CN209954355U - 一种打磨装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种打磨装置，包括工作台，工作台上固定设置有工件限位盘，工件限位盘上贯穿设置有多个限位孔；工作台上固定设置有延伸至工件限位盘底部的下打磨机构，以及延伸至件限位盘顶部且高度可调节的上打磨机构，所述打磨装置还设置有防止磨屑飞溅和集中收集磨屑的结构，减小清洁负担。本方案所述用于同时对单晶硅片的双面打磨，并且实现批量单晶硅片打磨，解决了传统打磨设备打磨效率低的技术问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种打磨装置，具体涉及一种用于单晶硅片的打磨装置。
背景技术
日本、美国和德国是主要的硅材料生产国。国硅材料工业与日本同时起步，但总体而言，生产技术水平仍然相对较低，而且大部分为2.5、3、4、5英寸硅锭和小直径硅片。国消耗的大部分集成电路及其硅片仍然依赖进口。目前，全世界单晶硅的产能每年超过1万吨，年消耗量超过7000吨。
随着半导体材料技术的发展，对硅片的规格和质量也提出更高的要求，适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。硅片主流产品由200mm逐渐向300mm过渡，研制水平达到400mm～450mm。单晶硅片大量使用在半导体、芯片、集成电路中，其成品制造通常要经过切割、打磨、抛光和洁净封装等工艺。
在单晶硅片打磨工艺中，传统的打磨设备通过夹持机构夹持单晶硅片，然后与打磨盘接触，实现一个面的打磨，打磨好一个面后，再对第二个面进行打磨，由于单晶硅片打磨时间较长，每台设备的日产量不高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于：提供一种打磨装置，对单晶硅片双面同时进行打磨，并且实现批量单晶硅片打磨，解决传统打磨设备打磨效率低的技术问题。
本实用新型采用的技术方案如下：
一种打磨装置，包括工作台，工作台上固定设置有工件限位盘，工件限位盘上贯穿设置有多个限位孔；工作台上固定设置有延伸至工件限位盘底部的下打磨机构，以及延伸至件限位盘顶部且高度可调节的上打磨机构。
进一步地，所述下打磨机构包括第一转动电机和与第一转动电机转动轴连接的下磨盘。
进一步地，第一转动电机固定在工作台底部，第一转动电机的转动轴贯穿工作台延伸至工件限位盘底部与下磨盘连接。
进一步地，所述上打磨机构包括第二转动电机、与第二转动电机转动轴连接的上磨盘、以及固定设置在工作台上用于调节第二转动电机高度的调节机构。
进一步地，所述调节机构包括固定在机架上的支架、滑动杆、滑动板和电动推杆；支架固定在工作台上；滑动杆位于支架内侧两端，且垂直固定在工作台上；滑动板两端分别活动套设在滑动杆上，第二转动电机固定在滑动板上；电动推杆固定在支架顶端且其伸缩轴与滑动板连接。
进一步地，电动推杆设置为两个，对称设置在第二转动电机两侧，确保滑动板受力平衡。
进一步地，所述工件限位盘底部边缘间隔设置有至少三个安装部，安装部固定连接在工作台上。
进一步地，工件限位盘顶部边沿处设置有挡边，用于防止上磨盘产生的磨屑飞出工件限位盘。
进一步地，工件限位盘底部边沿处设置有向内倾斜的导屑边，工作台上设置有与该导屑边相匹配的集屑槽，下磨盘产生的磨屑被向内倾斜的导屑边阻挡，并导流至下方的集屑槽中，方便清洁。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
1.将本方案所述打磨装置用于单晶硅片的打磨时，可实现批量打磨，同时上下两个打磨机构从上下两个方向对单晶硅片的上下两个面进行打磨，工作效率和产量大幅提高。此外，由于两个打磨机构在同一平面上对单晶硅片进行打磨，可保证多个单晶硅片被打磨程度一致。
2.本方案所述打磨装置设置有防止磨屑飞溅的机构，减少清洁负担，改良工作环境，清洁时，用毛刷将磨屑扫入限位孔，磨屑从限位孔落到下磨盘上，启动第二转动电机带动下磨盘转动，磨屑在离心力的作用下经导屑边导流至集屑槽中，然后集中处理，操作十分方便。
3.本方案所述打磨装置结构简单，易于生产和制造，操作方便，除了用于单晶硅片的打磨，还可用于其他平面元器件的打磨，应用范围广。
附图说明
图1是本实用新型所述打磨装置的结构示意图；
图2是本实用新型所述工件限位盘的结构示意图。
图中标记为：1-工作台，2-工件限位盘，3-第一转动电机，4-下磨盘，5-第二转动电机，6-上磨盘，7-支架，8-滑动杆，9-滑动板，10-电动推杆，11-挡边，12-导屑边，13-集屑槽，21-限位孔。
具体实施方式
本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。
下面结合附图对本实用新型作详细说明。
本实施例公开了一种打磨装置，用于同时对单晶硅片的双面打磨，并且实现批量单晶硅片打磨，用于解决传统打磨设备打磨效率低的技术问题。
具体地讲，请参照图1和图2所示，所述打磨装置包括工作台1，工作台1上固定设置有工件限位盘2，工件限位盘2上贯穿设置有多个限位孔21；工作台1上固定设置有延伸至工件限位盘2底部的下打磨机构，以及延伸至件限位盘顶部且高度可调节的上打磨机构。多个限位孔21可用于放置多个单晶硅片，实现批量打磨，同时上下两个打磨机构从上下两个方向对单晶硅片的上下两个面进行打磨，工作效率和产量大幅提高。此外，由于两个打磨机构在同一平面上对单晶硅片进行打磨，可保证多个单晶硅片被打磨程度一致。
所述工件限位盘2底部边缘间隔设置有至少三个安装部，安装部通过螺栓固定连接在工作台1上。工件限位盘2、安装部与工作台1之间形成一个空间，所述下打磨机构延伸至该空间内。
所述下打磨机构包括第一转动电机3和与第一转动电机3转动轴连接的下磨盘4。第一转动电机3固定在工作台1底部，第一转动电机3的转动轴贯穿工作台1延伸至工件限位盘2底部与下磨盘4连接。
所述上打磨机构包括第二转动电机5、与第二转动电机5转动轴连接的上磨盘6、以及固定设置在工作台1上用于调节第二转动电机5高度的调节机构。所述调节机构包括固定在机架上的支架7、滑动杆8、滑动板9和电动推杆10；支架7固定在工作台1上；滑动杆8位于支架7内侧两端，且一端垂直固定在工作台1上，另一端与支架7顶部连接；滑动板9两端分别活动套设在滑动杆8上；第二转动电机5固定在滑动板9上，其转动轴向下贯穿滑动板9与上磨盘6固定连接；电动推杆10固定在支架7顶端且其伸缩轴与滑动板9连接。
所述电动推杆10设置为两个，对称设置在第二转动电机5两侧。工作时，电动推杆10将滑动板9向下推动，使上磨盘6延伸至工件限位盘2顶部。上下两个磨盘同时工作，实现高效打磨。打磨预定时间后结束，电动推杆10将滑动板9拉起，方便下料和清扫。
由于打磨时会产生大量的磨屑，为了防止磨屑在上下磨盘4的离心力作用下飞出工件限位盘2，增加额外的清洁负担，因此在工件限位盘2顶部边沿处设置有挡边11，用于防止上磨盘6产生的磨屑飞出工件限位盘2，在工件限位盘2底部边沿处设置有向内倾斜的导屑边12，工作台1上设置有与该导屑边12相匹配的集屑槽13，下磨盘4产生的磨屑被向内倾斜的导屑边12阻挡，并导流至下方的集屑槽13中，方便清洁。清洁上磨盘6产生的磨屑时，电动推杆10将上磨盘6提起，取下打磨好的元器件，将位于工件限位盘2内的磨屑用毛刷扫入限位孔21，磨屑从限位孔21落到下磨盘4上，启动第二转动电机5带动下磨盘4转动，磨屑在离心力的作用下经导屑边12导流至集屑槽13中，然后集中处理，操作十分方便。
以上为本方案的主要特征及其有益效果，本行业的技术人员应该了解，本方案不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本方案的原理，在不脱离本方案精神和范围的前提下，本方案还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本方案要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中介媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
Claims (9)
1.一种打磨装置，包括工作台(1)，其特征在于：工作台(1)上固定设置有工件限位盘(2)，工件限位盘(2)上贯穿设置有多个限位孔(21)；工作台(1)上固定设置有延伸至工件限位盘(2)底部的下打磨机构，以及延伸至件限位盘顶部且高度可调节的上打磨机构。
2.根据权利要求1所述打磨装置，其特征在于：所述下打磨机构包括第一转动电机(3)和与第一转动电机(3)转动轴连接的下磨盘(4)。
3.根据权利要求2所述打磨装置，其特征在于：第一转动电机(3)固定在工作台(1)底部，第一转动电机(3)的转动轴贯穿工作台(1)延伸至工件限位盘(2)底部与下磨盘(4)连接。
4.根据权利要求1所述打磨装置，其特征在于：所述上打磨机构包括第二转动电机(5)、与第二转动电机(5)转动轴连接的上磨盘(6)、以及固定设置在工作台(1)上用于调节第二转动电机(5)高度的调节机构。
5.根据权利要求4所述打磨装置，其特征在于：所述调节机构包括固定在机架上的支架(7)、滑动杆(8)、滑动板(9)和电动推杆(10)；支架(7)固定在工作台(1)上；滑动杆(8)位于支架(7)内侧两端，且垂直固定在工作台(1)上；滑动板(9)两端分别活动套设在滑动杆(8)上，第二转动电机(5)固定在滑动板(9)上；电动推杆(10)固定在支架(7)顶端且其伸缩轴与滑动板(9)连接。
6.根据权利要求5所述打磨装置，其特征在于：电动推杆(10)设置为两个，对称设置在第二转动电机(5)两侧。
7.根据权利要求1～6任意一项所述打磨装置，其特征在于：工件限位盘(2)底部边缘间隔设置有至少三个安装部，安装部固定连接在工作台(1)上。
8.根据权利要求1～6任意一项所述打磨装置，其特征在于：工件限位盘(2)顶部边沿处设置有挡边(11)。
9.根据权利要求1～6任意一项所述打磨装置，其特征在于：工件限位盘(2)底部边沿处设置有向内倾斜的导屑边(12)，工作台(1)上设置有与该导屑边(12)相匹配的集屑槽(13)。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115609384A (zh) * | 2022-11-08 | 2023-01-17 | 江西江铃专用车辆厂有限公司 | 一种汽车配件用打磨装置及其打磨方法 |
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2018
- 2018-11-13 CN CN201821865276.6U patent/CN209954355U/zh not_active Expired - Fee Related
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