CN216706291U - 除尘机构及蚀刻机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种除尘机构，包括承载座、吸尘罩以及第一风刀组件。吸尘罩与承载座间隔设置，吸尘罩具有连通的吸尘口及连通口，吸尘口朝向承载座，连通口与抽气机构连通，第一风刀组件连接于吸尘罩，第一风刀组件具有相互连通的第一进风口及第一出风口，第一进风口与吹气机构连通，第一出风口朝向承载座，且与承载座间隔设置。将工件放置于承载座上，吸尘罩的吸尘口朝向工件，同时第一出风口也朝向承载座，抽气机构和吹气机构动作，吸尘口内产生负压，第一出风口朝承载座吹出的气体会朝吸尘口流动。在工件加工的过程中，气流会将加工产生的粉尘带入吸尘口内排出，避免粉尘影响工件加工，提高了加工质量。本实用新型还涉及一种蚀刻机。

Description

除尘机构及蚀刻机

技术领域

本实用新型涉及激光加工技术领域，特别是涉及一种除尘机构及蚀刻机。

背景技术

随着科技的发展，激光加工开始被广泛应用，激光加工为非接触式加工、速度快、无噪声、可实现各种复杂形状的高精度加工，同时不会带来传统加工上的刀具快速磨损问题。目前高功率激光被广泛应用在热处理行业、精密焊接行业、高精度切割行业及电池能刻蚀行业等。这些加工过程主要是通过强激光束作为热源对被加工件进行加热，从而使被加工件实现快速升温，主要应用于发生气化等物理过程。

激光刻蚀技术拥有与被加工件零接触、加工过程无严重污染，同时可实现微米级精度加工的特点。现在，随着激光器质量的提高和控制系统的不断提升，激光刻蚀已经被广泛应用了，但是在激光刻蚀过程中，因加工产生的粉尘颗粒是亟待解决的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对的激光蚀刻过程中产生粉尘颗粒无法处理问题，提供一种去除激光蚀刻过程中产生的粉尘颗粒的除尘机构及蚀刻机。

一种除尘机构，包括：

承载座；

吸尘罩，与所述承载座间隔设置，所述吸尘罩具有连通的吸尘口及连通口，所述吸尘口朝向所述承载座，所述连通口与抽气机构连通；及

第一风刀组件，连接于所述吸尘罩，所述第一风刀组件具有相互连通的第一进风口及第一出风口，所述第一进风口与吹气机构连通，所述第一出风口朝向所述承载座，且与所述承载座间隔设置。

通过设置上述的除尘机构，将工件放置于承载座上，且工件位于吸尘罩与承载座之间，吸尘罩的吸尘口朝向工件，同时第一出风口也朝向承载座，抽气机构和吹气机构动作，吸尘口内产生负压，第一出风口朝承载座吹出的气体会朝吸尘口流动。如此，在工件加工的过程中，气流会将加工产生的粉尘带入吸尘口内排出，避免粉尘影响工件加工，提高了加工质量。

在其中一个实施例中，所述第一风刀组件包括第一风刀本体及第一盖板，所述第一风刀本体具有所述第一进风口、第一进风通道以及第一出风槽，所述第一进风通道的两端分别与所述第一进风口和所述第一出风槽连通，所述第一进风口和所述第一出风槽位于所述第一风刀本体的两侧，所述第一盖板连接于所述第一风刀本体的一侧，以封闭所述第一出风槽并围合形成第一出风腔以及与所述第一出风腔连通的所述第一出风口。

在其中一个实施例中，所述第一风刀本体连接于所述吸尘罩，所述第一出风槽位于所述第一风刀本体背离所述吸尘罩的一侧。

在其中一个实施例中，所述第一风刀本体21还具有第一弧形面215，所述第一弧形面215自所述第一出风槽214延伸至所述第一风刀本体21朝向所述承载座的一端。

在其中一个实施例中，所述第一风刀组件连接于所述吸尘罩沿第一方向的一侧，所述第一出风口沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸。

在其中一个实施例中，所述第一出风槽沿所述第一方向的相对两端均为弧形内壁，且两个所述弧形内壁的开口相向设置。

在其中一个实施例中，所述除尘机构还包括第二风刀组件，所述第一风刀组件和所述第二风刀组件分别连接于所述吸尘罩沿第一方向相对的两侧，所述第二风刀组件具有相互连接的第二进风口及第二出风口，所述第二进风口与所述吹气机构连通，所述第二出风口朝向所述承载座，且与所述承载座间隔设置。

在其中一个实施例中，所述第二风刀组件包括第二风刀本体及第二盖板，所述第二风刀本体具有所述第二进风口、第二进风通道以及第二出风槽，所述第二进风通道的两端分别与所述第二进风口和所述第二出风槽连通，所述第二进风口和所述第二出风槽位于所述第二风刀本体的两侧，所述第二盖板连接于所述第二风刀本体具有所述第二出风槽的一侧，以封闭所述第二出风槽并围合形成第二出风腔以及与所述第二出风腔连通的所述第二出风口。

在其中一个实施例中，所述除尘机构还包括第一控制阀，所述第一控制阀连接于所述第一进风口和所述吹气机构之间，用于控制所述第一进风口和所述吹气机构之间的开度。

一种蚀刻机，包括上述的除尘机构。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例提供的除尘机构的结构示意图；

图2为图1所示的除尘机构的另一角度的结构示意图；

图3为图1所示的除尘机构中的第一风刀组件与第一控制阀的正视结构示意图；

图4为图3所示的第一风刀组件与第一控制阀的侧视结构示意图；

图5为图3所示的第一风刀组件与第一控制阀的轴测结构示意图；

图6为图3所示的第一风刀组件中的第一风刀本体的剖面结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1及图2所示，本实用新型一实施例提供的除尘机构100，包括承载座(图未示)、吸尘罩10及第一风刀组件20。

吸尘罩10与承载座间隔设置，吸尘罩10具有连通的吸尘口11及连通口12，吸尘口11朝向承载座，连通口12与抽气机构连通。

第一风刀组件20连接于吸尘罩10，且第一风刀组件20具有相互连通的第一进风口211(请参阅图6)及第一出风口212(请参阅图5)，第一进风口211与吹气机构连通，第一出风口212朝向承载座，且与承载座间隔设置。

通过设置上述的除尘机构，将工件200放置于承载座上，且工件200位于吸尘罩10与承载座之间，吸尘罩10的吸尘口11朝向工件200，同时第一出风口212也朝向承载座，抽气机构和吹气机构动作，吸尘口11内产生负压，第一出风口212朝承载座吹出的气体会朝吸尘口11流动。如此，在工件200加工的过程中，气流会将加工产生的粉尘带入吸尘口11内排出，避免粉尘影响工件200加工，提高了加工质量。

可以理解的是，吸尘口11产生负压，将第一出风口212吹出的气体吸入，故第一出风口212吹出的气体会沿着第一风刀组件20朝向承载座的一端的表面流动，而且流速较快，根据伯努利原理可知，气体流速越快，压力越低，故能够将粉尘吸入气流，随着气流进入吸尘口11并排出。

此外，需要说明的是，本实施例中，工件200的加工为蚀刻，除尘机构用于去除蚀刻过程中产生的粉尘颗粒。当然，在其他实施例中也可以用于其他加工的除尘。

在一些实施例中，承载座具有一承载面，承载面用于承载工件200，而吸尘罩10位于承载座具有承载面的一侧，吸尘口11及第一出风口212均朝向承载面。

需要说明的是，为了确保吸尘效果，吸尘口11的尺寸大于工件200上被加工区域的尺寸。如此，第一风刀组件20连接于吸尘罩10一侧，且第一出风口212朝向承载面，第一出风口212吹出的气体形成风幕，可以避免粉尘飞出。

在一些实施例中，吸尘口11和连通口12位于吸尘罩10的两端，且吸尘罩10具有吸尘口11的一端的径向尺寸大于吸尘罩10具有连通口12的一端的径向尺寸。

实际应用中，吸尘口11为矩形开口。

请同时参阅图3至图5，在一些实施例中，第一风刀组件20包括第一风刀本体21及第一盖板22，第一风刀本体21具有第一进风口211、第一进风通道213以及第一出风槽214，第一进风通道213的两端分别于第一进风口211和第一出风槽214连通，第一进风口211和第一出风槽214位于第一风刀本体21的两侧，第一盖板22连接于第一风刀本体21具有第一出风槽214的一侧，以封闭第一出风槽214并围合形成第一出风腔以及与第一出风腔连通的第一出风口212。

如此，吹气机构产生的气体通过第一进风口211进入，流经第一进风通道213和第一出风腔后从第一出风口212吹出，然后在吸尘口11负压的作用下流向吸尘口11。

此外，可以理解的是，第一盖板22连接于第一风刀本体21形成第一出风腔后，第一进风通道213与第一出风腔连通。

实际应用中，第一盖板22通过连接螺栓和连接垫片与第一风刀本体21连接。

在一些实施例中，第一风刀本体21连接于吸尘罩10，第一出风槽214位于第一风刀本体21背离吸尘罩10的一侧，对应第一盖板22连接于第一风刀本体21背离吸尘罩10的一侧，以封闭第一出风槽214形成第一出风腔及第一出风口212。

实际应用中，第一风刀本体21还具有第一弧形面215，第一弧形面215自第一出风槽214延伸至第一风刀本体21朝向承载座的一端，以引导第一出风口212吹出的气体流向吸尘口11。

在一些实施例中，第一风刀组件20连接于吸尘罩10沿第一方向的一侧，第一出风口212沿与第一方向垂直的第二方向延伸。

其中，第一方向为图1中的X方向，第二方向图1中的Y方向。

结合上述实施例可知，沿第二方向延伸的第一出风口212可形成沿第二方向的风幕，可以进一步地避免工件200加工过程中产生的粉尘飞出。

同时需要说明的是，第一出风口212沿第二方向延伸，而第一出风口212在第一方向的宽度较小，使得第一出风口212排出的气体流速较快，在吸尘口11负压的作用下，能够在第一弧形面215上形成较快流速的气流，使得压力进一步降低，增强对粉尘的吸引能力。

请参阅图6，在一些实施例中，第一出风槽214沿第一方向的相对两端均为弧形内壁216，且两个弧形内壁216的开口相向设置，以在形成第一出风腔和第一出风口212后将第一进风通道213输入的气体引导流向第一出风口212。

实际应用中，第一出风槽214和第一进风口211位于第一风刀本体21相邻的两侧，而第一盖板22连接于第一风刀本体21后形成第一出风口212，第一出风口212和第一进风口211位于第一风刀组件20相对的两侧。

如此，以图6为例进行说明，第一进风通道213位于第一出风腔的上方，第一出风口212位于第一出风腔的下方，气体从上方流入第一出风腔后，会朝下方以及两边流动，朝两边流动的气体与弧形内壁216接触后，在弧形内壁216的引导下流向下方的第一出风口212。

在一些实施例中，除尘机构还包括第一控制阀30，第一控制阀30连接于第一进风口211和吹气机构之间，用于控制第一进风口211和吹气机构之间的开度，从而控制第一出风口212排出气体的速度。

在一些实施例中，除尘机构还包括第二风刀组件40，第一风刀组件20和第二风刀组件40分别连接于吸尘罩10沿第一方向相对的两侧，第二风刀组件40具有相互连接的第二进风口及第二出风口，第二进风口与吹气机构连通，第二出风口朝向承载座，且与承载座间隔设置。

结合上述实施例可知，第一出风口212吹出的气体同样可以形成风幕，如此，在工件200加工过程中，工件200的两侧都具有风幕，可进一步地避免粉尘飞出，而且两侧的气体均流向中间的吸尘口11，从而确保将中间的工件200加工产生的粉尘带入吸尘口11。

进一步地，第二风刀组件40包括第二风刀本体41及第二盖板42，第二风刀本体41具有第二进风口、第二进风通道以及第二出风槽，第二进风通道的两端分别与第二进风口和第二出风槽连通，第二进风口和第二出风槽位于第二风刀本体41的两侧，第二盖板42连接于第二风刀本体41的一侧，以封闭第二出风槽并围合形成第二出风腔以及与第二出风腔连通的第二出风口。

需要解释的是，第二风刀组件40的结构与第一风刀组件20的结构和作用相同，且第二风刀组件40还通过第二控制阀50与吹气机构连接，在此不作赘述。

在一些实施例中，除尘机构还包括除尘管60，除尘管60一端与连通口12连通，另一端与抽气机构连通。

在一些实施例中，除尘机构包括多个吸尘罩10、多组第一风刀组件20以及多组第二风刀组件40，每一吸尘罩10的相对两侧连接有一第一风刀组件20和一第二风刀组件40，以同时加工多个工件200。

结合图1可以理解的是，本实施例中，多个吸尘罩10沿第一方向依次排布，多个第一风刀组件20与多个第二风刀组件40同样沿第一方向依次排布，从而在工件200沿第二方向的相对分别形成两道风幕，避免粉尘飞出。另外，本实施例中，对应需要设置多个第一控制阀30、多个第二控制阀50以及多根除尘管60。

在一些实施例中，除尘机构还包括集流管70，每一除尘管60远离吸尘罩10的一端均与集流管70连通，而集流管70一端与抽气机构连通，从而通过一个抽气机构在多个吸尘罩10内产生负压。

一种蚀刻机，包括上述实施例中的除尘机构。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种除尘机构，其特征在于，包括：

承载座；

吸尘罩，与所述承载座间隔设置，所述吸尘罩具有连通的吸尘口及连通口，所述吸尘口朝向所述承载座，所述连通口与抽气机构连通；及

第一风刀组件，连接于所述吸尘罩，所述第一风刀组件具有相互连通的第一进风口及第一出风口，所述第一进风口与吹气机构连通，所述第一出风口朝向所述承载座，且与所述承载座间隔设置。

2.根据权利要求1所述的除尘机构，其特征在于，所述第一风刀组件包括第一风刀本体及第一盖板，所述第一风刀本体具有所述第一进风口、第一进风通道以及第一出风槽，所述第一进风通道的两端分别与所述第一进风口和所述第一出风槽连通，所述第一进风口和所述第一出风槽位于所述第一风刀本体的两侧，所述第一盖板连接于所述第一风刀本体的一侧，以封闭所述第一出风槽并围合形成第一出风腔以及与所述第一出风腔连通的所述第一出风口。

3.根据权利要求2所述的除尘机构，其特征在于，所述第一风刀本体连接于所述吸尘罩，所述第一出风槽位于所述第一风刀本体背离所述吸尘罩的一侧。

4.根据权利要求3所述的除尘机构，其特征在于，所述第一风刀本体(21)还具有第一弧形面(215)，所述第一弧形面(215)自所述第一出风槽(214)延伸至所述第一风刀本体(21)朝向所述承载座的一端。

5.根据权利要求2所述的除尘机构，其特征在于，所述第一风刀组件连接于所述吸尘罩沿第一方向的一侧，所述第一出风口沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸。

6.根据权利要求5所述的除尘机构，其特征在于，所述第一出风槽沿所述第一方向的相对两端均为弧形内壁，且两个所述弧形内壁的开口相向设置。

7.根据权利要求2所述的除尘机构，其特征在于，所述除尘机构还包括第二风刀组件，所述第一风刀组件和所述第二风刀组件分别连接于所述吸尘罩沿第一方向相对的两侧，所述第二风刀组件具有相互连接的第二进风口及第二出风口，所述第二进风口与所述吹气机构连通，所述第二出风口朝向所述承载座，且与所述承载座间隔设置。

8.根据权利要求7所述的除尘机构，其特征在于，所述第二风刀组件包括第二风刀本体及第二盖板，所述第二风刀本体具有所述第二进风口、第二进风通道以及第二出风槽，所述第二进风通道的两端分别与所述第二进风口和所述第二出风槽连通，所述第二进风口和所述第二出风槽位于所述第二风刀本体的两侧，所述第二盖板连接于所述第二风刀本体具有所述第二出风槽的一侧，以封闭所述第二出风槽并围合形成第二出风腔以及与所述第二出风腔连通的所述第二出风口。

9.根据权利要求2所述的除尘机构，其特征在于，所述除尘机构还包括第一控制阀，所述第一控制阀连接于所述第一进风口和所述吹气机构之间，用于控制所述第一进风口和所述吹气机构之间的开度。

10.一种蚀刻机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的除尘机构。

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