CN216501425U

CN216501425U - 一种半导体切割用除尘装置

Info

Publication number: CN216501425U
Application number: CN202123140604.0U
Authority: CN
Inventors: 刘明华; 刘俊
Original assignee: CHENGDU SHANGMING INDUSTRIAL CO LTD
Current assignee: CHENGDU SHANGMING INDUSTRIAL CO LTD
Priority date: 2021-12-15
Filing date: 2021-12-15
Publication date: 2022-05-13
Anticipated expiration: 2031-12-15

Abstract

本实用新型提供了一种半导体切割用除尘装置，目的是解决现有技术中在半导体在切割过程粉尘外溢对车间内的环境以及车间内操作人员的身体健康造成影响的问题。提供一种半导体切割用除尘装置，除尘装置的进尘端安装在半导体切割装置的限位槽内，限位槽内设有过滤网，包括：集尘筒，设置在限位槽的槽口处，集尘筒的内部设有过滤腔，集尘筒的内筒壁上设有与过滤腔连通的进风口；气体过滤机构，安装在过滤腔内；微负压泵，与过滤腔连通；气吹机构，其气吹口设置在过滤网的下方；及粉尘排出管，其粉尘进口端设置在限位槽的槽底。本实用新型通过在切割平台设置吸尘和吸烟的机构，将切割产生的烟尘吸入集尘筒内金信过滤处理，减小粉尘外溢的问题。

Description

一种半导体切割用除尘装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其是涉及一种半导体切割用除尘装置。

背景技术

半导体芯片，在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓锗等半导体材料。

在半导体芯片切割过程中，会产生粉尘以及烟气，粉尘在气流的带动中会溢满车间，对车间环境造成影响以及对操作人员身体健康造成影响。

实用新型内容

本实用新型为解决现有技术中在半导体在切割过程粉尘外溢对车间内的环境以及车间内操作人员的身体健康造成影响的问题，提供一种半导体切割用除尘装置，通过在切割平台设置吸尘和吸烟的机构，将切割产生的烟尘吸入集尘筒内进行过滤处理，减小粉尘外溢的问题。

本实用新型采用的技术方案是：

一种半导体切割用除尘装置，所述除尘装置的进尘端安装在半导体切割装置的限位槽内，所述限位槽的槽底呈弧形，所述限位槽内设有过滤网，所述半导体放置在过滤网上，所述过滤网与所述限位槽的槽底之间形成集尘区，包括：

集尘筒，设置在所述限位槽的槽口处，所述集尘筒的内部设有过滤腔，所述集尘筒的内筒壁上设有与所述过滤腔连通的若干进风口；

气体过滤机构，安装在所述过滤腔内；

微负压泵，与所述过滤腔连通；

气吹机构，其气吹口设置在所述过滤网的下方，并朝向所述限位槽的槽壁设置；及

粉尘排出管，其粉尘进口端设置在所述限位槽的槽底最低处。

可选地，所述集尘筒包括：

筒体，所述筒体的截面呈“凵”型，所述进风口设置在所述筒体的内环侧壁上；及

盖板，与所述筒体的顶部开口处相配合，其中部形成用于安装所述气体过滤机构的过滤腔；微负压泵的进气端与筒体的底部连通。

可选地，所述进风口呈长条形、喇叭形或圆形。

可选地，所述气体过滤机构包括：

过滤棉，靠近所述集尘筒的进风口设置，厚度为2cm-3cm；

活性炭过滤板，设置在所述过滤棉远离所述集尘筒的进风口一侧；及

竹碳纤维板，设置在所述活性炭过滤板远离所述过滤棉的一侧。

可选地，所述活性炭过滤网的中的活性炭为煤质颗粒活性炭。

可选地，所述气吹机构包括：

喷头，安装在所述限位槽内，并位于所述气体过滤机构下方；

吹气管，一端与所述喷头的进气端连接；及

气泵，与所述吹气管的另一端连接。

可选地，所述喷头的喷嘴呈扇形。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

在切割时，微负压泵工作产生负压，将切割过程中产生的烟气吸入过滤筒内，通过设置在过滤筒内的气体过滤机构进行过滤处理，切割过程产生的切屑落入限位槽内，部分切屑会附着在限位槽的内侧壁上，通过气吹机构将其吹落至限位槽的槽底，方便切屑进入粉尘排出管内。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为半导体切割用除尘装置的整体结构示意图。

图2为半导体切割用除尘装置的集尘筒的局部结构示意图。

附图标记：

1、半导体切割装置；11、限位槽；12、集尘区；13、过滤网；2、集尘筒；21、过滤腔；22、进风口；23、筒体；24、盖板；3、气体过滤机构；31、过滤棉；32、活性炭过滤板；33、竹碳纤维板；4、微负压泵；5、气吹机构；51、喷头；52、气吹管；53、气泵；6、粉尘排出管；7、抽风机。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是本实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种半导体切割用除尘装置，所述除尘装置的进尘端安装在半导体切割装置1的限位槽11内，所述限位槽11的槽底呈弧形，所述限位槽11内设有过滤网13，所述半导体放置在过滤网13上，所述过滤网13与所述限位槽11的槽底之间形成集尘区12，包括：集尘筒2、气体过滤机构3、微负压泵4、气吹机构5和粉尘排出管6，集尘筒2设置在所述限位槽11的槽口处，所述集尘筒2的内部设有过滤腔21，所述集尘筒2的内筒壁上设有与所述过滤腔21连通的若干进风口22；气体过滤机构3安装在所述过滤腔21内；微负压泵4与所述过滤腔21连通；气吹机构5的气吹口设置在所述过滤网13的下方，并朝向所述限位槽11的槽壁设置；粉尘排出管6的粉尘进口端设置在所述限位槽11的槽底最低处。

在使用时，微负压泵4进行工作，将烟气从集尘筒2的进气口吸入集尘筒2内，然后由集尘筒2内的气体过滤机构3进行过滤，避免带有细粉的烟气直接弥散在车间内，对车间内的环境以及操作人员的身体造成影响。同时在切削过程中的切屑由于重力原因落入过滤网13和限位槽11的槽底之间形成的集尘区12内，然后进入粉尘排出管6内进行集中收集处理，同时为了避免部分细小的切屑附着在限位槽11的内侧壁上设置了气吹机构5，方便通过气流将切屑吹至槽底，方便集中处理。

在另外一个实施例中，如图1和图2所示，为了方便将切割时产生的烟气吸入集尘筒2内，该集尘筒2包括：筒体23和盖板24，筒体23的截面呈“凵”型；盖板24与所述筒体23的顶部开口处相配合，其中部形成用于安装所述气体过滤机构3的过滤腔21；微负压泵4的进气端与筒体23的底部连通。

通过与筒体23底部连通的微负压泵4工作，将烟气从筒体23内环侧壁上的进风口22吸入筒体23内部的过滤腔21内，由设置在过滤腔21内的气体过滤机构3进行过滤处理，降低烟气中粉尘的含量以及烟气中刺激性气味。

在另外一个实施例中，如图2所示，为了方便烟气快速进入筒体23内，该进风口22呈长条形、喇叭形或圆形。其中最优的为喇叭形，方便烟气被快速吸入集尘筒2内进行过滤处理。

在另外一个实施例中，如图1和图2所示，为了方便对烟气进行过滤处理，该气体过滤机构3包括：过滤棉31、活性炭过滤板32和竹碳纤维板33，过滤棉31靠近所述集尘筒2的进风口22设置，厚度为2cm-3cm；活性炭过滤板32设置在所述过滤棉31远离所述集尘筒2的进风口22一侧；竹碳纤维板33设置在所述活性炭过滤板32远离所述过滤棉31的一侧。

过滤棉31主要用于过滤烟气中的粒度大的粉尘，然后在经过活性炭过滤板32过滤后的烟气进入活性炭过滤板32进行二次过滤，最后经竹碳纤维板33过滤后排出，避免带有粉尘的烟气直接排放对环境造成影响，以及被工人吸入后对工人的身体健康造成影响。

在另外一个实施例中，活性炭过滤网13的中的活性炭为煤质颗粒活性炭。是因为煤质颗粒活性炭有孔隙率发达、比表面积大、吸附力强、机械强度高、易反复再生、造价低等特点。

在另外一个实施例中，如图1所示，为了方便将附着在限位槽11侧壁上的粉尘吹到限位槽11的槽底，该气吹机构5包括：喷头51、吹气管和气泵53，喷头51安装在所述限位槽11内，并位于所述气体过滤机构3下方；吹气管的一端与所述喷头51的进气端连接；气泵53与所述吹气管的另一端连接。

在使用时，气泵53通过吹气管给喷头51供气，喷头51将气流朝向限位槽11的侧壁吹出，通过气流将附着在限位槽11侧壁上的细小颗粒物吹至限位槽11的槽底，然后通过设置在槽底的粉尘排出管6将集中在槽底的颗粒物粉尘排出。在排出的时候可以通过抽风机7将其吸出。

在另外一个实施例中，为了方便将限位槽11的内侧壁上粉尘吹入槽底，该喷头51为扇形气喷嘴。扇形喷雾形式，喷雾形状边沿界定十分清楚，精细工艺加工的导流平面提供了均匀的、高冲击力的喷雾形状。

具体工作原理：

在使用时，微负压泵4工作，将切割时产生的烟气吸入过滤腔21内，由过滤腔21内的过滤棉31对烟气进行首次过滤，主要过滤掉烟气中的粉尘，然后在通过活性炭过滤板32进行二次过滤，这次过滤主要过滤掉烟气中的刺激性气味以及细小的粉尘，最后通过竹碳纤维板33进行三次过滤，竹碳纤维具有吸湿透气、抑菌抗菌的特点。同时，在切削过程中，粒度大的颗粒粉尘由于重力原因落入集尘区12内，部分附着在限位槽11的槽壁上，然后通过设置在过滤网13上的喷头51将附着在限位槽11侧壁上的粉尘吹至限位槽11的槽底，然后通过粉尘排出管6将其排出。在进行粉尘排出的时候，还可以将抽风机7与粉尘排出管6连通，通过抽风机7将限位槽11内的粉尘吸出即可。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种半导体切割用除尘装置，所述除尘装置的进尘端安装在半导体切割装置的限位槽内，所述限位槽的槽底呈弧形，所述限位槽内设有过滤网，所述半导体放置在过滤网上，所述过滤网与所述限位槽的槽底之间形成集尘区，其特征在于，包括：

气体过滤机构，安装在所述过滤腔内；

微负压泵，与所述过滤腔连通；

2.根据权利要求1所述的一种半导体切割用除尘装置，其特征在于，所述集尘筒包括：

3.根据权利要求1或2所述的一种半导体切割用除尘装置，其特征在于，所述进风口呈长条形、喇叭形或圆形。

4.根据权利要求1所述的一种半导体切割用除尘装置，其特征在于，所述气体过滤机构包括：

过滤棉，靠近所述集尘筒的进风口设置，厚度为2cm-3cm；

5.根据权利要求4所述的一种半导体切割用除尘装置，其特征在于，所述活性炭过滤网的中的活性炭为煤质颗粒活性炭。

6.根据权利要求1所述的一种半导体切割用除尘装置，其特征在于，所述气吹机构包括：

吹气管，一端与所述喷头的进气端连接；及

气泵，与所述吹气管的另一端连接。

7.根据权利要求6所述的一种半导体切割用除尘装置，其特征在于，所述喷头的喷嘴呈扇形。