CN210956608U - 炉体设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种炉体设备，包括：加热装置，包括炉体、加热件和抽风装置，炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，第一内室适于与工艺腔相连通，加热件设置在第二内室内，抽风装置设置在炉体上，用于将第二内室中的气体抽入第一内室；传送装置，至少部分设置在工艺腔内，传送装置包括传动件和载具，载具设置在传动件上，传动件用于带动载具相对于工艺腔运动。本实用新型提供的炉体设备，由于气体在第二内室中进行了预加热，从而气体温度均匀恒定，这样气体进入工艺腔后，使得工艺腔内温度均匀恒定，提高对硅片的烘干固化效果及成品率，避免炉腔内出现温度不均的现象。

Description

炉体设备

技术领域

本实用新型涉及光伏电池片技术领域，更具体而言，涉及一种炉体设备。

背景技术

HIT(Heterojunction with intrinsic Thinlayer)太阳能光伏电池制备时，硅片表面印刷完导电浆后需要进行烘干、固化。传统的加热装置是将红外加热器安装在炉腔(工艺腔)内，然后鼓吹冷空气进入炉腔。在烘干及固化过程中，冷空气直接吹入炉腔，导致炉腔内温度忽冷忽热、温度不均。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的目的在于提供一种炉体设备。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案提供了一种炉体设备，包括：加热装置，包括炉体、加热件和抽风装置，所述炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，所述第一内室适于与工艺腔相连通，所述加热件设置在所述第二内室内，所述抽风装置设置在所述炉体上，用于将所述第二内室中的气体抽入所述第一内室；传送装置，至少部分设置在所述工艺腔内，所述传送装置包括传动件和载具，所述载具用于承载硅片并设置在所述传动件上，所述传动件用于带动所述载具相对于所述工艺腔运动。

本实用新型上述技术方案提供的炉体设备，加热件位于第二内室内，气体在第二内室中进行预加热。抽风装置将第二内室中预加热的气体抽送至第一内室，热空气在第一内室进一步混合均匀，第一内室与工艺腔相连通，从而预加热的气体进入工艺腔，对经过工艺腔的硅片进行加热。

由于气体在第二内室中进行了预加热，从而气体温度均匀恒定，这样气体进入工艺腔后，使得工艺腔内温度均匀恒定，提高对硅片的烘干固化效果及成品率，避免炉腔内出现温度不均的现象。

硅片位于载具上，载具连接在传动件上，从而实现硅片随传动件移动，实现对硅片的传动。在传动件的带动下，载具和硅片进入工艺腔，并相对于工艺腔运动，以实现对硅片的烘干固化。

另外，本实用新型上述技术方案提供的炉体设备还具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，所述炉体的数量为两个，分别为相对设置的第一炉体和第二炉体，所述第一炉体和所述第二炉体围设出所述工艺腔，所述第一炉体的所述第二内室上设有冷空气进风口，所述第二炉体的所述第二内室上设有压缩空气进风口。

冷空气进风口处连接有冷空气进风管，压缩空气进风口上连接有压缩空气进风管，冷空气由冷空气进风管进入第一炉体的第二内室，经第二内室中的加热件预加热成热空气。压缩空气由压缩空气进风管进入第二炉体的第二内室，经第二内室中的加热件加热成热空气。

设置冷空气进风口和压缩空气进风口，通过压缩空气进风口进入的压缩空气，可以实现工艺腔内新鲜空气的补充，保证加热工艺腔体内气体的洁净，保证第一内室吹出的风的品质，满足硅片生产，提升烘干固化效果及效率。

进一步地，第一炉体和第二炉体上下设置，例如第一炉体位于第二炉体的上方。

进一步地，加热装置包括多个加热区，多个加热区依次拼接，每一加热区包括一个第一炉体和第二炉体，每一加热区的第二炉体的第二内室上设有压缩空气进风口，每一第二内室的压缩空气单独调节。

上述任一技术方案中，所述炉体上设有升降装置，以带动所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动，其中，所述升降装置包括电动杆或液压缸或气缸或电磁推杆。

通过升降装置带动第一炉体相对于第二炉体上下运动，在升降装置带动第一炉体相对于第二炉体向下运动时，可以实现第一炉体和第二炉体的装配，形成工艺腔；在第一炉体相对于第二炉体向上运动时，第一炉体和第二炉体相分离，第一炉体升高，方便对设备进行维护。

通过电动杆、液压缸、气缸或电磁推杆可以带动第一炉体相对于第二炉体的上下运动，且此时升降装置的结构简单、成本低。

进一步地，升降装置的数量为多个，例如，升降装置为电动杆，电动杆的数量为四个。

上述任一技术方案中，所述第一炉体上设有导向部，所述第二炉体上设有导向配合部，所述导向部与所述导向配合部相配合，以引导所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动。

导向部和导向配合部相配合，以导向第一炉体相对于第二炉体的升降动作(上下运动)，实现第一炉体相对于第二炉体的上下往复运动，防止第一炉体相对于第二炉体运动过程中出现偏移。

上述任一技术方案中，所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向杆，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向槽，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动；或者，所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向槽，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向杆，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动。

在第一炉体相对于第二炉体上下运动时，导向杆位于导向槽内，并向对于导向槽上下运动，以导向第一炉体相对于第二炉体的升降动作。

进一步地，导向槽和导向杆设置在炉体的外表面上，导向槽数量为多个，导向杆的数量与导向槽的数量相等并一一对应，例如导向杆和导向槽设置在炉体的两侧面上，导向杆为沿上下方向设置的导杆，导向槽包括第一凸起和第二凸起，第一凸起和第二凸起相对设置，并限定出导向槽。

上述任一技术方案中，炉体设备包括：匀流板，构成所述第一内室的至少部分侧壁，所述匀流板上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述第一内室相对应，且所述第一内室通过所述第一通孔与所述工艺腔相连通，所述第二通孔与所述第二内室相对应，所述第二内室通过所述第二通孔与所述工艺腔相连通；其中，所述第一通孔的数量为多个，沿气体从所述第一内室流向所述工艺腔的方向，所述第一通孔的截面积减小，且单个所述第一通孔的开孔面积小于单个所述第二通孔的开孔面积。

第一内室中的气体在抽风装置的作用下，通过第一通孔流入工艺腔，从而实现第一内室与工艺腔的连通。

进一步地，第一通孔的数量为多个，且多个第一通孔在匀流板上均匀分布，以使第一内室中的气流能够进入工艺腔各处，进一步提高工艺腔中温度的均匀性。

进一步地，沿气体从所述第一内室流向所述工艺腔的方向，所述第一通孔的截面积减小。

第一通孔上靠近第一内室处孔径大，第一通孔靠近工艺腔处孔径小，经加热件加热的热空气从大孔径一侧流向小孔径一侧，具有均匀分散热空气，减小热空气的流动阻力的作用。

进一步地，沿气体从第一内室流向工艺腔的方向，第一通孔的截面积逐渐减小。例如，第一通孔为圆孔，第一通孔呈Y形，第一通孔朝向第一内室的一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后成不再改变直至完全贯穿匀流板。可以理解，第一通孔可以呈除圆形外的任意形状，例如长方形、椭圆形等。

工艺腔中的气体(主要为热空气)通过第二通孔流回第二内室，实现热空气的循环，从而实现热风循环加热使用，减小热量损失，保证炉体内温度恒定。

进一步地，所述第二内室位于所述第一内室的外围，且所述第二内室由所述第一内室的围壁与所述炉体的内侧壁围成，且所述第二通孔位于所述第一通孔的外围。

进一步地，第二通孔的数量为多个，且多个第二通孔设置在匀流板的边缘，并均匀设置，例如匀流板呈长方形，多个第二通孔沿匀流板的长度方向或宽度方向均匀分布。

进一步地，单个第二通孔的开孔面积大于单个第一通孔的开孔面积，从而可以减小第二通孔的数量，降低匀流板的制造成本，例如第二通孔的数量小于第一通孔的数量，第二通孔为长方形、圆形或任意其它形状。

进一步地，加热装置包括：调节装置，设置在所述第二通孔处，用于调节所述第二通孔的开孔尺寸。

调节装置用于调节第二通孔的开孔尺寸，以控制从工艺腔中回流至第二内室中的热空气的量，以循环使用热空气，且能够进一步控制炉体内温度恒定。

上述任一技术方案中，炉体设备包括：排废装置，所述排废装置包括排废管、排废箱、连接口和防火阀，所述排废管与至少一个所述第一内室相连通，所述排废箱连通在所述排废管和所述连接口之间，且所述连接口与所述排废箱之间具有与外界相连通的间隙，所述防火阀连接在所述连接口背离所述排废箱的一端，所述防火阀用于打开或关闭所述连接口；其中，沿气体在所述连接口中的流动方向，所述连接口的流通面积减小。

排废管与第一内室相连接并连通，第一内室中的一部分热空气进入排废管，排废管中的热空气进入排废箱，通过排废箱排出至外部，从而将第一内室中的一部分热空气排出炉体外，保证工艺腔中空气的品质。

进一步地，加热装置包括多个加热区，多个加热区依次拼接，每一加热区的第一炉体的第一内室与排废管相连接并连通，排废管汇集连通到排废箱。

在驱动力的作用下，气体由排废管流入排废箱，再从排废箱中流入连接口，在排废箱与连接口的连接处具有与外界相连通的间隙，这样当驱动力过大时，外界空气可以从间隙中进入连接口，避免第一内室中过多气体流出至连接口而导致工艺腔中气体量不足。

沿气体在所述连接口中的流动方向，连接口的流通面积减小，具有使气体均匀流畅的流经连接口，减小气体在连接口中的流动阻力的作用。

气体依次流经排废管、排废箱、连接口和防火阀。当第二内室或工艺腔中气体温度过高超过预设温度值时，关闭防火阀，隔绝热源，避免高温气体设备的一些部件造成损坏。当第二内室或工艺腔中的气体的温度小雨或等于预设温度值时，防火阀打开，使得气体能够流经防火阀。

上述任一技术方案中，所述排废装置设置在所述第一炉体上，且所述排废管与所述第一炉体的所述第一内室相连通。

压缩空气进风口设置在第二炉体上，排废装置设置在第一炉体上，避免压缩空气进风口与排废装置造成干涉，方便压缩空气进风口和排废装置的设置。

进一步地，第一炉体位于第二炉体的上方，排废装置位于压缩空气进风口的上方。

上述任一技术方案中，所述载具包括支撑板及设置在所述支撑板上的定位件和固定件，所述定位件用于支撑所述硅片的底部，所述固定件和所述定位件设置在所述支撑板的同一侧，所述固定件用于限位所述硅片的侧边，并使所述硅片在所述载具中侧立传动。

固定件与定位件设置在支撑板的同一侧，从而可以实现载具对硅片的侧立输送，满足传送要求，并有效提升烘干固化等工作效率，以致将硅片传送到炉体中，可实现对硅片的正面与背面加热烘干及固化，缩短工艺时间，提升烘干固化效果及成品率。

上述任一技术方案中，所述固定件包括相对设置的第一连杆和第二连杆，所述第一连杆和所述第二连杆设置在所述支撑板上，所述固定件还包括设置在所述第一连杆和所述第二连杆之间的耳托部，所述耳托部位于所述第一连杆及所述第二连杆背离所述定位件的一侧并限定出开口朝向所述定位件的开口槽，所述耳托部用于限位所述硅片的侧边。

固定件在支撑板的端头立起，且固定件远离支撑板的一端设有耳托部，耳托部围设硅片的相应侧边，耳托部与硅片的侧边接触，避免接触硅片的中部，有效保护硅片上的印刷，提升产品成品率及光电效率。

固定件由杆体弯折构造，固定件具有前后间隔的第一连杆和第二连杆，第一连杆和第二连杆之间的间隙适配硅片侧立置放，第一连杆和第二连杆远离支撑板的一端由耳托部连在一起。该结构简单，制作容易。进一步地，耳托部为V形侧翼状，满足硅片的宽度尺寸，并保证耳托部围设硅片的相应侧边、适当托持，实现硅片侧立输送，满足传送要求。

进一步地，支撑板与固定件组合成凹字形，支撑板与硅片输送方向交叉横设，支撑板的上侧面与固定件合围满足硅片侧立置放，固定件接触硅片的边缘，避免接触硅片的中部，有效保护硅片上的印刷。

第一连杆和第二连杆向两端沿支撑板的轴向(长度方向)向外延伸后，形成一个V型耳托部，具有V形槽，以放置硅片，降低了电池片(硅片)划伤的可能性。

进一步地，固定件的数量为多个，例如固定件的数量为两个，且两个固定件分别位于支撑板长度方向的两端。

上述任一技术方案中，所述传动件包括双排链条、双排链轮和传动轴，所述双排链轮与所述双排链条相啮合，所述传动轴穿过所述双排链轮，并用于带动所述双排链轮转动；其中，所述传动轴的数量为多个，其中至少一个所述传动轴为主动轴，以形成传动循环，且每一所述传动轴上依次设有多个所述双排链轮，所述双排链条的数量与一所述传动轴上设置的所述双排链轮的数量相等并一一对应。

载具连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片的传动。采用双排链条传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

双排链条包括外链板、销轴、中链板和内链板，两所述外链板通过所述销轴连接形成外链节，所述中链板安装在两所述外链板之间的所述销轴上，所述中链板与所述外链板之间设置有内链节，其中，所述内链节包括所述内链板。

双排链轮包括相对设置的两个链轮，进一步地，该两个链轮对称设置。双排链轮中的一个链轮与双排链条中的一个链条相啮合，双排链轮中的另一个链轮与双排链条中的另一个链条相啮合，以带动双排链条平稳运动。

上述任一技术方案中，所述传动轴的数量为多个，其中至少一个所述传动轴为主动轴，以形成传动循环，且每一所述传动轴上依次设有多个所述双排链轮，所述双排链条的数量与一所述传动轴上设置的所述双排链轮的数量相等并一一对应。

多个传动轴中的至少一个为主动轴，其余为从动轴。主动轴为与其相连的双排链轮(主动链轮)提供转动动力，主动链轮与链条相啮合，以带动链条转动，连接在从动轴上的双排链轮(从动链轮)在主动轴的带动下自由转动不干涉，形成一个循环传动圈。

每一传动轴上依次设有多个双排链轮，该传动轴上的双排链轮上分别啮合有链条，从而增加单位时间内传送载具的数量，提高对硅片的传送效率。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本实用新型的一个实施例所述的炉体设备的结构示意图；

图2是本实用新型另一个实施例所述的炉体设备的结构示意图；

图3是本实用新型的一个实施例所述的炉体设备局部的结构示意图；

图4是图3中A部的放大结构示意图；

图5是本实用新型的一个实施例所述的加热装置的结构示意图；

图6是本实用新型的一个实施例所述的传送装置的结构示意图。

其中，图1至图6中附图标记与部件名称之间的对应关系为：

1炉体，11第一炉体，12第二炉体，13第一内室，14第二内室，141冷空气进风口，142压缩空气进风口，15工艺腔，151回流孔，16抽风装置，161风轮，162鼓风机，17匀流板，171第一通孔，172第二通孔，19排废管，20排废箱，21加热件，22加热区，23连接口，24防火阀，25双排链条，26双排链轮，27传动轴，271主动轴，272从动轴，28载具，29硅片，30电器控制，31门板，40加热装置，50排废装置，60传送装置，701导向杆，702导向槽。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照附图图1至图6描述根据本实用新型一些实施例的炉体设备。炉体设备可以为但不限于烘干炉、固化炉和烘干固化炉。

如图1所示，根据本实用新型一些实施例提供的一种炉体设备，包括加热装置40和传送装置60。

其中，加热装置40包括炉体1、加热件21和抽风装置16，炉体1内设有相连通的第一内室13和第二内室14，第一内室13适于与工艺腔15相连通，加热件21设置在第二内室14内，抽风装置16设置在炉体1上，用于将第二内室14中的气体抽入第一内室13。

传送装置60至少部分设置在工艺腔15内，传送装置60包括传动件和载具28，载具28设置在传动件上，传动件用于带动载具28相对于工艺腔15运动。

本实用新型上述实施例提供的加热装置，加热件21位于第二内室14内，气体在第二内室14中进行预加热。抽风装置16将第二内室14中预加热的气体抽送至第一内室13，热空气在第一内室13进一步混合均匀，第一内室13与工艺腔15相连通，从而预加热的气体进入工艺腔15，对经过工艺腔15的硅片进行加热。

由于气体在第二内室14中进行了预加热，从而气体温度均匀恒定，这样气体进入工艺腔15后，使得工艺将内温度均匀恒定，提高对硅片的烘干固化效果及成品率，避免炉腔内出现温度不均的现象。

加热件21可以为发热管或发热丝。进一步地，每一第二内室14中设有多个发热管或多个发热丝。

进一步地，如图4和图5所示，加热装置包括：匀流板17，匀流板17构成第一内室13的至少部分侧壁，并用于分隔第一内室13与工艺腔15，匀流板17上设有与第一内室13相对应的多个第一通孔171，且第一内室13通过第一通孔171与工艺腔15相连通。

第一内室13中的气体在抽风装置16的作用下，通过第一通孔171流入工艺腔15，从而实现第一内室13与工艺腔15的连通。

进一步地，第一通孔171的数量为多个，且多个第一通孔171在匀流板17上均匀分布，以使第一内室13中的气流能够进入工艺腔15各处，进一步提高工艺腔15中温度的均匀性。

进一步地，沿气体从第一内室13流向工艺腔15的方向，第一通孔171的截面积减小。

第一通孔171上靠近第一内室13处孔径大，第一通孔171靠近工艺腔15处孔径小，经加热件21加热的热空气从大孔径一侧流向小孔径一侧，具有均匀分散热空气，减小热空气的流动阻力的作用。

进一步地，沿气体从第一内室13流向工艺腔15的方向，第一通孔171的截面积逐渐减小。例如，第一通孔171为圆孔，第一通孔171呈Y形，第一通孔171朝向第一内室13的一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后成不再改变直至完全贯穿匀流板17。可以理解，第一通孔171可以呈除圆形外的任意形状，例如长方形、椭圆形等。

进一步地，匀流板17上设有第二通孔172，第二通孔172对应第二内室14设置，第二内室14通过第二通孔172与工艺腔15相连通。

工艺腔15中的气体(主要为热空气)通过第二通孔172流回第二内室14，实现热空气的循环，从而实现热风循环加热使用，减小热量损失，保证炉体1内温度恒定。

进一步地，第二内室14位于第一内室13的外围，且第二内室14由第一内室13的围壁与炉体1的内侧壁围成，且第二通孔172位于第一通孔171的外围。

进一步地，第二通孔172的数量为多个，且多个第二通孔172设置在匀流板17的边缘，并均匀设置，例如匀流板17呈长方形，多个第二通孔172沿匀流板17的长度方向或宽度方向均匀分布。

进一步地，单个第二通孔172的开孔面积大于单个第一通孔171的开孔面积，第二通孔172为长方形、圆形或任意其它形状。

进一步地，加热装置包括：调节装置，设置在第二通孔172处，用于调节第二通孔172的开孔尺寸。

调节装置用于调节第二通孔172的开孔尺寸，以控制从工艺腔15中回流至第二内室14中的热空气的量，以循环使用热空气，且能够进一步控制炉体1内温度恒定。

调节装置包括挡风板及贯穿挡风板的螺钉或螺柱，挡风板相对于螺钉或螺柱滑动，以调节第二通孔172的开孔大小，进一步地，螺钉或螺丝的数量为多个。或者，调节装置可以为挡风板及驱动挡风板运动的驱动装置，驱动装置可以为电机、液压缸或气缸等，驱动装置与挡风板相连接，以驱动挡风板相对于第二通孔172运动，以调节第二通孔172的开孔大小。进一步地，挡风板设置在匀流板17上，并与匀流板17转动连接或滑动连接。

在一个具体的实施例中，在匀流板17两边与工艺腔15垂直方上设有调节装置，用于调节第二通孔172的通风大小。

进一步地，抽风装置16包括位于第一内室13中的风轮161和位于第一内室13外的鼓风机162。

抽风装置16包括风轮161和鼓风机162，在风轮161和鼓风机162的作用下，第二内室14中的热空气流入第一内室13并流入工艺腔15。风轮161和鼓风机162的结构简单、成本低，且便于多个加热区22的拼接。进一步地，风轮和鼓风机沿上下方向设置。

进一步地，风轮161和鼓风机162垂直于匀流板17设置，并设置在第一内室13的中部。

进一步地，炉体1的数量为两个，分别为相对设置的第一炉体11和第二炉体12，第一炉体11和第二炉体12围设出工艺腔15，第一炉体11的第二内室14上设有冷空气进风口141，第二炉体12的第二内室14上设有压缩空气进风口142。

冷空气进风口141处连接有冷空气进风管，压缩空气进风口142上连接有压缩空气进风管，冷空气由冷空气进风管进入第一炉体11的第二内室14，经第二内室14中的加热件21预加热成热空气。压缩空气由压缩空气进风管进入第二炉体12的第二内室14，经第二内室14中的加热件21加热成热空气。

设置压缩空气进风口142，通过压缩空气进风口142进入的压缩空气，可以实现工艺腔15内新鲜空气的补充，保证加热工艺腔15体内气体的洁净，保证第一内室13吹出的风的品质，满足硅片生产，提升烘干固化效果及效率。

进一步地，第一炉体11和第二炉体12上下设置，例如第一炉体11位于第二炉体12的上方。

进一步地，加热装置包括多个加热区22，多个加热区22依次拼接，每一加热区22包括一个第一炉体11和第二炉体12，每一加热区22的第二炉体12的第二内室14上设有压缩空气进风口142，每一第二内室14的压缩空气单独调节。

进一步地，工艺腔15的侧壁上设有回流孔151，回流孔151用于连通工艺腔15与第二内室14。

工艺腔15中的热空气通过回流孔151、第二通孔172回流到第二内室14，实现热空气的循环使用。

进一步地，工艺腔15的侧壁上设有多个回流孔151，多个回流孔151沿工艺腔15侧壁的周向均匀设置，以提高工艺腔15中的热空气回流至第二内室14的回流稳定性。

进一步地，工艺腔15内设有温度检测装置，用于检测工艺腔15内的温度。

通过温度检测装置检测工艺腔15中的温度，温度检测装置将检测的温度信息发送给温度控制器，温度控制器根据接收到的温度信息控制工艺腔15中的工艺温度，实现对工艺腔15中温度的精确控制。

温度检测装置可以为感温探头或温度传感器。

进一步地，加热装置包括至少一个加热区22。当加热装置包括多个加热区22时，每一加热区22内设有至少一个温度检测装置，以实现对各个加热区22的单独控温。

进一步地，加热装置包括：排废管19，与第一内室13相连通；排废箱20，与排废管19相连通，并与外部相连通。

排废管19与第一内室13相连接并连通，第一内室13中的一部分热空气进入排废管19，排废管19中的热空气进入排废箱20，通过排废箱20排出至外部，从而将第一内室13中的一部分热空气排出炉体1外，保证工艺腔15中空气的品质。

进一步地，加热装置包括多个加热区22，多个加热区22依次拼接，每一加热区22的第一炉体11的第二内室14与排废管19相连接并连通，排废管19汇集连通到排废箱20。

进一步地，排废管位于炉体上端部，压缩空气进风口位于炉体的下端部。

进一步地，一个排废箱上连接有多个排废管横向放置。

如图1至图5所示，加热装置包括第一炉体11、第二炉体12、排废管19、排废箱20，其中第一炉体11位于第二炉体12的上方；第一炉体11、第二炉体12均由多个加热区22排列组成。每单个加热区22包括炉体1进风管(压缩空气进风管)、鼓风机162、发热件、风轮161、匀流板17；太阳能电池片在加热装置的入口(设置在门板31处)通过传送装置经过工艺腔15烘干、固化加工后运动到加热装置的出口。

冷空气由第一炉体11上的冷空气进风口141进入，压缩空气由第二炉体12上的压缩空气进风口142进入第二内室14。

每个加热区22的压缩空气单独调节；第二内室14内装有多个发热丝加热空气；空气经过加热后使用鼓风机162和风轮161抽取第二内室14内的热空气压入第一内室13；匀流板17中央区域设有均匀分布的Y型孔(第一通孔171)，四边设有多个长条孔(第二通孔172)；第二内室14内带有压力的热空气经过匀流板17中央的Y型孔均匀的通入工艺腔15，用于烘干、固化工艺腔15内的电池片。

工艺腔15内装有多个温度检测装置(感温探头)，将温度值反馈给温度控制器，用于精准控制工艺腔15内的工艺温度。

Y型孔其特征为一面孔径大，孔径随深度逐渐缩小，缩小到设定值后不再改变直至完全贯穿匀流板17，热空气从大孔径一侧流到小孔一侧，从而均匀分散热风，减小流动阻力的作用。

工艺腔15的两侧壁设有多个回流孔151，工艺腔15内的热空气主要通过回流孔151，再经过匀流板17周边的长条孔回到第二内室14；在匀流板17两边与工艺腔15垂直方上设有调节装置，用于调节长条孔的通风大小，辅助炉体1两侧壁回流孔151回抽热气到第二内室14，循环使用热空气；排废管19连接到第二内室14，将一部分热空气排出炉外保证炉腔内空气品质。

进一步地，炉体1上设有升降装置，以带动第一炉体11相对于第二炉体12上下运动。

通过升降装置带动第一炉体11相对于第二炉体12上下运动，在升降装置带动第一炉体11相对于第二炉体12向下运动时，可以实现第一炉体11和第二炉体12的装配，形成工艺腔15；在第一炉体11相对于第二炉体12向上运动时，第一炉体11和第二炉体12相分离，第一炉体11升高，方便对设备进行维护。

进一步地，升降装置包括电动杆或液压缸或气缸或电磁推杆。

通过电动杆、液压缸、气缸或电磁推杆可以带动第一炉体11相对于第二炉体12的上下运动，且此时升降装置的结构简单、成本低。

进一步地，升降装置的数量为多个，例如，升降装置为电动杆，电动杆的数量为四个。

进一步地，第一炉体11上设有导向部，第二炉体12上设有导向配合部，导向部与导向配合部相配合，以引导第一炉体11相对于第二炉体12上下运动。

导向部和导向配合部相配合，以导向第一炉体11相对于第二炉体12的升降动作(上下运动)，实现第一炉体11相对于第二炉体12的上下往复运动，防止第一炉体11相对于第二炉体12运动过程中出现偏移。

进一步地，导向部包括第一炉体11上设置的导向杆701，导向配合部包括第二炉体12上设置的导向槽702，导向杆701位于导向槽702内并相对于导向槽702上下运动；或者，导向部包括第一炉体11上设置的导向槽702，导向配合部包括第二炉体12上设置的导向杆701，导向杆701位于导向槽702内并相对于导向槽702上下运动。

在第一炉体11相对于第二炉体12上下运动时，导向杆701位于导向槽702内，并向对于导向槽702上下运动，以导向第一炉体11相对于第二炉体12的升降动作。

进一步地，导向槽702和导向杆701设置在炉体1的外表面上，导向槽702数量为多个，导向杆701的数量与导向槽702的数量相等并一一对应，例如导向杆701和导向槽702设置在炉体1的两侧面上，导向杆701为沿上下方向设置的导杆，导向槽702包括第一凸起和第二凸起，第一凸起和第二凸起相对设置，并限定出导向槽702。

进一步地，炉体设备包括：排废装置50，排废装置50包括排废管19、排废箱20和连接口23，排废管19与至少一个第一内室13相连通，排废箱20连通在排废管19和连接口23之间，且连接口23与排废箱20之间具有与外界相连通的间隙。

排废管19与第一内室13相连接并连通，第一内室13中的一部分热空气进入排废管19，排废管19中的热空气进入排废箱20，通过排废箱20排出至外部，从而将第一内室13中的一部分热空气排出炉体1外，保证工艺腔15中空气的品质。

进一步地，加热装置40包括多个加热区22，多个加热区22依次拼接，每一加热区22的第一炉体11的第一内室13与排废管19相连接并连通，排废管19汇集连通到排废箱20。

在驱动力的作用下，气体由排废管19流入排废箱20，再从排废箱20中流入连接口23，在排废箱20与连接口23的连接处具有与外界相连通的间隙，这样当驱动力过大时，外界空气可以从间隙中进入连接口23，避免第二内室14中过多气体流出至连接口23而导致工艺腔15中气体量不足。

进一步地，一个排废箱20上连接有多个排废管19横向放置。

进一步地，沿气体在连接口23中的流动方向，连接口23的流通面积减小。

沿气体在连接口23中的流动方向，连接口23的流通面积减小，具有使气体均匀流畅的流经连接口23，减小气体在连接口23中的流动阻力的作用。

进一步地，沿气体在连接口23中的流动方向，连接口23的流通面积逐渐减小，例如连接口23成喇叭形。

进一步地，排废装置50包括防火阀24，防火阀24连接在连接口23背离排废箱20的一端，防火阀24用于打开或关闭连接口23。

气体依次流经排废管19、排废箱20、连接口23和防火阀24。当第二内室14或工艺腔15中气体温度过高超过预设温度值时，关闭防火阀24，隔绝热源，避免高温气体设备的一些部件造成损坏。当第二内室14或工艺腔15中的气体的温度小雨或等于预设温度值时，防火阀24打开，使得气体能够流经防火阀24。

进一步地，排废装置50设置在第一炉体11上，且排废管19与第一炉体11的第一内室13相连通。

压缩空气进风口142设置在第二炉体12上，排废装置50设置在第一炉体11上，避免压缩空气进风口142与排废装置50造成干涉，方便压缩空气进风口142和排废装置50的设置。

进一步地，第一炉体11位于第二炉体12的上方，排废装置50位于压缩空气进风口142的上方。

进一步地，载具28包括支撑板及设置在支撑板上的定位件和固定件，定位件用于支撑硅片29的底部，固定件和定位件设置在支撑板的同一侧，固定件用于限位硅片29的侧边，并使硅片29在载具28中侧立传动。

固定件与定位件设置在支撑板的同一侧，从而可以实现载具28对硅片29的侧立输送，满足传送要求，并有效提升烘干固化等工作效率，以致将硅片29传送到炉体1中，可实现对硅片29的正面与背面加热烘干及固化，缩短工艺时间，提升烘干固化效果及成品率。

进一步地，固定件包括相对设置的第一连杆和第二连杆，第一连杆和第二连杆设置在支撑板上，固定件还包括设置在第一连杆和第二连杆之间的耳托部，耳托部位于第一连杆及第二连杆背离定位件的一侧并限定出开口朝向定位件的开口槽，耳托部用于限位硅片29的侧边。

固定件在支撑板的端头立起，且固定件远离支撑板的一端设有耳托部，耳托部围设硅片29的相应侧边，耳托部与硅片29的侧边接触，避免接触硅片29的中部，有效保护硅片29上的印刷，提升产品成品率及光电效率。

固定件由杆体弯折构造，固定件具有前后间隔的第一连杆和第二连杆，第一连杆和第二连杆之间的间隙适配硅片29侧立置放，第一连杆和第二连杆远离支撑板的一端由耳托部连在一起。该结构简单，制作容易。进一步地，耳托部为V形侧翼状，满足硅片29的宽度尺寸，并保证耳托部围设硅片29的相应侧边、适当托持，实现硅片29侧立输送，满足传送要求。

进一步地，支撑板与固定件组合成凹字形，支撑板与硅片29输送方向交叉横设，支撑板的上侧面与固定件合围满足硅片29侧立置放，固定件接触硅片29的边缘，避免接触硅片29的中部，有效保护硅片29上的印刷。

第一连杆和第二连杆向两端沿支撑板的轴向(长度方向)向外延伸后，形成一个V型耳托部，具有V形槽，以放置硅片29，降低了电池片(硅片29)划伤的可能性。

进一步地，固定件的数量为多个，例如固定件的数量为两个，且两个固定件分别位于支撑板长度方向的两端。

进一步地，如图6所示，传动件包括双排链条25、双排链轮26和传动轴27，双排链轮26与双排链条25相啮合，传动轴27穿过双排链轮26，并用于带动双排链轮26转动；其中，传动轴27的数量为多个，其中至少一个传动轴27为主动轴271，以形成传动循环，且每一传动轴27上依次设有多个双排链轮26，双排链条25的数量与一传动轴27上设置的双排链轮26的数量相等并一一对应。

载具28连接在中链板上，从而随链条移动，实现对硅片29的传动。采用双排链条25传动，可以提高传动的稳定性和准确性。

双排链条25包括外链板、销轴、中链板和内链板，两外链板通过销轴连接形成外链节，中链板安装在两外链板之间的销轴上，中链板与外链板之间设置有内链节，其中，内链节包括内链板。

双排链轮26包括相对设置的两个链轮，进一步地，该两个链轮对称设置。双排链轮26中的一个链轮与双排链条25中的一个链条相啮合，双排链轮26中的另一个链轮与双排链条25中的另一个链条相啮合，以带动双排链条25平稳运动。

进一步地，传动轴27的数量为多个，其中至少一个传动轴27为主动轴271，以形成传动循环，且每一传动轴27上依次设有多个双排链轮26，双排链条25的数量与一传动轴27上设置的双排链轮26的数量相等并一一对应。

多个传动轴27中的至少一个为主动轴271，其余为从动轴272。主动轴271为与其相连的双排链轮26(主动链轮)提供转动动力，主动链轮与链条相啮合，以带动链条转动，连接在从动轴272上的双排链轮26(从动链轮)在主动轴271的带动下自由转动不干涉，形成一个循环传动圈。

每一传动轴27上依次设有多个双排链轮26，该传动轴27上的双排链轮26上分别啮合有链条，从而增加单位时间内传送载具28的数量，提高对硅片29的传送效率。

炉体设备包括单个或多个加热装置40、传动装置、电器控制30、单个或多个排废装置50。

在一个具体的实施例中，加热装置40包括上炉体1(第一炉体11)和下炉体1(第二炉体12)，下炉体1固定在机架上面，上炉体1在下炉体1上方，通过四个电动杆可以支撑起上炉胆升高，便于设备维护；上炉体1和下炉体1两侧面使用四个导向杆701导向上炉体1升降动作；上炉体1通过电动杆降低与下炉体1合并后形成工艺腔15，电池片在工艺腔15进行烘干固化。

传送装置60基于链条传动构建，包括双排链轮26、双排链条25和载具28。双排链条25穿过工艺腔15，利用安装在双排链条25上的载具28将电池片从炉体设备入口经过加热装置40的工艺腔15传送到出口。

每条双排链条25首尾相连，每条双排链条25与四个双排链轮26啮合，形成一个循环链圈；四个双排链轮26有一个主动链轮和三个从动链轮组成，主动链轮由主动轴271提供转动动力，从动链轮自由转动互不干涉；每个载具28安装在双排链条25的中链板上，每个载具28独立载料；每个传动轴27上并列安装有四列双排链轮26。

排废装置50包括排废管19、排废箱20、连接口23和防火阀24。排废管19连接到加热装置40的第二内室14内，将第二内室14内的热空气排出一部分，使得干净的冷空气进入到第二内室14，保证第二内室14内的热空气的品质是洁净的。

综上所述，本实用新型实施例提供的一种用于硅片29烘干、固化的装置(炉体设备)，能够实现炉腔内部温度均匀，满足HIT太阳能光伏电池硅片29生产，提升烘干固化效果及成品率。具体地：

1、采用在第二内室14中预先加热空气，然后均匀鼓吹进入工艺腔15内部，使吹入工艺腔15内的空气温度一致，从而保证工艺腔15内的温度更加均匀、恒定。

2、采用热风循环加热使用，减小热量损失，保证工艺腔15内温度恒定。

3、采用每个单元的加热区22均设置新鲜空气补充结构(压缩空气进风口142)、废气排出结构(排废装置50)，通过内部的空气的循环，保证加热工艺腔15体内气体的洁净。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“多个”是指两个或两个以上；除非另有规定或说明，术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种炉体设备，其特征在于，包括：

加热装置，包括炉体、加热件和抽风装置，所述炉体内设有相连通的第一内室和第二内室，所述第一内室适于与工艺腔相连通，所述加热件设置在所述第二内室内，所述抽风装置设置在所述炉体上，用于将所述第二内室中的气体抽入所述第一内室；

传送装置，至少部分设置在所述工艺腔内，所述传送装置包括传动件和载具，所述载具用于承载硅片并设置在所述传动件上，所述传动件用于带动所述载具相对于所述工艺腔运动。

2.根据权利要求1所述的炉体设备，其特征在于，

所述炉体的数量为两个，分别为相对设置的第一炉体和第二炉体，所述第一炉体和所述第二炉体围设出所述工艺腔，所述第一炉体的所述第二内室上设有冷空气进风口，所述第二炉体的所述第二内室上设有压缩空气进风口。

3.根据权利要求2所述的炉体设备，其特征在于，

所述炉体上设有升降装置，以带动所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动，其中，所述升降装置包括电动杆或液压缸或气缸或电磁推杆。

4.根据权利要求2所述的炉体设备，其特征在于，

所述第一炉体上设有导向部，所述第二炉体上设有导向配合部，所述导向部与所述导向配合部相配合，以引导所述第一炉体相对于所述第二炉体上下运动。

5.根据权利要求4所述的炉体设备，其特征在于，

所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向杆，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向槽，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动；或者

所述导向部包括所述第一炉体上设置的导向槽，所述导向配合部包括所述第二炉体上设置的导向杆，所述导向杆位于所述导向槽内并相对于所述导向槽上下运动。

6.根据权利要求1所述的炉体设备，其特征在于，包括：

匀流板，构成所述第一内室的至少部分侧壁，并用于分隔所述第一内室与所述工艺腔，所述匀流板上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述第一内室相对应，且所述第一内室通过所述第一通孔与所述工艺腔相连通，所述第二通孔与所述第二内室相对应，所述第二内室通过所述第二通孔与所述工艺腔相连通；其中，所述第一通孔的数量为多个，沿气体从所述第一内室流向所述工艺腔的方向，所述第一通孔的截面积减小，且单个所述第一通孔的开孔面积小于单个所述第二通孔的开孔面积。

7.根据权利要求2至5中任一项所述的炉体设备，其特征在于，包括：

排废装置，所述排废装置包括排废管、排废箱、连接口和防火阀，所述排废管与至少一个所述第一内室相连通，所述排废箱连通在所述排废管和所述连接口之间，且所述连接口与所述排废箱之间具有与外界相连通的间隙，所述防火阀连接在所述连接口背离所述排废箱的一端，所述防火阀用于打开或关闭所述连接口；

其中，沿气体在所述连接口中的流动方向，所述连接口的流通面积减小。

8.根据权利要求6所述的炉体设备，其特征在于，包括：

排废装置，所述排废装置包括排废管、排废箱、连接口和防火阀，所述排废管与至少一个所述第一内室相连通，所述排废箱连通在所述排废管和所述连接口之间，且所述连接口与所述排废箱之间具有与外界相连通的间隙，所述防火阀连接在所述连接口背离所述排废箱的一端，所述防火阀用于打开或关闭所述连接口；

其中，沿气体在所述连接口中的流动方向，所述连接口的流通面积减小。

9.根据权利要求7所述的炉体设备，其特征在于，

所述排废装置设置在所述第一炉体上，且所述排废管与所述第一炉体的所述第一内室相连通。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的炉体设备，其特征在于，

所述载具包括支撑板及设置在所述支撑板上的定位件和固定件，所述定位件用于支撑所述硅片的底部，所述固定件和所述定位件设置在所述支撑板的同一侧，所述固定件用于限位所述硅片的侧边，并使所述硅片在所述载具中侧立传动。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的炉体设备，其特征在于，

所述传动件包括双排链条、双排链轮和传动轴，所述双排链轮与所述双排链条相啮合，所述传动轴穿过所述双排链轮，并用于带动所述双排链轮转动；

其中，所述传动轴的数量为多个，至少一个所述传动轴为主动轴，以形成传动循环，且每一所述传动轴上依次设有多个所述双排链轮，所述双排链条的数量与一所述传动轴上设置的所述双排链轮的数量相等并一一对应。

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