CN216351083U

CN216351083U - 一种用于芯片测试的测试设备

Info

Publication number: CN216351083U
Application number: CN202122782018.XU
Authority: CN
Inventors: 杨胜利; 史赛
Original assignee: Suzhou HYC Technology Co Ltd
Current assignee: Suzhou HYC Technology Co Ltd
Priority date: 2021-11-15
Filing date: 2021-11-15
Publication date: 2022-04-19
Anticipated expiration: 2031-11-15

Abstract

本实用新型提供一种用于芯片测试的测试设备，包括主体结构；主体结构包括沿第一方向延伸的两个侧装配板；以及位于两个侧装配板之间的可沿第一方向往复运动的输送机构；输送机构被配置为可带动料板沿第一方向往复运动；测试设备还包括：可在第三方向上对料板进行压平定位的压平机构；压平机构包括驱动装置以及压接组件；压接组件包括压接件；压接件包括用以压接于料板上的平直部；压接件被配置为在驱动装置的驱动下可沿第三方向同步运动；压接组件所包括的平直部形成用以压平并定位料板的压接固定面。该测试设备可以消除料板的角部翘曲对取放芯片时的影响。

Description

一种用于芯片测试的测试设备

技术领域

本实用新型涉及自动化检测技术领域。更具体地，涉及一种用于芯片测试的测试设备。

背景技术

在芯片测试的过程中往往需要将芯片放置在测试设备的料板上进行输送。常规的料板在使用的过程中存在变形的情况，尤其是在经过高温烘烤之后，料盘变形会更加严重，这是因为料板是将待测芯片暂存的一种治具，其通常是注塑件，整盘芯片需要进入烤箱内烘烤，多次烘烤往往会导致料板变形，且经多次验证发现料板的四个角部翘曲概率最大，变形量一般在0～1mm左右。

而一旦料板发生变形，在料板承载芯片传输过程中以及机械手从料板中取芯片时，很容易造成震盘，导致芯片被震飞，严重影响了产品的传送和机械手取料，大大降低了工作效率。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种用于芯片测试的测试设备，该测试设备可以消除料板的角部翘曲对取放芯片时的影响。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：

本实用新型提供一种用于芯片测试的测试设备，包括：主体结构；

所述主体结构包括沿第一方向延伸的两个侧装配板；以及

位于两个侧装配板之间的可沿第一方向往复运动的输送机构；

所述输送机构被配置为可带动料板沿第一方向往复运动；

定义，在水平面内与第一方向垂直的方向为第二方向；与第一方向以及第二方向均垂直的方向为第三方向；

所述测试设备还包括：

可在第三方向上对料板进行压平定位的压平机构；

所述压平机构包括驱动装置以及压接组件；

所述压接组件包括压接件；所述压接件包括用以压接于料板上的平直部；

所述压接件被配置为在驱动装置的驱动下可沿第三方向同步运动；

压接组件所包括的平直部形成用以压平并定位料板的压接固定面。

此外，优选地方案是，所述压平机构包括沿第一方向排列的两组压接组件；

每组压接组件包括沿第二方向排列的两个压接件；两个压接件对称配置于主体结构的两侧；

两组压接组件所包括的平直部形成用以压平并定位料板的压接固定面。

此外，优选地方案是，所述驱动装置为驱动电机，所述驱动电机通过传动带带动压接件沿第三方向运动；

所述侧装配板的外侧壁面上包括有沿第三方向设置的滑轨；所述压接件通过滑块配置于所述滑轨上。

此外，优选地方案是，所述驱动装置为驱动气缸；所述压平机构还包括有基板；所述驱动气缸的驱动端通过固定件与基板结合固定；所述基板的两对侧包括有安装板；所述压接件结合固定于安装板上。

此外，优选地方案是，所述测试设备还包括：可在第一方向上对料板的位置进行定位的第一定位装置。

此外，优选地方案是，所述测试设备还包括：可在第二方向上对料板的位置进行定位的第二定位装置。

此外，优选地方案是，所述压平机构还包括有架体；所述架体包括呈U型结构的主体以及位于主体两侧边部上的沿第一方向设置的位移板；两个位移板沿第二方向排列，且对称配置于主体结构两侧；

所述主体的两侧边部上形成有沿第三方向延伸的第一条形孔；所述位移板通过连接件与第一条形孔连接；所述压接件结合固定于位移板上；所述位移板被配置为可沿第一条形孔的延伸方向运动以使得全部压接件沿第三方向同步运动。

此外，优选地方案是，所述压平机构还包括移动部；所述驱动装置可带动所述移动部沿第一方向运动；所述主体的单侧边部与移动部结合固定；

两个所述侧装配板上均形成有与压接件对应的第一导向槽；所述第一导向槽包括沿第一方向设置的第一平直槽部，沿第一方向设置的第一保持槽部，以及两端分别与第一平直槽部和第一保持槽部连通的第一倾斜槽部；所述压接件通过轴承装配于所述第一导向槽上；所述第一导向槽被配置为当驱动装置带动移动部沿第一方向运动时，所述压接件可沿第一导向槽的开槽方向运动。

此外，优选地方案是，所述测试设备还包括有用以在第一方向上对料板进行定位的第一定位组件；所述第一定位组件包括第一连接板、第二连接板以及用以与料板后端边部抵接的抵接件；所述第一连接板上形成有第二导向槽；所述第二导向槽包括沿第一方向设置的第二平直槽部，沿第一方向设置的第二保持槽部，以及两端分别与第二平直槽部和第二保持槽部连通的第二倾斜槽部；所述第二连接板上形成有第二条形孔；抵接件通过安装件装配于第二条形孔上，且抵接件通过轴承装配于第二导向槽上；所述第二连接板的远离第一连接板的端部与移动部结合固定。

此外，优选地方案是，所述测试设备包括有用以在第二方向上对料板进行定位的第二定位组件；所述第二定位组件包括形成于位移板上的固定块；以及形成于侧装配板上的可以第三方向为轴转动的转动块；所述固定块上包括有固定轴承；所述转动块被配置为当位移板沿第三方向运动时，所述固定轴承可与转动块抵接以使得料板固定在转动块与另一侧装配板之间。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的测试设备在通过输送机构将料板送至取放工位后，利用压平机构与料板间的配合，在竖直方向上通过压接件对料板进行快速准确的下压定位，使料板整体保持水平，从而纠正料板自身的轻微变形，消除料板的角部翘曲对取放芯片时的影响，避免机械手在取放芯片时造成震盘震飞芯片，为取放芯片提供稳定可靠的操作环境，保证取料操作的顺利进行，提高工作效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的实施例1中提供的测试设备的整体结构示意图之一。

图2是本实用新型的实施例1中提供的测试设备的整体结构示意图之二。

图3是本实用新型的实施例1中提供的测试设备的整体结构示意图之三。

图4是本实用新型的实施例2中提供的测试设备的整体结构示意图。

图5是图4所示实施例中的压平机构的结构示意图。

图6是图4所示实施例中的压平机构的侧视图。

图7是本实用新型的实施例3中提供的测试设备的整体结构示意图。

图8是本实用新型的实施例3中提供的测试设备的侧视图。

图9是图7所示实施例中的压平机构、第一定位组件、第二定位组件以及电机的配合示意图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本实用新型的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

为了消除料板的角部翘曲对取放芯片时的影响。本实用新型提供一种用于芯片测试的测试设备，结合图1至图9所示，所述用于芯片测试的测试设备包括：主体结构；所述主体结构包括沿第一方向延伸的两个侧装配板11；以及位于两个侧装配板11之间的可沿第一方向往复运动的输送机构；所述输送机构被配置为可带动料板12沿第一方向往复运动，料板12用以承载芯片。

在图示结构中，定义，在水平面内与第一方向垂直的方向为第二方向；与第一方向以及第二方向均垂直的方向为第三方向；结合图1所示，图1中X向为第一方向，Y向为第二方向，Z向为第三方向，在第一方向以及第二方向上，所述测试设备上包括有位于输送机构一端的相对于料板12进行上料和下料的上下料工位。

料板12相对于主体结构在输送机构的输送过程中，还包括有取放工位，即在X方向以及Y方向上，所述测试设备上包括有相对于料板12进行取放芯片的取放工位；可以理解的是，取放芯片由位于取放工位上方的机械手完成，机械手将位于取放工位的芯片从料板12上取走，待对芯片完成测试后再将芯片放回料板12；为了使料板12上承载的半导体芯片稳定输送和取放，避免由于震盘而震飞芯片，进而需要消除料板12的角部翘曲对取放芯片时的影响，确保芯片能够顺利输送和取放。由此，本实用新型所提供测试设备还包括：通过输送机构将料板12输送至取放工位时，可在第三方向上对料板12的位置进行压平定位的压平机构。通过上述压平机构可对位于输送机构上的料板12下压定位，进而实现纠正料板12自身的轻微变形，消除料板12的角部翘曲对取放芯片时的影响，避免机械手在取放芯片时造成震盘，为取放芯片提供稳定可靠的操作环境，保证芯片能够平稳运输并平稳取放，提高工作效率。可选地，所述输送机构可采用本领域熟知的通过电机配合输送带13的方式实现料板12在测试设备上的输送，其优势在于，结构方式简单，输送带13可对料板12起到支撑托载，且可合理避让设备上所设的定位装置以及压平机构，对此本实用新型不做限制。

本实施方式中，在所述测试设备的主体结构上还包括有位于测试设备上下料端的阻挡气缸14；所述阻挡气缸14的驱动端沿与第一方向以及第二方向均垂直的第三方向设置。通过阻挡气缸14的设置可在一料板12上架至输送机构后，阻止其它料板12上架输送机构，避免料板12的重复上架。

对于压平机构的具体结构，所述压平机构包括驱动装置以及沿第一方向排列的两组压接组件21；每组压接组件21包括沿第二方向排列的两个压接件22；两个压接件22对称配置于主体结构的两侧；所述压接件22包括用以压接于料板12上的平直部221；所述压接件22被配置为在驱动装置的驱动下可沿第三方向同步运动；两组压接组件21所包括的平直部221形成用以下压并定位料板12的压接固定面。其优势在于，通过压接件22与驱动装置的配合利用四个压接件22的四个平直部221下压料板12的形变最为明显的四个脚部从而消除角部翘曲使料板12整体上保持水平，保证能够稳定承载芯片，该压平机构可以纠正料板12的轻微变形，还可以避免在机械手取料过程中发生震盘震飞芯片，保证运输和取料操作的顺利进行。在所述侧装配板11上形成有用以与压接部配合的凹槽；所述凹槽由侧装配板11的顶面向内凹陷形成；且所述凹槽贯穿侧装配板11的内外两侧表面。

实施例1

参照图1-图3所示，本实施例中，所述驱动装置为驱动电机23，所述压平机构还包括有沿第一方向排列的两个传动轴24，所述传动轴24沿第二方向设置；所述驱动电机23的转轴通过两个第一传动带25带动两个传动轴24以第二方向为轴同步转动；两个传动轴24通过四个第二传动带26带动压接件22沿第三方向运动；具体的，在两个传动轴24上结合固定有传动轮，第一传动带25通过传动轮与传动轴24配合；在两个侧装配板11上设有与传动轴24配合的四个传动轮，四个传动轮与压接件22一一对应，四个传动轮通过第二传动带26与传动轴24配合，压接件22还包括有与平直部221一体成型的竖直部222，该竖直部222与第二传动带26结合固定；从而通过驱动电机23能够带动全部压接件22同时升降。在所述侧装配板11的外侧壁面上包括有沿第三方向设置的滑轨；所述压接件22通过滑块配置于所述滑轨上，通过上述设置，能够实现对压接件22的导向和限位，使压接件22沿第三方向稳定运动。

在本实施方式中，所述测试设备还包括：通过输送机构将料板12输送至取放工位时，可在第一方向上对料板12的位置进行定位的第一定位装置；所述第一定位装置包括有：在第一方向与料板12前端边部对应配合的第一限位板31，该第一限位板31形成于主体结构上；以及在第一方向与料板12后端边部对应配合的阻挡块32；所述阻挡块32被配置为可沿第一方向以及第三方向运动；第一限位板31与阻挡块32可分别作用于料板12的前端边部以及后端边部上，以对料板12在第一方向上进行定位。具体的，阻挡块32通过与驱动端沿第一方向设置的水平气缸以及驱动端沿第三方向设置的竖直气缸的配合实现在第一方向与料板12后端边部对应配合；进一步地，所述阻挡块32结合固定于水平气缸的缸杆上，水平气缸带动阻挡块32动作靠近或远离料板12。当然，为了避免与料板12发生干涉，水平气缸的缸体与竖直气缸的缸杆结合固定，通过竖直气缸带动水平气缸和阻挡块32升降，避免影响料板12的输送。

可选地，本实施方式中所述第一限位板31可由主体结构前侧装配板内侧壁面的顶部边缘形成。或者，第一限位板31为单独加工的构件，通过本领域熟知的连接方式结合固定于主体结构前侧装配板上。

另外，所述测试设备还包括：通过输送机构将料板12输送至取放工位时，可在第二方向上对料板12的位置进行定位的第二定位装置。对于所述第二定位装置，结合图2所示，所述第二定位装置包括有：位于主体结构一侧装配板11上第二方向定位气缸41，以及位于主体结构另一侧装配板11上的用以与第二方向定位气缸41配合的第二限位板42；第二方向定位气缸41以及第二限位板42可分别作用于料板12的两相对侧边部上，以对料板12在第二方向上进行定位。同上述第一限位板31，可选地，所述第二限位板42由主体结构侧装配板11内侧壁面的顶部边缘形成。或者，第二限位板42为单独加工的构件，通过本领域熟知的连接方式结合固定于主体结构侧装配板11上。

通过上述设计，本实用新型所提供的测试设备将料板12送至取放工位后，利用第一定位装置、第二定位装置与主体结构前侧装配板以及侧装配板11间的配合，实现了在第一方向以及第二方向上对料板12的定位。

实施例2

本实施例与实施例1的区别在于：驱动装置和压平机构不同。参照图4-图6所示，本实施例的所述驱动装置为驱动气缸27；所述压平机构包括有基板28；所述驱动气缸27的杠杆端部通过固定件与基板28结合固定；所述基板28的两对侧包括有两个安装板29；两个安装板29沿第一方向排列，沿第二方向设置；所述压接件22结合固定于安装板29上。驱动气缸27的驱动端沿第三方向设置，通过驱动气缸27驱动基板28升降，进而带动全部的压接件22升降，从而实现将到达取放工位的料板12压平。

在本实施方式中，所述测试设备也可以包括实施例1中所述可在第一方向上对料板12的位置进行定位的第一定位装置以及可在第二方向上对料板12的位置进行定位的第二定位装置，因此至少具有上述技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

实施例3

本实施例与实施例1和实施例2的区别在于：压平机构不同。参照图7-图9所示，所述压平机构还包括有架体；所述架体包括呈U型结构的主体51以及位于主体51两侧边部上的沿第一方向设置的两个位移板52；两个位移板52沿第二方向排列，且对称配置于主体结构两侧；所述主体51的两侧边部上形成有沿第三方向延伸的第一条形孔53；所述位移板52通过连接件与第一条形孔53连接；所述压接件22结合固定于位移板52上；所述位移板52被配置为可沿第一条形孔53的延伸方向运动以使得全部压接件22沿第三方向同步运动。进一步地，所述压平机构还包括移动部54；所述驱动装置可带动所述移动部54沿第一方向运动；该驱动装置可为电机60，通过电机60带动丝杆转动，移动部54配置于丝杆上，进而带动移动部54沿第一方向运动，该移动部54通过滑块装配于沿第一方向延伸的一滑轨上，从而保证移动部54能够平稳移动；所述主体51的单侧边部与移动部54结合固定；两个所述侧装配板11上均形成有与压接件22对应的第一导向槽55；所述第一导向槽55包括沿第一方向设置的第一平直槽部551以及与第一平直槽部551连通的第一倾斜槽部553；每个压接件22均对应一个第一导向槽55；所述压接件22通过轴承装配于所述第一导向槽55上；所述第一导向槽55被配置为当驱动装置带动移动部54沿第一方向运动时，所述压接件22可沿第一导向槽55的开槽方向运动；第一导向槽55还包括有与第一倾斜槽部553连通的第一保持槽部552；第一保持槽部552沿第一方向延伸；第一倾斜槽部553位于第一平直槽部551与第一保持槽部552之间；在第三方向上第一平直槽部551的所在平面高于第一保持槽部552所在平面；可以理解的是，当压接件22位于第一保持槽部552上时，该第一保持槽部552能够保持压接件22一直处于向下压平料板12的状态；通过带动压接件22由第一平直槽部551经第一倾斜槽部553到第一保持槽部552的移动实现压接件22的下降，向下压平料板12；通过带动压接件22由第一保持槽部552经第一倾斜槽部553到第一平直槽部551的移动实现压接件22的上升，与料板12分离。

为了通过电机60和丝杆配合对料板12同时完成第一方向、第二方向和第三方向三个方向的定位，消除料板12翘曲对取放芯片的影响。在上述设置的基础上，所述测试设备还包括有用以在第一方向上对料板12进行定位的第一定位组件；所述第一定位组件包括第一连接板61、第二连接板62以及用以与料板12的后端边部抵接的抵接件63；所述第一连接板61上形成有第二导向槽64；所述第二导向槽64包括沿第一方向设置的第二平直槽部641以及与第二平直槽部641连通的第二倾斜槽部643；所述第二连接板62上形成有第二条形孔65；第二条形孔65的开孔方向沿第三方向设置，抵接件63通过安装件装配于第二条形孔65上，且通过轴承装配于第二导向槽64上；所述第二连接板62的远离第一连接板61的端部与移动部54结合固定；在本实施方式中，可设置如实施例1中所述的第一限位板31；该抵接件63通过与第一限位板31配合完成对料板12在第一方向上的定位；第二导向槽64还包括有与第二倾斜槽部643连通的第二保持槽部642；第二保持槽部642沿第一方向延伸；第二倾斜槽部643位于第二平直槽部641与第二保持槽部642之间；在第三方向上第二平直槽部641的所在平面低于第二保持槽部642所在平面；可以理解的是，当抵接件63位于第二保持槽部642上时，该第二保持槽部642能够保持抵接件63一直处于抵接料板12的状态；通过带动抵接件63由第二平直槽部641经第二倾斜槽部643到第二保持槽部642的移动实现抵接件63的上升，抵接料板12；通过带动抵接件63由第二保持槽部642经第二倾斜槽部643向第二平直槽部641的移动实现抵接件63的下降，避让料板12；所述测试设备还包括有用以在第二方向上对料板12进行定位的第二定位组件；所述第二定位组件包括形成于位移板52上的固定块71；以及形成于侧装配板11上的可以第三方向为轴转动的转动块73；所述固定块71上包括有固定轴承72；所述转动块73被配置为当位移板52沿第三方向运动时，所述固定轴承72可与转动块73抵接以使得料板12固定在转动块73与另一侧装配板11之间，在另一侧装配板11上也可以设置如实施例1中所述的第二限位板42，与第二定位组件配合实现对料板12在第二方向上的定位；在具体的实施过程中，当料板12到达取放工位，电机60带动丝杆转动使移动部54沿着第一方向移动；移动部54带动压接件22，使压接件22由第一导向槽55的第一平直槽部551移动到第一保持槽部552，压接件22下移，位移板52下移，压接件22压接到料板12上，在第三方向上完成对料板12的压平定位；同时固定块71上的固定轴承72下移，并与转动块73抵接固定，在第二方向上完成对料板12的定位；同时抵接件63由第二导向槽64的第二平直槽部641移动到第二保持槽部642，抵接件63沿第一方向移动并上升，在第一方向上完成对料板12的定位；从而实现仅通过一个电机60的驱动即可完成对料板12在三个方位上的定位，结构简单，便于维护，且通过电机驱动，使得移动速度更平缓，更容易控制。

综上所述，本实用新型提供的测试设备在通过输送机构将料板送至取放工位后，利用压平机构与料板间的配合，在竖直方向上通过压接件对料板进行快速准确的下压定位，使料板整体保持水平，从而纠正料板自身的轻微变形，消除料板的角部翘曲对取放芯片时的影响，避免机械手在取放芯片时造成震盘震飞芯片，为取放芯片提供稳定可靠的操作环境，保证取料操作的顺利进行，提高工作效率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。

Claims

1.一种用于芯片测试的测试设备，其特征在于，包括：主体结构；

所述主体结构包括沿第一方向延伸的两个侧装配板；以及

所述输送机构被配置为可带动料板沿第一方向往复运动；

所述测试设备还包括：

可在第三方向上对料板进行压平定位的压平机构；

所述压平机构包括驱动装置以及压接组件；

2.根据权利要求1所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述压平机构包括沿第一方向排列的两组压接组件；

3.根据权利要求2所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述驱动装置为驱动电机，所述驱动电机通过传动带带动压接件沿第三方向运动；

4.根据权利要求2所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述驱动装置为驱动气缸；所述压平机构还包括有基板；所述驱动气缸的驱动端通过固定件与基板结合固定；所述基板的两对侧包括有安装板；所述压接件结合固定于安装板上。

5.根据权利要求1所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括：可在第一方向上对料板的位置进行定位的第一定位装置。

6.根据权利要求1所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括：可在第二方向上对料板的位置进行定位的第二定位装置。

7.根据权利要求2所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述压平机构还包括有架体；所述架体包括呈U型结构的主体以及位于主体两侧边部上的沿第一方向设置的位移板；两个位移板沿第二方向排列，且对称配置于主体结构两侧；

8.根据权利要求7所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述压平机构还包括移动部；所述驱动装置可带动所述移动部沿第一方向运动；所述主体的单侧边部与移动部结合固定；

9.根据权利要求8所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述测试设备还包括有用以在第一方向上对料板进行定位的第一定位组件；所述第一定位组件包括第一连接板、第二连接板以及用以与料板后端边部抵接的抵接件；所述第一连接板上形成有第二导向槽；所述第二导向槽包括沿第一方向设置的第二平直槽部，沿第一方向设置的第二保持槽部，以及两端分别与第二平直槽部和第二保持槽部连通的第二倾斜槽部；所述第二连接板上形成有第二条形孔；抵接件通过安装件装配于第二条形孔上，且抵接件通过轴承装配于第二导向槽上；所述第二连接板的远离第一连接板的端部与移动部结合固定。

10.根据权利要求8所述的用于芯片测试的测试设备，其特征在于，所述测试设备包括有用以在第二方向上对料板进行定位的第二定位组件；所述第二定位组件包括形成于位移板上的固定块；以及形成于侧装配板上的可以第三方向为轴转动的转动块；所述固定块上包括有固定轴承；所述转动块被配置为当位移板沿第三方向运动时，所述固定轴承可与转动块抵接以使得料板固定在转动块与另一侧装配板之间。