CN107966015B - 硅片可悬空烘干的烧结炉 - Google Patents
硅片可悬空烘干的烧结炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107966015B CN107966015B CN201711217058.1A CN201711217058A CN107966015B CN 107966015 B CN107966015 B CN 107966015B CN 201711217058 A CN201711217058 A CN 201711217058A CN 107966015 B CN107966015 B CN 107966015B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- air
- drying
- furnace
- silicon wafer
- air inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/02—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity of multiple-track type; of multiple-chamber type; Combinations of furnaces
- F27B9/028—Multi-chamber type furnaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
- F26B21/001—Drying-air generating units, e.g. movable, independent of drying enclosure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
- F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path tunnel furnace
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本发明公开了一种能够便于烘干炉区内烘干气流流动的硅片可悬空烘干的烧结炉。该硅片可悬空烘干的烧结炉,包括烘干炉区、烧结炉区、冷却炉区以及输送装置,位于烘干炉区内的输送装置下方设置有喷气装置;所述烘干炉区包括炉体,所述烘干炉腔顶部设置有抽气装置;所述炉体的侧壁上设置入气管,所述入气管在炉体的侧面上沿长度方向均匀分布;所述入气管在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置上表面的上方,另一部分位于输送装置上表面的下方;所述炉体顶部设置有空气加热鼓风装置,所述空气加热鼓风装置具有的出风口与入气管连通。采用该硅片可悬空烘干的烧结炉能够对烘干气流进行优化,提高烘干效率。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池片的烧结领域,尤其是一种硅片可悬空烘干的烧结炉。
背景技术
众所周知的:在太阳电池片的整个生产工艺流程中,扩散、镀膜和烧结三道工序是最主要的,太阳电池片目前采用只需一次烧结的共烧工艺;同时形成上下电极的欧姆接触。
现有技术中太阳能电池片的烧结工艺主要包括三个步骤烘干预热、烧结、冷却;太阳能电池片进行烧结的设备一般采用烧结炉,烧结炉包括烘干区,烧结区和冷却区。
烧结是使晶体硅基片真正具有光电转换功能的至关重要的一步。因此,烧结设备的性能好坏直接影响着电池片的质量。
现有的烧结炉的烘干炉区的烘干气流均从烘干炉体的顶部的中间位置进入,然后向两端形成两股气流,最后由烘干炉区的下部进行收集然后通过抽风装置将废气抽走。
由于热气流向上升腾,因此现有技术中烘干炉区内的烘干气流主要通过抽风机提供形成气流的动力,气流逆向流动,从而能耗高,烘干效率较低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够便于烘干炉区内烘干气流流动,并且能够硅片短暂悬空烘干的硅片可悬空烘干的烧结炉。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:硅片可悬空烘干的烧结炉,包括烘干炉区、烧结炉区、冷却炉区以及输送装置,所述输送装置依次贯穿烘干炉区、烧结炉区、冷却炉区;
位于烘干炉区内的输送装置上设置有喷气装置;所述输送装置包括前后两个驱动辊以及支撑座;所述驱动辊通过支撑座支撑,所述驱动辊上缠绕有传送带,所述传送带为传送网;所述支撑座上设置有驱动驱动辊转动的驱动装置;
所述传送带两侧设置有限位挡板,所述喷气装置位于传送带上表面的下方;
所述喷气装置包括储气筒、凸轮驱动装置,所述储气筒具有储气腔,所述储气腔一端的上方设置有出气板,所述出气板上设置有出气孔;另一端设置有活塞;所述活塞一端设置有延伸出储气筒的顶杆,另一端与储气腔的侧壁之间设置有弹簧;所述出气板位于传送带上表面的正下方;
所述顶杆的一端设置有凸轮,所述凸轮、顶杆以及活塞构成凸轮机构;所述凸轮通过凸轮驱动装置驱动转动;
所述烘干炉区包括炉体,所述炉体具有烘干炉腔,所述烘干炉腔顶部设置有连通烘干炉腔的抽气装置;
所述炉体的侧壁上设置有连通烘干炉腔的入气管,所述入气管在炉体的侧面上沿长度方向均匀分布;所述入气管在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置上表面的上方,另一部分位于输送装置上表面的下方;
所述炉体顶部设置有空气加热鼓风装置,所述空气加热鼓风装置具有的出风口通过连通管道与入气管连通,所述空气加热鼓风装置具有的进风口设置有空气过滤装置。
进一步的,所述抽气装置的出气口设置有过滤装置。
进一步的,所述空气加热鼓风装置包括空气加热器和鼓风器,所述鼓风机的入气口与空气过滤装置连通,所述鼓风机与空气加热器连通,所述空气加热器与入气管连通。
具体的,所述抽气装置采用抽风机。
优选的,所述驱动装置以及凸轮驱动装置均采用电机。
进一步的,所述传送带限位挡板上设置有第一限位开关和第二限位开关,所述喷气装置位于第一限位开关和第二限位开关之间。
进一步的,所述出气板上表面的面积大于硅片下表面的面积。
进一步的,所述传送带通过钢丝扣连接形成。
本发明的有益效果是:本发明所述的硅片可悬空烘干的烧结炉由于在将入气管设置在炉体的侧面,并且使得所述入气管在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置上表面的上方,另一部分位于输送装置上表面的下方;从而使得热风进入炉体后,直接对输送装置上的硅片进行烘干,同时能够实现对硅片下表面的直接烘干;其次,将抽气装置设置在烘干炉腔顶部,由于热气流向上升腾,从而使得气流的流向自然,便于热气流带走水分,提高烘干效率。
再次,本发明所述的硅片可悬空烘干的烧结炉由于在传送带的下方设置有喷气装置,并且喷气装置的通过凸轮机构驱动,因此能够实现喷气装置的间歇喷气,即在相隔一个时间间隔实现喷气,由喷气装置喷出的气流将硅片吹起,从而实现硅片的短暂悬空;从而能够保证硅片的下表面与传输带接触的位置被烘干。
因此本发明所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,能够对烘干气流进行优化,提高烘干效率。同时能够实现对硅片短暂悬空烘干,从而便于硅片下表面的烘干,提高了烘干效率,保证了烘干效果。
附图说明
图1为本发明实施例中硅片可悬空烘干的烧结炉的结构简图;
图2为本发明实施例中烘干炉区的结构示意;
图3为本发明实施例中烘干炉区侧视的结构示意图;
图4为本发明实施例中传送装置的结构简图;
图5为本发明实施例中传送装置的俯视图;
图6为本发明实施例中喷气装置的结构示意图;
图7为本发明实施例中传送带的结构示意;
图中标示:1-烘干炉区,11-炉体,12-入气管,13-空气加热鼓风装置,14-空气过滤装置,15-抽气装置,16-过滤装置,17-连通管道,2-烧结炉区、3-冷却炉区、4-输送装置,41-驱动辊,42-传送带,43-喷气装置,431-储气筒,432-储气腔,433-活塞,434-弹簧,435-顶杆,436-凸轮,437-出气板,44-限位挡板,45-驱动装置,46-第一限位开关,47-第二限位开关,48-支撑座。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
如图1至图3所示,本发明所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,包括烘干炉区1、烧结炉区2、冷却炉区3以及输送装置4,所述输送装置4依次贯穿烘干炉区1、烧结炉区2、冷却炉区3;
位于烘干炉区1内的输送装置4上设置有喷气装置43;所述输送装置4包括前后两个驱动辊41以及支撑座;所述驱动辊41通过支撑座48支撑,所述驱动辊41上缠绕有传送带42,所述传送带42为传送网;所述支撑座48上设置有驱动驱动辊41转动的驱动装置5;
所述传送带42两侧设置有限位挡板44,所述喷气装置43位于传送带42上表面的下方;
所述喷气装置43包括储气筒431、凸轮驱动装置,所述储气筒431具有储气腔432,所述储气腔432一端的上方设置有出气板437,所述出气板437上设置有出气孔;另一端设置有活塞433;所述活塞433一端设置有延伸出储气筒431的顶杆435,另一端与储气腔432的侧壁之间设置有弹簧434;所述出气板437位于传送带42上表面的正下方;
所述顶杆435的一端设置有凸轮436,所述凸轮436、顶杆435以及活塞433构成凸轮机构;所述凸轮436通过凸轮驱动装置驱动转动;
所述烘干炉区1包括炉体11,所述炉体11具有烘干炉腔,所述烘干炉腔顶部设置有连通烘干炉腔的抽气装置15;
所述炉体11的侧壁上设置有连通烘干炉腔的入气管12,所述入气管12在炉体11的侧面上沿长度方向均匀分布;所述入气管12在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置4上表面的上方,另一部分位于输送装置4上表面的下方;
所述炉体11顶部设置有空气加热鼓风装置13,所述空气加热鼓风装置13具有的出风口通过连通管道17与入气管12连通,所述空气加热鼓风装置13具有的进风口设置有空气过滤装置14。
在工作的过程中:
空气通过空气过滤装置14进行过滤后进入到空气加热鼓风装置13,从而实现对空气的净化、加热,加压;然后加热后的空气通过连通管道17导入到入气管12,通过入气管12进入到烘干炉腔内,由于所述入气管12在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置4上表面的上方,另一部分位于输送装置4上表面的下方;从而使得热风进入炉体后,直接对输送装置上的硅片进行烘干。同时部分气流被硅片分割流向硅片的下表面,实现对硅片下表面的直接烘干。最后气流由顶部的抽气装置15抽走,从而实现硅片的烘干。
由于输送装置4的下方设置有喷气装置43,因此在硅片烘干的过程中,驱动装置45启动,使得传动带42转动,然后带到传送带42上的硅片移动,当硅片移动到喷气装置43下方时,凸轮驱动装置驱动凸轮转动,凸轮使得顶杆将储气腔432内的活塞快速移动,从而使得储气腔432内的气体被加压后由出气板437上的出气孔喷出;将传送带42上的硅片吹起,从而实现硅片的短暂悬空,同时通过气流可以实现对硅片下表面的烘干。
综上所述,本发明所述的硅片可悬空烘干的烧结炉由于在将入气管设置在炉体的侧面,并且使得所述入气管在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置上表面的上方,另一部分位于输送装置上表面的下方;从而使得热风进入炉体后,直接对输送装置上的硅片进行烘干,同时能够实现对硅片下表面的直接烘干;其次,将抽气装置设置在烘干炉腔顶部,由于热气流向上升腾,从而使得气流的流向自然,便于热气流带走水分,提高烘干效率。
再次,本发明所述的硅片可悬空烘干的烧结炉由于在传送带的下方设置有喷气装置43,并且喷气装置43的通过凸轮机构驱动,因此能够实现喷气装置43的间歇喷气,即在相隔一个时间间隔实现喷气,由喷气装置喷出的气流将硅片吹起,从而实现硅片的短暂悬空;从而能够保证硅片的下表面与传输带42接触的位置被烘干。
因此本发明所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,能够对烘干气流进行优化,提高烘干效率。同时能够实现对硅片短暂悬空烘干,从而便于硅片下表面的烘干,提高了烘干效率,保证了烘干效果。
为了避免废气对环境造成污染,进一步的,所述抽气装置15的出气口设置有过滤装置16。
为了使得进入烘干炉体1内的气流具有较大的气压,进一步的,所述空气加热鼓风装置13包括空气加热器和鼓风器,所述鼓风机的入气口与空气过滤装置14连通,所述鼓风机与空气加热器连通,所述空气加热器与入气管12连通。
具体的,所述抽气装置15采用抽风机。
为了便于控制,具体的,所述驱动装置45以及凸轮驱动装置均采用电机。
为了便于控制硅片到达喷气装置43上方时,实现喷气,进一步的,所述传送带42限位挡板44上设置有第一限位开关46和第二限位开关47,所述喷气装置43位于第一限位开关46和第二限位开关47之间。当硅片通过第一个限位开关46时启动喷气装置,当硅片运动到离开第二限位装置47时制动喷气装置43从而保证喷气装置43每次喷气均能吹起硅片。
为了保证使得硅片水平被吹起,进一步的,所述出气板437上表面的面积大于硅片下表面的面积。
为了降低制造成本,优选的,所述传送带42通过钢丝扣421连接形成。
Claims (8)
1.硅片可悬空烘干的烧结炉,包括烘干炉区(1)、烧结炉区(2)、冷却炉区(3)以及输送装置(4),所述输送装置(4)依次贯穿烘干炉区(1)、烧结炉区(2)、冷却炉区(3);
其特征在于:位于烘干炉区(1)内的输送装置(4)上设置有喷气装置(43);所述输送装置(4)包括前后两个驱动辊(41)以及支撑座;所述驱动辊(41)通过支撑座(48)支撑,所述驱动辊(41)上缠绕有传送带(42),所述传送带(42)为传送网;所述支撑座(48)上设置有驱动驱动辊(41)转动的驱动装置(5);
所述传送带(42)两侧设置有限位挡板(44),所述喷气装置(43)位于传送带(42)上表面的下方;
所述喷气装置(43)包括储气筒(431)、凸轮驱动装置,所述储气筒(431)具有储气腔(432),所述储气腔(432)一端的上方设置有出气板(437),所述出气板(437)上设置有出气孔;另一端设置有活塞(433);所述活塞(433)一端设置有延伸出储气筒(431)的顶杆(435),另一端与储气腔(432)的侧壁之间设置有弹簧(434);所述出气板(437)位于传送带(42)上表面的正下方;
所述顶杆(435)的一端设置有凸轮(436),所述凸轮(436)、顶杆(435)以及活塞(433)构成凸轮机构;所述凸轮(436)通过凸轮驱动装置驱动转动;
所述烘干炉区(1)包括炉体(11),所述炉体(11)具有烘干炉腔,所述烘干炉腔顶部设置有连通烘干炉腔的抽气装置(15);
所述炉体(11)的侧壁上设置有连通烘干炉腔的入气管(12),所述入气管(12)在炉体(11)的侧面上沿长度方向均匀分布;所述入气管(12)在烘干炉腔内的入气口部分位于输送装置(4)上表面的上方,另一部分位于输送装置(4)上表面的下方;
所述炉体(11)顶部设置有空气加热鼓风装置(13),所述空气加热鼓风装置(13)具有的出风口通过连通管道(17)与入气管(12)连通,所述空气加热鼓风装置(13)具有的进风口设置有空气过滤装置(14)。
2.如权利要求1所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,其特征在于:所述抽气装置(15)的出气口设置有过滤装置(16)。
3.如权利要求2所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,其特征在于:所述空气加热鼓风装置(13)包括空气加热器和鼓风器,所述鼓风机的入气口与空气过滤装置(14)连通,所述鼓风机与空气加热器连通,所述空气加热器与入气管(12)连通。
4.如权利要求3所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,其特征在于:所述抽气装置(15)采用抽风机。
5.如权利要求4所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,其特征在于:所述驱动装置(45)以及凸轮驱动装置均采用电机。
6.如权利要求5所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,其特征在于:所述传送带(42)限位挡板(44)上设置有第一限位开关(46)和第二限位开关(47),所述喷气装置(43)位于第一限位开关(46)和第二限位开关(7)之间。
7.如权利要求6所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,其特征在于:所述出气板(437)上表面的面积大于硅片下表面的面积。
8.如权利要求7所述的硅片可悬空烘干的烧结炉,其特征在于:所述传送带(42)通过钢丝扣(421)连接形成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711217058.1A CN107966015B (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 硅片可悬空烘干的烧结炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201711217058.1A CN107966015B (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 硅片可悬空烘干的烧结炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107966015A CN107966015A (zh) | 2018-04-27 |
CN107966015B true CN107966015B (zh) | 2020-09-29 |
Family
ID=61997917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201711217058.1A Active CN107966015B (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 硅片可悬空烘干的烧结炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107966015B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115289800B (zh) * | 2022-10-09 | 2022-12-13 | 江油星联电子科技有限公司 | 一种pcb电路板加工用烘干装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG73538A1 (en) * | 1997-08-04 | 2000-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of heat treating object and apparatus for the same |
CN206116442U (zh) * | 2016-10-31 | 2017-04-19 | 嘉兴金瑞光伏科技有限公司 | 一种连续通过式太阳能电池片扩散装置 |
CN206276524U (zh) * | 2016-11-15 | 2017-06-27 | 惠州市联达金电子有限公司 | 一种气液混合喷射器 |
-
2017
- 2017-11-28 CN CN201711217058.1A patent/CN107966015B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107966015A (zh) | 2018-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN210952133U (zh) | 硅片烘干槽 | |
CN102809270B (zh) | 一种防金属离子污染的硅片烘干炉及硅片烘干方法 | |
CN201495170U (zh) | 一种高压空气对流循环加热装置 | |
CN107966015B (zh) | 硅片可悬空烘干的烧结炉 | |
CN202836111U (zh) | 新型排湿微波干燥设备 | |
CN201575621U (zh) | 中温全玻璃真空太阳集热管自动排气系统 | |
CN216473536U (zh) | 一种用于电泳清洗线的烘干装置 | |
CN204514020U (zh) | 一种托盘隧道炉 | |
CN107631603B (zh) | 硅片烘干炉 | |
CN107966026B (zh) | 硅片烧结工艺 | |
CN201191125Y (zh) | 一种烘房 | |
CN204509106U (zh) | 一种新型光伏增透玻璃钢化炉 | |
CN215724871U (zh) | 一种油性涂覆隔膜干燥系统 | |
CN217809998U (zh) | 一种连续加热蒸呢机 | |
CN206771943U (zh) | 一种双炉腔烘干炉 | |
CN107990708B (zh) | 硅片烧结炉内烘干区的传送装置 | |
CN209877614U (zh) | 一种自动控温的烧结炉 | |
CN109631573A (zh) | 一种自动控温的烧结炉 | |
CN112665315A (zh) | 一种换热器的翅片烘干装置 | |
CN110981210B (zh) | 一种光伏玻璃增透强化连续生产装置及方法 | |
CN209271842U (zh) | 一种铝型材喷涂固化炉 | |
CN203818592U (zh) | 一种尾饰灯连续式回火炉 | |
CN203820854U (zh) | 一种卧式连续式回火炉 | |
CN209588646U (zh) | 一种高效槽式烘干结构 | |
CN214582091U (zh) | 一种换热器翅片的新式烘干装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |