CN216097951U - 一种单晶硅片精确端面磨切机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开的属于磨切机技术领域，具体为一种单晶硅片精确端面磨切机，包括底板，所述底板上侧壁的右端纵向固定设置有支撑板，所述底板上侧壁的左端固定设置有对称的连接块，两个所述连接块之间通过轴承横向设置有第一丝杆，所述第一丝杆的左端贯穿连接块的侧壁延伸至左端并固定设置有第一旋转块，所述第一丝杆的杆壁螺纹连接有滑块，所述滑块的上侧壁固定设置有夹持固定装置，所述底板的上端通过夹持固定装置固定设置有单晶硅片，所述支撑板的左侧壁固定设置有机箱，便于通过收集槽有效对磨切盘打磨下来的晶体颗粒进行收集，避免晶体任意掉落，影响环境卫生。

Description

一种单晶硅片精确端面磨切机

技术领域

本实用新型涉及磨切机技术领域，具体为一种单晶硅片精确端面磨切机。

背景技术

单晶硅片，硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上，用于制造半导体器件、太阳能电池等，用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

在单晶硅片加工生产的过程中，往往需要使用端面磨切机对单晶硅片的端面进行打磨加工，但是磨切机在对单晶硅片进行打磨的过程中会产生大量的硅晶体颗粒，目前的磨切机却不能对打磨下来的硅晶体颗粒进行有效收集，从而影响卫生环境。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片精确端面磨切机，以解决上述背景技术中提出的现有的磨切机不可以对打磨下来的硅晶体颗粒进行有效收集，从而影响环境卫生的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片精确端面磨切机，包括底板，所述底板上侧壁的右端纵向固定设置有支撑板，所述底板上侧壁的左端固定设置有对称的连接块，两个所述连接块之间通过轴承横向设置有第一丝杆，所述第一丝杆的左端贯穿连接块的侧壁延伸至左端并固定设置有第一旋转块，所述第一丝杆的杆壁螺纹连接有滑块，所述滑块的上侧壁固定设置有夹持固定装置，所述底板的上端通过夹持固定装置固定设置有单晶硅片，所述支撑板的左侧壁固定设置有机箱，所述机箱的内部固定设置有电机，所述电机的输出端固定设置有转杆，所述转杆的左端贯穿机箱的侧壁延伸至左端并固定设置有磨切盘，所述磨切盘的下端设置有收集槽，所述机箱的下侧壁固定设置有固定块，所述固定块的左侧壁开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动设置有移动块，所述移动块的左侧壁固定设置有连接板，所述连接板的左侧壁与所述收集槽的右侧壁固定连接。

优选的，所述夹持固定装置包括两个支撑杆，两个所述支撑杆均与所述滑块的上侧壁固定连接，两个所述支撑杆的上端共同固定设置有放置底板，所述放置底板的下端转动设置有第二丝杆，所述第二丝杆的下端固定设置有第二旋转块，所述第二丝杆的杆壁螺纹连接有滑板，所述滑板的上侧壁固定设置有对称的移动杆，两个所述移动杆的上端均贯穿放置底板的侧壁延伸至上端并共同固定设置有夹板。

优选的，所述固定块的右侧壁固定设置有限位机构，所述限位机构包括限位杆，所述限位杆与所述固定块的右侧壁滑动连接，所述移动块的右侧壁开设有限位槽，所述限位杆的左端与所述限位槽之间卡接，所述限位杆的右端固定设置有限位块，所述限位杆的外部套接设置有弹簧，所述弹簧的左端与所述固定块的右侧壁固定连接，所述弹簧的右端与所述限位块的左侧壁固定连接。

优选的，所述磨切盘的上端固定设置有防护罩，所述防护罩的右端通过螺栓与所述机箱的上侧壁固定连接。

优选的，所述电机与外部电源电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过收集槽、移动块、连接板、固定块、限位杆、限位块和弹簧的共同配合，便于通过收集槽有效对磨切盘打磨下来的晶体颗粒进行收集，避免晶体任意掉落，影响环境卫生。

附图说明

图1为本实用新型正面结构示意图；

图2为图1中夹持固定装置的侧面结构示意图；

图3为图1中A部分的放大结构示意图。

图中：1底板、2支撑板、3连接块、4第一丝杆、5第一旋转块、6滑块、 7单晶硅片、8机箱、9电机、10转杆、11磨切盘、12收集槽、13固定块、14 移动块、15连接板、16支撑杆、17放置底板、18第二丝杆、19第二旋转块、20 滑板、21移动杆、22夹板、23限位杆、24限位块、25弹簧、26防护罩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例：

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶硅片精确端面磨切机，包括底板1，底板1上侧壁的右端纵向固定设置有支撑板2，底板1上侧壁的左端固定设置有对称的连接块3，两个连接块3之间通过轴承横向设置有第一丝杆4，第一丝杆4的左端贯穿连接块3的侧壁延伸至左端并固定设置有第一旋转块5，第一丝杆4的杆壁螺纹连接有滑块6，滑块6的上侧壁固定设置有夹持固定装置，底板1的上端通过夹持固定装置固定设置有单晶硅片7，支撑板2的左侧壁固定设置有机箱8，机箱8的内部固定设置有电机9，电机9的输出端固定设置有转杆10，转杆10的左端贯穿机箱8的侧壁延伸至左端并固定设置有磨切盘11，磨切盘11的下端设置有收集槽12，机箱8的下侧壁固定设置有固定块13，固定块13的左侧壁开设有滑槽，滑槽的内部滑动设置有移动块14，移动块14的左侧壁固定设置有连接板15，连接板15的左侧壁与收集槽12的右侧壁固定连接。

夹持固定装置包括两个支撑杆16，两个支撑杆16均与滑块6的上侧壁固定连接，两个支撑杆16的上端共同固定设置有放置底板17，放置底板17的下端转动设置有第二丝杆18，第二丝杆18的下端固定设置有第二旋转块19，第二丝杆18的杆壁螺纹连接有滑板20，滑板20的上侧壁固定设置有对称的移动杆21，两个移动杆21的上端均贯穿放置底板17的侧壁延伸至上端并共同固定设置有夹板22。

固定块13的右侧壁固定设置有限位机构，限位机构包括限位杆23，限位杆 23与固定块13的右侧壁滑动连接，移动块14的右侧壁开设有限位槽，限位杆23 的左端与限位槽之间卡接，限位杆23的右端固定设置有限位块24，限位杆23 的外部套接设置有弹簧25，弹簧25的左端与固定块13的右侧壁固定连接，弹簧25的右端与限位块24的左侧壁固定连接。

磨切盘11的上端固定设置有防护罩26，防护罩26的右端通过螺栓与机箱8 的上侧壁固定连接。

电机9与外部电源电性连接。

工作原理：使用时，将单晶硅片7进行横向固定，转动第二旋转块19，第二旋转块19带动上端的第二丝杆18转动，第二丝杆18带动杆壁螺纹连接的滑板20下移，滑板20带动上侧壁固定连接的移动杆21向下移动，两个移动杆21 带动上端的夹板22向下移动，将单晶硅片7进行固定，转动第一旋转块5，第一旋转块5带动第一丝杆4转动，第一丝杆4带动杆壁螺纹连接的滑块6向右移动，滑块6带动上侧壁的夹持固定装置和单晶硅片7向右移动，直至单晶硅片7的右端面与磨切盘11的左侧壁接触，启动电机9，电机9带动输出端固定连接的转杆10转动，转杆10带动左端的磨切盘11转动，对单晶硅片7的右端进行打磨，使打磨下来的晶体颗粒掉落到收集槽12的内部，当收集大量的晶体颗粒以后，拉动限位块24，限位块24带动左侧壁固定连接的限位杆23右移，使限位杆23的左端与限位槽之间分开，对收集槽12进行拆卸，对内部的晶体颗粒进行处理。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点, 对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种单晶硅片精确端面磨切机，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)上侧壁的右端纵向固定设置有支撑板(2)，所述底板(1)上侧壁的左端固定设置有对称的连接块(3)，两个所述连接块(3)之间通过轴承横向设置有第一丝杆(4)，所述第一丝杆(4)的左端贯穿连接块(3)的侧壁延伸至左端并固定设置有第一旋转块(5)，所述第一丝杆(4)的杆壁螺纹连接有滑块(6)，所述滑块(6)的上侧壁固定设置有夹持固定装置，所述底板(1)的上端通过夹持固定装置固定设置有单晶硅片(7)，所述支撑板(2)的左侧壁固定设置有机箱(8)，所述机箱(8)的内部固定设置有电机(9)，所述电机(9)的输出端固定设置有转杆(10)，所述转杆(10)的左端贯穿机箱(8)的侧壁延伸至左端并固定设置有磨切盘(11)，所述磨切盘(11)的下端设置有收集槽(12)，所述机箱(8)的下侧壁固定设置有固定块(13)，所述固定块(13)的左侧壁开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动设置有移动块(14)，所述移动块(14)的左侧壁固定设置有连接板(15)，所述连接板(15)的左侧壁与所述收集槽(12)的右侧壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：所述夹持固定装置包括两个支撑杆(16)，两个所述支撑杆(16)均与所述滑块(6)的上侧壁固定连接，两个所述支撑杆(16)的上端共同固定设置有放置底板(17)，所述放置底板(17)的下端转动设置有第二丝杆(18)，所述第二丝杆(18)的下端固定设置有第二旋转块(19)，所述第二丝杆(18)的杆壁螺纹连接有滑板(20)，所述滑板(20)的上侧壁固定设置有对称的移动杆(21)，两个所述移动杆(21)的上端均贯穿放置底板(17)的侧壁延伸至上端并共同固定设置有夹板(22)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：所述固定块(13)的右侧壁固定设置有限位机构，所述限位机构包括限位杆(23)，所述限位杆(23)与所述固定块(13)的右侧壁滑动连接，所述移动块(14)的右侧壁开设有限位槽，所述限位杆(23)的左端与所述限位槽之间卡接，所述限位杆(23)的右端固定设置有限位块(24)，所述限位杆(23)的外部套接设置有弹簧(25)，所述弹簧(25)的左端与所述固定块(13)的右侧壁固定连接，所述弹簧(25)的右端与所述限位块(24)的左侧壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：所述磨切盘(11)的上端固定设置有防护罩(26)，所述防护罩(26)的右端通过螺栓与所述机箱(8)的上侧壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片精确端面磨切机，其特征在于：所述电机(9)与外部电源电性连接。

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