CN214641122U - 一种内置蜂窝格挡的真空吸盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种内置蜂窝格挡的真空吸盘，包括吸气板、蜂窝状格挡以及抽真空盘，吸气板上端面矩形阵列开设有若干个吸气孔，蜂窝状格挡内置于抽真空盘内，包括若干个尺寸相同的紧密相连的正六棱柱框架，相连两个正六棱柱框架的共有侧板上开设有U形通气孔，蜂窝状格挡对角线方向还开设有呈U形的抽气通道，抽真空盘底部呈中心对称地设置有校准平台，对角线方向还设置有汇流槽，汇流槽内间距均匀地开设有抽气孔，该内置蜂窝格挡的真空吸盘摒弃了传统现有吸盘的支撑棱柱过多的加工不便，成本高的设计弊端，采用蜂窝状格挡，可单独加工在组装，减少数控加工制造成本，蜂窝状格挡尺寸规格统一，也不会影响到吸气板的平面度，简单实用。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体光刻机辅助器械技术领域，具体涉及一种内置蜂窝格挡的真空吸盘。
背景技术
真空吸盘是直写式光刻机必须的零部件，但现有的真空吸盘由于吸附平台尺寸较大，对于多个待吸附的PCB板进行定位极为不便，平整度不够，对于光刻技术而言真空吸盘要求有极高的平面度参数要求，并且现有真空吸盘内部空腔支撑棱柱过于繁多，而支撑棱柱多并不会给予吸附平面的平整度带来较大帮助，反而增加了真空吸盘的数控加工制造成本。因此，我们需要特别改良设计一种降低生产成本又能满足其较高的平面度要求的真空吸盘。
实用新型内容
本实用新型所要解决的问题是：提供一种降低生产成本又能满足其较高的平面度要求的真空吸盘。
为解决上述问题采取的技术方案是：
一种内置蜂窝格挡的真空吸盘，包括吸气板、蜂窝状格挡以及抽真空盘。
所述吸气板上端面矩形阵列开设有若干个吸气孔，并且在吸气板相邻两边X轴和Y轴间距均匀地开设激光器的安装孔，用于安装激光器后给予PCB板打标定位，
所述蜂窝状格挡内置于抽真空盘内，包括若干个尺寸相同的紧密相连的正六棱柱框架，相连两个正六棱柱框架的共有侧板上开设有U形通气孔，且第三只相连的正六棱柱框架与第一或第二只正六棱柱框架的共有侧板上反向开设有U形通气孔，使得蜂窝状格挡在均匀开设有若干个U形通气孔后重心居中，不产生重心偏移，并且在蜂窝状格挡的对角线方向还开设有呈U形的抽气通道，
所述抽真空盘底部呈中心对称地设置有校准平台，所述校准平台用于配合工作台连接固定，对角线方向还设置有汇流槽，汇流槽内间距均匀地开设有抽气孔。
进一步地，所述抽气通道外接抽气设备，并将所有U形通气孔连通并抽气，以创造负压环境。
进一步地，所述校准平台上设置有螺纹孔，螺纹孔与工作台之间通过螺钉螺接固连。
进一步地，所述汇流槽底部密闭固连有底座，所述底座中部固连有抽气管。
进一步地，所述抽气管外接抽气设备，将抽真空盘的空腔内的空气抽离，并对吸气板所有吸气孔抽气，以此将放置在吸气板上端面的PCB板吸附住。
本实用新型的有益效果是：
该内置蜂窝格挡的真空吸盘摒弃了传统现有吸盘的支撑棱柱过多的加工不便，成本高的设计弊端，采用蜂窝状格挡，可单独加工在组装，减少数控加工制造成本，蜂窝状格挡尺寸规格统一，也不会影响到吸气板的平面度，简单实用。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实施例内置蜂窝格挡的真空吸盘的结构示意图；
图2为本实施例内置蜂窝格挡的真空吸盘去除吸气板的结构示意图；
图3为图2中A处的局部放大图；
图4为本实施例所述蜂窝状格挡的结构示意图；
图5为图4中B处的局部放大图；
图6为本实施例所述抽真空盘的侧仰视示意图；
其中，1-抽真空盘，2-吸气板，3-安装孔，4-吸气孔，5-蜂窝状格挡，6-上U形通气孔，7-下U形通气孔，8-抽气通道，9-校准平台，10-螺纹孔，11-汇流槽，12-抽气孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-6，该内置蜂窝格挡的真空吸盘，包括吸气板2、蜂窝状格挡5以及抽真空盘1。
具体地说，所述吸气板2上端面矩形阵列开设有若干个吸气孔4，并且在吸气板2相邻两边X轴和Y轴间距均匀地开设激光器的安装孔3，用于安装激光器后给予PCB板打标定位。
所述蜂窝状格挡5内置于抽真空盘1内，包括若干个尺寸相同的紧密相连的正六棱柱框架，相连两个正六棱柱框架的共有侧板上开设有上U形通气孔6，且第三只相连的正六棱柱框架与第一或第二只正六棱柱框架的共有侧板上反向开设有下U形通气孔7，使得蜂窝状格挡5在均匀开设有若干个U形通气孔后重心居中，不产生重心偏移，并且在蜂窝状格挡5的对角线方向还开设有呈U形的抽气通道8，所述抽气通道8外接抽气设备，并将所有U形通气孔连通并抽气，以创造负压环境。
所述抽真空盘1底部呈中心对称地设置有校准平台9，所述校准平台9用于配合工作台连接固定，所述校准平台9上设置有螺纹孔10，螺纹孔10与工作台之间通过螺钉螺接固连，对角线方向还设置有汇流槽11，汇流槽11内间距均匀地开设有抽气孔12。所述汇流槽11底部密闭固连有底座(图中未示出)，所述底座中部固连有抽气管(图中未示出)，所述抽气管外接抽气设备，将抽真空盘1的空腔内的空气抽离，并对吸气板2所有吸气孔4抽气，以此将放置在吸气板2上端面的PCB板吸附住。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种内置蜂窝格挡的真空吸盘，包括吸气板、蜂窝状格挡以及抽真空盘，其特征在于：
所述吸气板上端面矩形阵列开设有若干个吸气孔，并且在吸气板相邻两边X轴和Y轴间距均匀地开设激光器的安装孔，
所述蜂窝状格挡内置于抽真空盘内，包括若干个尺寸相同的紧密相连的正六棱柱框架，相连两个正六棱柱框架的共有侧板上开设有U形通气孔，且第三只相连的正六棱柱框架与第一或第二只正六棱柱框架的共有侧板上反向开设有U形通气孔，并且在蜂窝状格挡的对角线方向还开设有呈U形的抽气通道，
所述抽真空盘底部呈中心对称地设置有校准平台，所述校准平台用于配合工作台连接固定，对角线方向还设置有汇流槽，汇流槽内间距均匀地开设有抽气孔。
2.根据权利要求1所述的内置蜂窝格挡的真空吸盘，其特征在于：所述抽气通道外接抽气设备，并将所有U形通气孔连通并抽气。
3.根据权利要求1所述的内置蜂窝格挡的真空吸盘，其特征在于：所述校准平台上设置有螺纹孔，螺纹孔与工作台之间通过螺钉螺接固连。
4.根据权利要求1所述的内置蜂窝格挡的真空吸盘，其特征在于：所述汇流槽底部密闭固连有底座，所述底座中部固连有抽气管。
5.根据权利要求4所述的内置蜂窝格挡的真空吸盘，其特征在于：所述抽气管外接抽气设备，将抽真空盘的空腔内的空气抽离，并对吸气板所有吸气孔抽气，以此将放置在吸气板上端面的PCB板吸附住。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023184874.7U CN214641122U (zh) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 一种内置蜂窝格挡的真空吸盘 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214641122U true CN214641122U (zh) | 2021-11-09 |
Family
ID=78503045
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202023184874.7U Active CN214641122U (zh) | 2020-12-25 | 2020-12-25 | 一种内置蜂窝格挡的真空吸盘 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214641122U (zh) |
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2020
- 2020-12-25 CN CN202023184874.7U patent/CN214641122U/zh active Active
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