CN217229415U

CN217229415U - 微孔复合材料陶瓷真空吸盘

Info

Publication number: CN217229415U
Application number: CN202220756455.6U
Authority: CN
Inventors: 许明朗; 庞克学; 刘美凤
Original assignee: Suzhou Zhengye Jiukun Information Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Zhengye Jiukun Information Technology Co ltd
Priority date: 2022-04-01
Filing date: 2022-04-01
Publication date: 2022-08-19
Anticipated expiration: 2032-04-01

Abstract

本实用新型公开了一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，包括框架板和镶嵌板和镶块，所述镶嵌板上表面设有若干镶槽，镶嵌板在镶槽下方设有吸气槽，镶嵌板的侧壁或底面设有与吸气槽相通的吸气孔，所述镶块为微孔复合陶瓷镶块，具有光滑的上表面；镶块镶嵌在镶槽内，镶块表面高于镶嵌板上表面，镶槽侧壁顶端与镶块周边密封连接；所述镶嵌板位于框架上方，镶嵌板通过限位件和弹性件与框架板弹性连接，相对框架板作上下小幅活动。本实用新型吸附效果好，能有效保护了被吸附物在吸附和搬运等过程中的安全。

Description

微孔复合材料陶瓷真空吸盘

技术领域

本实用新型属于真空吸盘技术领域，尤其涉及一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘。

背景技术

多孔真空吸盘作为一种通过抽真空形成负压来吸附工件的承载平台，被广泛应用于半导体、磁性材料以及光电等行业的工件研磨、抛光、清洗、搬运等工序。现有的多孔真空吸盘都是利用铝板和不锈钢板上的槽或孔来吸附被吸附物或待加工物品，但是这种方法会导致被吸附物凹下到槽孔里，失去吸附精度。此外，现有技术的多孔真空吸盘都是刚性连接结构，在吸附物品时不能有效地保护被吸附物，容易造成被吸附物的损坏。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，用以解决现有的多孔真空吸盘在吸取被吸附物后容易在吸盘表面的槽孔处形成凹陷，吸附精度低，且不能有效保护被吸附物。

为了达到上述技术效果，本实用新型采用的技术方案是：

一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，包括框架板和镶嵌板和镶块，所述镶嵌板上表面设有若干镶槽，镶嵌板在镶槽下方设有吸气槽，镶嵌板的侧壁或底面设有与吸气槽相通的吸气孔，所述镶块为微孔复合材料陶瓷镶块，具有光滑的上表面；镶块镶嵌在镶槽内，镶块表面高于镶嵌板上表面，镶槽侧壁顶端与镶块周边密封连接；所述镶嵌板位于框架板上方，并与框架板中心对齐，镶嵌板通过限位件和弹性件与框架板弹性连接，相对框架板作上下小幅活动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型镶块通过采用微孔复合材料陶瓷，取材和加工方便，能够有效防止被吸附物表面出现划痕，且无论被吸附物是磁性还是非磁性，都可以稳定吸住，吸附面吸力均一，可以用来固定很薄的加工物，像薄膜一类。通过吸气孔连接真空阀可以调节吸附力的大小，在湿度大，有粘合液体的环境下也可以工作。另外，镶嵌板通过限位件和弹性件与框架板活动连接，相对框架板作上下小幅活动，从而在吸附被吸附物品时或搬运被吸附物过程中能够起到缓冲功能，有效保护被吸附物的安全。

进一步地，所述框架板为十字型结构或X型结构，所述限位件和弹性件均设有四组，对应分布在框架板的四个角部。四组这样的机构增加了吸附物品时的稳定性。

进一步地，所述镶嵌板为正方形结构，所述框架板为十字型结构，并沿镶嵌板对角线方向设置。

进一步地，所述框架板下表面中部设有限位槽，所述限位槽内设有若干穿孔。限位槽及穿孔用于与外部产品(旋转器等)限定位和固定，被吸附物可以随着旋转器一起旋转，安装和使用方便。

进一步地，所述镶嵌板中部设有安装孔，所述安装孔的尺寸大于限位槽尺寸。在机械手抓取本微孔复合材料陶瓷真空吸盘与外部产品固定时，安装孔尺寸设计为实现自动化安装提供可靠性和便捷性。

进一步地，所述安装孔的四周均设有镶槽，若干镶嵌板下方的吸气槽不连通，每一吸气槽均对应设有吸气孔，用于和外部吸气装置的吸嘴连接。在同一镶嵌板表面镶嵌多个镶块，且具有相互独立的吸气孔和吸气槽，只要根据被加工物的形状和尺寸，来选择相对应的镶块区域和吸气孔，从而可以同时固定多种形状的被吸附物。

进一步地，所述微孔复合陶瓷镶块内的气孔均匀分布，孔径为1～100μ m，孔隙度为40％。通过1～100μm的微小气孔把空气吸出，使得加工物在陶瓷面真正实现真空吸附固定，不会让被吸附物在吸盘表面的吸附孔处形成凹陷，吸附精度高。

进一步地，所述镶块上表面周边设有倒斜面，所述倒斜面与镶槽侧壁形成密封槽，镶块通过灌胶方式密封嵌设在镶槽内。

进一步地，所述限位件为行程导柱导套组件。行程导柱导套组件设有导柱和导套，所述导套与框架板固定连接，所述导柱穿过导套与镶嵌板固定连接。

进一步地，所述弹性件为弹簧，所述框架板上表面和镶嵌板下表面设有相对应的弹簧限位孔，所述弹簧安装在弹簧限位孔内。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细说明，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。需要说明的是，微孔复合材料陶瓷作为吸附面材，现有技术中主要用于半导体行业，也可以代替石盘。微孔复合材料陶瓷盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状，可实现高精度切割，表面光滑度高，吸附面吸力均一，可以用来固定很薄的加工物，如薄膜等，同时也能有效消除静电。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型分解图；

图3为本实用新型俯的镶嵌板结构示意图；

图4为图1的A部位放大视图；

图5为图3的B部位放大视图。

图中各标号和对应的名称为：

1.框架板； 11.限位槽； 2.镶嵌板；

21.镶槽； 22.吸气槽； 23.吸气孔；

24.安装孔； 25.取放孔； 3.镶块；

31.倒斜面； 32.密封槽； 4.行程导柱导套组件；

41.导柱； 42.导套； 5.弹簧

具体实施方式

一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，如图1-5所示，其包括框架板1、镶嵌板2和镶块3，其中，镶块3为微孔复合材料陶瓷镶块，气孔均匀分布，孔径为1～100μm，孔隙度为40％。镶嵌板2为正方形结构，框架板1为十字型结构，并沿镶嵌板2对角线方向设置在镶嵌板2下方。框架板1的十字型的角部及对应的镶嵌板2的四个角部通过行程导柱导套组件4滑动连接，使镶嵌板2与框架板1作相对靠近或远离的小幅动作。其中，行程导柱导套组件4 设有导柱41和导套42，导套42与框架板1固定连接，导柱41穿过导套42 与镶嵌板2固定连接。镶嵌板2下表面及框架板1上表面在靠近行程导柱导套组件4处设有相互对应的弹簧限位孔，镶嵌板2和框架板1通过设置在弹簧限位孔内的弹簧5弹性连接。框架板1下表面中部设有限位槽11，限位槽 11内设有若干穿孔。限位槽11及穿孔用于与外部产品旋转器限定位和固定，随着旋转器一起旋转，安装和使用方便。镶嵌板2中部设有安装孔24，安装孔24的尺寸大于限位槽11尺寸。在机械手抓取本微孔复合材料陶瓷真空吸盘与外部产品固定时，安装孔24尺寸设计为实现自动化安装提供可靠性和便捷性。镶嵌板2上表面安装孔24的四周各设有两个长方形镶槽21，镶嵌板2 在镶槽21下方设有吸气槽22，镶嵌板2的侧壁或底面设有与吸气槽22相通的吸气孔23。每一镶嵌板2下方的吸气槽22不连通，每一吸气槽22均对应设有吸气孔23，用于连接外部吸气装置的吸嘴。镶块3镶嵌在镶槽21内，且其上表面高于镶嵌板2上表面。为便于镶块3的取放，镶嵌板2在镶槽21的四个角部还设有取放孔25，取放孔25的底部不低于镶槽21的槽底。为便于镶块3与镶槽21边缘密封及固定，镶块3上表面周边设有倒斜面31，倒斜面 31底边低于与镶槽21侧壁顶端形成一圈密封槽32，镶块3通过在密封槽32 及取放孔25内灌胶的方式密封嵌设在镶槽21内。

本实用新型镶嵌板2通过行程限位组件和弹簧5与框架板1活动连接，从而在吸附被吸附物品时，或加工、搬运被吸附物过程中能够起到缓冲功能，有效保护被吸附物的安全。通过在同一镶嵌板2表面镶嵌多个镶块3，且具有相互独立的吸气孔23和吸气槽22，从而，只要根据被吸附物的形状和尺寸，来选择相对应的镶块3区域和吸气孔23，从而可以同时固定多种形状的被吸附物。通过1～100μm的镶块3微孔把空气吸出，使得加工物在陶瓷面真正实现真空吸附固定，不会让被吸附物在吸盘表面的吸附孔处形成凹陷，吸附精度高。

本实用新型不局限于上述具体的实施方式，对于本领域的普通技术人员来说从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所作出的种种变换，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，包括框架板、镶嵌板和镶块，所述镶嵌板上表面设有若干镶槽，镶嵌板在镶槽下方设有吸气槽，镶嵌板的侧壁或底面设有与吸气槽相通的吸气孔，所述镶块为微孔复合材料陶瓷镶块，镶块镶嵌在镶槽内，镶块表面高于镶嵌板上表面，镶槽侧壁顶端与镶块周边密封连接；所述镶嵌板位于框架板上方，并与框架板中心对齐，镶嵌板通过限位件和弹性件与框架板弹性连接。

2.根据权利要求1所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述框架板为十字型结构或X型结构，所述限位件和弹性件均设有四组，对应分布在框架板的四个角部。

3.根据权利要求2所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述镶嵌板为正方形结构，所述框架板为十字型结构，并沿镶嵌板对角线方向设置。

4.根据权利要求2或3所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述框架板下表面中部设有限位槽，所述限位槽内设有若干穿孔。

5.根据权利要求4所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述镶嵌板中部设有安装孔，所述安装孔的尺寸大于限位槽尺寸。

6.根据权利要求5所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述安装孔的四周均设有镶槽，若干镶嵌板下方的吸气槽不连通，每一吸气槽均对应设有吸气孔。

7.根据权利要求1所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述微孔复合陶瓷镶块内的气孔均匀分布，气孔孔径为1～100μm。

8.根据权利要求1所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述镶块上表面周边设有倒斜面，所述倒斜面与镶槽侧壁形成密封槽，镶块通过灌胶方式密封嵌设在镶槽内。

9.根据权利要求1所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述限位件为行程导柱导套组件。

10.根据权利要求9所述的微孔复合材料陶瓷真空吸盘，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述框架板上表面和镶嵌板下表面设有相对应的弹簧限位孔，所述弹簧安装在弹簧限位孔内。