CN220840968U - 一种晶托卸载系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种晶托卸载系统，属于硅棒晶托技术领域，包括：本实用新型提供的晶托取料装置，通过夹持单元连接固定板，固定板的两端安装有伸缩机构，伸缩机构的运动部连接有夹爪，通过两侧的夹爪可以将晶托的两侧进行夹取，以便夹持单元通过固定板带动晶托进行移动，通过固定板携带夹紧机构对晶托进行提升或移动，活动幅度较小，能够很好的避免晶托在提升或移动过程中产生的晃动，并且操作简便。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅棒晶托技术领域，具体涉及一种晶托卸载系统。
背景技术
单晶硅是制造半导体硅器件的原料，其主要用途是用作半导体元器件的材料和用于太阳能电池的基底。太阳能电池利用太阳能光伏发电，不仅能利用取之不尽用之不竭的自然资源，而且绿色环保，在未来具有非常广阔的前景。
硅片一般通过拉晶形成的硅棒切割形成，对硅片需求的增加使得硅棒加工生产成为了新型热门行业。在硅棒生产加工过程中，晶托是其中常用的一种工具，用于将设定长度的硅棒固定住，以便于放入切割机中进行切割。硅棒固定时，一般是先将晶托上料，需要将硅棒放入至晶托内，晶托携带硅棒至待切割位置处完成下料，对硅棒进行切割。
现有技术对晶托进行下料操作时，一般采用提升机通过锁链对晶托进行提升和移动，而锁链活动性较大，导致在对晶托的提升或移动过程中，晶托可能产生较大的晃动幅度，容易影响其他设备的运作。
实用新型内容
因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中晶托采用锁链的方式提升或移动时，锁链产生的活动范围较大，可能使晶托产生较大的晃动幅度，影响其他设备的缺陷，从而提供一种晶托卸载系统。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶托卸载系统，用于在硅棒切割为硅片后的晶托脱离，包括：
夹持单元，包括有固定板、以及分别设置在所述固定板两端的伸缩机构，所述伸缩机构的运动部连接有夹爪，两所述夹爪之间的相对距离通过所述伸缩机构调整；
支撑单元，用于对所述夹持单元进行支撑并固定，还用于对所述夹持单元在水平方向上的位置进行调整。
可选地，所述伸缩机构包括固定安装在所述固定板上的滑轨，及滑动安装在所述滑轨上的滑板；
所述夹爪与所述滑板的外端部连接。
可选地，所述滑板与所述滑轨之间设有直线电机，所述直线电机适于驱动所述滑板在所述滑轨上滑动。
可选地，所述伸缩机构为气缸，所述气缸固定设置于所述固定板，所述气缸的驱动端连接所述夹爪。
可选地，所述夹爪包括夹板，所述夹板的设置方向与所述滑板的滑动方向垂直。
可选地，两个所述夹板相对的侧面的底端均伸出有支杆，两所述支杆用于对晶托进行夹持。
可选地，所述支杆端部具有倾斜部。
可选地，所述支杆与晶托接触的表面为粗糙面。
可选地，所述支撑单元为单臂吊，所述单臂吊的自由端适于与所述夹持单元连接，带动晶托移动。
可选地，所述夹持单元与单臂吊的连接方式为滑动连接。
本实用新型技术方案，具有如下优点：
1.本实用新型提供的晶托卸载系统，通过夹持单元连接固定板，固定板的两端安装有伸缩机构，伸缩机构的运动部连接有夹爪，通过两侧的夹爪可以将晶托的两侧进行夹取，以便夹持单元通过固定板带动晶托进行移动，通过固定板携带夹紧机构对晶托进行提升或移动，活动幅度较小，能够很好的避免晶托在提升或移动过程中产生的晃动，并且操作简便。并且伸缩机构的运动部连接有用于夹紧晶托侧边的夹爪，两侧的伸缩机构可以调整不同的尺寸，以适应更多规格型号的晶托。
2.本实用新型提供的晶托卸载系统，支杆端部具有倾斜部，可以更加轻松的插入至晶托待承载位置处。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的晶托卸载系统的结构示意图。
附图标记说明：
1、夹持单元；2、固定板；3、伸缩机构；31、滑板；32、滑轨；4、夹爪；41、夹板；42、支杆。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
实施例
本实施例提供了晶托卸载系统的结构示意图，如图1所示，包括夹持单元1和支撑单元(图中未画出)，夹持单元1包括有固定板2和伸缩机构，伸缩机构具有两个，分别设置在固定板2的两端，伸缩机构3的运动部连接有夹爪4，通过伸缩机构可以调节两个夹爪4之间的相对距离，夹爪4可以夹住晶托的侧边，在通过夹持单元1的驱动，携带晶托进行移动；支撑单元可以对夹持单元进行支撑和固定，还可以对夹持单元在水平方向上的位置进行调整。
本实施例中，夹持单元1包括有气缸，气缸与支撑单元进行连接，且气缸的驱动端连接固定板2。
具体的，伸缩机构3的驱动端连接有夹爪4，夹爪4可以夹紧晶托侧边。
本实施例中，伸缩机构3包括设置在固定板2上的滑轨32，及可以在滑轨32上进行滑动的滑板31，夹爪4连接在滑板31的外端部，通过滑板31在滑轨32上进行相互靠近或相互远离的滑动，可以调节夹爪4之间的夹取尺寸，以便适应不同规格型号的产品。采用滑轨32与滑板31的配合实现夹爪4夹取尺寸的调节，滑轨32与滑板31之间的接触面积较大，承力效果好，在水平面上承载晶托及硅棒的重量，滑板31不会损坏，能够保障本系统的使用寿命。
具体的，在滑轨32与滑板31之间设有直线电机，直线电机可以驱动滑板31在滑轨32上进行滑动。
作为一种可替换的实施方式，伸缩机构3也可以是固定安装在固定板2上的气缸、伸缩杆、电缸等部件，只要能够实现位于固定板2上两端的夹爪4的尺寸调节即可。伸缩机构3为安装在固定板2两端的气缸时，两个气缸的驱动端背向布置，夹爪4安装在两个气缸的驱动端上，通过气缸的伸缩运动，实现两个夹爪4之间的距离调节。
具体的，夹爪4包括夹板41，夹板41的设置方向与滑板31的滑动方向垂直，两个夹板41相对的侧面上均伸出有支杆42，支杆42可以插入至晶托内部用于对晶托进行夹持。伸缩机构3的驱动端通过伸出的长度不同，可以调整夹紧机构的夹取尺寸，以适应更多规格型号的晶托。
作为可替换的实施方式，夹持单元1也可以电缸、液压杆等结构。
具体的，在支杆42端部具有倾斜部，能够使支杆42更加便于伸入至晶托的待承载位置处。支杆42与晶托接触的表面为粗糙面，可以增大支杆42与晶托之间的摩擦力，使支杆42在拖动晶托时更加稳定。
具体地，支撑单元为单臂吊，单臂吊与夹持单元连接，并且夹持单元与单臂吊的连接方式为滑动连接，通过单臂吊的驱动，夹持单元可以在单臂吊上的吊臂上进行滑动，以实现带动晶托及硅棒进行移动。具体的，单臂吊的吊臂上滑动安装气缸，气缸的驱动端连接固定板2。
本实施例在使用时，首先控制直线电机驱动滑板31在滑轨32上进行滑动，调节两个夹爪4之间的相对距离至最大，控制夹持单元1带动夹爪4移动至晶托位置处，夹持单元1下放带有夹爪4的固定板2，至夹爪4的高度与晶托待夹取位置处；控制直线电机驱动滑板31在滑轨32上进行滑动，使两个夹爪4做相互靠近运动，直至两端的夹爪4夹紧晶托；控制夹持单元1带动夹爪4及晶托移动至指定位置，控制直线电机驱动滑板31在滑轨32上进行滑动，使两个夹爪4做相互远离运动，夹爪4脱离晶托后，控制夹持单元1进行移动，带动夹爪4回至原位，等待下一次夹取。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种晶托卸载系统，用于在硅棒切割为硅片后的晶托脱离，其特征在于，包括：
夹持单元，包括有固定板、以及分别设置在所述固定板两端的伸缩机构，所述伸缩机构的运动部连接有夹爪，两所述夹爪之间的相对距离通过所述伸缩机构调整；
支撑单元，用于对所述夹持单元进行支撑并固定，还用于对所述夹持单元在水平方向上的位置进行调整。
2.根据权利要求1所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述伸缩机构包括固定安装在所述固定板上的滑轨，及滑动安装在所述滑轨上的滑板；
所述夹爪与所述滑板的外端部连接。
3.根据权利要求2所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述滑板与所述滑轨之间设有直线电机，所述直线电机适于驱动所述滑板在所述滑轨上滑动。
4.根据权利要求1－3任一项所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述伸缩机构为气缸，所述气缸固定设置于所述固定板，所述气缸的驱动端连接所述夹爪。
5.根据权利要求2或3所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述夹爪包括夹板，所述夹板的设置方向与所述滑板的滑动方向垂直。
6.根据权利要求5所述的晶托卸载系统，其特征在于，两个所述夹板相对的侧面的底端均伸出有支杆，两所述支杆用于对晶托进行夹持。
7.根据权利要求6所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述支杆端部具有倾斜部。
8.根据权利要求6所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述支杆与晶托接触的表面为粗糙面。
9.根据权利要求1－3任一项所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述支撑单元为单臂吊，所述单臂吊的自由端适于与所述夹持单元连接，带动晶托移动。
10.根据权利要求9所述的晶托卸载系统，其特征在于，所述夹持单元与单臂吊的连接方式为滑动连接。
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