CN112691532B - 一种用于湿法设备的高速排气机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于湿法设备的高速排气机构，涉及一种排气机构，包括设备壳体，还包括抽气装置、导流板、分流板、挡片和排气盒，其中，设备壳体内设有一工艺区，设备壳体的上端设有第一进气口和第二进气口，第一进气口的一侧以及第二进气口的一侧分别设有一导流板，两导流板相正对，工艺区的一侧的上端设有分流板，工艺区的另一侧设有排气盒，抽气装置连接排气盒，工艺区的上侧设有一挡片，挡片与工艺区的另一侧之间形成一缓冲区，且缓冲区连通排气盒，工艺区的上表面开设有一吸入槽，且挡片的一端伸入吸入槽内。本发明中，能够有效的将工艺区散出的不纯净的气体排出，可以避免工艺区散出的气体扩散污染纯净的空气。

Description

一种用于湿法设备的高速排气机构

技术领域

本发明涉及一种排气机构，尤其涉及到一种用于湿法设备的高速排气机构。

背景技术

半导体设备中以湿法工艺设备通常为一开放性的进行湿法化学反应的区域，其涉及到化学溶液在设备中的工艺区域会有产生气氛被化学反应产生的气体所扩散影响，导致内部的工艺区域的气氛为不纯净的气体环境，透过风机过滤机组系统的配置与抽气系统使其内气氛维持稳定纯净的气体环境为至关重要，故在抽气系统的配置于湿法设备中维持稳定的气体流场与确保抽气系统的电路配置方法为半导体湿法设备设计中一重要的环节需要去进行的部份。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于湿法设备的高速排气机构，用于解决上述技术问题。

本发明采用的技术方案如下：

一种用于湿法设备的高速排气机构，包括设备壳体，还包括抽气装置、导流板、分流板、挡片和排气盒，其中，所述设备壳体内设有一工艺区，所述设备壳体的上端设有第一进气口和第二进气口，所述第一进气口的一侧以及所述第二进气口的一侧分别设有一所述导流板，两所述导流板相正对，所述工艺区的一侧的上端设有所述分流板，所述工艺区的另一侧设有所述排气盒，所述抽气装置连接所述排气盒，所述工艺区的上侧设有一所述挡片，所述挡片与所述工艺区的另一侧之间形成一缓冲区，且所述缓冲区连通所述排气盒，所述工艺区的上表面开设有一吸入槽，且所述挡片的一端伸入所述吸入槽内。

作为优选，还包括下导式导流板，所述设备壳体的上侧内壁上设有所述下导式导流板，且所述下导式导流板位于所述第一进气口与所述第二进气口之间。

作为进一步的优选，所述下导式导流板竖直设置，且所述下导式导流板的一端指向所述分流板的上端的中部。

作为优选，所述分流板的两侧的上端分别开设有一倾斜面。

作为优选，还包括排气管和压力侦测装置，其中，所述抽气装置通过所述排气管与所述排气盒连接，所述压力侦测装置设于所述排气管上。

作为优选，导流板的倾斜角度为30°～60°。

作为进一步的优选，所述下导式导流板的倾斜角度为80°～90°。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

本发明中，能够有效的将工艺区散出的不纯净的气体排出，可以避免工艺区散出的气体扩散污染纯净的空气。

附图说明

图1是本发明用于湿法设备的高速排气机构的立体图；

图2是本发明用于湿法设备的高速排气机构的内部结构示意图。

图中：1、设备壳体；2、导流板；3、分流板；4、挡片；5、排气盒；6、工艺区；7、第一进气口；8、第二进气口；9、缓冲区；10、吸入槽；11、下导式导流板；12、倾斜面；13、风机过滤机组。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

图1是本发明用于湿法设备的高速排气机构的立体图；图2是本发明用于湿法设备的高速排气机构的内部结构示意图，请参见图1至图2所示，示出了一种较佳的实施例，示出的一种用于湿法设备的高速排气机构，包括设备壳体1，还包括抽气装置、导流板2、分流板3、挡片4和排气盒5，其中，设备壳体1内设有一工艺区6，设备壳体1的上端设有第一进气口7和第二进气口8，第一进气口7的一侧以及第二进气口8的一侧分别设有一导流板2，两导流板2相正对，工艺区6的一侧的上端设有分流板3，工艺区6的另一侧设有排气盒5，抽气装置连接排气盒5，工艺区6的上侧设有一挡片4，挡片4与工艺区6的另一侧之间形成一缓冲区9，且缓冲区9连通排气盒5，工艺区6的上表面开设有一吸入槽10，且挡片4的一端伸入吸入槽10内。本实施例中，如图1所示，还包括风机过滤机组，且风机过滤机组设于设备壳体1的上端，并覆盖在第一进气口7和第二进气口8处，用于通过第一进气口7和第二进气口8向设备壳体1内提供纯净的空气。纯净的空气在导流板2的作用下快速的进入到设备壳体1内，并在分流板3的作用下，部分纯净空气进入工艺区6内进行化学反应，工艺区6内产生的污浊气体在上升的过程中，纯净的空气会向下提供一个恒定大小的阻力，与工艺区6进气口处溢出的污浊气体形成对流，部分溢出的污浊气体会在纯净空气的作用下进入工艺区6内，另一部分溢出的污浊气体在纯净空气、以及抽气装置的作用下经过吸入槽10进入缓冲区9内，然后再由缓冲区9进入排气盒5内，并由抽气装置排出。本实施例中设置斜刀式的吸入槽10，其可以更有效地将污浊气体吸入，快速的置换纯净的气氛环境。而设置的缓冲区9与排气盒5相配合，可有效地控制基础的排气效率。而设置的挡片4，用以阻挡抽气过程会产生部份液体会压力与温度的变化过程的凝结液进入，且达成导流抽气槽道的作用。

进一步，作为一种较佳的实施方式，还包括下导式导流板112，设备壳体1的上侧内壁上设有下导式导流板112，且下导式导流板112位于第一进气口7与第二进气口8之间。

进一步，作为一种较佳的实施方式，下导式导流板112竖直设置，且下导式导流板112的一端指向分流板3的上端的中部。

进一步，作为一种较佳的实施方式，分流板3的两侧的上端分别开设有一倾斜面12。本实施例中的分流板3在进行吹送纯净气体的过程中起到阻流的作用，使整体的气流场能有效地进行一完整的气流场建构.由推送干纯净空气，污浊气体的扩散，快速排气的三者互相配合。

进一步，作为一种较佳的实施方式，还包括排气管和压力侦测装置，其中，抽气装置通过排气管与排气盒5连接，压力侦测装置设于排气管上。本实施例中，通过设置压力侦测装置，能够有效调整该抽气过程的整体侦测过程。

进一步，作为一种较佳的实施方式，导流板2的倾斜角度为30°～60°。本实施例中的导流板2的倾斜角度为45°，可以改善最易堆积微尘的盲区，且产生一积蓄的气流推送，有效地将纯净空气完整地进行输送。

进一步，作为一种较佳的实施方式，下导式导流板112的倾斜角度为80°～90°。本实施例中的下导式导流板112的倾斜角度为87°，能够有效促进当抽气装置将回流的污浊气体回流在工艺区6上端后，能藉由风机过滤机组吹送引导与下导式导流板112导流作用，更有效地快速导流至缓冲区9进行抽气排出，保持整体湿法工艺模组为洁净的气氛环境。

以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (4)

1.一种用于湿法设备的高速排气机构，包括设备壳体，其特征在于，还包括抽气装置、导流板、下导式导流板、分流板、挡片和排气盒，其中，所述设备壳体内设有一工艺区，所述设备壳体的上端设有第一进气口和第二进气口，所述第一进气口的一侧以及所述第二进气口的一侧分别设有一所述导流板，两所述导流板相正对，所述工艺区的一侧的上端设有所述分流板，所述工艺区的另一侧设有所述排气盒，所述抽气装置连接所述排气盒，所述工艺区的上侧设有一所述挡片，所述挡片与所述工艺区的另一侧之间形成一缓冲区，且所述缓冲区连通所述排气盒，所述工艺区的上表面开设有一吸入槽，且所述挡片的一端伸入所述吸入槽内，所述设备壳体的上侧内壁上设有所述下导式导流板，且所述下导式导流板位于所述第一进气口与所述第二进气口之间，所述下导式导流板竖直设置，且所述下导式导流板的一端指向所述分流板的上端的中部，所述分流板的两侧的上端分别开设有一倾斜面。

2.如权利要求1所述的用于湿法设备的高速排气机构，其特征在于，还包括排气管和压力侦测装置，其中，所述抽气装置通过所述排气管与所述排气盒连接，所述压力侦测装置设于所述排气管上。

3.如权利要求1所述的用于湿法设备的高速排气机构，其特征在于，导流板的倾斜角度为30°～60°。

4.如权利要求1所述的用于湿法设备的高速排气机构，其特征在于，所述下导式导流板的倾斜角度为80°～90°。

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