CN216029873U - 一种硅片磨边机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片磨边机，包括工作台，所述工作台上分别设置两组横向移动机构、定位盘和吸盘机构，所述工作台上还开设用于排屑的漏斗，所述横向移动机构上分别设置移料机构和磨边机构，所述定位盘用于放置硅片，所述移料机构从定位盘上抓取硅片后放置在吸盘机构上，再通过磨边机构进行打磨，所述吸盘机构采用电机驱动。本实用新型结构简单、使用方便；本实用新型通过磨边机构和吸盘机构能够自动将硅片的边缘进行磨边，形成倒圆角，提高加工效率和加工质量。

Description

一种硅片磨边机

技术领域

本实用新型涉及机加工技术领域，具体涉及一种硅片磨边机。

背景技术

硅片在切割完成后，边缘比较锋利，需要进行打磨，但是目前多采用人工打磨的方式进行加工，一方面加工效率较低，另一方面加工质量较差，参差不齐。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种硅片磨边机。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种硅片磨边机，包括工作台，其创新点在于：所述工作台上分别设置两组横向移动机构、定位盘和吸盘机构，所述工作台上还开设用于排屑的漏斗，所述横向移动机构上分别设置移料机构和磨边机构，所述定位盘用于放置硅片，所述移料机构从定位盘上抓取硅片后放置在吸盘机构上，再通过磨边机构进行打磨，所述吸盘机构采用电机驱动；所述移料机构包括第一滑座，所述第一滑座上设置连接板，所述连接板的正面设置螺母座，所述螺母座纵向贯穿设置第一升降丝杆，所述第一升降丝杆的顶部设置第一伺服电机，所述螺母座的正面设置滑轨组件，所述滑轨组件上设置第一滑板，所述第一滑板上设置卡爪；所述磨边机构包括第二滑座，所述第二滑座上设置立柱，所述立柱的正面设置滑轨组件，其顶部设置第二伺服电机，所述滑轨组件上设置第二滑板，所述第二伺服电机传动连接第二升降丝杆，所述第二升降丝杆与第二滑板螺纹连接，所述第二滑板的正面设置主轴套，所述主轴套内部设置主轴，所述主轴的顶部设置打磨电机，其底部设置磨边砂轮。

进一步的，所述横向移动机构包括旋转电机、丝杆和一对滑轨组件，所述丝杆螺纹连接移料机构和磨边机构的底部。

进一步的，所述定位盘的内壁为台阶结构，用于放置不同规格的硅片，所述定位盘的外壁上开设三个条形槽来配合卡爪。

进一步的，所述吸盘机构包括旋转轴，所述旋转轴的顶部设置吸盘，其底部设置同步带轮，所述旋转轴的外部通过设置轴套固定在工作台上，所述同步带轮与电机之间采用皮带和同步带轮传动连接。

进一步的，所述工作台上设置喷水嘴对硅片进行冷却。

进一步的，所述工作台外部设置防护罩。

采用上述结构后，本实用新型有益效果为：

本实用新型结构简单、使用方便；本实用新型通过磨边机构和吸盘机构能够自动将硅片的边缘进行磨边，形成倒圆角，提高加工效率和加工质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图之一；

图2为本实用新型的结构示意图之二。

附图标记说明：

1工作台、2横向移动机构、21旋转电机、22丝杆、3定位盘、31台阶结构、32条形槽、4吸盘机构、41旋转轴、42吸盘、43同步带轮、5漏斗、6移料机构、61第一滑座、62连接板、63螺母座、64第一伺服电机、 65第一滑板、66卡爪、7磨边机构、71第二滑座、72立柱、73第二伺服电机、74第二滑板、75主轴套、76主轴、77打磨电机、78磨边砂轮、8电机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

参看图1-2，一种硅片磨边机，包括工作台1，工作台1上分别设置两组横向移动机构2、定位盘3和吸盘机构4，工作台1上还开设用于排屑的漏斗 5，横向移动机构2上分别设置移料机构6和磨边机构7，定位盘3用于放置硅片，移料机构6从定位盘上抓取硅片后放置在吸盘机构4上，再通过磨边机构7进行打磨，吸盘机构4采用电机8驱动；移料机构6包括第一滑座61，第一滑座61上设置连接板62，连接板62的正面设置螺母座63，螺母座纵向贯穿设置第一升降丝杆，第一升降丝杆的顶部设置第一伺服电机64，螺母座 63的正面设置滑轨组件，滑轨组件上设置第一滑板65，第一滑板65上设置卡爪66；磨边机构7包括第二滑座71，第二滑座71上设置立柱72，立柱72 的正面设置滑轨组件，其顶部设置第二伺服电机73，滑轨组件上设置第二滑板74，第二伺服电机73传动连接第二升降丝杆，第二升降丝杆与第二滑板 74螺纹连接，第二滑板的正面设置主轴套75，主轴套75内部设置主轴76，主轴76的顶部设置打磨电机77，其底部设置磨边砂轮78。具体的，将硅片放置在定位盘3上，卡爪66在第一伺服电机64、第一升降丝杆及第一滑板 65的作用下下降至硅片处，卡爪66将硅片夹紧后，在横向移动机构2的作用下移动至吸盘机构4处，放置在吸盘机构4上，吸盘机构4对硅片牢牢吸住，并在电机8的作用下进行旋转，磨边机构7在横向移动机构2的作用下移至吸盘机构4，同时磨边砂轮78在第二伺服电机73、第二升降丝杆和第二滑板 74的作用下向下移动，靠近硅片，开启打磨电机77，磨边砂轮78进行旋转，对旋转的硅片进行磨边。

本实施例中，横向移动机构2包括旋转电机21、丝杆22和一对滑轨组件，丝杆22螺纹连接移料机构6和磨边机构7的底部。旋转电机21启动后，带动丝杆22进行旋转，从而带动移料机构6和磨边机构7沿滑轨组件进行横向移动。

本实施例中，定位盘3的内壁为台阶结构31，用于放置不同规格的硅片，定位盘的外壁上开设三个条形槽32来配合卡爪。

本实施例中，吸盘机构4包括旋转轴41，旋转轴41的顶部设置吸盘42，其底部设置同步带轮，旋转轴41的外部通过设置轴套固定在工作台上，同步带轮与电机8之间采用皮带和同步带轮43传动连接。

本实施例中，工作台上设置喷水嘴对硅片进行冷却，同时冷却水从漏斗5 内流入过滤机过滤后排放。

本实施例中，工作台外部设置防护罩，防止冷却水飞溅及外部污染。

以上所述，仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (6)

1.一种硅片磨边机，包括工作台，其特征在于：所述工作台上分别设置两组横向移动机构、定位盘和吸盘机构，所述工作台上还开设用于排屑的漏斗，所述横向移动机构上分别设置移料机构和磨边机构，所述定位盘用于放置硅片，所述移料机构从定位盘上抓取硅片后放置在吸盘机构上，再通过磨边机构进行打磨，所述吸盘机构采用电机驱动；所述移料机构包括第一滑座，所述第一滑座上设置连接板，所述连接板的正面设置螺母座，所述螺母座纵向贯穿设置第一升降丝杆，所述第一升降丝杆的顶部设置第一伺服电机，所述螺母座的正面设置滑轨组件，所述滑轨组件上设置第一滑板，所述第一滑板上设置卡爪；所述磨边机构包括第二滑座，所述第二滑座上设置立柱，所述立柱的正面设置滑轨组件，其顶部设置第二伺服电机，所述滑轨组件上设置第二滑板，所述第二伺服电机传动连接第二升降丝杆，所述第二升降丝杆与第二滑板螺纹连接，所述第二滑板的正面设置主轴套，所述主轴套内部设置主轴，所述主轴的顶部设置打磨电机，其底部设置磨边砂轮。

2.根据权利要求1所述的一种硅片磨边机，其特征在于：所述横向移动机构包括旋转电机、丝杆和一对滑轨组件，所述丝杆螺纹连接移料机构和磨边机构的底部。

3.根据权利要求1所述的一种硅片磨边机，其特征在于：所述定位盘的内壁为台阶结构，用于放置不同规格的硅片，所述定位盘的外壁上开设三个条形槽来配合卡爪。

4.根据权利要求1所述的一种硅片磨边机，其特征在于：所述吸盘机构包括旋转轴，所述旋转轴的顶部设置吸盘，其底部设置同步带轮，所述旋转轴的外部通过设置轴套固定在工作台上，所述同步带轮与电机之间采用皮带和同步带轮传动连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片磨边机，其特征在于：所述工作台上设置喷水嘴对硅片进行冷却。

6.根据权利要求1所述的一种硅片磨边机，其特征在于：所述工作台外部设置防护罩。

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