CN107990708B - 硅片烧结炉内烘干区的传送装置 - Google Patents
硅片烧结炉内烘干区的传送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107990708B CN107990708B CN201711217012.XA CN201711217012A CN107990708B CN 107990708 B CN107990708 B CN 107990708B CN 201711217012 A CN201711217012 A CN 201711217012A CN 107990708 B CN107990708 B CN 107990708B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cam
- silicon wafer
- air
- air storage
- conveying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 43
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 43
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 30
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 30
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 35
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010344 co-firing Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/14—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment
- F27B9/20—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path
- F27B9/24—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity characterised by the path of the charge during treatment; characterised by the means by which the charge is moved during treatment the charge moving in a substantially straight path being carried by a conveyor
- F27B9/243—Endless-strand conveyor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
本发明公开了一种能够实现硅片短暂悬浮烘干的硅片烧结炉内烘干区的传送装置。所述硅片烧结炉内烘干区的传送装置，包括前后两个驱动辊以及支撑座、传送带、驱动装置；所述传送带为传送网；所述传送带两侧设置有限位挡板，所述传送带上表面的下方设置有喷气装置；所述喷气装置包括储气筒、凸轮驱动装置，所述储气筒具有储气腔，所述储气腔一端的上方设置有出气板，所述出气板上设置有出气孔；另一端设置有活塞；所述活塞一端设置有延伸出储气筒的顶杆，另一端与储气腔的侧壁之间设置有弹簧；所述顶杆的一端设置有凸轮，所述凸轮、顶杆以及活塞构成凸轮机构；所述凸轮通过凸轮驱动装置驱动转动。采用该传送装置能够提高烘干效率，保证烘干效果。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池片的烧结领域，尤其是一种硅片烧结炉内烘干区的传送装置。
背景技术
众所周知的：在太阳电池片的整个生产工艺流程中，扩散、镀膜和烧结三道工序是最主要的，太阳电池片目前采用只需一次烧结的共烧工艺；同时形成上下电极的欧姆接触。
现有技术中太阳能电池片的烧结工艺主要包括三个步骤烘干预热、烧结、冷却；太阳能电池片进行烧结的设备一般采用烧结炉，烧结炉包括烘干区，烧结区和冷却区。
烧结是使晶体硅基片真正具有光电转换功能的至关重要的一步。因此，烧结设备的性能好坏直接影响着电池片的质量。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够实现硅片短暂悬浮烘干的硅片烧结炉内烘干区的传送装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：硅片烧结炉内烘干区的传送装置，包括前后两个驱动辊以及支撑座；所述驱动辊通过支撑座支撑，所述驱动辊上缠绕有传送带，所述传送带为传送网；所述支撑座上设置有驱动驱动辊转动的驱动装置；
所述传送带两侧设置有限位挡板，所述传送带上表面的下方设置有喷气装置；
所述喷气装置包括储气筒、凸轮驱动装置，所述储气筒具有储气腔，所述储气腔一端的上方设置有出气板，所述出气板上设置有出气孔；另一端设置有活塞；所述活塞一端设置有延伸出储气筒的顶杆，另一端与储气腔的侧壁之间设置有弹簧；所述出气板位于传送带上表面的正下方；
所述顶杆的一端设置有凸轮，所述凸轮、顶杆以及活塞构成凸轮机构；所述凸轮通过凸轮驱动装置驱动转动。
优选的，所述驱动装置以及凸轮驱动装置均采用电机。
进一步的，所述传送带限位挡板上设置有第一限位开关和第二限位开关，所述喷气装置位于第一限位开关和第二限位开关之间。
进一步的，所述出气板上表面的面积大于硅片下表面的面积。
进一步的，所述传送带通过钢丝扣连接形成。
本发明的有益效果是：本发明所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置由于在传送带的下方设置有喷气装置，并且喷气装置的通过凸轮机构驱动，因此能够实现喷气装置的间歇喷气，即在相隔一个时间间隔实现喷气，由喷气装置喷出的气流将硅片吹起，从而实现硅片的短暂悬空；从而能够保证硅片的下表面与传输带接触的位置被烘干。
因此本发明所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置能够实现对硅片短暂悬空烘干，从而便于硅片下表面的烘干，提高了烘干效率，保证了烘干效果。
附图说明
图1为本发明实施例中硅片烧结炉内烘干区的传送装置的结构简图；
图2为本发明实施例中硅片烧结炉内烘干区的传送装置的俯视图；
图3为本发明实施例中喷气装置的结构示意图；
图4为本发明实施例中传送带的结构示意；
图中标示：1-驱动辊，2-传送带，3-喷气装置，31-储气筒，32-储气腔，33-活塞，34-弹簧，35-顶杆，36-凸轮，37-出气板，4-限位挡板，5-驱动装置，6-第一限位开关，7-第二限位开关。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
如图1至图3所示，本发明所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置，包括前后两个驱动辊1以及支撑座；所述驱动辊1通过支撑座8支撑，所述驱动辊1上缠绕有传送带2，所述传送带2为传送网；所述支撑座8上设置有驱动驱动辊1转动的驱动装置5；
所述传送带2两侧设置有限位挡板4，所述传送带2上表面的下方设置有喷气装置3；
所述喷气装置3包括储气筒31、凸轮驱动装置，所述储气筒31具有储气腔32，所述储气腔32一端的上方设置有出气板37，所述出气板37上设置有出气孔；另一端设置有活塞33；所述活塞33一端设置有延伸出储气筒31的顶杆35，另一端与储气腔32的侧壁之间设置有弹簧34；所述出气板37位于传送带2上表面的正下方；
所述顶杆35的一端设置有凸轮36，所述凸轮36、顶杆35以及活塞33构成凸轮机构；所述凸轮36通过凸轮驱动装置驱动转动。
在应用的过程中：
驱动装置5启动，使得传动带2转动，然后带到传送带2上的硅片移动，当硅片移动到喷气装置3下方时，凸轮驱动装置驱动凸轮转动，凸轮使得顶杆将储气腔32内的活塞快速移动，从而使得储气腔32内的气体被加压后由出气板37上的出气孔喷出；将传送带2上的硅片吹气，从而实现硅片的短暂悬空，同时通过气流可以实现对硅片下表面的烘干。
综上所述，本发明所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置由于在传送带的下方设置有喷气装置3，并且喷气装置3的通过凸轮机构驱动，因此能够实现喷气装置3的间歇喷气，即在相隔一个时间间隔实现喷气，由喷气装置喷出的气流将硅片吹起，从而实现硅片的短暂悬空；从而能够保证硅片的下表面与传输带2接触的位置被烘干。
因此，本发明所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置能够实现对硅片短暂悬空烘干，从而便于硅片下表面的烘干，提高了烘干效率，保证了烘干效果。
为了便于控制，具体的，所述驱动装置5以及凸轮驱动装置均采用电机。
为了便于控制硅片到达喷气装置3上方时，实现喷气，进一步的，所述传送带2限位挡板4上设置有第一限位开关6和第二限位开关7，所述喷气装置3位于第一限位开关6和第二限位开关7之间。当硅片通过第一个限位开关6时启动喷气装置，当硅片运动到离开第二限位装置7时制动喷气装置3从而保证喷气装置3每次喷气均能吹起硅片。
为了保证使得硅片水平被吹起，进一步的，所述出气板37上表面的面积大于硅片下表面的面积。
为了降低制造成本，优选的，所述传送带2通过钢丝扣21连接形成。
Claims (5)
1.硅片烧结炉内烘干区的传送装置，其特征在于：包括前后两个驱动辊(1)以及支撑座；所述驱动辊(1)通过支撑座(8)支撑，所述驱动辊(1)上缠绕有传送带(2)，所述传送带(2)为传送网；所述支撑座(8)上设置有驱动驱动辊(1)转动的驱动装置(5)；
所述传送带(2)两侧设置有限位挡板(4)，所述传送带(2)上表面的下方设置有喷气装置(3)；
所述喷气装置(3)包括储气筒(31)、凸轮驱动装置，所述储气筒(31)具有储气腔(32)，所述储气腔(32)一端的上方设置有出气板(37)，所述出气板(37)上设置有出气孔；另一端设置有活塞(33)；所述活塞(33)一端设置有延伸出储气筒(31)的顶杆(35)，另一端与储气腔(32)的侧壁之间设置有弹簧(34)；所述出气板(37)位于传送带(2)上表面的正下方；
所述顶杆(35)的一端设置有凸轮(36)，所述凸轮(36)、顶杆(35)以及活塞(33)构成凸轮机构；所述凸轮(36)通过凸轮驱动装置驱动转动。
2.如权利要求1所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置，其特征在于：所述驱动装置(5)以及凸轮驱动装置均采用电机。
3.如权利要求2所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置，其特征在于：所述传送带(2)限位挡板(4)上设置有第一限位开关(6)和第二限位开关(7)，所述喷气装置(3)位于第一限位开关(6)和第二限位开关(7)之间。
4.如权利要求3所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置，其特征在于：所述出气板(37)上表面的面积大于硅片下表面的面积。
5.如权利要求4所述的硅片烧结炉内烘干区的传送装置，其特征在于：所述传送带(2)通过钢丝扣(21)连接形成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711217012.XA CN107990708B (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 硅片烧结炉内烘干区的传送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711217012.XA CN107990708B (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 硅片烧结炉内烘干区的传送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107990708A CN107990708A (zh) | 2018-05-04 |
| CN107990708B true CN107990708B (zh) | 2020-09-29 |
Family
ID=62033961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711217012.XA Active CN107990708B (zh) | 2017-11-28 | 2017-11-28 | 硅片烧结炉内烘干区的传送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107990708B (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3947236A (en) * | 1971-11-29 | 1976-03-30 | Lasch Jr Cecil A | Fluid bearing transfer and heat treating apparatus and method |
| US3975057A (en) * | 1975-02-06 | 1976-08-17 | The Motch & Merryweather Machinery Company | Stopping device for air conveyor |
| US6381873B1 (en) * | 2000-08-04 | 2002-05-07 | Vladimir Peremychtchev | Method for drying a polymer coating on a substrate |
| CN1208168C (zh) * | 1999-10-12 | 2005-06-29 | 新加坡朝日化学品及焊料工业股份有限公司 | 无铅焊料 |
| KR101546320B1 (ko) * | 2014-03-27 | 2015-08-24 | (주)울텍 | 기판 열처리 장치 |
| CN206276524U (zh) * | 2016-11-15 | 2017-06-27 | 惠州市联达金电子有限公司 | 一种气液混合喷射器 |
-
2017
- 2017-11-28 CN CN201711217012.XA patent/CN107990708B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3947236A (en) * | 1971-11-29 | 1976-03-30 | Lasch Jr Cecil A | Fluid bearing transfer and heat treating apparatus and method |
| US3975057A (en) * | 1975-02-06 | 1976-08-17 | The Motch & Merryweather Machinery Company | Stopping device for air conveyor |
| CN1208168C (zh) * | 1999-10-12 | 2005-06-29 | 新加坡朝日化学品及焊料工业股份有限公司 | 无铅焊料 |
| US6381873B1 (en) * | 2000-08-04 | 2002-05-07 | Vladimir Peremychtchev | Method for drying a polymer coating on a substrate |
| KR101546320B1 (ko) * | 2014-03-27 | 2015-08-24 | (주)울텍 | 기판 열처리 장치 |
| CN206276524U (zh) * | 2016-11-15 | 2017-06-27 | 惠州市联达金电子有限公司 | 一种气液混合喷射器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107990708A (zh) | 2018-05-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204053287U (zh) | 太阳能电池片自动串焊机的太阳能电池片转送装置 | |
| EP2581933B1 (en) | Firing furnace for firing electrode of solar cell element, method for manufacturing solar cell element | |
| CN102117840A (zh) | 一种多重金属扩散快恢复二极管及其制备方法 | |
| CN111540809A (zh) | 一种太阳能电池硅片烘干固化集成设备 | |
| CN106449497B (zh) | 电池串自动下料机构 | |
| CN107990708B (zh) | 硅片烧结炉内烘干区的传送装置 | |
| CN104091857A (zh) | 一种纳米绒面多晶硅太阳能电池低压变温扩散方法 | |
| CN204230280U (zh) | 一种用于调节硅片制绒槽内减薄量均匀性的系统 | |
| CN210837792U (zh) | 一种硅片装载装置 | |
| KR20100129500A (ko) | 인라인 기판 처리시스템 및 공정챔버 | |
| CN213767785U (zh) | 一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱 | |
| CN203530506U (zh) | 太阳能电池用硅片扩散炉 | |
| CN213322249U (zh) | 一种用于太阳能电池片在银浆印刷后的栅线表面烘干设备 | |
| CN107966015B (zh) | 硅片可悬空烘干的烧结炉 | |
| CN102794246B (zh) | 一种用于在导电丝表面裹覆导电浆料的裹浆机构以及裹浆方法 | |
| CN209232729U (zh) | 一种硅片电注入退火装置 | |
| US20240165651A1 (en) | Chain-type roller coating apparatus and use thereof | |
| CN213733997U (zh) | 一种太阳能电池硅片干燥用烘干设备 | |
| KR100907448B1 (ko) | 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치 | |
| CN214152925U (zh) | 一种用于太阳能电池片镀膜和光注入的集成设备 | |
| CN107966026B (zh) | 硅片烧结工艺 | |
| CN203536394U (zh) | 多晶硅片水平制绒机的自动下料装置 | |
| CN204257683U (zh) | 一种用于led外延片的回收利用装置 | |
| CN206820011U (zh) | 太阳能电池板生产用石墨舟冷却系统 | |
| CN208655678U (zh) | 一种晶体硅太阳能电池电注入抗光衰设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |