CN216120243U - 一种芯片取放装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种芯片取放装置，其包括：放置板，放置板上开设有多个用于放置芯片的放置槽；取放板，取放板上设有多个吸嘴，吸嘴用于夹取芯片，取放板上连接有带动取放板移动的驱动件；以及设置在取放板上方的限位板，限位板的底面设有多个等高垫块，取放板上开设有多个用于吸嘴穿过的取放槽。本申请中利用限位板对取放板进行限位，避免驱动件的机械误差造成的芯片损伤，提高芯片取放过程中的稳定性和准确性。

Description

一种芯片取放装置

技术领域

本申请涉及芯片生产加工设备的技术领域，尤其是涉及一种芯片取放装置。

背景技术

芯片是一种半导体元件，其原理是将电路集成在半导体材料上，半导体材料多为晶圆，最终目的是将电路小型化、微型化，从而减轻电子设备的体积以及重量。

在芯片上布置着成千上万的晶体管，所以芯片在生产加工过程中的精密程度非常高，目前芯片加工过程的取放过程中，有部分还是采用人工利用镊子等夹具进行夹取，该种操作需要夹具与芯片之间进行物理接触，很容易造成芯片的损伤；也有部分采用自动化拿取，即利用吸嘴将芯片吸附，再转移到其它位置。

但是，吸嘴受到机械臂等自动化组件的操控，在向下压制吸嘴，使得吸嘴与芯片表面接触时，此时的力度由于机器误差会存在过量位移等情况，此时会加剧吸嘴与芯片的接触力度，从而导致芯片表面可能受到损伤。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本申请提供一种芯片取放装置，其能够有效提高芯片夹取时的精度，降低芯片夹取过程中对芯片的损伤。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种芯片取放装置，包括：

放置板，所述放置板上开设有多个用于放置芯片的放置槽；

取放板，所述取放板上设有多个吸嘴，所述吸嘴用于夹取芯片，所述取放板上连接有带动取放板移动的驱动件；

以及设置在取放板上方的限位板，所述限位板的底面设有多个等高垫块，所述取放板上开设有多个用于吸嘴穿过的取放槽。

实现上述技术方案，在拿取芯片时，芯片放置在放置槽内，驱动件带动取放板竖直下移，直到取放板的底面与限位板表面抵接，吸嘴恰好位于芯片的表面，进行吸附工作，限位板有效对取放板竖直方向的位移进行限位，避免因驱动件的误差而可能导致的越位情况，拿取过程更加精准，减少芯片的损伤。

作为本申请的一个优选方案，所述限位板上位于每个取放槽周侧均设有多个等高块。

实现上述技术方案，取放板如果与限位板整体水平接触，需要保证每个点均是水平接触，实现难度较大，而做成分割式的等高块降低了限位板与取放板之间的接触面积，更容易实现水平度的高度一致。

作为本申请的一个优选方案，所述等高块螺钉连接在限位板上。

实现上述技术方案，当芯片的厚度发生改变时，只需要将原先的等高块拆卸，然后装上新的高度的等高块即可保证对取放板的限位作用，从而可以更好地适用不同厚度尺寸的芯片高精度的取放需求。

作为本申请的一个优选方案，所述放置板拆卸连接在限位板上。

实现上述技术方案，使得放置槽与限位板之间的直线距离始终保持一致，当芯片的厚度发生变化时，只需要改变等高块的厚度即可，使用较为方便。

作为本申请的一个优选方案，所述限位板上表面竖直设有多个导向柱，所述取放板上设有导向孔，所述导向柱的顶端设为圆台状。

实现上述技术方案，取放板在向下运动时，导向柱穿插设置在导向孔内，进一步提高取放板运行的精确度以及稳定性。

作为本申请的一个优选方案，所述取放板上长度方向的两端设有导向块，所述导向块可拆卸连接在取放板上，所述导向孔开设在导向块上。

实现上述技术方案，导向孔比较容易磨损，将导向孔设置在可拆卸的导向块上，方便后期导向块的更换，从而能够保证长期使用过程中仍然保持较稳定精准的导向作用，提高芯片取放的精准度。

作为本申请的一个优选方案，所述放置槽的内侧壁竖直设有开放式的导向槽，所述吸嘴的周侧竖直设有夹取块，所述夹取块的内侧壁分别抵接在芯片的外侧。

实现上述技术方案，多个夹取块与芯片的周侧接触，一方面实现芯片与吸嘴之间的精准对位，保证吸嘴中心与芯片中心对齐，使得芯片的转移过程更加稳定，另一方面也可以借助物理接触实现更加精准的转移。

作为本申请的一个优选方案，所述夹取块的底面设有倒角。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过在放置板上方设有限位板，保证驱动件在拿取芯片时的精确度，避免机械位移误差造成的损伤，提高芯片夹取的精确度；

2.通过在限位板上可拆卸设有多个等高块，更容易实现取放板的水平度高精度的要求，并且在芯片厚度发生改变时，只需要更换对应的等高块即可，使用十分方便；

3.通过设置导向槽和导向块，导向块可拆卸连接在取放板上，提高取放板运行的稳定性和精准度；

4.通过在吸嘴的周侧设有夹取块，在夹取芯片时，多个夹取块对芯片进行限位，保证芯片在转移过程的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是芯片取放装置的整体结构示意图；

图2是主要为了展示限位板、放置板以及取放板连接关系的爆炸示意图；

图3是主要为了展示导向块结构的爆炸示意图；

图4是主要为了展示吸嘴结构的结构示意图。

附图标记：1、放置板；11、放置槽；2、取放板；21、吸嘴；22、吸气部；23、接口；3、连接件；4、限位板；41、取放槽；42、导向杆；5、等高垫块；6、等高块；7、导向柱；8、导向块；81、导向孔；9、导向槽；10、夹取块。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

参照图1和图2，为本申请实施例公开一种芯片取放装置。其包括水平放置的限位板4，在限位板4的底面的周侧螺钉连接有多个等高垫块5，在使用时，等高垫块5置于一水平面上即可。

参照图2，还包括设置在限位板4底面的放置板1，放置板1的宽度小于限位板4的宽度，放置板1螺钉连接在限位板4的底面，在放置板1上表面竖直开设有多个放置槽11，在本实施例中放置槽11沿着放置板1的长度方向开设有四个，与之对应的，限位板4上沿着自身长度方向开设有四个取放槽41，取放槽41与放置槽11之间是同轴的，在使用时，芯片放置在放置槽11内。

参照图1和图2，还包括一取放板2，取放板2的底面设有多个吸嘴21，在取放板2上表面设有用于抽气的吸气部22，吸气部22的顶面设有两个用于连接气管的接口23，在本实施例中一个取放板2对应设有两个吸嘴21，可同时对两个放置槽11内的芯片进行拿取，在吸气部22长度方向的两侧设有连接件3，在后期使用时连接件3上连接有驱动件，在本实施例中驱动件设为机械臂。

使用时，芯片在放置槽11内，机械臂带动取放板2以及吸嘴21移动，直到取放板2的底面贴合在限位板4上，吸嘴21与对应的芯片表面接触，完成拿取过程。对应的在限位板4上竖直设有导向杆42，与机械臂配合使用。

参照图2，在限位板4上表面位于每个取放槽41的外侧均设有等高块6，在本实施例中每个取放槽41沿着限位板4长度方向的两侧对称设有两个等高块6，等高块6是螺钉连接在限位板4上，等高块6的表面略高于限位板4的表面，取放板2下移后与等高块6的表面接触，从而保证取放板2的水平度，等高块6可拆卸从而在芯片的厚度发生变化时可以更换等高块6，从而较好的适应不同芯片的使用需求。

参照图3，在取放板2上长度方向的两端可拆卸连接有导向块8，在本实施例中导向块8利用螺栓连接在取放板2上，在导向块8上竖直贯穿设有导向孔81，在限位板4上表面竖直设有多个导向柱7，导向柱7的顶端设为圆台状，在取放板2下移过程中受到导向柱7与导向孔81的限位作用，从而提高取放板2竖直方向位移的精准度。

参照图1和图4，吸嘴21设置成矩形块状，在放置槽11的内侧壁竖直设有开放式的导向槽9，在吸嘴21的周侧竖直设有夹取块10，夹取块10位于吸嘴21四条边上各设有一个，从而在夹取芯片时分别抵接在芯片的四条边的外侧，更稳定的将芯片夹持起来，为了避免夹取块10与芯片碰触，在夹取块10的底面设有倒角。

本申请实施例一种芯片取放装置的实施原理为：在拿取芯片时，芯片放置在放置槽11内，驱动件带动取放板2竖直下移，导向柱7与导向孔81插接配合进行限位，直到取放板2的底面与等高块6的上表面抵接，吸嘴21恰好位于芯片的表面，进行吸附工作，限位板4有效对取放板2竖直方向的位移进行限位，避免因驱动件的误差而可能导致的越位情况，拿取过程更加精准，减少芯片的损伤。

当芯片的厚度改变时，只需要更换相应厚度规格的等高块6即可。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种芯片取放装置，其特征在于，包括：

放置板(1)，所述放置板(1)上开设有多个用于放置芯片的放置槽(11)；

取放板(2)，所述取放板(2)上设有多个吸嘴(21)，所述吸嘴(21)用于夹取芯片，所述取放板(2)上连接有带动取放板(2)移动的驱动件；

以及设置在取放板(2)上方的限位板(4)，所述限位板(4)的底面设有多个等高垫块(5)，所述取放板(2)上开设有多个用于吸嘴(21)穿过的取放槽(41)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片取放装置，其特征在于：所述限位板(4)上位于每个取放槽(41)周侧均设有多个等高块(6)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片取放装置，其特征在于：所述等高块(6)螺钉连接在限位板(4)上。

4.根据权利要求1所述的一种芯片取放装置，其特征在于：所述放置板(1)拆卸连接在限位板(4)上。

5.根据权利要求1所述的一种芯片取放装置，其特征在于：所述限位板(4)上表面竖直设有多个导向柱(7)，所述取放板(2)上设有导向孔(81)，所述导向柱(7)的顶端设为圆台状。

6.根据权利要求5所述的一种芯片取放装置，其特征在于：所述取放板(2)上长度方向的两端设有导向块(8)，所述导向块(8)可拆卸连接在取放板(2)上，所述导向孔(81)开设在导向块(8)上。

7.根据权利要求1所述的一种芯片取放装置，其特征在于：所述放置槽(11)的内侧壁竖直设有开放式的导向槽(9)，所述吸嘴(21)的周侧竖直设有夹取块(10)，所述夹取块(10)的内侧壁分别抵接在芯片的外侧。

8.根据权利要求7所述的一种芯片取放装置，其特征在于：所述夹取块(10)的底面设有倒角。

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