CN217672756U - 一种光掩膜板用立式手推车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光掩膜板用立式手推车，包括手推车本体，所述手推车本体上设置有板件夹紧机构，所述板件夹紧机构包括底座、以及设置于底座两端的夹紧调节装置，所述夹紧调节装置与所述底座的端部铰连接；所述底座上偏向两端部的位置均设置有固定座，所述固定座上设置有V型轮，所述V型轮配合底座两端的夹紧调节装置将立式摆放的光掩膜板夹紧定位；所述底座的中间位置设置有直线轴承座，所述底座的底部设置有支撑杆。本实用新型中通过将光掩膜板竖立着放置在底座上的V型轮上，接着通过调整夹紧调节装置的角度，使底座两端的夹紧调节机构上的V型轮将光掩膜板夹紧固定，保证光掩膜板运输过程中的稳定性。

Description

一种光掩膜板用立式手推车

技术领域

本实用新型涉及半导体基本搬运装置技术领域，特别是一种光掩膜板用立式手推车。

背景技术

随着科技的发展和电子信息技术的进步，半导体已经成为人们生活中重要的一部分。半导体已广泛地用于家电、通讯、工业制造、航空、航天等领域。半导体的生产过程中需要用到一种耗材，即光掩膜板，光掩膜板是一种硬面光掩膜材料，即光掩膜基板，它是当前及未来微细加工光掩膜制作的主流感光材料(相当于照相用的感光胶卷)。它是在平整的、高光洁度的玻璃基版上通过直流磁控溅射(SP)沉积上氮化铬-氮氧化铬薄膜而形成铬膜基版，再在其上涂敷一层光致抗蚀剂(又称光刻胶)或电子束抗蚀剂制成匀胶铬版。

因此它是半导体加工过程中不可或缺的材料，在半导体的加工过程中需要对光掩膜板进行搬运，移送到指定位置，目前所采用的方法是通过人工搬运或者将光掩膜板装入料盒中再由专门的搬运设备将光掩膜板从料盒中取出，人工搬运时由于光掩膜板通常很沉重，搬运会比较费力，而且人工搬运的过程中存在磕碰的风险，而料盒装运也会存在磕碰的风险，而且还多了一道工序，需要将其从料盒中取出，容易对基板造成损伤，因此需要研发一种设备便于对光掩膜板进行运输。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述问题，设计了一种光掩膜板用立式手推车。

实现上述目的本实用新型的技术方案为，一种光掩膜板用立式手推车，包括手推车本体，所述手推车本体上设置有板件夹紧机构，所述板件夹紧机构包括底座、以及设置于底座两端的夹紧调节装置，所述夹紧调节装置与所述底座的端部铰连接；

所述底座上偏向两端部的位置均设置有固定座，所述固定座上设置有V型轮，所述V型轮配合底座两端的夹紧调节装置将立式摆放的光掩膜板夹紧定位；

所述底座的中间位置设置有直线轴承座，所述底座的底部设置有支撑杆，所述底座通过支撑杆与所述直线轴承座上下滑动连接，且所述支撑杆上位于底座和直线轴承座之间的区域套设有弹簧。

作为本实用新型的进一步补充，两个所述夹紧调节装置相对于底座呈对称设置，所述夹紧调节装置包括固定铰支座、与固定铰支座铰连接的直角连接件、以及与直角连接件铰连接的关节件，所述关节件的上端设置有V型轮。

作为本实用新型的进一步补充，所述手推车本体上部的两端均设置有安装板，所述固定铰支座安装在安装板上，所述直角连接件的中间直角拐点位置与所述固定铰支座铰连接，所述直角连接件的两端分别与底座和关节件铰连接。

作为本实用新型的进一步补充，所述关节件的下端侧面设置有限位铰支座，所述直角连接件的上端侧面设置有锁扣，所述限位铰支座和所述锁扣之间设置有可调节的锁紧件，通过锁紧件将限位铰支座和锁扣之间锁紧连接，从而将关节件与所述直角连接件之间的转动角度限定。

作为本实用新型的进一步补充，所述手推车本体的底部设置有万向轮和定向轮。

其有益效果在于，本实用新型中通过将光掩膜板竖立着放置在底座上的V型轮上，接着通过调整夹紧调节装置的角度，使底座两端的夹紧调节机构上的V型轮将光掩膜板夹紧固定，推动手推车就可以运输光掩膜板，运输过程中产生的颠簸可以通过设置于底座底部的弹簧缓冲，从而可以防止光掩膜板产生刚性震动，损坏基板，保证光掩膜板运输过程中的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型中板件夹紧机构的结构示意图；

图3是本实用新型中夹紧调节装置的结构示意图。

图中，1、手推车本体；2、板件夹紧机构；21、底座；22、固定座；23、V型轮；24、夹紧调节装置；241、固定铰支座；242、直角连接件；243、关节件；244、限位铰支座；245、锁扣；246、锁紧件；3、直线轴承座；4、万向轮；5、定向轮；6、安装板；7、支撑杆；8、弹簧。

具体实施方式

首先说明一下本实用新型的设计初衷，由于目前人工搬运光掩膜板劳动强度，而且还可能损坏基板，如果采用料盒装运，将基板从料盒中取出也存在一定的安全风险，因此为了解决上述问题，本实用新型提出了一种光掩膜板用立式手推车。

下面结合附图对本实用新型进行具体描述，如图1所示，立式手推车主要包括手推车本体1、设置于手推车本体1上的板件夹紧机构2两大模块，如图2所示，其中板件夹紧机构2由底座21、以及设置于底座21两端的夹紧调节装置24两部分组成，并且在底座21上偏向两端部的位置均设置有固定座22，每个固定座22上都设置有V型轮23，当光掩膜板竖向立式放置到底座21上的V型轮23上后，通过调节两端的夹紧调节装置24将基板夹紧固定，接着就可以推动手推车运输了。

上述的夹紧调节装置24与底座21的端部铰连接的，如图3所示，夹紧调节装置24由固定铰支座241、与固定铰支座241铰连接的直角连接件242、以及与直角连接件242铰连接的关节件243等部件组成，而在手推车本体1上部的两端均设置有安装板6，固定铰支座241安装在安装板6上，其中在关节件243的上端也设置有V型轮23，而直角连接件242的中间直角拐点位置与固定铰支座241铰连接，直角连接件242的两端分别与底座21和关节件243铰连接，因此直角连接件242和关节件243以及底座21之间是可以随意转动的，通过调节关节件243与直角连接件242之间的角度，使得底座21两端关节件243上的V型轮23将基板紧紧夹住，而将基板夹紧后为了防止关节件243随意转动，在关节件243的下端侧面设置有限位铰支座244，直角连接件242的上端侧面设置有锁扣245，而在限位铰支座244和锁扣245之间设置有可调节的锁紧件246，当关节件243的角度调整好后，通过锁紧件246将限位铰支座244和锁扣245之间锁紧连接，从而将关节件243与直角连接件242之间的转动角度限定，使得关节件243无法转动，最终实现V型轮23将基板夹紧固定，而且通过此方式，可以对多种不同尺寸的基板进行夹紧固定，便于运输。

在手推车本体1的底部设置有万向轮4和定向轮5，带动手推车滚动，而光掩膜板在运输过程中可能会产生颠簸，夹紧的基板可能会损坏，因此在底座21的中间位置还设置有直线轴承座3，在底座21的底部设置有支撑杆7，底座21通过支撑杆7与直线轴承座3上下滑动连接，并且在支撑杆7上位于底座21和直线轴承座3之间的区域套设有弹簧8，当手推车发生颠簸时，可能会导致底座21上的V型轮23对基板造成刚性破坏，因此这时底座21底部的弹簧8可以起到缓冲的作用，将上下颠簸产生的压力吸收掉，从而可以保护基板在运输过程中的稳定性，该手推车结构虽然简单，但是可以很好的解决光掩膜板在运输过程中遇到颠簸的问题。

上述技术方案仅体现了本实用新型技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本实用新型的原理，属于本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种光掩膜板用立式手推车，包括手推车本体(1)，其特征在于，所述手推车本体(1)上设置有板件夹紧机构(2)，所述板件夹紧机构(2)包括底座(21)、以及设置于底座(21)两端的夹紧调节装置(24)，所述夹紧调节装置(24)与所述底座(21)的端部铰连接；

所述底座(21)上偏向两端部的位置均设置有固定座(22)，所述固定座(22)上设置有V型轮(23)，所述V型轮(23)配合底座(21)两端的夹紧调节装置(24)将立式摆放的光掩膜板夹紧定位；

所述底座(21)的中间位置设置有直线轴承座(3)，所述底座(21)的底部设置有支撑杆(7)，所述底座(21)通过支撑杆(7)与所述直线轴承座(3)上下滑动连接，且所述支撑杆(7)上位于底座(21)和直线轴承座(3)之间的区域套设有弹簧(8)。

2.根据权利要求1所述的一种光掩膜板用立式手推车，其特征在于，两个所述夹紧调节装置(24)相对于底座(21)呈对称设置，所述夹紧调节装置(24)包括固定铰支座(241)、与固定铰支座(241)铰连接的直角连接件(242)、以及与直角连接件(242)铰连接的关节件(243)，所述关节件(243)的上端设置有V型轮(23)。

3.根据权利要求2所述的一种光掩膜板用立式手推车，其特征在于，所述手推车本体(1)上部的两端均设置有安装板(6)，所述固定铰支座(241)安装在安装板(6)上，所述直角连接件(242)的中间直角拐点位置与所述固定铰支座(241)铰连接，所述直角连接件(242)的两端分别与底座(21)和关节件(243)铰连接。

4.根据权利要求2所述的一种光掩膜板用立式手推车，其特征在于，所述关节件(243)的下端侧面设置有限位铰支座(244)，所述直角连接件(242)的上端侧面设置有锁扣(245)，所述限位铰支座(244)和所述锁扣(245)之间设置有可调节的锁紧件(246)，通过锁紧件(246)将限位铰支座(244)和锁扣(245)之间锁紧连接，从而将关节件(243)与所述直角连接件(242)之间的转动角度限定。

5.根据权利要求1所述的一种光掩膜板用立式手推车，其特征在于，所述手推车本体(1)的底部设置有万向轮(4)和定向轮(5)。

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