CN216648249U - 一种输送硅片的有料夹持装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种输送硅片的有料夹持装置，包括安装架和固定架，所述安装架的底部固定连接有固定板，固定板的上表面固定连接有多个导轨，所述固定架的底部固定连接有多个滑座，且滑座与导轨滑动连接，所述固定架的底部固定连接有直线电机，且直线电机与导轨滑动连接，所述固定架的顶部活动连接有多个滑杆，滑杆的底端固定连接有连接杆，连接杆的底端固定连接有钩爪。本实用新型不仅能够通过夹爪与钩爪的配合使用，使硅片得到稳固的夹持，提高了装置的固定效果，同时能够通过有篮感应头对钩爪上的硅片进行感应，提高了装置的便捷性，还能够通过定位杆对滑块移动的位置进行定位，提高了装置的定位效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种输送硅片的有料夹持装置。
背景技术
科学技术的发展不断推动着半导体的发展，使硅片得到广泛使用，硅片在加工过程中必不可少的一项是运输转移到下一工序，上下工序的有序衔接可以大大提高其生产效率，在对硅片移动的过程中，需要对硅片进行固定。
目前市场上输送硅片的有料夹持装置在对硅片进行转移时，通常采用钩爪钩住转移，然而在转移的过程中会产生抖动，严重时会脱离钩爪，造成产品的损坏，因此，提出一种输送硅片的有料夹持装置显得非常必要。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种输送硅片的有料夹持装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种输送硅片的有料夹持装置，包括安装架和固定架，所述安装架的底部固定连接有固定板，固定板的上表面固定连接有多个导轨，所述固定架的底部固定连接有多个滑座，且滑座与导轨滑动连接，所述固定架的底部固定连接有直线电机，且直线电机与导轨滑动连接，所述固定架的顶部活动连接有多个滑杆，滑杆的底端固定连接有连接杆，连接杆的底端固定连接有钩爪，钩爪的内部活动连接有连接轴，连接轴的一侧固定连接有夹爪，所述连接轴的一侧活动连接有扭力弹簧，且扭力弹簧的两端分别与连接轴和钩爪相固定，所述钩爪的一侧开设有滑槽，滑槽内活动连接有滑块，滑块的一侧固定连接有受力杆，且夹爪与受力杆相接触，所述滑块的底部固定连接有第一弹簧，且第一弹簧与钩爪相固定。
进一步的，所述固定架的上表面固定连接有多个安装板，安装板的一侧开设有安装槽，安装槽内插接有有篮感应头和压篮感应头。
进一步的，所述滑杆的一侧活动连接有第二弹簧，且第二弹簧的两端分别与固定架和滑杆相固定。
进一步的，所述有篮感应头和压篮感应头的两端均活动连接有调节螺母，且调节螺母与安装板相接触。
进一步的，所述滑槽内固定连接有定位杆，且定位杆与滑块滑动连接。
进一步的，所述钩爪的底部固定连接有辅助拨杆，辅助拨杆的一侧固定连接有防滑垫。
进一步的，所述安装架的两侧均固定连接有两个固定耳，且固定耳对称分布。
进一步的，所述夹爪的一侧固定连接有橡胶垫。
本实用新型的有益效果为：
1.通过夹爪与钩爪的配合使用，把硅片放置到钩爪上，硅片压动受力杆向下移动与夹爪分离，扭力弹簧回弹使夹爪向下转动并卡住硅片，从而使夹爪与钩爪对硅片进行稳固的夹持，避免钩爪转移的过程中使硅片脱离钩爪造成产品的损坏，提高了装置的固定效果。
2.通过在固定架上安装导轨的设置，直线电机能够沿着导轨进行移动，从而使装置能够对钩爪的位置进行调节，方便对硅片进行夹持，提高了装置的灵活性。
3.通过在滑杆与有篮感应头的配合使用，当钩爪上有物体时，第二弹簧收缩，使滑杆向下移动到合适的位置与有篮感应头产生感应，从而提醒工作人员进行下一步的操作，提高了装置的便捷性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种输送硅片的有料夹持装置的立体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种输送硅片的有料夹持装置的夹持机构结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种输送硅片的有料夹持装置的A部放大结构示意图。
图中：1、安装架；2、连接杆；3、直线电机；4、固定架；5、导轨；6、夹爪；7、钩爪；8、固定板；9、固定耳；10、橡胶垫；11、扭力弹簧；12、辅助拨杆；13、定位杆；14、第一弹簧；15、滑块； 16、受力杆；17、有篮感应头；18、压篮感应头；19、调节螺母；20、安装板；21、滑杆；22、第二弹簧。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“设置”应做广义理解，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
参照图1-图3，一种输送硅片的有料夹持装置，包括安装架1和固定架4，安装架1的底部通过螺栓固定有固定板8，固定板8的上表面通过螺栓固定有多个导轨5，固定架4的底部通过螺栓固定有多个滑座，且滑座与导轨5滑动连接，固定架4的底部通过螺栓固定有直线电机3，且直线电机3与导轨5滑动连接，固定架4的顶部插接有多个滑杆21，滑杆21的底端通过螺栓固定有连接杆2，连接杆2 的底端通过螺栓固定有钩爪7，直线电机3能够沿着导轨5进行移动，从而使装置能够对钩爪7的位置进行调节，方便对硅片进行夹持，钩爪7的内部转动连接有连接轴，连接轴的一侧通过螺栓固定有夹爪6，连接轴的一侧套接有扭力弹簧11，且扭力弹簧11的两端分别与连接轴和钩爪7相固定，钩爪7的一侧开设有滑槽，滑槽内滑动连接有滑块15，滑块15的一侧通过螺栓固定有受力杆16，且夹爪6与受力杆 16相接触，把硅片放置到钩爪7上，硅片压动受力杆16向下移动与夹爪6分离，扭力弹簧11回弹使夹爪6向下转动并卡住硅片，从而使夹爪6与钩爪7对硅片进行稳固的夹持，避免钩爪7转移的过程中使硅片脱离钩爪7造成产品的损坏，滑块15的底部通过螺栓固定有第一弹簧14，且第一弹簧14与钩爪7相固定。
本实用新型中，需要说明的是，固定架4的上表面通过螺栓固定有多个安装板20，安装板20的一侧开设有安装槽，安装槽内插接有有篮感应头17和压篮感应头18，滑杆21的一侧套接有第二弹簧22，且第二弹簧22的两端分别与固定架4和滑杆21相固定，当钩爪7上有物体时，第二弹簧22收缩，使滑杆21向下移动到合适的位置与有篮感应头17相感应，从而提醒工作人员进行下一步的操作，有篮感应头17和压篮感应头18的两端均螺纹连接有调节螺母19，且调节螺母19与安装板20相接触，当钩爪7上没有物体时，第二弹簧22 回弹伸长，使滑杆21向上移动到合适的位置与压篮感应头18相感应，滑槽内通过螺栓固定有定位杆13，且定位杆13与滑块15滑动连接，定位杆13能够对滑块15移动的位置进行定位，避免滑块15在移动的过程中产生偏移，钩爪7的底部通过螺栓固定有辅助拨杆12，辅助拨杆12的一侧粘接有防滑垫，安装架1的两侧均通过螺栓固定有两个固定耳9，且固定耳9对称分布，固定耳9方便工作人员对装置进行固定，夹爪6的一侧粘接有橡胶垫10。
工作原理：当需要对硅片进行夹持时，首先启动直线电机3，使固定架4带动钩爪7前后移动到合适的位置，然后把硅片放置到钩爪 7上，硅片压动受力杆16向下移动与夹爪6分离，且滑块15沿着滑槽向下移动，第一弹簧14收缩，同时扭力弹簧11回弹使夹爪6向下转动并卡住硅片，从而使夹爪6与钩爪7对硅片进行稳固的夹持，同时钩爪7上的硅片的重力压动连接杆2，使滑杆21向下移动到合适的位置与有篮感应头17产生感应，第二弹簧22收缩，从而提醒工作人员进行下一步的操作。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种输送硅片的有料夹持装置，包括安装架(1)和固定架(4)，其特征在于，所述安装架(1)的底部固定连接有固定板(8)，固定板(8)的上表面固定连接有多个导轨(5)，所述固定架(4)的底部固定连接有多个滑座，且滑座与导轨(5)滑动连接，所述固定架(4)的底部固定连接有直线电机(3)，且直线电机(3)与导轨(5)滑动连接，所述固定架(4)的顶部活动连接有多个滑杆(21)，滑杆(21)的底端固定连接有连接杆(2)，连接杆(2)的底端固定连接有钩爪(7)，钩爪(7)的内部活动连接有连接轴，连接轴的一侧固定连接有夹爪(6)，所述连接轴的一侧活动连接有扭力弹簧(11)，且扭力弹簧(11)的两端分别与连接轴和钩爪(7)相固定，所述钩爪(7)的一侧开设有滑槽，滑槽内活动连接有滑块(15)，滑块(15)的一侧固定连接有受力杆(16)，且夹爪(6)与受力杆(16)相接触，所述滑块(15)的底部固定连接有第一弹簧(14)，且第一弹簧(14)与钩爪(7)相固定。
2.根据权利要求1所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述固定架(4)的上表面固定连接有多个安装板(20)，安装板(20)的一侧开设有安装槽，安装槽内插接有有篮感应头(17)和压篮感应头(18)。
3.根据权利要求2所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述滑杆(21)的一侧活动连接有第二弹簧(22)，且第二弹簧(22)的两端分别与固定架(4)和滑杆(21)相固定。
4.根据权利要求2所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述有篮感应头(17)和压篮感应头(18)的两端均活动连接有调节螺母(19)，且调节螺母(19)与安装板(20)相接触。
5.根据权利要求1所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述滑槽内固定连接有定位杆(13)，且定位杆(13)与滑块(15)滑动连接。
6.根据权利要求3所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述钩爪(7)的底部固定连接有辅助拨杆(12)，辅助拨杆(12)的一侧固定连接有防滑垫。
7.根据权利要求1所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述安装架(1)的两侧均固定连接有两个固定耳(9)，且固定耳(9)对称分布。
8.根据权利要求5所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述夹爪(6)的一侧固定连接有橡胶垫(10)。
Priority Applications (1)
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