CN215983613U - 一种烘干槽及烘干设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种烘干槽及烘干设备，涉及光伏技术领域，使得进入烘干腔内的风量更加均匀，并且减少漏风，以提高烘干效果和烘干效率。所述烘干槽包括：具有腔室的槽体；槽体开设有与腔室连通的开口；设在槽体内的隔离结构，隔离结构将腔室分隔为烘干腔与第一风道；隔离结构与开口相邻的侧面具有连通烘干腔与第一风道的至少一个第一出风部；以及用于控制开口开合的槽盖，槽盖内部具有第二风道以及与第二风道连通的至少一个第二出风部；当槽盖关闭所述开口，第一风道与第二风道连通，至少一个第二出风部连通所述烘干腔与第二风道。所述烘干设备包括上述技术方案所提的烘干槽。本实用新型提供的烘干槽用于光伏领域。

Description

一种烘干槽及烘干设备

技术领域

本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种烘干槽及烘干设备。

背景技术

目前，硅片在加工过程中，需要将清洗后的硅片放在烘干槽内对硅片进行烘干处理。烘干槽包括槽体以及盖合槽体的槽盖。槽体包括烘干腔、风道以及设在风道内的供风装置。风道与烘干腔连通，供风装置用于为风道和烘干腔提供热风。

现有技术中，风道的出风口位于烘干腔的侧部，不仅使进入烘干腔内的风量不均匀，导致硅片无法全部被烘干，而且风道内的风还会从槽体与槽盖之间的缝隙漏出，影响烘干效果和烘干效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种烘干槽及烘干设备，使得进入烘干腔内的风量更加均匀，并且减少漏风，以提高烘干效果和烘干效率。

第一方面，本实用新型提供一种烘干槽，包括：具有腔室的槽体，槽体开设有与腔室连通的开口。设在槽体内的隔离结构，隔离结构将腔室分隔为烘干腔与第一风道。隔离结构与开口相邻的侧面具有连通烘干腔与第一风道的至少一个第一出风部，以及用于控制开口开合的槽盖。槽盖内部具有第二风道以及与第二风道连通的至少一个第二出风部。当槽盖关闭开口，第一风道与第二风道连通，至少一个第二出风部连通烘干腔与第二风道。

采用上述技术方案的情况下，当槽盖关闭开口后，第一风道与第二风道连通，至少一个第二出风部连通烘干腔与第二风道，第一风道内的风可以通过至少一个第一出风部进入烘干腔内，还可以从第一风道向第二风道流动，然后通过至少一个第二出风部进入烘干腔。与现有技术中只在侧部开设出风部，且槽体上部没有密封结构，导致侧部风量不均匀，烘干槽内的风还会从槽体上部漏风相比，本实用新型提供的烘干槽的槽体上部设有槽盖，槽盖上设有至少一个第二出风部，将第一风道的风的余量引导至顶部第二风道，再通过至少一个第二出风部出风，不仅避免了漏风，而且形成顶部和侧面两侧同时出风，充分利用了风量，使得出风更均匀，并且加快了硅片烘干的速度，提高了烘干效果，减少了品质不良的硅片的产生，杜绝了湿片、脏片、碎片等事情的发生，有效提高了生产效率以及成品率。

在一种可能的实现方式中，烘干槽还包括用于控制第一风道和第二风道通断的风道开关结构。可以通过风道开关结构可以控制第一风道和第二风道的通断，进而实现对烘干腔内的硅片双风场或单风场的烘干。

作为一种示例，风道开关结构包括设于第一风道或第二风道内的可拆卸挡风板。

作为另外一种示例，风道开关结构包括设于第一风道或第二风道内的阀门。

在一种可能的实现方式中，至少一个第一出风部的出风面积大于至少一个第二出风部的出风面积。

采用上述技术方案的情况下，从至少一个第二出风部进入烘干腔的风为第一风道中的余风。基于此，从至少一个第一出风部中进入烘干腔内的风量大于从至少一个第二出风部进入烘干腔内的风量，即侧部的出风量大于顶部的出风量，使得烘干硅片时利用的风以侧部为主，顶部为辅，充分利用了烘干槽内的现有风量，加快了硅片的烘干速度，提高了烘干效率。

在一种可能的实现方式中，第一出风部的数量为多个。多个第一出风部沿垂直于槽体的槽深延伸方向分布。

采用上述技术方案的情况下，多个第一出风部用于将第一风道中的风送至烘干腔内，多个第一出风部沿垂直于槽体的槽深延伸方向分布，使得从第一出风部送出的风可以从不同的高度进入烘干腔内，并同时对硅片进行烘干，提高了烘干效率，还可以避免因风向单一导致的硅片局部脏污或湿片等，提高了硅片成品率。

在一种可能的实现方式中，至少一个第一出风部为阶梯式出风部。阶梯式出风部沿槽体的槽深增加方向的出风面积减小。

采用上述技术方案的情况下，阶梯式出风部的出风面积沿槽体的槽深增加方向而减小，使得随着槽深增加的方向，出风量逐渐减小，不仅可以给第二风道导风，还可以使得出风均匀，提高风的循环流转，进而提高烘干效率。

在一种可能的实现方式中，至少一个第一出风部包括沿槽体的槽深延伸方向间隔分布的多个第一出风口。沿槽体的槽深增加方向，多个第一出风口的出风面积减小。

在一种可能的实现方式中，至少一个第一出风口为条形出风口。条形出风口的延伸方向垂直于槽体的槽深延伸方向；或，至少一个第一出风口为通孔。

采用上述技术方案的情况下，当至少一个第一出风口为条形出风口时，条形出风口的延伸方向垂直于槽体的槽深延伸方向，使得从第一出风口中送出的风的风向与硅片所在的平面平行，在不造成硅片碎片的情况下，提高了硅片烘干的效率。

在一种可能的实现方式中，隔离结构与开口相对的侧面设有至少一个回风部。至少一个回风部与槽体可拆卸连接。至少一个回风部具有连通烘干腔与第一风道的至少一个回风口。

采用上述技术方案的情况下，烘干腔内的气体可以通过回风部上的至少一个回风口进行回风，然后再进入第一风道对硅片烘干。回风口的设置使得烘干槽内的风可以循环流动，降低了生产成本。至少一个回风部与槽体可拆卸连接，便于更换回风部。

在一种可能的实现方式中，隔离结构包括相互连接的底壁与至少一个侧壁。底壁与至少一个侧壁围成烘干腔。至少一个第一出风部设在至少一个侧壁上。侧壁还具有至少一个调节部。至少一个调节部用于调节相应侧壁在竖直方向上的位置。至少一个侧壁与槽体可拆卸连接。可以通过至少一个调节部来调节侧壁在竖直方向上的位置，进而调节至少一个第一出风部在竖直方向上的位置，实现了对风向的上中下调节，便于针对具体情况调节从侧壁送出的风在竖直方向上的输出位置。至少一个侧壁与槽体可拆卸连接，便于侧壁的更换。

在一种可能的实现方式中，隔离结构还包括与槽体可拆卸连接的至少一个隔风板。隔离结构包括第一状态和第二状态。当隔离结构处于第一状态，至少一个隔离板与槽体分离，至少一个侧壁与槽体可拆卸连接在一起，至少一个侧壁与底壁围成烘干腔。当隔离结构处于第二状态，至少一个侧壁与槽体分离，至少一个隔风板与槽体可拆卸连接在一起，至少一个隔风板与底壁围成烘干腔。

采用上述技术方案的情况下，侧壁具有第一出风部，隔风板没有出风口。当隔离结构处于第一状态时，至少一个侧壁与槽体可拆卸连接在一起，此时烘干槽内的风可以通过侧壁上的至少一个第一出风部和槽盖上的至少一个第二出风部同步对烘干腔内的硅片进行烘干，形成稳定的双风场，提高了烘干速度以及烘干效果。当隔离结构处于第二状态时，至少一个隔风板与槽体可拆卸连接在一起，此时烘干槽内的风可以通过槽盖上的至少一个第二出风部对烘干腔内的硅片进行单风场烘干。侧壁和隔风板都与槽体可拆卸连接，可以根据不同情况在侧壁和隔风板之间更换。

第二方面，本实用新型还提供一种烘干设备，包括第一方面或第一方面任一可能的实现方式描述的烘干槽。

第二方面提供的烘干设备的有益效果与第一方面或第一方面任一可能的实现方式描述的烘干槽的有益效果相同，此处不做赘述。

在一种可能的实现方式中，烘干设备还包括位于第一风道内的供风装置；和/或，烘干设备还包括位于第一风道内的加热装置。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例提供的烘干设备的左视图；

图2为本实用新型实施例提供的烘干设备的主视图；

图3为本实用新型实施例提供的侧壁的示意图；

图4为本实用新型实施例提供的烘干设备的立体视图。

附图标记：

10-烘干槽， 100-隔离结构，

101-烘干腔， 102-第一风道，

103-第一出风部， 104-槽盖，

105-第二风道， 106-通风孔，

1030-第一出风口， 107-回风部，

108-支撑架， 1080-定位件，

109-过滤网， 1000-底壁，

1001-侧壁， 1-烘干设备，

11-供风装置， 12-加热装置，

13-驱动装置， 14-槽盖框架，

15-气缸， 16-气缸安装架，

17-到位感应器， 2-硅片，

3-花篮， 10010-调节部。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，有着广泛的市场需求硅片生产是太阳能光伏产业链条中的一个重要环节，硅片产品需要进行严格的品质检查，硅片的外观形状直接影响太阳能电池的质量。

插片清洗是硅片生产中的一个重要环节，清洗时需要把硅片分开并插入花篮。经过溶液清洗、烘干后，需要将成品件输送到后工段检测。清洗后的硅片上会有残留有大部分液体，这时需要烘干后再流入后工序。烘干时，需要将清洗后的硅片放在烘干设备中的烘干槽内对硅片进行烘干处理。由于烘干槽槽体本身的设计问题，烘干槽会出现漏风、槽体内部风量不不均匀等问题，导致清洗后的硅片无法全部烘干。对硅片正常生产造成比较严重的影响，还会造成硅片清洗不干净，损失较大。

图1示例出了本实用新型实施例提供的烘干设备的左视图。

图2示例出了本实用新型实施例提供的烘干设备的主视图。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供一种烘干槽10，包括：具有腔室的槽体，槽体开设有与腔室连通的开口。设在槽体内的隔离结构100，隔离结构100将腔室分隔为烘干腔101与第一风道102。隔离结构100与开口相邻的侧面具有连通烘干腔101与第一风道102的至少一个第一出风部103，以及用于控制开口开合的槽盖104。槽盖104内部具有第二风道105以及与第二风道105连通的至少一个第二出风部。当槽盖104关闭开口，第一风道102与第二风道105连通，至少一个第二出风部连通烘干腔101与第二风道105。

具体实施时，如图1和图2所示，当承载有硅片2的花篮3从开口放入烘干腔101内后，通过关闭槽盖104将开口关闭。腔体内的一部分风通过侧面上的至少一个第一出风部103从第一风道102进入到烘干腔101内，对硅片2进行烘干，另一部分风穿过第一风道102进入第二风道105，通过槽盖104上的至少一个第二出风部从槽盖104进入到烘干腔101内，对硅片2进行烘干。烘干结束后，打开槽盖104，通过开口将花篮3取出。

通过上述烘干槽10的组成结构和具体实施过程可知，如图1和图2所示，当槽盖104关闭开口后，第一风道102与第二风道105连通，至少一个第二出风部连通烘干腔101与第二风道105，第一风道102内的风可以通过至少一个第一出风部103进入烘干腔101内，还可以从第一风道102向第二风道105流动，然后通过至少一个第二出风部进入烘干腔101。与现有技术中只在侧部开设出风部，且槽体上部没有密封结构，导致侧部风量不均匀，烘干槽10内的风还会从槽体上部漏风相比，本实用新型提供的烘干槽10的槽体上部设有槽盖104，槽盖104上设有至少一个第二出风部，将第一风道102的风的余量引导至第二风道105，再通过至少一个第二出风部出风，不仅避免了漏风，而且形成顶部和侧面两侧同时出风的双风场，充分利用了风量，使得进入烘干腔101内的风量更加均匀，并且加快了硅片2烘干的速度，提高了烘干效果，减少了品质不良的硅片2的产生，杜绝了湿片、脏片、碎片等事情的发生，有效提高了生产效率以及成品率。

在一些示例中，如图1和图2所示，槽盖104两端分别具有用于连通第一风道102与第二风道105的通孔，第一风道102内的风可以通过通孔进入槽盖104内的第二风道105，然后通过至少一个第二出风部进入烘干腔101内。

在一些示例中，如图1所示，烘干槽10还包括至少一个通风孔106。当腔体内的一部分风由第一风道102进入第二风道105后，可以通过至少一个通风孔106和至少一个第二出风部同步进入烘干腔101内，通风孔106可以增大顶部的出风量，加快硅片2的烘干速度。

示例性的，如图1所示，烘干槽10包括10个通风孔106。

在一些示例中，第一出风部103的数量可以为10个，第二出风部的数量可以为5个。

作为一种可能的实现方式，至少一个第一出风部103的出风面积大于至少一个第二出风部的出风面积。从至少一个第二出风部进入烘干腔101的风为第一风道102中的余风。基于此，从至少一个第一出风部103中进入烘干腔101内的风量大于从至少一个第二出风部进入烘干腔101内的风量，即侧部的出风量大于顶部的出风量，使得烘干硅片2时利用的风以侧部为主，顶部为辅，充分利用了烘干槽10内的现有风量，加快了硅片2的烘干速度，提高了烘干效率。

图3示例出了本实用新型实施例提供的侧壁的示意图。

作为一种可能的实现方式，如图2和图3所示，第一出风部103的数量为多个。多个第一出风部103沿垂直于槽体的槽深延伸方向分布。多个第一出风部103用于将第一风道102中的风送至烘干腔101内，多个第一出风部103沿垂直于槽体的槽深延伸方向分布，使得从第一出风部103送出的风可以从不同的高度进入烘干腔101内，并同时对硅片2进行烘干，提高了烘干效率，还可以避免因风向单一导致的硅片2局部脏污或湿片等，提高了硅片2成品率。

示例性的，如图3所示，第一出风部103的数量为6个，这6个第一出风部103关于中轴线对称分布。

在一些示例中，如图2和图3所示，至少一个第一出风部103为阶梯式出风部。阶梯式出风部沿槽体的槽深增加方向的出风面积减小。阶梯式出风部的出风面积沿槽体的槽深增加方向而减小，使得随着槽深增加的方向，出风量逐渐减小，不仅可以给第二风道105导风，还可以使得出风均匀，提高风的循环流转，进而提高烘干效率。

在一些示例中，如图2和图3所示，至少一个第一出风部103包括沿槽体的槽深延伸方向间隔分布的多个第一出风口1030。沿槽体的槽深增加方向，多个第一出风口1030的出风面积减小。例如，如图3所示，每个第一出风部103包括沿槽体的槽深延伸方向间隔分布的6个第一出风口1030，沿槽体的槽深增加方向，每个第一出风口1030的出风面积减小。

示例性的，如图2和图3所示，至少一个第一出风口1030为条形出风口。条形出风口的延伸方向垂直于槽体的槽深延伸方向；或，至少一个第一出风口1030为通孔。如图3所示，当至少一个第一出风口1030为条形出风口时，条形出风口的延伸方向垂直于槽体的槽深延伸方向，使得从第一出风口1030中送出的风的风向与硅片2所在的平面平行，在不造成硅片2碎片的情况下，提高了硅片2烘干的效率。

作为一种可能的实现方式，隔离结构100与开口相对的侧面设有至少一个回风部107。至少一个回风部107与槽体可拆卸连接。至少一个回风部107具有连通烘干腔101与第一风道102的至少一个回风口。烘干腔101内的气体可以通过回风部107上的至少一个回风口进行回风，然后再进入第一风道102对硅片2烘干。回风口的设置使得烘干槽10内的风可以循环流动，降低了生产成本。至少一个回风部107与槽体可拆卸连接，便于更换回风部107。

在一些示例中，如图1所示，隔离结构100与开口相对的侧面设有2个回风部107。2个回风部107与槽体可拆卸连接。每个回风部107具有连通烘干腔101与第一风道102的5个回风口。

作为一种可能的实现方式，如图1和图2所示，烘干槽10内包括用于承载花篮3的支撑架108，支撑架108表面设有对花篮3起定位和导向作用的定位件1080，该定位件1080可以为倾斜式板状定位件1080。此外，支撑架108下方还可以设有过滤网109，用来稳定烘干腔101内的风场，避免烘干腔101内的气体相互扰动产生气场紊乱以及过滤需要回风的气体。

作为一种可能的实现方式，如图1～图3所示，隔离结构100包括相互连接的底壁1000与至少一个侧壁1001。底壁1000与至少一个侧壁1001围成烘干腔101。至少一个第一出风部103设在至少一个侧壁1001上。侧壁1001还具有至少一个调节部10010。至少一个调节部10010用于调节相应侧壁1001在竖直方向上的位置。至少一个侧壁1001与槽体可拆卸连接。可以通过至少一个调节部10010来调节侧壁1001在竖直方向上的位置，进而调节至少一个第一出风部103在竖直方向上的位置，实现了对风向的上中下调节，便于针对具体情况调节从侧壁1001送出的风在竖直方向上的输出位置。至少一个侧壁1001与槽体可拆卸连接，便于侧壁1001的更换。例如，两个侧壁1001与槽体可拆卸连接。

在一些示例中，如图1和图3所示，隔离结构100包括相互连接的底壁1000与两个侧壁1001。底壁1000与两个侧壁1001围成烘干腔101。每个侧壁1001上设有6个第一出风部103。侧壁1001还具有4个调节部10010。4个调节部10010用于调节相应侧壁1001在竖直方向上的位置。如图3所示，4个调节部10010两两分组，关于侧壁1001中轴线对称分布在相应侧壁1001的左右两端。调节部10010可以为条形调节孔，使用时可以通过螺栓等连接件固定，连接件可以在条形调节孔内部上下移动，依次来调节侧壁1001在竖直方向上的位置，进而调节至少一个第一出风部103在竖直方向上的位置，实现对风向的上中下调节。

在一些示例中，至少一个侧壁1001与槽体可拆卸连接。至少一个侧壁1001与槽体可拆卸连接，便于侧壁1001的更换。例如，两个侧壁1001与槽体为槽体可拆卸连接。

作为一种可能的实现方式，如图1～图3所示，隔离结构100还包括与槽体可拆卸连接的至少一个隔风板。隔离结构100包括第一状态和第二状态。当隔离结构100处于第一状态，至少一个隔离板与槽体分离，至少一个侧壁1001与槽体可拆卸连接在一起，至少一个侧壁1001与底壁1000围成烘干腔101。当隔离结构100处于第二状态，至少一个侧壁1001与槽体分离，至少一个隔风板与槽体可拆卸连接在一起，至少一个隔风板与底壁1000围成烘干腔101。

由此可见，侧壁1001具有第一出风部103，隔风板没有出风口。当隔离结构100处于第一状态时，至少一个侧壁1001与槽体可拆卸连接在一起，此时烘干槽10内的风可以通过侧壁1001上的至少一个第一出风部103和槽盖104上的至少一个第二出风部同步对烘干腔101内的硅片2进行烘干，形成稳定的双风场，提高了烘干速度以及烘干效果。当隔离结构100处于第二状态时，至少一个隔风板与槽体可拆卸连接在一起，此时烘干槽10内的风可以通过槽盖104上的至少一个第二出风部和至少一个通风孔106对烘干腔101内的硅片2进行单风场烘干，由顶部送出的风与硅片2所在的平面平行。侧壁1001和隔风板都与槽体可拆卸连接，可以根据不同情况在侧壁1001和隔风板之间更换。

作为一种可能的实现方式，烘干槽10还包括用于控制第一风道102和第二风道105通断的风道开关结构。风道开关结构设于第一风道102与第二风道105的连接处。可以通过风道开关结构可以控制第一风道102和第二风道105的通断，进而实现对烘干腔101内的硅片2双风场或单风场的烘干。当风道开关机构控制第一风道102与第二风道105之间连通时，烘干腔101内既有从第一风道102通过第一出风部103送出的风，又有从第二风道105用过第二出风部送出的风，此时烘干腔101内为双风场烘干。当风道开关机构控制第一风道102与第二风道105之间不连通时，烘干腔101内只有从第一风道102通过第一出风部103送出的风，此时烘干腔101内为单风场烘干。

在一些示例中，风道开关结构包括设于第一风道102或第二风道105内的可拆卸挡风板；或，风道开关结构包括设于第一风道102或第二风道105内的阀门。具体实施时，可以通过调整可拆卸挡板在第一风道102与风道连接处的开关，或者调节阀门的开关来控制第一风道102与第二风道105之间的通断。

图4示例出了本实用新型实施例提供的烘干设备的立体视图。

如图4所示，本实用新型实施例还提供一种烘干设备1，包括上述烘干槽10。

与现有技术相比，本实用新型实施例提供的烘干设备1的有益效果与上述烘干槽10的有益效果相同，此处不做赘述。

作为一种可能的实现方式，如图1～图4所示，烘干设备1还包括位于第一风道102内的供风装置11；和/或，烘干设备1还包括位于第一风道102内的加热装置12。

在一些示例中，如图1～图4所示，烘干设备1还包括位于相应供风装置11下方用去驱动供风装置11的驱动装置13。供风装置11的数量可以为两个，相应的，驱动装置13的数量也为两个。例如，供风装置11可以为2.2KW的耐高温叶轮，驱动装置13可以为功率为2.2KW/2840r/min高转速风机。由于现有的烘干设备1所具有的风机自身功率为1.5KW/1800r/min，风速不够，风力稳定性不够，风速忽高忽低，会导致风机电机频繁损坏，造成生产成本的损失，同时还影响后工序正常运行。本实用新型实施例提供的供风装置11可以为功率为2.2KW/2840r/min高转速风机。与现有技术相比，本实用新型实施例提供的烘干槽10的出风口增多，故使用高转速风机，可以提高出风量，进而提高对硅片2的烘干效果。而现有技术中出风口较少，增大风机功率会导致风量过大，容易出现碎片。2.2KW/2840r/min的高转速风机与2.2KW的耐高温叶轮相配合，使得本实用新型实施例提供的供风设备的出风量比现有技术增加50％以上。

在一些示例中，加热装置12可以为加热丝、加热管等。例如，如图1～图4所示，加热装置12可以为U型加热管，第一风道102两侧对称分布有6个U型加热管。对腔室内的气体加热后，可以通过风的流动和风中含有的热量同时对硅片2进行烘干，加快了烘干速度。

作为一种可能的实现方式，如图4所示，烘干设备1还包括位于烘干槽10上方的槽盖框架14，在槽盖框架14内，槽盖104可以在靠近和远离烘干槽10上表面的水平方向上来回移动。具体实施时，当需要烘干硅片2时，放入承载有硅片2的花篮3后，可以将槽盖104移动至烘干槽10上表面；当硅片2烘干结束时，可以将槽盖104移动至槽盖104框架远离烘干槽10的一端，然后取出花篮3。

在一些示例中，槽盖104在槽盖框架14内的移动方式可以为电动、气动或液压等方式来驱动的。示例性的，当槽盖104在槽盖框架14内的移动方式为气动时，烘干设备1还包括设于槽盖框架14上方的气缸15与气缸安装架16，在气缸15的带动下，槽盖104可以沿着气缸安装架16的方向在靠近和远离烘干槽10上表面的水平方向上来回移动。当槽盖104在槽盖框架14内的移动方式为气动时，烘干设备1还可以包括设在槽盖框架14远离烘干槽10的一端上的到位感应器17，到位感应器17可以在槽盖104移动至远离烘干槽10位置时对槽盖104起限位和助力的作用。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种烘干槽，其特征在于，包括：

具有腔室的槽体；所述槽体开设有与所述腔室连通的开口；

设在所述槽体内的隔离结构，所述隔离结构将所述腔室分隔为烘干腔与第一风道；所述隔离结构与所述开口相邻的侧面具有连通所述烘干腔与所述第一风道的至少一个第一出风部；

以及用于控制所述开口开合的槽盖，所述槽盖内部具有第二风道以及与所述第二风道连通的至少一个第二出风部；

当所述槽盖关闭所述开口，所述第一风道与所述第二风道连通，所述至少一个第二出风部连通所述烘干腔与所述第二风道。

2.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述烘干槽还包括用于控制所述第一风道和所述第二风道通断的风道开关结构；

所述风道开关结构包括设于所述第一风道或所述第二风道内的可拆卸挡风板；或，

所述风道开关结构包括设于所述第一风道或所述第二风道内的阀门。

3.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述至少一个第一出风部的出风面积大于所述至少一个第二出风部的出风面积。

4.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，所述第一出风部的数量为多个，多个所述第一出风部沿垂直于所述槽体的槽深延伸方向分布。

5.根据权利要求1所述的烘干槽，其特征在于，至少一个所述第一出风部为阶梯式出风部，所述阶梯式出风部沿所述槽体的槽深增加方向的出风面积减小。

6.根据权利要求5所述的烘干槽，其特征在于，至少一个所述第一出风部包括沿所述槽体的槽深延伸方向间隔分布的多个第一出风口；

沿所述槽体的槽深增加方向，多个所述第一出风口的出风面积减小。

7.根据权利要求6所述的烘干槽，其特征在于，至少一个所述第一出风口为条形出风口，所述条形出风口的延伸方向垂直于所述槽体的槽深延伸方向；或，

至少一个所述第一出风口为通孔。

8.根据权利要求1～7任一项所述的烘干槽，其特征在于，所述隔离结构与所述开口相对的侧面设有至少一个回风部，至少一个所述回风部与所述槽体可拆卸连接，至少一个所述回风部具有连通所述烘干腔与所述第一风道的至少一个回风口。

9.根据权利要求1～7任一项所述的烘干槽，其特征在于，所述隔离结构包括相互连接的底壁与至少一个侧壁，所述底壁与所述至少一个侧壁围成所述烘干腔，所述至少一个第一出风部设在所述至少一个侧壁上；所述侧壁还具有至少一个调节部，至少一个所述调节部用于调节相应所述侧壁在竖直方向上的位置；所述至少一个侧壁与所述槽体可拆卸连接。

10.一种烘干设备，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的烘干槽。

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