CN214235413U - 尾排管路 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种尾排管路，包括：尾排管路本体，包括多个节点；所述尾排管路本体的每个节点处设置有气体吹扫管路，每个所述气体吹扫管路的出气口延伸至所述尾排管路本体内部以与所述尾排管路本体内腔连通，其进气口设置在所述尾排管路之外以便通入惰性气体。本申请实施例实现了尾排管路内壁粉尘的自清洁。
Description
技术领域
本申请涉及半导体产品生产技术领域，尤其涉及一种尾排管路。
背景技术
等离子体增强化学气相沉积法(PECVD，Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition)工艺及清洗过程中所产生的残余气体及副产物通过尾排管路到尾气处理设备进行处理后排放。参见图1所示，在工艺运行一段时间后，尾排管路内壁上会慢慢附着一些粉尘，并不断积累，会越来越厚。
目前，尾排管路的清洁方式主要是靠人工清洁，在月度或季度保养时，先将尾排管路进行吹扫，再将尾排管路分段拆卸，并通过吹风来吹扫尾排管路的内壁。清洁完成后，需要对尾排管路进行保压，以保证尾排管路的密闭性。该清洁方式由于需要对尾排管路进行拆卸并且拆卸点相对较多，因此，效率低、时间成本高，费时费力，并且还存在安全隐患。
发明内容
为了解决上述技术问题，本申请期望提供一种尾排管路，其能够实现内壁粉尘的自清洁。
本申请的一个方面的实施方式中，提供了一种尾排管路，其包括：
尾排管路本体，包括多个节点；
所述尾排管路本体的每个节点处设置有气体吹扫管路，每个所述气体吹扫管路的出气口延伸至所述尾排管路本体内部以与所述尾排管路本体内腔连通，其进气口设置在所述尾排管路之外。
在本实施方式的一个实施例中，所述气体吹扫管路具有主管路和多条支路，所述多条支路从所述主管路上分出且所述多条支路通过所述尾排管路本体四周的多个点与所述尾排管路本体内腔连通。
在本实施方式的一个实施例中，所述尾排管路本体的每个所述节点处的管壁四周布设有四个所述气体吹扫管路，四个所述气体吹扫管路分别位于所述尾排管路本体相应节点处的四周管壁的不同侧面上。
在本实施方式的一个实施例中，所述尾排管路本体的节点处开有通孔，所述气体吹扫管路的出气口穿过所述通孔延伸至所述尾排管路本体内部。
在本实施方式的一个实施例中，所述气体吹扫管路中延伸至所述尾排管路本体内部的部分朝向所述尾排管路本体的排气方向弯折。
在本实施方式的一个实施例中，所述气体吹扫管路中弯折部分的中心轴线与其主管路的中心轴线呈预定角度。
在本实施方式的一个实施例中，所述预定角度范围为125°～145°。
在本实施方式的一个实施例中，每条所述气体吹扫管路上设置有测量元器件和/或调节元器件，所述测量元器件和/或调节元器件设置在所述气体吹扫管路的进气口内侧并位于所述尾排管路本体之外。
在本实施方式的一个实施例中，所述测量元器件包括如下之一或多项：流量计、压力表；和/或，所述调节元器件包括如下之一或多项：气动阀、调节阀。
在本实施方式的一个实施例中，还包括：控制器，配置为控制所述尾排管路本体的每个节点处的所述气体吹扫管路的所述气动阀或所述调节阀依次轮流开启，且每次仅开启一个所述气动阀或所述调节阀。
本申请实施例的尾排管路，其每个节点处安装有气体吹扫管路，通过气体吹扫管路向尾排管路内部通入惰性气体以实现其内壁上粉尘的吹扫清洁，由此实现了尾排管路内壁粉尘的自清洁，无需手动拆卸尾排管路，节约人力的同时还可避免尾排管路拆卸所带来的安全隐患以及拆卸所飘落的粉尘散落在洁净室中。
附图说明
通过参考附图阅读下文的详细描述，本申请示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本申请的若干实施方式，其中：
图1为相关技术中尾排管路的结构示意图。
图2为本申请一实施例提供的尾排管路的结构及其安装示意图。
图3为图2所示尾排管路中气体吹扫管路的安装示意图。
图4为图2中气体吹扫管路延伸至尾排管路本体内部的剖面示意图。
附图标记说明：
11、真空泵；12、现有技术中的尾排管路；13、尾排管路内壁的粉尘； 20、本申请实施例提供的尾排管路；21、尾排管路本体；22、气体吹扫管路；221、主管路；222、多条支路；23、流量计；24、压力表；25、气动阀；26、调节阀。
具体实施方式
下面将参考若干示例性实施方式来描述本申请的原理和精神。应当理解，给出这些实施方式仅仅是为了使本领域技术人员能够更好地理解进而实现本申请，而并非以任何方式限制本申请的范围。相反，提供这些实施方式是为了使本公开更加透彻和完整，并且能够将本公开的范围完整地传达给本领域的技术人员。
术语：尾排管路，残余气体及副产物由泵出口到尾气处理设备之间的管路。
如前文所述，相关技术的尾排管路清洁方案需要对尾排管路进行拆卸并且拆卸点相对较多，因此，效率低、时间成本高，费时费力，并且还存在安全隐患。具体地，相关技术的尾排管路清洁方案主要存在如下缺陷：在拆卸尾排管路之前，由于必须保证尾排管路吹扫干净而需要相当长的清洁时间，避免残余特气残留在拆卸时造成安全事故。在拆卸清洁过程中，也会残留一些粉尘，飘落在尾排管路附近，影响洁净室的洁净度。尾排管路拆卸清洁之后，必须保压，以确定尾排管路的密封，保压耗时较长，保压失败需要返工，并重新开始保压，直至保压满足要求。
为解决上述技术问题，本申请实施例的基本思想是提供一种尾排管路，通过在该尾排管路本体分成多个节点，在每个节点处安装气体吹扫管路，通过气体吹扫管路向尾排管路内部通入惰性气体以实现其内壁上粉尘的吹扫清洁，由此可见，本申请实施例实现了尾排管路内壁粉尘的自清洁，无需手动拆卸尾排管路，节约人力的同时避免了尾排管路拆卸所带来的安全隐患和拆卸所飘落的粉尘散落在洁净室中而造成的二次污染。
图2示出了本申请实施例中尾排管路20的示例性结构图。参见图2 所示，本申请实施例的尾排管路20可以包括：尾排管路本体21和气体吹扫管路22，尾排管路本体21包括多个节点，其每个节点处设置有气体吹扫管路22，每个气体吹扫管路22的出气口延伸至尾排管路本体21内部以与尾排管路本体21内腔连通，其进气口设置在尾排管路本体21之外以便通入惰性气体。
本申请实施例中，尾排管路本体21的节点可以根据真空泵到洗涤塔 (scrubber)的距离进行判定。一些示例中，尾排管路本体21中管道弯头位置附近、管道弯头位置垂直或者水平距离超过一定距离(例如，6米) 的管道中间位置均可视为本申请实施例中节点的位置。
为了对尾排管路21内壁进行全方位无死角地吹扫，一些实施例中，参见图2和图3所示，气体吹扫管路22可以具有主管路221和多条支路 222，多条支路222从主管路221上分出且所述多条支路通过尾排管路本体四周的多个点与尾排管路本体内腔连通。图2和图3的示例中，气体吹扫管路22的主管路可以分出四条支路以绕尾排管路本体21一周分别从四个点与尾排管路本体21内腔连通。由此，通过将整根尾排管路分成若干个节点，每个节点处多路惰性气体对该段管路进行吹扫，可以实现尾排管路内壁的全方位多角度吹扫。
实际应用中，气体吹扫管路22可以通过各种可适用于尾排管路20的安装方式或固定件安装在尾排管路本体21的相应节点位置。一些示例中，可以在尾排管路本体21上开孔焊接法兰盘(图中未示出)，通过卡箍连接、焊接真空连接径向密封(VCR，VacuumCouplingRadiusSeal)接头螺栓或其他类似的结构(图中未示出)将气体吹扫管路22连接在尾排管路本体21的节点位置处。
为保证气体吹扫管路22与尾排管路本体21无缝衔接，需在尾排管路本体21选取合理位置开孔，以方便吹气体吹扫管路22和尾排管路本体21 能够顺利连接。至少一些实施例中，尾排管路本体21的节点处开有通孔，每个气体吹扫管路22的出气口可以穿过该通孔延伸至尾排管路本体的内部并与尾排管路本体的内部连通。通常，尾排管路本体21外接风机(图中未示出)，其能够不断向外抽取尾排管路本体21管道内的气体。参见图2所示，风机可以外接尾排管路本体21的排气口上，尾排管路本体21 的风向垂直向上。然而，由于风机位置固定，抽负压会存在一定死角，而粉尘受重力影响又会不断堆积在尾排管路本体21的管道内壁和风机叶片上。鉴于此，气体吹扫管路22中延伸至尾排管路本体21内部的部分可以朝向所述尾排管路本体21的排气方向弯折，在通过气体吹扫管路22向尾排管路本体21的管道内通入足量惰性气体的同时可使惰性气体进入尾排管路本体21的方向与尾排管路本体21的排风方向成一定夹角，由此可以在风机前端和后端进行吹扫，不仅减缓了粉尘下降速率，而且惰性气体可随尾排管路本体21的气流排出，如此，便可通过该惰性气体全方位无死角地对尾排管路本体21管道内部进行吹扫，进而实现了尾排管路的自清洁，确保尾排管路清洁。
一些示例中，气体吹扫管路22中延伸至尾排管路本体21内部的部分的中心轴线与尾排管路本体21的中心轴线可以呈预定角度，图3示出了气体吹扫管路22的安装示意图，箭头方向表示气体吹扫管路22的弯折方向，也即惰性气体进入尾排管路本体21的方向，图3中，气体吹扫管路 22的主管路分为四条支路且这四条支路分别从绕尾排管路本体21四周的四个点与尾排管路本体21内腔连通，气体吹扫管路22中弯折部分的中心轴线与其主管路的中心轴线呈预定角度，如此，惰性气体可以从尾排管路本体21四周进入尾排管路本体21，且其进入尾排管路本体21的方向与尾排管路本体21的气流方向呈一定夹角(该夹角与上述预定角度之和为180 °)。
实际应用中，上述预定角度可以根据需求和尾排管路本体21的管道走向调整。一些示例中，该预定角度可以在125°～145°的范围内，由此，可以使得惰性气体进入尾排管路本体21的方向与尾排管路本体21的排风方向成35°～55°。例如，上述预定角度可以取125°、130°、135°、145°等，相应的可以使得惰性气体进入尾排管路本体21的方向与尾排管路本体21的排风方向成55°、50°、45°、35°等。
图4示出了气体吹扫管道22延伸进入尾排管路本体21内部的剖面示例图，也即气体吹扫管路22中延伸至尾排管路本体21内部的弯折部分的中心轴线与气体吹扫管路22主管路的中心轴线呈预定角度的剖面示例图，该示例中预定角度选定135°，由此可以使得惰性气体进入尾排管路本体 21的方向与尾排管路本体21的排风方向成45°。需要说明的是，上述的 125°～145°、以及图4的135°仅为示例。
为便于实时测量、观察和调节气体吹扫管路22的吹扫速度和吹扫力度，每条所述气体吹扫管路上设置有测量元器件和/或调节元器件。为便于观察和调节，这些测量元器件和/或调节元器件可以设置在气体吹扫管路 22的进气口内侧并位于尾排管路本体21之外。
参见图2所示，测量元器件可以包括如下之一或多项：其中，流量计 23可以实时测量气体吹扫管路22中惰性气体的流量，压力表24可以实时测量气体吹扫管路22中惰性气体的压力。
参见图2所示，调节元器件可以包括如下之一或多项：气动阀25和调节阀26。这里，调节阀26可以用于调节气体吹扫管路22中惰性气体的大小，气动阀25可以用于控制气体吹扫管路22中惰性气体的开关。
为了实现尾排管路的自动清洁和压力自动控制，至少一些实施例中，尾排管路20中还可以包括：控制器(图中未示)，其可以配置为控制器，配置为控制尾排管路本体21的每个节点处的气体吹扫管路22的气动阀或调节阀依次轮流开启，且每次仅开启一个气动阀或调节阀。如此，可以避免因多个气体吹扫管路22同时开启而造成尾排管路本体21内的气体压力过大。具体实现中，控制器具体可以配置为由真空泵11的泵出口端开始，依次序轮流开启尾排管路本体21每个节点处的气体吹扫管路22上的气动阀25，并保证每次开启并处于工作中的气体吹扫管路22只有一个，从而保证吹扫时能更好的清洁尾排管路20内壁的粉尘。
一些示例中，上述控制器可以与各个气体吹扫管路22上的测量元器件和调节元器件电气连接，其能够通过流量计23和压力表24实时获取各气体吹扫管路22的流量和压力，并根据流量和压力来控制气动阀25开启相应气体吹扫管路22和/或调节阀26调整气体吹扫管路22中惰性气体的流量和/或压力。
一些示例中，控制器还可配置为控制吹扫清洁的开始与停止。例如，控制器27可以配置为在检测到诸如有机气体处理设备等设备维护时，开启进行尾排管路20的吹扫清洁，由此，可以在设备维护时候自动对尾排管路内壁进行吹扫清洁，无需人工干预，不需要提前对管路进行吹扫，不需要拆卸管路，省时省力，效率高，实现了尾排管路内壁的自动化清洁，不影响各设备的正常使用。
一些示例中，控制器可以通过诸如可编程控制器或微型控制器等来实现。
本申请实施例中，惰性气体可以是但不限于氮气、氩气等。此外，在确保各阀门密闭性的情况下，还可以通过诸如清洁干燥气体(CDA，Clean Dry Air)进行吹扫。
与现有技术相比，本申请实施例提供的尾排管道，通过节约人力物力财力，提升尾排管路清洁的效率，避免相应的安全隐患，避免对洁净室的洁净度造成影响。应用于例如等离子体增强化学气相沉积装置等设备中，能极大简化设备尾气排放管道的保养，保证安全性。
以上所述实施例，仅为本申请实施例的具体实施方式，用以说明本申请实施例的技术方案，而非对其限制，本申请实施例的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本申请实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请实施例揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本申请实施例的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种尾排管路，其特征在于，包括：
尾排管路本体，包括多个节点；
所述尾排管路本体的每个节点处设置有气体吹扫管路，每个所述气体吹扫管路的出气口延伸至所述尾排管路本体内部以与所述尾排管路本体内腔连通，其进气口设置在所述尾排管路之外。
2.根据权利要求1所述的尾排管路，其特征在于，所述气体吹扫管路具有主管路和多条支路，所述多条支路从所述主管路上分出且所述多条支路通过所述尾排管路本体四周的多个点与所述尾排管路本体内腔连通。
3.根据权利要求2所述的尾排管路，其特征在于，所述尾排管路本体的每个所述节点处的管壁四周布设有四个所述气体吹扫管路，四个所述气体吹扫管路分别位于所述尾排管路本体相应节点处的四周管壁的不同侧面上。
4.根据权利要求1所述的尾排管路，其特征在于，所述尾排管路本体的节点处开有通孔，所述气体吹扫管路的出气口穿过所述通孔延伸至所述尾排管路本体内部。
5.根据权利要求2所述的尾排管路，其特征在于，所述气体吹扫管路中延伸至所述尾排管路本体内部的部分朝向所述尾排管路本体的排气方向弯折。
6.根据权利要求5所述的尾排管路，其特征在于，所述气体吹扫管路中弯折部分的中心轴线与所述主管路的中心轴线呈预定角度。
7.根据权利要求6所述的尾排管路，其特征在于，所述预定角度范围为125°～145°。
8.根据权利要求1-7任一项所述的尾排管路，其特征在于，每条所述气体吹扫管路上设置有测量元器件和/或调节元器件，所述测量元器件和/或调节元器件设置在所述气体吹扫管路的进气口内侧并位于所述尾排管路本体之外。
9.根据权利要求8所述的尾排管路，其特征在于，所述测量元器件包括如下之一或多项：流量计、压力表；和/或，所述调节元器件包括如下之一或多项：气动阀、调节阀。
10.根据权利要求9所述的尾排管路，其特征在于，还包括：控制器，配置为控制所述尾排管路本体的每个节点处的所述气体吹扫管路的所述气动阀或所述调节阀依次轮流开启，且每次仅开启一个所述气动阀或所述调节阀。
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| CN114289419B (zh) * | 2021-12-27 | 2023-02-17 | 中国长江电力股份有限公司 | 气体绝缘输电线路气体吹扫清洁系统及方法 |
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