CN211197731U - 一种光刻机导正结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种光刻机导正结构，包括：转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接；第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过；第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接。本实用新型能够保证光刻的对准精度，提高产品的合格率。

Description

一种光刻机导正结构

技术领域

本实用新型涉及光刻机定位的技术领域，尤其涉及一种光刻机导正结构。

背景技术

光刻机是半导体产业的关键设备，也被誉为半导体产业皇冠上的明珠。集成电路里的晶体管是通过光刻工艺在晶圆上做出来的，光刻工艺决定了半导体的线路的线宽，同时也决定了芯片的性能和功耗，套刻精度的基本含义是指前后两道光刻工序之间彼此图形的对准精度，如果对准的偏差过大，就会之间影响产品良率。

现有技术上，板材在光刻机中定位较难，无法保证光刻的对准精度，导致产品的合格率较低。

发明内容

针对现有的光刻机存在板材定位难的上述问题，现旨在提供一种光刻机导正结构，能够保证光刻的对准精度，提高产品的合格率。

具体技术方案如下：

一种光刻机导正结构，包括：转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接，所述第一气缸用于驱动所述托板上下移动；

第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过，若干所述滚轮轴用于输送产品沿X轴方向移动；

第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二气缸用于驱动若干所述输送组件上下移动，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二电机用于驱动若干所述输送组件运行，若干所述输送组件用于输送所述产品沿Y 轴方向移动。

上述的光刻机导正结构，其中，每一所述滚轮轴均包括：一滚轴和若干滚轮，所述第一电机与所述滚轴传动连接，若干所述滚轮均设于所述滚轴上，若干所述滚轮分别与所述滚轴固定连接，且若干所述滚轮与所述滚轴同轴设置，若干所述滚轮的上表面均处于同一第一平面上，所述托板供若干所述滚轮的上表面穿过，若干所述滚轮用于输送所述产品沿X轴方向移动。

上述的光刻机导正结构，其中，每一所述输送组件均包括：一主动轮、若干从动轮组和一输送带，所述第二电机与所述主动轮传动连接，若干所述从动轮组、所述主动轮均与所述输送带传动连接，若干所述输送带的上表面均处于同一第二平面上，所述托板分别供若干所述输送带的上表面穿过，若干所述输送带用于输送所述产品沿Y轴方向移动。

上述的光刻机导正结构，其中，每一所述从动轮组均包括：三从动轮，一所述从动轮的上表面高于另外两所述从动轮的上表面，三所述从动轮均与所述输送带传动连接。

上述的光刻机导正结构，其中，每一所述输送组件还包括：

一输送带安装板，所述第二气缸与所述输送带安装板传动连接，所述第二气缸用于驱动所述输送组件上下移动；

若干安装架，若干所述安装架均设于所述输送带安装板上，若干所述从动轮、所述主动轮分别与若干所述安装架转动连接。

上述的光刻机导正结构，其中，还包括：

第一挡板，所述第一挡板设于所述托板的上方，所述第一挡板用于限制所述产品在X轴方向上的移动位置；

第二挡板，所述第二挡板设于所述托板的上方，所述第二挡板用于限制所述产品在Y轴方向上的移动位置。

上述的光刻机导正结构，其中，所述转换机构还包括：若干托板连接杆和一动板，所述动板与所述第一气缸传动连接，所述动板通过若干所述托板连接杆与所述托板固定连接，若干所述托板连接杆均呈竖直设置。

上述的光刻机导正结构，其中，所述托板上设有若干第一通槽和若干第二通槽，若干所述第一通槽分别供若干所述滚轮的上表面穿过，若干所述第二通槽分别供若干所述输送带的上表面穿过。

上述的光刻机导正结构，其中，还包括：

滚轮轴承座安装板，所述滚轮轴承安装板设于所述托板的一端，若干所述滚轴的一端分别通过第一轴承座与所述滚轮轴承座安装板转动连接；

电机安装板，所述电机安装板设于所述托板的另一端，所述第一电机设于所述电机安装板上，若干所述滚轴的另一端分别穿过所述电机安装板；

滚轮支撑板，所述滚轮支撑板设于所述电机安装板远离所述滚轮轴承座安装板的一侧，若干所述滚轴的另一端分别通过第二轴承座与所述滚轮支撑板转动连接；

固定板，所述固定板的两端分别与所述滚轮轴承座安装板的下端、所述电机安装板的下端固定连接，所述动板活动设于所述固定板的下方，若干所述托板连接杆均穿过所述固定板；

若干支撑杆，若干所述支撑杆的两端分别与所述滚轮轴承座安装板、所述电机安装板固定连接。

上述的光刻机导正结构，其中，还包括：电机调速器，所述电机调速器设于所述电机安装板上，所述电机调速器分别与所述第一电机、所述第二电机信号连接，所述电机调速器分别用于调节所述第一电机、所述第二电机的传动速度。

上述技术方案与现有技术相比具有的积极效果是：

本实用新型由第一气缸驱动托板向下运动，使托板的上表面低于若干滚轮轴的上表面，再由第一电机驱动若干滚轮轴旋转，使产品沿X轴方向运动，并由第一挡板对产品进行限位，完成产品在X轴方向上的定位，由第一气缸驱动托板向上运动，使托板的上表面高于若干滚轮轴的上表面，并由第二气缸驱动输送组件向上运动，使输送组件的上表面高于托板的上表面，由第二电机驱动输送组件运行，使产品沿Y轴方向运动，并由第二挡板对产品进行限位，完成产品在Y轴方向上的定位，从而保证了光刻机在抓取产品时，抓取位置一致性。本实用新型实现产品在光刻机中的定位，能够保证光刻的对准精度，提高了产品的合格率。

附图说明

图1为本实用新型一种光刻机导正结构的整体结构俯视图；

图2为本实用新型一种光刻机导正结构的整体结构剖视图；

图3为本实用新型一种光刻机导正结构的整体结构分解图；

图4为本实用新型一种光刻机导正结构中输送组件的结构示意图；

附图中：1、托板；2、第一气缸；3、第一电机；4、滚轮轴；5、第二气缸；6、第二电机；7、输送组件；8、滚轴；9、滚轮；10、主动轮；11、输送带；12、从动轮；13、输送带安装板；14、安装架；15、第一挡板；16、第二挡板；17、托板连接杆；18、动板；19、第一通槽；20、第二通槽；21、滚轮轴承座安装板；22、电机安装板；23、滚轮支撑板；24、固定板；25、支撑杆；26、电机调速器；27、拖链连接块。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

图1为本实用新型一种光刻机导正结构的整体结构俯视图，图2为本实用新型一种光刻机导正结构的整体结构剖视图，图3为本实用新型一种光刻机导正结构的整体结构分解图，图4为本实用新型一种光刻机导正结构中输送组件的结构示意图，如图1至图4所示，示出了一种较佳实施例的光刻机导正结构，包括：转换机构、第一输送机构和第二输送机构，转换机构包括：托板1和第一气缸2，托板1具备X轴方向和Y轴方向，第一气缸2与托板 1传动连接，第一气缸2用于驱动托板1上下移动，第一输送机构包括：一第一电机3和若干滚轮轴4，若干滚轮轴4分别与第一电机3传动连接，托板1供若干滚轮轴4的上表面穿过，若干滚轮轴4用于输送产品沿X轴方向移动，第二输送机构包括：一第二气缸5、一第二电机6和若干输送组件7，第二气缸5分别与若干输送组件7传动连接，第二气缸5用于驱动若干输送组件7上下移动，托板1供若干输送组件7的上表面穿过，第二电机6分别与若干输送组件7传动连接，第二电机6用于驱动若干输送组件7运行，若干输送组件7用于输送产品沿Y轴方向移动。

进一步，作为一种较佳的实施例，每一滚轮轴4均包括：一滚轴8和若干滚轮9，第一电机3与滚轴8传动连接，若干滚轮9均设于滚轴8上，若干滚轮9分别与滚轴8固定连接，且若干滚轮9与滚轴8同轴设置，若干滚轮9的上表面均处于同一第一平面上，托板1供若干滚轮9的上表面穿过，若干滚轮9用于输送产品沿X轴方向移动。

进一步，作为一种较佳的实施例，每一输送组件7均包括：一主动轮10、若干从动轮组和一输送带11，第二电机6与主动轮10传动连接，若干从动轮组、主动轮10均与输送带11传动连接，若干输送带11的上表面均处于同一第二平面上，托板1分别供若干输送带11的上表面穿过，若干输送带11 用于输送产品沿Y轴方向移动。

进一步，作为一种较佳的实施例，每一从动轮组均包括：三从动轮12，一从动轮12的上表面高于另外两从动轮12的上表面，三从动轮12均与输送带11传动连接。

进一步，作为一种较佳的实施例，每一输送组件7还包括：一输送带安装板13和若干安装架14，第二气缸5与输送带安装板13传动连接，第二气缸5用于驱动输送组件7上下移动，若干安装架14均设于输送带安装板13 上，若干从动轮12、主动轮10分别与若干安装架14转动连接。

进一步，作为一种较佳的实施例，光刻机导正结构还包括：第一挡板15 和第二挡板16，第一挡板15设于托板1的上方，第一挡板15用于限制产品在X轴方向上的移动位置，第二挡板16设于托板的上方，第二挡板16用于限制产品在Y轴方向上的移动位置。

以上仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围。

本实用新型在上述基础上还具有如下实施方式：

本实用新型的进一步实施例中，请继续参见图1至图4所示，转换机构还包括：若干托板连接杆17和一动板18，动板18与第一气缸2传动连接，动板18通过若干托板连接杆17与托板1固定连接，若干托板连接杆17均呈竖直设置。

本实用新型的进一步实施例中，托板1上设有若干第一通槽19和若干第二通槽20，若干第一通槽19分别供若干滚轮9的上表面穿过，若干第二通槽20分别供若干输送带11的上表面穿过。

本实用新型的进一步实施例中，光刻机导正结构还包括：滚轮轴承座安装板21，滚轮轴承安装板21设于托板1的一端，若干滚轴8的一端分别通过第一轴承座与滚轮轴承座安装板21转动连接。

本实用新型的进一步实施例中，光刻机导正结构还包括：电机安装板22，电机安装板22设于托板1的另一端，第一电机3设于电机安装板22上，若干滚轴8的另一端分别穿过电机安装板22。

本实用新型的进一步实施例中，光刻机导正结构还包括：滚轮支撑板23，滚轮支撑板23设于电机安装板22远离滚轮轴承座安装板21的一侧，若干滚轴8的另一端分别通过第二轴承座与滚轮支撑板23转动连接。

本实用新型的进一步实施例中，光刻机导正结构还包括：固定板24，固定板24的两端分别与滚轮轴承座安装板21的下端、电机安装板22的下端固定连接，动板18活动设于固定板24的下方，若干托板连接杆17均穿过固定板24。

本实用新型的进一步实施例中，光刻机导正结构还包括：若干支撑杆25，若干支撑杆25的两端分别与滚轮轴承座安装板21、电机安装板22固定连接。

本实用新型的进一步实施例中，光刻机导正结构还包括：电机调速器26，电机调速器26设于电机安装板22上，电机调速器26分别与第一电机3、第二电机6信号连接，电机调速器26分别用于调节第一电机3、第二电机6的传动速度。

优选地，托板1上设有拖链连接块27。

下面说明本实用新型的工作过程：

步骤S1：由第一气缸2驱动托板1向下运动，使托板1的上表面低于若干滚轮轴4的上表面；

步骤S2：由第一电机3驱动若干滚轮轴4旋转，使产品沿X轴方向运动，直至产品与第一挡板15相抵，由第一挡板15对产品进行限位，完成产品在X轴方向上的定位；

步骤S3：由第一气缸2驱动托板1向上运动，使托板1的上表面高于若干滚轮轴4的上表面；

步骤S4：由第二气缸5驱动输送组件7向上运动，使输送组件7的上表面高于托板1的上表面；

步骤S5：由第二电机6驱动输送组件7运行，使产品沿Y轴方向运动，直至产品与第二挡板16相抵，由第二挡板16对产品进行限位，完成产品在 Y轴方向上的定位。

本实用新型的这种第一输送机构和第二输送机构并不同时且分离的运动可以使产品在沿其中一轴运动时而不受另一轴输送机构的影响，从而保证了产品输送时的定位精度。

本实用新型实现产品在光刻机中的定位，从而保证了光刻机在抓取产品时，抓取位置一致性，能够保证光刻的对准精度，提高了产品的合格率。

以上所述仅为本实用新型较佳的实施例，并非因此限制本实用新型的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本实用新型说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种光刻机导正结构，其特征在于，包括：

转换机构，所述转换机构包括：托板和第一气缸，所述托板具备X轴方向和Y轴方向，所述第一气缸与所述托板传动连接，所述第一气缸用于驱动所述托板上下移动；

第一输送机构，所述第一输送机构包括：一第一电机和若干滚轮轴，若干所述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接，所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过，若干所述滚轮轴用于输送产品沿X轴方向移动；

第二输送机构，所述第二输送机构包括：一第二气缸、一第二电机和若干输送组件，所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二气缸用于驱动若干所述输送组件上下移动，所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过，所述第二电机分别与若干所述输送组件传动连接，所述第二电机用于驱动若干所述输送组件运行，若干所述输送组件用于输送所述产品沿Y轴方向移动。

2.根据权利要求1所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述滚轮轴均包括：一滚轴和若干滚轮，所述第一电机与所述滚轴传动连接，若干所述滚轮均设于所述滚轴上，若干所述滚轮分别与所述滚轴固定连接，且若干所述滚轮与所述滚轴同轴设置，若干所述滚轮的上表面均处于同一第一平面上，所述托板供若干所述滚轮的上表面穿过，若干所述滚轮用于输送所述产品沿X轴方向移动。

3.根据权利要求2所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述输送组件均包括：一主动轮、若干从动轮组和一输送带，所述第二电机与所述主动轮传动连接，若干所述从动轮组、所述主动轮均与所述输送带传动连接，若干所述输送带的上表面均处于同一第二平面上，所述托板分别供若干所述输送带的上表面穿过，若干所述输送带用于输送所述产品沿Y轴方向移动。

4.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述从动轮组均包括：三从动轮，一所述从动轮的上表面高于另外两所述从动轮的上表面，三所述从动轮均与所述输送带传动连接。

5.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，每一所述输送组件还包括：

一输送带安装板，所述第二气缸与所述输送带安装板传动连接，所述第二气缸用于驱动所述输送组件上下移动；

若干安装架，若干所述安装架均设于所述输送带安装板上，若干所述从动轮、所述主动轮分别与若干所述安装架转动连接。

6.根据权利要求1所述光刻机导正结构，其特征在于，还包括：

第一挡板，所述第一挡板设于所述托板的上方，所述第一挡板用于限制所述产品在X轴方向上的移动位置；

第二挡板，所述第二挡板设于所述托板的上方，所述第二挡板用于限制所述产品在Y轴方向上的移动位置。

7.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，所述转换机构还包括：若干托板连接杆和一动板，所述动板与所述第一气缸传动连接，所述动板通过若干所述托板连接杆与所述托板固定连接，若干所述托板连接杆均呈竖直设置。

8.根据权利要求3所述光刻机导正结构，其特征在于，所述托板上设有若干第一通槽和若干第二通槽，若干所述第一通槽分别供若干所述滚轮的上表面穿过，若干所述第二通槽分别供若干所述输送带的上表面穿过。

9.根据权利要求7所述光刻机导正结构，其特征在于，还包括：

滚轮轴承座安装板，所述滚轮轴承座安装板设于所述托板的一端，若干所述滚轴的一端分别通过第一轴承座与所述滚轮轴承座安装板转动连接；

电机安装板，所述电机安装板设于所述托板的另一端，所述第一电机设于所述电机安装板上，若干所述滚轴的另一端分别穿过所述电机安装板；

滚轮支撑板，所述滚轮支撑板设于所述电机安装板远离所述滚轮轴承座安装板的一侧，若干所述滚轴的另一端分别通过第二轴承座与所述滚轮支撑板转动连接；

固定板，所述固定板的两端分别与所述滚轮轴承座安装板的下端、所述电机安装板的下端固定连接，所述动板活动设于所述固定板的下方，若干所述托板连接杆均穿过所述固定板；

若干支撑杆，若干所述支撑杆的两端分别与所述滚轮轴承座安装板、所述电机安装板固定连接。

10.根据权利要求9所述光刻机导正结构，其特征在于，还包括：电机调速器，所述电机调速器设于所述电机安装板上，所述电机调速器分别与所述第一电机、所述第二电机信号连接，所述电机调速器分别用于调节所述第一电机、所述第二电机的传动速度。

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