,所述光轴设有四个,四个光轴一端分别固定在主推板的四角上,所述承载板四角上设有光孔,所述光轴另一端贯穿承载板的光孔,所述弹簧套接在光轴远离主推板的一端,所述光轴另一端设有凸边,所述弹簧一端固定在凸边上,所述弹簧另一端固定在承载板的端面。
进一步的,所述承载板上安装有移动装置,所述移动装置包括两个主滑块、安装在两个主滑块之间的移动板、安装在移动板上的第一三角块,所述承载板的侧壁上等距离的设有四个安装块,每两个安装块之间设有安装柱,所述主滑块滑动安装在安装柱上,所述移动板两端分别与两个主滑块固定连接,所述第一三角块位于移动板的正上方,所述主推板临近承载板的侧壁上设有第二三角块,所述第一三角块、第二三角块均为直角三角形,所述第二三角块的长边端面与第一三角块的长边端面贴合。
进一步的,所述承载板上还安装有推动装置,所述推动装置包括第一气缸、用于安装第一气缸的气缸安装座,所述气缸安装座通过螺栓固定在承载板上,所述气缸安装座位于移动板的下方,所述第一气缸安装在气缸安装座上,所述第一气缸的杠杆连接移动板。
进一步的,所述承载底板一侧面垂直于承载板,所述承载底板位于承载板的底端,所述承载底板的另一侧设有夹紧装置,所述夹紧装置包括液压缸、卡爪,所述液压缸安装在承载底板底部,卡爪安装在液压缸的杠杆上一端延伸至承载底板的上方。
进一步的,竖向移动组固定在外部框架上,所述扶正装置与外部框架平行设置,所述扶正装置包括托板、控制托板的第二气缸、以及用于支撑第二气缸的横梁,所述横梁位于承载底板的上方,所述横梁通过螺栓固定在外部框架上,所述第二气缸滑动安装在横梁上,所述托板安装在气缸的杠杆上,所述托板位于夹紧装置的上方,所述托板上设有滚轮,所述滚轮端面贴合于片篮盒的侧壁。
进一步的,所述承载底板上设有防水接近传感器。
相对于现有技术,本发明创造所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构具有以下优势:
(1)本发明创造所述的硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构结构简单,操作方便,通过多种定位方式实现片篮插片时稳定运行,大大提高插片稳定性,通过左右侧推装置保证了片篮插片运行过程中的插片精度,降低碎片与隐裂数量,提高产品质量。
(2)本发明创造所述的主定位装置结构紧凑,使用三角形与滑块光轴组合改变传动方向,在有限空间内实现定位动作。
(3)本发明创造所述的底部托板加紧装置通过采用手抓形式对片篮进行双方向定位,结构简单,效果好并能用于多规格片篮。
(4)防水接近传感器安装部位设有排水槽,防止水过多影响传感器精度。
附图说明
构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解,本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造,并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中:
图1为本发明创造实施例所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构有片篮结构图;
图2为本发明创造实施例所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构无片篮结构图;
图3为本发明创造实施例所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构部分结构图;
图4为本发明创造实施例所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构部分结构正视图。
附图标记说明:
1、外部框架;2、竖向移动模组;3、稳定装置;4、回弹装置;5、推动装置;6、移动装置;7、片篮盒;8、扶正装置;9、夹紧装置;21、直线模组;22、拖链;23、滑动块;24、安装件;31、滚轮;32、滚轮安装座; 41、光轴;42、弹簧;33、承载板;34、承载底板;341、防水接近传感器;35、限位装置;51、第一气缸;52、气缸安装座;61、矩形安装块;62、第一三角块;63、主滑块;64、第二三角块;65、主推板;66、移动板;81、托板;82、第二气缸;83、横梁。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本发明创造的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明创造和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明创造的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明创造的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造。
如图1至图4所示,一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,包括外部框架1、安装在外部框架1上的竖向移动模组2、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组;
所述片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置4、以及位于承载装置上方的扶正装置8;
所述承载装置滑动安装在竖向移动模组2上,所述承载装置上设有承载底板34,所述承载底板34上放置有片篮盒7,所述承载底板34上设有限位装置35,所述片篮盒7侧壁顶在限位装置35的侧壁上,所述回弹装置4安装在承载装置的侧壁上,所述回弹装置4与承载板33呈垂直状态,所述扶正装置8安装在承载底板34的上方,所述回弹装置4与扶正装置8配合将片固定在承载装置上。
所述承载装置包括稳定装置3、承载板33,所述竖向移动模组2包括拖链22、直线模组21,所述直线模组21上设有多个滑动块23,所述承载板 33通过螺栓固定在滑动块23上,所述稳定装置3包括滚轮31、滚轮安装座 32,所述滚轮安装座32设置在承载板33顶部,所述滚轮31安装在滚轮安装座32上,所述滚轮31直径大于承载板33厚度,所述滚轮31端面贴合于直线模组21的侧壁,所述框架上设有横梁83,所述拖链22一端安装在横梁 83上,所述拖链22的另一端安装在其中一个滑动块23的侧壁上,其中一个滑动块23侧壁上安装有安装件24,所述拖链22的另一端通过螺栓安装在安装件24上。
所述滑动块23在直线模组21上进行滑动,带动拖链22进行运动,由于直线模组21运动时线路、油路在外裸露,因此采用拖链22对线路以及油路进行保护,所述直线模组21为现有的直线模组21,所述承载板33伴随着滑动块23进行滑动,所述滚轮31在直线模组21上进行滑动,所述滚轮31 起到定位作用。
所述回弹装置4包括主推板65、与主定位连接的光轴41、以及套接在光轴41外壁的弹簧42,所述光轴41设有四个,四个光轴41一端分别固定在主推板65的四角上,所述承载板33四角上设有光孔,所述光轴41另一端贯穿承载板33的光孔,所述弹簧42套接在光轴41远离主推板65的一端,所述光轴41另一端设有凸边,所述弹簧42一端固定在凸边上,所述弹簧42 另一端固定在承载板33的端面;
所述承载板33上安装有移动装置6,所述移动装置6包括两个主滑块 63、安装在两个主滑块63之间的移动板66、安装在移动板66上的第一三角块62,所述承载板33的侧壁上等距离的设有四个安装块,每两个安装块之间设有安装柱,所述主滑块63滑动安装在安装柱上,所述移动板66两端分别与两个主滑块63固定连接,所述第一三角块62位于移动板66的正上方,所述主推板65临近承载板33的侧壁上设有第二三角块64,所述第一三角块 62、第二三角块64均为直角三角形,所述第二三角块64的长边端面与第一三角块62的长边端面贴合;
所述承载板33上还安装有推动装置5,所述推动装置5包括第一气缸 51、用于安装第一气缸51的气缸安装座52,所述气缸安装座52通过螺栓固定在承载板33上,所述气缸安装座52位于移动板66的下方,所述第一气缸51安装在气缸安装座52上,所述第一气缸51的杠杆连接移动板66;
所述第一气缸51杠杆伸出,推动移动板66带动两个主滑块63在安装柱上进行滑动,滑动时第一三角块62、第二三角块64的长边的面为斜面,第一三角块62的长边与第二三角块64的面进行贴合,由于第一三角块62 的斜面向上运动时第二三角块64被逐渐顶起,主推板65随之向外移动,弹簧42锁紧,光轴41在承载板33的光孔内横向移动,对放置在承载底板34 上的片篮盒7进行压紧,可根据片篮盒7的宽度进行调整主推板65的压紧度。
所述承载底板34一侧面垂直于承载板33,所述承载底板34位于承载板 33的底端,所述承载底板34的另一侧设有夹紧装置9,所述夹紧装置9包括液压缸、卡爪,所述液压缸安装在承载底板34底部,卡爪安装在液压缸的杠杆上一端延伸至承载底板34的上方;
通过夹紧组件与主推板65对片篮盒7进行夹紧,将片篮盒7进行固定,由于卡爪由液压缸控制,因此卡爪的位置可进行移动,可根据片篮盒7的宽度大小进行控制。
竖向移动组固定在外部框架1上,所述扶正装置8与外部框架1平行设置,所述扶正装置8包括托板81、控制托板81的第二气缸82、以及用于支撑第二气缸82的横梁83,所述横梁83位于承载底板34的上方,所述横梁 83螺栓固定在外部框架1上,所述第二气缸82滑动安装在横梁83上,所述托板81安装在气缸的杠杆上,所述托板81位于夹紧装置9的上方,所述托板81上设有滚轮31,所述滚轮31端面贴合于片篮盒7的侧壁;所述承载底板34上设有防水接近传感器341
由于卡爪位于片篮盒7的下方,卡爪与限位装置35配合固定住片篮盒的底端,主推板65顶紧片篮盒7的侧壁,片篮盒7会发生倾斜,因此需要扶正装置8来将片篮盒7进行扶正,扶正装置8设置在夹紧装置9的上方,第二气缸82滑动安装在横梁83上,调整好具体的位置通过螺栓将第二气缸 82进行固定即可,所述托板81通过第二气缸82控制,可根据片篮盒7的大小调整托板81与片篮盒7的距离,使滚轮31贴合于片篮盒7的外壁,由于片篮盒7在取片篮时由直线模组21控制上下移动,因此托板81一端设置滚轮31,便于片篮盒7上下移动。
具体工作原理如下:
片篮盒7通过其他方式放置到承载底板34上。回弹装置4、推动装置5 与夹紧装置9工作,对片篮盒7进行双方向加紧,限位装置与卡爪配合可以调节片篮左右固定位置。第一气缸51工作,带动主滑块63运动,主滑块63 带动第一三角块62运动,第一三角块62与第二三角块64配合,将主推板 65推出定位片篮盒7。第二气缸82工作,托板81推出,滚轮31顶在片篮盒7侧壁上,扶正片篮盒7;直线模组21工作进行逐层插片。插片完成后。第二气缸82缩回。第二气缸82缩回,主推板65通过光轴41直线轴承在弹簧42作用力下缩回。最后夹紧装置9松开,片篮可取走进行下一步工序。
以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已,并不用以限制本发明创造,凡在本发明创造的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明创造的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:包括外部框架(1)、安装在外部框架(1)上的竖向移动模组(2)、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组;
所述片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置(4)、以及位于承载装置上方的扶正装置(8);
所述承载装置滑动安装在竖向移动模组(2)上,所述承载装置上设有承载底板(34),所述承载底板(34)上放置有片篮盒,所述回弹装置(4)安装在承载装置的侧壁上,所述回弹装置(4)与承载板(33)呈垂直状态,所述扶正装置(8)安装在承载底板(34)的上方,所述回弹装置(4)与扶正装置(8)配合将片固定在承载装置上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:所述承载装置包括稳定装置(3)、承载板(33),所述竖向移动模组(2)包括拖链(22)、直线模组(21),所述直线模组(21)上设有多个滑动块(23),所述承载板(33)通过螺栓固定在滑动块(23)上,所述稳定装置(3)包括滚轮(31)、滚轮安装座(32),所述滚轮安装座(32)设置在承载板(33)顶部,所述滚轮(31)安装在滚轮安装座(32)上,所述滚轮(31)直径大于承载板(33)厚度,所述滚轮(31)端面贴合于直线模组(21)的侧壁,所述框架上设有横梁(83),所述拖链(22)一端安装在横梁(83)上,所述拖链(22)的另一端安装在其中一个滑动块(23)的侧壁上,其中一个滑动块(23)侧壁上安装有安装件(24),所述拖链(22)的另一端通过螺栓安装在安装件(24)上。
3.根据权利要求2所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:所述回弹装置(4)包括主推板(65)、与主推板(65)连接的光轴(41)、以及套接在光轴(41)外壁的弹簧(42),所述光轴(41)设有四个,四个光轴(41)一端分别固定在主推板(65)的四角上,所述承载板(33)四角上设有光孔,所述光轴(41)另一端贯穿承载板(33)的光孔,所述弹簧(42)套接在光轴(41)远离主推板(65)的一端,所述光轴(41)另一端设有凸边,所述弹簧(42)一端固定在凸边上,所述弹簧(42)另一端固定在承载板(33)的端面。
4.根据权利要求3所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:所述承载板(33)上安装有移动装置(6),所述移动装置(6)包括两个主滑块(63)、安装在两个主滑块(63)之间的移动板(66)、安装在移动板(66)上的第一三角块(62),所述承载板(33)的侧壁上等距离的设有四个安装块,每两个安装块之间设有安装柱,所述主滑块(63)滑动安装在安装柱上,所述移动板(66)两端分别与两个主滑块(63)固定连接,所述第一三角块(62)位于移动板(66)的正上方,所述主推板(65)临近承载板(33)的侧壁上设有第二三角块(64),所述第一三角块(62)、第二三角块(64)均为直角三角形,所述第二三角块(64)的长边端面与第一三角块(62)的长边端面贴合。
5.根据权利要求2所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:所述承载板(33)上还安装有推动装置(5),所述推动装置(5)包括第一气缸(51)、用于安装第一气缸(51)的气缸安装座(52),所述气缸安装座(52)通过螺栓固定在承载板(33)上,所述气缸安装座(52)位于移动板(66)的下方,所述第一气缸(51)安装在气缸安装座(52)上,所述第一气缸(51)的杠杆连接移动板(66)。
6.根据权利要求2所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:所述承载底板(34)一侧面垂直于承载板(33),所述承载底板(34)位于承载板(33)的底端,所述承载底板(34)的另一侧设有夹紧装置(9),所述夹紧装置(9)包括液压缸、卡爪,所述液压缸安装在承载底板(34)底部,卡爪安装在液压缸的杠杆上一端延伸至承载底板(34)的上方。
7.根据权利要求1所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:竖向移动组固定在外部框架(1)上,所述扶正装置(8)与外部框架(1)平行设置,所述扶正装置(8)包括托板(81)、控制托板(81)的第二气缸(82)、以及用于支撑第二气缸(82)的横梁(83),所述横梁(83)位于承载底板(34)的上方,所述横梁(83)通过螺栓固定在外部框架(1)上,所述第二气缸(82)滑动安装在横梁(83)上,所述托板(81)安装在气缸的杠杆上,所述托板(81)位于夹紧装置(9)的上方,所述托板(81)上设有滚轮(31),所述滚轮(31)端面贴合于片篮盒(7)的侧壁。
8.根据权利要求1所述的一种硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,其特征在于:所述承载底板(34)上设有防水接近传感器(341)。
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