CN212032989U - 一种湿法工艺设备辅助排气装置及湿法工艺设备排气系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种湿法工艺设备辅助排气装置及湿法工艺设备排气系统，所述湿法工艺设备辅助排气装置包括组合使用的转接机构，所述转接机构包括转接管道、湿法端连接法兰及厂端连接法兰，所述转接管道为L型管道结构，转接管道的两个端口分别安装有所述湿法端连接法兰及厂端连接法兰，所述湿法端连接法兰所述厂端连接法兰的安装方向垂直，不同的所述转接机构间湿法端连接法兰与转接管道之间的距离不同。本实用新型的辅助排气装置采用组合使用的转接机构，转接机构的主体呈L型，可以应用于不同厂端管道的安装，不同的管道之间不会相互影响，整体能够形成有序的排列方式，不影响设备的使用及调试过程。

Description

一种湿法工艺设备辅助排气装置及湿法工艺设备排气系统

技术领域

本实用新型属于半导体湿法工艺设备技术领域，具体涉及一种湿法工艺设备辅助排气装置及湿法工艺设备排气系统。

背景技术

在半导体清洗工艺中，有多种的晶圆清洗及刻蚀工艺，针对不同的晶圆产品需要采用不同的湿法处理工艺，在相关的制造过程中，需要通过多种不同的湿法清洗及刻蚀工艺相互配合。湿法工艺设备包括多个工艺区段，无论是在晶圆承载/卸载区域、湿法工艺区段、晶圆干燥区域皆需要透过进气装置与排气装置配合使用，使得每个工艺区段均处于良好的气体环境内。由于湿法设备的各个工艺区段排出气体的组成均不同，因此每个工艺区段均需要设置排气端与厂务端的气体收集装置进行连接，一个工艺区段需要配置一个气体收集装置。湿法设备排气端所对应法兰与气体收集装置进气端法兰大小不一致，因此需要在厂务端配置转接管道与湿法设备进行连接，厂务端所提供的区域及对应的气体收集装置无法有效地控制尺寸，会导致气体收集装置安装杂乱，无法有效地利用空间，且气体输送的密闭性无法得到保证。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种湿法工艺设备辅助排气装置，本实用新型能够适用于不同尺寸厂务端气体管道的安装，增加各工艺区段气体回收的安全性。此外，本实用新型还要提供一种湿法工艺设备排气系统。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型的第一方面，提供一种湿法工艺设备辅助排气装置，包括组合使用的转接机构，所述转接机构包括转接管道、湿法端连接法兰及厂端连接法兰，所述转接管道为L型管道结构，转接管道的两个端口分别安装有所述湿法端连接法兰及厂端连接法兰，所述湿法端连接法兰所述厂端连接法兰的安装方向垂直，不同的所述转接机构间湿法端连接法兰与转接管道之间的距离不同。

作为优选的技术方案，所述转接管道为一体成型式结构，包括湿法端连接管道及厂端连接管道，所述厂端连接管道为矩形管，其一端安装所述厂端连接法兰，另一端为封闭端，所述湿法连接管道的横向截面为矩形，其一端连接所述厂端连接管道的侧壁且与所述厂端连接管道连通，另一端为封闭端，所述湿法连接管道的侧壁上安装有调节安装管，所述调节安装管的与所述湿法连接管道连通，其端部安装有所述湿法端连接法兰。

作为优选的技术方案，所述调节安装管的横向截面为圆形，所述湿法端连接管的另一端设置为半圆弧形。

作为优选的技术方案，所述湿法端连接法兰的端面与所述厂端连接管道的侧壁齐平或伸出所述厂端连接管道的侧壁。

本实用新型的第二方面，提供一种湿法工艺设备排气系统，包括湿法处理设备、气体收集装置及上述的辅助排气装置，所述湿法处理设备上设置有多个排气管道，所述排气管道的端部设置有排气法兰，所述气体收集装置上设置有气体收集管道，所述气体收集管道的端部设置有进气法兰，所述排气法兰与所述湿法端连接法兰相匹配，所述进气法兰与所述厂端连接法兰相匹配。

作为优选的技术方案，所述湿法处理设备上每个所述排气法兰对应连接一个所述转接机构，每个所述转接机构上的厂端连接法兰与其他所述转接机构上的厂端连接法兰在横向、竖向、纵向上均不重合。

作为优选的技术方案，所述厂端连接法兰的朝向相同。

作为优选的技术方案，所述排气管道的直径大于250毫米。

作为优选的技术方案，所述排气管道设置为3个，3个所述排气管道对应连接所述湿法处理设备上不同的工艺区。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

(1)本实用新型的辅助排气装置采用组合使用的转接机构，转接机构的主体呈L型，可以应用于不同厂端管道的安装，不同的管道之间不会相互影响，整体能够形成有序的排列方式，不影响设备的使用及调试过程。

(2)本实用新型转接机构中湿法端连接法兰与厂端连接法兰安装方向垂直，此种设置方式减少了转接管道的占用空间；不同的转接机构间湿法端连接法兰与转接管道之间的距离不同，可根据实际需要进行设置，保证了厂端连接法兰之间不会相互干涉影响，能够满足工作人员的操作安全性。

(3)本实用新型的辅助排气装置通用性强，安装过程简便，转接管道采用一体成型式设计，保证了气体输送的安全性，大幅的增加了各工艺区段气体回收管道的安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例1转接机构的结构示意图。

图2为本实用新型实施例2转接机构的结构示意图。

图3为本实用新型实施例3转接机构的结构示意图。

图4为本实用新型实施例4湿法工艺设备排气系统的主视图。

图5为本实用新型实施例4湿法工艺设备排气系统的侧视图。

图6为本实用新型实施例4湿法工艺设备排气系统的俯视图。

图7为本实用新型实施例4湿法工艺设备排气系统的安装结构示意图。

其中，附图标记具体说明如下：湿法处理设备1、排气管道2、排气法兰3、转接机构4、厂端连接法兰5、湿法端连接法兰6、厂端连接管道7、湿法端连接管道8、调节安装管9。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

如图1所示，本实施例提供一种转接机构4，转接机构4用于连接湿法工艺设备的排气端与气体收集装置的进气端。转接机构4包括转接管道、调节安装管9、湿法端连接法兰6及厂端连接法兰5。其中，转接管道的主体为L型结构，其两个端口分别对应连接湿法端连接法兰6及厂端连接法兰5，湿法端连接法兰6通过调节安装管9连接转接管道。本实施例的关键之处之一在于将湿法端连接法兰6与厂端连接法兰5的相对位置设置为垂直，这样在进行安装时，可以有效地减少转接管道的占用空间，可应用于较为拥挤及狭窄的安装环境。

其中，转接管道为一体成型式结构，包括湿法端连接管道8及厂端连接管道7，厂端连接管道7为矩形管，其一端为开口端，另一端为封闭端，其开口端连接厂端连接法兰5。湿法连接管道的横向截面为矩形，其一端连接厂端连接管道7的侧壁且与厂端连接管道7的内部连通，另一端为封闭端，其封闭端设置为半圆弧形。将封闭端设置成半圆弧形一方面能够减少转接管道的占用空间，另一方面圆弧形可以结构不存在尖角，可以避免工人在安装的过程中发生撞伤。调节安装管9的一端安装于湿法连接管道的侧壁上，另一端安装湿法端连接法兰6。本实施例中，湿法端连接法兰6的端部与厂端连接管道7的侧壁齐平。

实施例2

如图2所示，本实施例的结构与实施例1的结构基本相同，区别点在于，本实施例中调节安装管9的长度大于实施例1中调节安装管9的长度。

实施例3

如图3所示，本实施例的结构与实施例1、实施例2的结构基本相同，区别点在于，本实施例中调节安装管9的长度大于实施例1且大于实施例2中调节安装管9的长度。

实施例4

如图4-图6所示，本实施例提供一种湿法工艺设备排气系统，包括湿法处理设备1、气体收集装置、实施例1所示的转接机构4、实施例2所示的转接机构4、实施例3所示的转接机构4。本实施例中，湿法处理设备1上设有3个排气管道2，排气管道2的直径为250毫米，也可根据使用需要选用直径大于250毫米的排气管道2。3个排气管道2的端部均连接排气法兰3，3个排气法兰3大小相同且位于同一水平线上。每个排气管道2对应安装一个气体收集装置，气体收集装置上安装有气体收集管道，气体收集管道的端部设置有进气法兰。排气法兰3与湿法端连接法兰6相匹配，进气法兰与厂端连接法兰5相匹配。

如图7所示，其具体安装过程如下：实施例1所示的转接机构4安装于湿法处理设备1端部的排气法兰3上，湿法端连接法兰6与排气法兰3通过螺栓固定安装，厂端连接法兰5朝向湿法处理设备1的外部，用于和气体收集装置上的厂端连接法兰5固定安装。实施例2所示的转接机构4安装于湿法处理设备1中部的排气法兰3上，湿法端连接法兰6与排气法兰3通过螺栓固定安装，厂端连接法兰5朝向与实施例1中厂端连接法兰5的朝向相同。实施例3所示的转接机构4安装于湿法处理设备1另一端的排气法兰3上，湿法端连接法兰6与排气法兰3通过螺栓固定安装，厂端连接法兰5朝向与实施例1中厂端连接法兰5的朝向相同。通过以上的安装方式，使得实施例1、实施例2、实施例3中转接机构4上的厂端连接法兰5与其他所述转接机构4上的厂端连接法兰5在横向、竖向、纵向上均不重合，形成有序的排列方式，安装后不影响设备使用与调试过程，满足了操作人员所需要的安全距离，大幅的增加了各工艺区段配置的气体回收的安全性。

尽管上述实施例已对本实用新型作出具体描述，但是对于本领域的普通技术人员来说，应该理解为可以在不脱离本实用新型的精神以及范围之内基于本实用新型公开的内容进行修改或改进，这些修改和改进都在本实用新型的精神以及范围之内。

Claims (9)

1.一种湿法工艺设备辅助排气装置，其特征在于，包括组合使用的转接机构，所述转接机构包括转接管道、湿法端连接法兰及厂端连接法兰，所述转接管道为L型管道结构，转接管道的两个端口分别安装有所述湿法端连接法兰及厂端连接法兰，所述湿法端连接法兰所述厂端连接法兰的安装方向垂直，不同的所述转接机构间湿法端连接法兰与转接管道之间的距离不同。

2.如权利要求1所述的一种湿法工艺设备辅助排气装置，其特征在于，所述转接管道为一体成型式结构，包括湿法端连接管道及厂端连接管道，所述厂端连接管道为矩形管，其一端安装所述厂端连接法兰，另一端为封闭端，所述湿法连接管道的横向截面为矩形，其一端连接所述厂端连接管道的侧壁且与所述厂端连接管道连通，另一端为封闭端，所述湿法连接管道的侧壁上安装有调节安装管，所述调节安装管的与所述湿法连接管道连通，其端部安装有所述湿法端连接法兰。

3.如权利要求2所述的一种湿法工艺设备辅助排气装置，其特征在于，所述调节安装管的横向截面为圆形，所述湿法端连接管的另一端设置为半圆弧形。

4.如权利要求2所述的一种湿法工艺设备辅助排气装置，其特征在于，所述湿法端连接法兰的端面与所述厂端连接管道的侧壁齐平或伸出所述厂端连接管道的侧壁。

5.一种湿法工艺设备排气系统，其特征在于，包括湿法处理设备、气体收集装置及权利要求1-4任一项所述的辅助排气装置，所述湿法处理设备上设置有多个排气管道，所述排气管道的端部设置有排气法兰，所述气体收集装置上设置有气体收集管道，所述气体收集管道的端部设置有进气法兰，所述排气法兰与所述湿法端连接法兰相匹配，所述进气法兰与所述厂端连接法兰相匹配。

6.如权利要求5所述的一种湿法工艺设备排气系统，其特征在于，所述湿法处理设备上每个所述排气法兰对应连接一个所述转接机构，每个所述转接机构上的厂端连接法兰与其他所述转接机构上的厂端连接法兰在横向、竖向、纵向上均不重合。

7.如权利要求6所述的一种湿法工艺设备排气系统，其特征在于，所述厂端连接法兰的朝向相同。

8.如权利要求5所述的一种湿法工艺设备排气系统，其特征在于，所述排气管道的直径大于250毫米。

9.如权利要求5所述的一种湿法工艺设备排气系统，其特征在于，所述排气管道设置为3个，3个所述排气管道对应连接所述湿法处理设备上不同的工艺区。

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