CN217891000U - 一种前开式晶圆传送盒的抓取装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种前开式晶圆传送盒的抓取装置，属于机械技术领域。本前开式晶圆传送盒的抓取装置，包括带有滚轮的移动座，其特征在于，所述移动座上水平设有轨道，轨道上滑动连接有滑座，移动座上还安装有推杆电机，推杆电机的推杆端部与滑座相连，滑座上竖直固定有安装杆，安装杆上固定有电动滑台，电动滑台与连接板一端相连，连接板上固定有驱动电机，且驱动电机的输出轴竖直向下，驱动电机的输出轴端部固定有带轮一，连接板另一端通过定位轴固定有带轮二，带轮一和带轮二之间套设有同步带，定位轴还与转动板一端转动连接，转动板另一端固定有安装座，安装座上固定有手指气缸，手指气缸上安装有夹块。

Description

一种前开式晶圆传送盒的抓取装置

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种抓取装置，特别是一种前开式晶圆传送盒的抓取装置。

背景技术

半导体行业中，在生产晶圆时，通常都是人工转运晶圆传送盒，需要大量人力。为了加强自动化生产，简化运输，需要引入使用自动化设备进行晶圆传送盒的抓取转运。因此，设计出一种前开式晶圆传送盒的抓取装置是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种前开式晶圆传送盒的抓取装置，该抓取装置具有抓取操作方便的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种前开式晶圆传送盒的抓取装置，包括带有滚轮的移动座，其特征在于，所述移动座上水平设有轨道，轨道上滑动连接有滑座，移动座上还安装有推杆电机，推杆电机的推杆端部与滑座相连，滑座上竖直固定有安装杆，安装杆上固定有电动滑台，电动滑台与连接板一端相连，连接板上固定有驱动电机，且驱动电机的输出轴竖直向下，驱动电机的输出轴端部固定有带轮一，连接板另一端通过定位轴固定有带轮二，带轮一和带轮二之间套设有同步带，定位轴还与转动板一端转动连接，转动板另一端固定有安装座，安装座上固定有手指气缸，手指气缸上安装有夹块。

本实用新型的工作原理如下：抓取晶圆传送盒时电动滑台带动连接板移动至与晶圆传送盒水平的高度，推杆电机推动滑座水平向前移动，使手指气缸上的夹块能够抓取晶圆传送盒，推杆电机带动滑座退回，驱动电机带动带轮一转动，带轮一通过同步带带动带轮二转动，带轮二通过转动板带动手指气缸转向，手指气缸可带动晶圆传送盒转向，抓取操作方便。

所述安装座上还固定有伸缩杆，且伸缩杆端部竖直向上，伸缩杆上螺纹连接有锁紧螺栓，伸缩杆端部连接有与晶圆传送盒上端的连接部相配合的Y型叉杆。

采用以上结构，可根据晶圆传送盒实际尺寸，需要调整夹块的夹取位置时，可利用伸缩杆对Y型叉杆的高度进行调节，通过Y型叉杆对晶圆传送盒辅助定位，方便手指气缸带动夹块抓取晶圆传送盒。

所述轨道两端设置有限位块。

所述移动座上设置有电控盒，推杆电机、电动滑台、驱动电机均通过线路与该电控盒电联。

所述夹块端部设置有压紧块，压紧块上具有呈波浪形的防滑垫。

采用以上结构，利用压紧块和防滑垫可避免晶圆传送盒松动。

与现有技术相比，本前开式晶圆传送盒的抓取装置具有该优点：本实用新型中抓取晶圆传送盒时电动滑台带动连接板移动至与晶圆传送盒水平的高度，推杆电机推动滑座水平向前移动，使手指气缸上的夹块能够抓取晶圆传送盒，推杆电机带动滑座退回，驱动电机带动带轮一转动，带轮一通过同步带带动带轮二转动，带轮二通过转动板带动手指气缸转向，手指气缸可带动晶圆传送盒转向，抓取操作方便。

附图说明

图1是本实用新型的平面结构示意图。

图2是本实用新型中晶圆传送盒的立体结构示意图。

图3是本实用新型中Y型叉杆的立体结构示意图。

图4是本实用新型中手指气缸的立体结构示意图。

图5是本实用新型中带轮一和带轮二的立体结构示意图。

图中，1、移动座；2、推杆电机；3、滑座；4、安装杆；5、电动滑台；6、带轮一；7、驱动电机；8、同步带；9、连接板；10、带轮二；11、安装座；12、伸缩杆；13、Y型叉杆；14、晶圆传送盒；15、压紧块；16、夹块；17、手指气缸；18、转动板；19、限位块；20、轨道；21、锁紧螺栓；22、防滑垫；23、定位轴；24、电控盒。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1-图5所示，本前开式晶圆传送盒的抓取装置，包括带有滚轮的移动座1，移动座1上水平设有轨道20，轨道20上滑动连接有滑座3，移动座1上还安装有推杆电机2，推杆电机2的推杆端部与滑座3相连，滑座3上竖直固定有安装杆4，安装杆4上固定有电动滑台5，电动滑台5与连接板9一端相连，连接板9上螺纹连接固定有驱动电机7，且驱动电机7的输出轴竖直向下，驱动电机7的输出轴端部固定有带轮一6，连接板9另一端通过定位轴23固定有带轮二10，带轮一6和带轮二10之间套设有同步带8，定位轴23还与转动板18一端转动连接，转动板18另一端固定有安装座11，安装座11上固定有手指气缸17，手指气缸17上安装有夹块16。

安装座11上还固定有伸缩杆12，且伸缩杆12端部竖直向上，伸缩杆12上螺纹连接有锁紧螺栓21，伸缩杆12端部连接有与晶圆传送盒14上端的连接部相配合的Y型叉杆13。

采用以上结构，可根据晶圆传送盒14实际尺寸，需要调整夹块16的夹取位置时，可利用伸缩杆12对Y型叉杆13的高度进行调节，通过Y型叉杆13对晶圆传送盒14辅助定位，方便手指气缸17带动夹块16抓取晶圆传送盒14。

轨道20两端设置有限位块19。

移动座1上设置有电控盒24，推杆电机2、电动滑台5、驱动电机7均通过线路与该电控盒24电联。

夹块16端部设置有压紧块15，压紧块15上具有呈波浪形的防滑垫22。

采用以上结构，利用压紧块15和防滑垫22可避免晶圆传送盒14松动。

推杆电机2、电动滑台5、驱动电机7通过线路与该电控盒24电联采用现有技术。

本实用新型的工作原理如下：抓取晶圆传送盒14时电动滑台5带动连接板9移动至与晶圆传送盒14水平的高度，推杆电机2推动滑座3水平向前移动，使手指气缸17上的夹块16能够抓取晶圆传送盒14，推杆电机2带动滑座3退回，驱动电机7带动带轮一6转动，带轮一6通过同步带8带动带轮二10转动，带轮二10通过转动板18带动手指气缸17转向，手指气缸17带动晶圆传送盒14转向，抓取操作方便。

以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (5)

1.一种前开式晶圆传送盒的抓取装置，包括带有滚轮的移动座(1)，其特征在于，所述移动座(1)上水平设有轨道(20)，轨道(20)上滑动连接有滑座(3)，移动座(1)上还安装有推杆电机(2)，推杆电机(2)的推杆端部与滑座(3)相连，滑座(3)上竖直固定有安装杆(4)，安装杆(4)上固定有电动滑台(5)，电动滑台(5)与连接板(9)一端相连，连接板(9)上固定有驱动电机(7)，且驱动电机(7)的输出轴竖直向下，驱动电机(7)的输出轴端部固定有带轮一(6)，连接板(9)另一端通过定位轴(23)固定有带轮二(10)，带轮一(6)和带轮二(10)之间套设有同步带(8)，定位轴(23)还与转动板(18)一端转动连接，转动板(18)另一端固定有安装座(11)，安装座(11)上固定有手指气缸(17)，手指气缸(17)上安装有夹块(16)。

2.根据权利要求1所述的前开式晶圆传送盒的抓取装置，其特征在于，所述安装座(11)上还固定有伸缩杆(12)，且伸缩杆(12)端部竖直向上，伸缩杆(12)上螺纹连接有锁紧螺栓(21)，伸缩杆(12)端部连接有与晶圆传送盒(14)上端的连接部相配合的Y型叉杆(13)。

3.根据权利要求1所述的前开式晶圆传送盒的抓取装置，其特征在于，所述轨道(20)两端设置有限位块(19)。

4.根据权利要求1所述的前开式晶圆传送盒的抓取装置，其特征在于，所述移动座(1)上设置有电控盒(24)，推杆电机(2)、电动滑台(5)、驱动电机(7)均通过线路与该电控盒(24)电联。

5.根据权利要求1所述的前开式晶圆传送盒的抓取装置，其特征在于，所述夹块(16)端部设置有压紧块(15)，压紧块(15)上具有呈波浪形的防滑垫(22)。

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