CN217576765U - 硅片输送装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种硅片输送装置，包括：机架；第一传动组件，设置于机架上；第一输送带和第二输送带，设置于机架上，且均与第一传动组件传动连接；第二传动组件，设置于机架上；第三输送带和第四输送带，设置于机架上，且均与第二传动组件传动连接；以及驱动器，驱动器的输出端与第一传动组件相连；其中，第一输送带、第二输送带、第三输送带以及第四输送带并行设置，第一输送带和第二输送带绕经第二传动组件，第一输送带和第二输送带能够带动第二传动组件运转，使第二传动组件带动第三输送带和第四输送带同步运转。本申请能够兼容输送不同尺寸及形态的硅片，适用性更强。

Description

硅片输送装置

技术领域

本申请涉及输送装置的技术领域，尤其涉及一种硅片输送装置。

背景技术

目前，硅片输送机构通常采用两条并行的输送带，且两条输送带的间距可以调节，通过调节两条输送带的间距以承载输送不同尺寸的硅片。

但是采用上述输送机构，当硅片尺寸发生改变时就需要进行间距调节，不仅增加了工作量，而且调节精度也难以控制。

实用新型内容

为了兼容输送不同尺寸及形态的硅片，本申请提供一种硅片输送装置，采用如下的技术方案：

一种硅片输送装置，包括：

机架；

第一传动组件，设置于机架上；

第一输送带和第二输送带，设置于机架上，且均与第一传动组件传动连接；

第二传动组件，设置于机架上；

第三输送带和第四输送带，设置于机架上，且均与第二传动组件传动连接；以及

驱动器，驱动器的输出端与第一传动组件相连；

其中，第一输送带、第二输送带、第三输送带以及第四输送带并行设置，第一输送带和第二输送带绕经第二传动组件，第一输送带和第二输送带能够带动第二传动组件运转，使第二传动组件带动第三输送带和第四输送带同步运转；

第一输送带和第二输送带共同形成第一承载面，用于承载输送第一类硅片；第三输送带和第四输送带共同形成第二承载面，用于承载输送第二类硅片。

可选的，第二传动组件包括第一传动轴、第二传动轴、第三传动轴、两个第一传动轮和两个第二传动轮，其中：

第二传动轴和第三传动轴分别传动设置在第一传动轴的两端；

两个第一传动轮分别固定设置在第一传动轴的两端，第一输送带和第二输送带分别绕经于两个第一传动轮；

第二传动轴和第三传动轴上分别固定设置一个第二传动轮，第三输送带和第四输送带分别绕经两个第二传动轮。

可选的，第一传动轮的端面开设有卡槽，第二传动轴和第三传动轴的端部均设有与卡槽适配的连接块。

可选的，卡槽的截面为正多边形或腰形或椭圆形。

可选的，第一传动组件包括：

第四传动轴，转动连接于机架上；

两个第三传动轮，分别固定设置在第四传动轴的两端，第一输送带和第二输送带分别绕经两个第三传动轮。

可选的，硅片输送装置还包括第一安装板、第二安装板、第一滚轮组、第二滚轮组和连接板，第一安装板和第二安装板并行可拆卸安装在连接板上，连接板安装于机架上，第一滚轮组安装在第一安装板上，第二滚轮组安装在第二安装板上，第三输送带和第四输送带分别绕经第一滚轮组和第二滚轮组。

可选的，硅片输送装置还包括第一支撑板和调节螺栓，第一支撑板固定设置在机架上，且位于第一安装板和第二安装板之间，用于支撑安装第一输送带和第二输送带；

调节螺栓竖向穿设于第一支撑板，用于调节连接板与第一支撑板之间的间距。

可选的，机架上沿竖直方向设置有导轨，连接板滑动安装于导轨上。

可选的，第一滚轮组包括至少两个第一滚轮，第二滚轮组包括至少两个第二滚轮；硅片输送装置还包括四个悬臂轴，第一安装板的两端分别设置有两个悬臂轴，每个悬臂轴上安装有第一滚轮，第三输送带绕经第一滚轮；第二安装板的两端分别设置有两个悬臂轴，每个悬臂轴上安装有第二滚轮，第四输送带绕经第二滚轮。

可选的，硅片输送装置还包括第一导向张紧轮组和第二导向张紧轮组，第一导向张紧轮组用于导向张紧第一输送带和第二输送带；第二导向张紧轮组用于导向张紧第三输送带和第四输送带。

如上，采用本申请输送硅片时，根据硅片尺寸及其输送形态对其进行分类，当其为第一类硅片时，将其放置于第一承载面，即采用第一输送带和第二输送带进行输送；当其为第二类硅片时，将其放置于第二承载面，即采用第三输送带和第四输送带，或采用第一输送带、第二输送带、第三输送带和第四输送带共同输送。本申请通过驱动器控制四条并行的输送带同时运转，能够兼容不同尺寸及形态的硅片，适用性更强。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图，而并不超出本申请要求保护的范围。

图1是本申请实施例给出的硅片输送装置的一种整体结构示意图；

图2是图1另一视角的示意图；

图3是将图1中第三输送带隐藏后的示意图；

图4是第二传动组件的一种示意图。

图中，附图标记指代如下：

1、机架；11、连接板；12、第一安装板；13、第二安装板；14、第一支撑板；141、调节螺栓；15、导轨；

2、第一传动组件；21、第四传动轴；22、第三传动轮；

3、第二传动组件；31、第一传动轴；32、第二传动轴；33、第三传动轴；34、第一传动轮；341、卡槽；35、第二传动轮；36、连接块；

41、第一输送带；42、第二输送带；43、第三输送带；44、第四输送带；

5、驱动器；

6、第一导向张紧轮组；

7、第二导向张紧轮组。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。

为了易于说明，在这里可以使用诸如“上”、“下”、“左”、“右”等空间相对术语，用于说明图中示出的一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。应该理解的是，除了图中示出的方位之外，空间术语意在于包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被倒置，被叙述为位于其他元件或特征“下”的元件将定位在其他元件或特征“上”。因此，示例性术语“下”可以包含上和下方位两者。装置还可以以其他方式定位，例如旋转90度或位于其他方位，这里所用的空间相对说明可相应地解释。

市场上硅片的尺寸在不断变化，目前整片硅片有166mm*166mm、182mm*182mm、210mm*210mm、230mm*230mm等尺寸，硅片的尺寸在不断丰富，同时出现了半分片、三分片等多分硅片。其中，应理解的是，半分片指的是将整片二等分后的硅片，三分片指的是将整片三等分后的硅片。

对于硅片输送来讲，硅片的尺寸决定了输送带形成的承载面的大小，因此对于不同类型的多分片，甚至不同尺寸的整片，其所需要的承载面的大小均是不同的，而现有的输送机构显然无法兼容不同尺寸规格的硅片。

参照图1和图2，为本申请实施例公开的硅片输送装置，其包括机架1、第一传动组件2、第二传动组件3、第一输送带41、第二输送带42、第三输送带43和第四输送带44以及驱动器5。

第一传动组件2和第二传动组件3均安装在机架1上。可选的，本申请实施例中第一传动组件2位于第二传动组件3的下方。

第一输送带41、第二输送带42、第三输送带43和第四输送带44均并行安装在机架1，第一输送带41和第二输送带42相邻设置，位于第三输送带43和第四输送带44之间。第一输送带41和第二输送带42均与第一传动组件2传动连接，第三输送带43和第四输送带44均与第二传动组件3传动连接。应当理解的是，本申请所述传动连接指的是，第一传动组件2运转时，带动第一输送带41和第二输送带42同步运转，第二传动组件3运转时，带动第三输送带43和第四输送带44同步运转。

需要说明的是，第一输送带41和第二输送带42还绕经第二传动组件3。其中，驱动器5安装在机架1上，驱动器5的输出端与第一传动组件2相连，驱动器5控制第一输送带41和第二输送带42运转时，第一输送带41和第二输送带42同时带动第二传动组件3运转，进而使第二传动组件3带动第三输送带43和第四输送带44运转。从而实现驱动器5带动第一输送带41、第二输送带42、第三输送带43和第四输送带44同步运转。

第一输送带41和第二输送带42共同形成第一承载面，用于承载输送第一类硅片；第三输送带43和第四输送带44共同形成第二承载面，用于承载输送第二类硅片。应当说明的是，本申请实施例所述第一类硅片指的是，尺寸较小的整片，或者沿输送方向边长大于垂直于输送方向边长的多分片；第二类硅片指的是，尺寸较大的整片或者沿输送方向边长小于垂直于输送方向边长的多分片。可见，对于多分片来讲，其运输形态也决定了其如何放置于输送装置上。

应当理解的是，当对第二类硅片进行输送时，当第一承载面低于第二承载面的高度时，采用上述所述的第三输送带43和第四输送带44进行输送；当第一承载面和第二承载面位于同一高度时，第一输送带41、第二输送带42、第三输送带43和第四输送带44同时承载输送第二类硅片。

采用本申请输送硅片时，根据硅片尺寸及其输送形态对其进行分类，当其为第一类硅片时，将其放置于第一承载面，即采用第一输送带41和第二输送带42进行输送；当其为第二类硅片时，将其放置于第二承载面，即采用第三输送带43和第四输送带44，或采用第一输送带41、第二输送带42、第三输送带43和第四输送带44共同输送。本申请通过驱动器5控制四条并行的输送带同时运转，能够兼容不同尺寸及形态的硅片，适用性更强。

参照图1、图2和图4，根据本申请实施例一种可选的技术方案，第二传动组件3包括第一传动轴31、第二传动轴32、第三传动轴33、两个第一传动轮34和两个第二传动轮35。

第一传动轴31、第二传动轴32以及第三传动轴33的轴线位于同一直线上，第二传动轴32和第三传动轴33分别传动设置在第一传动轴31的两端。第一传动轴31、第二传动轴32以及第三传动轴33与机架1转动连接。具体的，上述所述传动设置可以为可拆卸连接，实现第一传动轴31、第二传动轴32以及第三传动轴33的同步转动即可。

两个第一传动轮34分别固定设置在第一传动轴31的两端，第一输送带41和第二输送带42分别绕经两个第一传动轮34。第二传动轴32和第三传动轴33上分别固定有一个第二传动轮35，第三输送带43和第四输送带44分别绕经两个第二传动轮35。

驱动器5驱动第一传动组件2运转时，第一传动组件2带动第一输送带41和第二输送带42同步运转，第一输送带41和第二输送带42同时带动第一传动轴31、第二传动轴32以及第三传动轴33同步转动，进而将驱动力传递至两个第二传动轮35，两个第二传动轮35转动时带动第三输送带43和第四输送带44同步转动，从而实现第一输送带41、第二输送带42、第三输送带43和第四输送带44的同步运行。同时，本申请将第一传动轴31、第二传动轴32、第三传动轴33分体设置，在不需要运输第二类硅片的情况下，可将第二传动轴32、第三传动轴33与第一传动轴31分离，从而将第三输送带43和第四输送带44从整个装置上拆卸下来，达到简化装置以及降低负载的目的。

此外，输送带的寿命有限，当达到寿命极限，需要更换时，采用分体设置的第一传动轴31、第二传动轴32、第三传动轴33，可以先将第三输送带43和第四输送带44取下，将第二传动轴32和第三传动轴33先拆下，然后再进行第一输送带41和第二输送带42的更换，便于更换皮带。

参照图4，根据本申请实施例一种可选的技术方案，第一传动轮34的两个端面上均开设有卡槽341，第二传动轴32和第三传动轴33的端部均固定设置有与卡槽341适配的连接块36。第二传动轴32和第三传动轴33的连接块36均可插设于第一传动轮34对应端的卡槽341内，当连接块36插设于卡槽341内时，限制第一传动轴31、第二传动轴32和第三传动轴33之间的相对转动。采用上述插接配合的形式，安装拆卸更为方便。

可选的，卡槽341和连接块36的截面可设置为正多边形、腰形、椭圆形等形状。

参照图2和图3，根据本申请实施例一种可选的技术方案，第一传动组件2包括第四传动轴21和两个第三传动轮22。第四传动轴21与机架1转动连接。两个第三传动轮22分别固定设置在第四传动轴21的两端，第一输送带41和第二输送带42分别绕经两个第三传动轮22。驱动器5的输出端与第四传动轴21相连，驱动器5驱动第四传动轴21转动时，两个第三传动轮22同时带动第一输送带41和第二输送带42运转。

参照图1和图2，根据本申请实施例一种可选的技术方案，机架1沿输送方向的两端分别设置有连接板11，连接板11上并行可拆卸安装有第一安装板12和第二安装板13。第一安装板12上设置有第一滚轮组，第三输送带43绕经第一滚轮组；第二安装板13上设置有第二滚轮组，第四输送带44绕经第二滚轮组。

可选的，第一滚轮组包括至少两个第一滚轮，两个第一滚轮设置在第一安装板12的两端，第三输送带43绕设于第一滚轮上。第二滚轮组包括至少两个第二滚轮，两个第二滚轮设置在第二安装板13的两端，第四输送带44绕设于第二滚轮上。具体的，第一安装板12和第二安装板13的两端分别固定安装有悬臂轴，第一滚轮和第二滚轮均安装在对应的悬臂轴上。

本申请通过第一安装板12承载安装第三输送带43，第二安装板13承载安装第四输送带44，并将第一安装板12和第二安装板13分别可拆卸连接于连接板11上，当仅采用第一输送带41和第二输送带42输送第一类硅片时，将第一安装板12、第二安装板13与连接板11分离，然后将第二传动轴32和第三传动轴33与第一传动轴31分离，即可实现第三输送带43和第四输送带44的拆卸。

参照图1和图2，根据本申请实施例一种可选的技术方案，机架1的顶部固定设置有第一支撑板14，第一支撑板14位于第一安装板12和第二安装板13之间，用于支撑安装第一输送带41和第二输送带42。可选的，第一安装板12和第二安装板13上可分别安装第二支撑板，用于支撑第三输送带43和第四输送带44。

第一支撑板14的两端分别沿竖向穿设有调节螺栓141，调节螺栓141与第一支撑板14螺纹连接。调节螺栓141的下端抵接至连接板11的上表面。

当仅采用第一输送带41和第二输送带42承接输送第一类硅片时，而该第二类硅片的尺寸较大时，为避免第三输送带43和第四输送带44接触第二类硅片，对第二类硅片的输送造成干扰，可向下旋拧调节螺栓141，调节螺栓141抵压连接板11，连接板11向下移动一小段距离，同时拉动第一安装板12和第二安装板13向下移动，进而使第三输送带43和第四输送带44的高度低于第一输送带41和第二输送带42，第二类硅片运输过程中便不会触碰第三输送带43和第四输送带44。

应当理解的是，调节螺栓141的调节行程大约在0.1-0.5mm的范围内，第三输送带43和第四输送带44不会大幅度下降，因此第二传动轴32、第三传动轴33与第一传动轴31的同轴度不会出现太大偏差，处于设备工作允许的公差范围内，不影响输送装置的正常运转。

另外，第一支撑板14的两端可开设与调节螺栓141适配的阶梯孔，调节螺栓141的螺帽部分位于阶梯孔的台阶内，避免对硅片的输送造成干扰。

可选的，本申请第一支撑板14的两端可分别设置一根通轴，第一输送带41和第二输送带42水平部分两端的滚轮同轴设置，而第三输送带43和第四输送带44的悬臂轴分别单独设置，方便对第一输送带41和第二输送带42进行微调，保证第一输送带41和第二输送带42处于同一平面。

可选的，机架1上沿竖直方向固定设置有导轨15，连接板11滑动安装于导轨15上。

将连接板11滑动设置于导轨15上，第三输送带43和第四输送带44更换使用中，当需要重新对第三输送带43和第四输送带44进行安装时，进行升降连接板11的过程中，导轨15起到导向作用，保证第三输送带43和第四输送带44始终处于同一平面，避免连接板11倾斜。

另一方面，通过调节螺栓141调整第三输送带43和第四输送带44的高度时，也可先将连接板11与导轨15解除固定，当调节螺栓141控制连接板11下降至预设位置时，再将连接板11与导轨15固定。

参照图1和图3，机架1上对应第一输送带41和第二输送带42分别设置有第一导向张紧轮组6，第一安装板12和第二安装板13上对应第三输送带43和第四输送带44分别设置有第二导向张紧轮组7。

其中，第一导向张紧轮组6包括四个第一导向张紧轮，具体的，第三传动轮22的两侧各设置有两个第一导向张紧轮。第一输送带41和第二输送带42绕过对应侧的第一传动轮34后依次绕过各个第一导向张紧轮和第三传动轮22。第二导向张紧轮组7包括四个第二导向张紧轮，具体的，第二传动轮35的两侧各设置有两个第二导向张紧轮。第三输送带43和第四输送带44依次绕过各个第二导向张紧轮和第二传动轮35。

第一导向张紧轮和第二导向张紧轮不仅对第一输送带41、第二输送带42、第三输送带43以及第四输送带44起到导向张紧作用，而且能够各个输送带与对应轮组侧表面之间的接触面积，保证驱动力的平稳传递，防止输送带打滑。

以上对本申请实施例进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明仅用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想。因此，本领域技术人员依据本申请的思想，基于本申请的具体实施方式及应用范围上做出的改变或变形之处，都属于本申请保护的范围。综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种硅片输送装置，其特征在于，所述硅片输送装置包括：

机架；

第一传动组件，设置于所述机架上；

第一输送带和第二输送带，设置于所述机架上，且均与所述第一传动组件传动连接；

第二传动组件，设置于所述机架上；

第三输送带和第四输送带，设置于所述机架上，且均与所述第二传动组件传动连接；以及

驱动器，所述驱动器的输出端与所述第一传动组件相连；

其中，所述第一输送带、所述第二输送带、所述第三输送带以及所述第四输送带并行设置，所述第一输送带和所述第二输送带绕经所述第二传动组件，所述第一输送带和所述第二输送带能够带动所述第二传动组件运转，使所述第二传动组件带动所述第三输送带和所述第四输送带同步运转；

所述第一输送带和所述第二输送带共同形成第一承载面，用于承载输送第一类硅片；所述第三输送带和所述第四输送带共同形成第二承载面，用于承载输送第二类硅片。

2.根据权利要求1所述的硅片输送装置，其特征在于，所述第二传动组件包括第一传动轴、第二传动轴、第三传动轴、两个第一传动轮和两个第二传动轮，其中：

所述第二传动轴和所述第三传动轴分别传动设置在所述第一传动轴的两端；

两个所述第一传动轮分别固定设置在所述第一传动轴的两端，所述第一输送带和所述第二输送带分别绕经于两个所述第一传动轮；

所述第二传动轴和所述第三传动轴上分别固定设置一个所述第二传动轮，所述第三输送带和所述第四输送带分别绕经两个所述第二传动轮。

3.根据权利要求2所述的硅片输送装置，其特征在于，所述第一传动轮的端面开设有卡槽，所述第二传动轴和所述第三传动轴的端部均设有与所述卡槽适配的连接块。

4.根据权利要求3所述的硅片输送装置，其特征在于，所述卡槽的截面为正多边形或腰形或椭圆形。

5.根据权利要求1所述的硅片输送装置，其特征在于，所述第一传动组件包括：

第四传动轴，转动连接于所述机架上；

两个第三传动轮，分别固定设置在所述第四传动轴的两端，所述第一输送带和所述第二输送带分别绕经两个所述第三传动轮。

6.根据权利要求2所述的硅片输送装置，其特征在于，所述硅片输送装置还包括第一安装板、第二安装板、第一滚轮组、第二滚轮组和连接板，所述第一安装板和所述第二安装板并行可拆卸安装在所述连接板上，所述连接板安装于所述机架上，所述第一滚轮组安装在所述第一安装板上，所述第二滚轮组安装在所述第二安装板上，所述第三输送带和第四输送带分别绕经所述第一滚轮组和所述第二滚轮组。

7.根据权利要求6所述的硅片输送装置，其特征在于，所述硅片输送装置还包括第一支撑板和调节螺栓，所述第一支撑板固定设置在所述机架上，且位于所述第一安装板和所述第二安装板之间，用于支撑安装所述第一输送带和所述第二输送带；

所述调节螺栓竖向穿设于所述第一支撑板，用于调节所述连接板与所述第一支撑板之间的间距。

8.根据权利要求6所述的硅片输送装置，其特征在于，所述机架上沿竖直方向设置有导轨，所述连接板滑动安装于所述导轨上。

9.根据权利要求6所述的硅片输送装置，其特征在于，所述第一滚轮组包括至少两个第一滚轮，所述第二滚轮组包括至少两个第二滚轮；所述硅片输送装置还包括四个悬臂轴，所述第一安装板的两端分别设置有两个悬臂轴，每个所述悬臂轴上安装有第一滚轮，所述第三输送带绕经所述第一滚轮；所述第二安装板的两端分别设置有两个悬臂轴，每个所述悬臂轴上安装有第二滚轮，所述第四输送带绕经所述第二滚轮。

10.根据权利要求6所述的硅片输送装置，其特征在于，所述硅片输送装置还包括第一导向张紧轮组和第二导向张紧轮组，所述第一导向张紧轮组用于导向张紧所述第一输送带和所述第二输送带；所述第二导向张紧轮组用于导向张紧所述第三输送带和第四输送带。

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