CN215906091U - 一种石英舟顶齿定位烧结模具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种石英舟顶齿定位烧结模具，包括底板(1)，底板(1)的顶部设有第一定位板(2)，第一定位板(2)的内侧设有与底板(1)固定的第二定位板(3)，第二定位板(3)上设有分别与石英舟上四根立柱(4)对应的四个台阶槽(5)，台阶槽(5)的一侧设有与第二定位板(3)连接的插板(6)，插板(6)厚度与立柱(4)上的插槽(7)宽度对应，第一定位板(2)的外侧设有U形的第三定位板(8)，第三定位板(8)的两臂分别位于第一定位板(2)的两侧。本实用新型具有能提高石英舟制作效率、使用范围较广和维护方便的优点。
Description
技术领域
本实用新型属于石英舟领域，尤其涉及一种石英舟顶齿定位烧结模具。
背景技术
石英舟使在扩散工序中用于承载硅片，将硅片置于扩散炉中反应的载具。现有的石英舟的结构如图3所示，包括左右两块端板，两块端板之间设有四根互为平行的立柱，四根立柱分别穿过一个等腰梯形的四个端点，石英舟内设有多组、每组共四个的插槽，同一组内的四根插槽分别位于四根立柱的内侧且位于同一平面上，当硅片从上到下放置到石英舟的时候，硅片的四个侧边分别插入到同一组的四个插槽内。
为保证硅片顺利插入到石英舟中，且为了保证多个硅片在石英舟内平行排布，保证扩散效果，务必要保证同一组的四个插槽位于同一平面内，即要保证每根立柱均垂直于端板、保证同一组内的四个插槽与端板之间的距离相等。现有的石英舟制作方法是，取一个端板作为基准板，先烧结上四根立柱，得到第一组件，然后将剩下的端板烧结到第一组件上，得到石英舟的成品。在第一组件的烧结的过程中，端板与立柱之间留有空隙，以保证石英焊棒的熔化的填料进入到端板与立柱之间，提高烧结强度，端板可放置在桌面上固定，但立柱处于悬空状态难以定位，难以使四根立柱上同一组内的四个插槽与端板保持相同距离，也难以保证立柱垂直于端板，需要工人在烧结过程中要反复的测量以及调整，严重降低了石英舟的制作效率。
因此，需要一种烧结模具以提高石英舟的制作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于，提供一种石英舟顶齿定位烧结模具。本实用新型具有能提高石英舟制作效率、使用范围较广和维护方便的优点。
本实用新型的技术方案：一种石英舟顶齿定位烧结模具，包括底板，底板的顶部设有第一定位板，第一定位板的内侧设有与底板固定的第二定位板，第二定位板上设有分别与石英舟上四根立柱对应的四个台阶槽，台阶槽的一侧设有与第二定位板连接的插板，插板厚度与立柱上的插槽宽度对应，第一定位板的外侧设有U形的第三定位板，第三定位板的两臂分别位于第一定位板的两侧。
前述的石英舟顶齿定位烧结模具中，所述插板通过螺钉连接第二定位板。
前述的石英舟顶齿定位烧结模具中，所述第二定位板有两个。
前述的石英舟顶齿定位烧结模具中，所述第三定位板与第一定位板固定。
前述的石英舟顶齿定位烧结模具中，所述第一定位板有两个，其中一个第一定位板与底板固定，另一个第三定位板与底板滑动连接。
与现有技术相比，本实用新型通过第一定位板和第三定位板的组合确定端板的位置，通过第二定位板确定四根立柱的径向位置，通过第二定位板上的插板确定四根立柱的轴向位置，使得端板与立柱之间进行烧结作业时，端板与立柱之间的相对位置固定，确保同一组内的四个插槽与作为基准板的端板保持相同距离，工人在烧结过程中不需要反复的测量以及调整，提高了石英舟的制作效率。其中一个第一定位板与底板固定，另一个第一定位板与底板滑动连接，通过改变两个第一定位板之间的距离，可使本实用新型适用于不同长度规格的石英舟的制作，适用范围较广。由于插板经常与立柱上的插槽插接摩擦，插板容易损坏，通过螺钉将插板可拆卸的连接在第二定位板上，当插板损坏的时候，可以很方便的进行更坏，便于维护。因此，本实用新型具有能提高石英舟制作效率、使用范围较广和维护方便的优点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是石英舟在本实用新型上烧结完成后的示意图。
图3是石英舟的结构示意。
附图中的标记为：1-底板，2-第一定位板，3-第二定位板，4-立柱，5-台阶槽，6-插板，7-插槽，8-第三定位板，9-螺钉，10-滑槽，11-滑块，12-端板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，但并不作为对本实用新型限制的依据。
实施例。一种石英舟顶齿定位烧结模具，如图1所示，包括底板1，底板1的顶部设有第一定位板2，第一定位板2的内侧设有与底板1固定的第二定位板3，第二定位板3上设有分别与石英舟上四根立柱4对应的四个台阶槽5，台阶槽5的一侧设有与第二定位板3连接的插板6，四个插板6处于同一平面上，插板6厚度与立柱4上的插槽7宽度对应，第一定位板2的外侧设有U形的第三定位板8，第三定位板8的两臂分别位于第一定位板2的两侧。
所述插板6通过螺钉9连接第二定位板3。
所述第二定位板3有两个。
所述第三定位板8与第一定位板2固定。
所述第一定位板2有两个，其中一个第一定位板2与底板1固定，另一个第三定位板8与底板1滑动连接，滑动连接的结构包括设置在底板1上的滑槽10，滑槽10内设有与对应第一定位板2固定的滑块11。
本实用新型的使用：如图3所示，取一块端板放到一侧的第三定位板8中，并与一侧的第一定位板2贴合，第三定位板8对端板进行前后定位，第一定位板2对端板进行左右定位。
取立柱4放到对应的台阶槽5中，立柱4的底面与台阶槽5的底面贴合，立柱4的内侧面与台阶槽5的内壁贴合，通过第二定位板3保证立柱4垂直于端板，插板6插入到对应的插槽7中，限定立柱4的左右位置，并使立柱4与端板之间保留一定的空隙，利用石英焊棒将端板和立柱4烧结在一起，石英焊棒填补空隙。以此类推，依次完成四根焊棒的烧结，得到第一组件。然后取另一个端板，放到另一侧的第三定位板8中，移动第三定位板8，使另一个端板与第一组件的立柱4之间存在一定的空隙，再次进行烧结作业，得到成品。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
Claims (5)
1.一种石英舟顶齿定位烧结模具，其特征在于：包括底板(1)，底板(1)的顶部设有第一定位板(2)，第一定位板(2)的内侧设有与底板(1)固定的第二定位板(3)，第二定位板(3)上设有分别与石英舟上四根立柱(4)对应的四个台阶槽(5)，台阶槽(5)的一侧设有与第二定位板(3)连接的插板(6)，插板(6)厚度与立柱(4)上的插槽(7)宽度对应，第一定位板(2)的外侧设有U形的第三定位板(8)，第三定位板(8)的两臂分别位于第一定位板(2)的两侧。
2.根据权利要求1所述的石英舟顶齿定位烧结模具，其特征在于：所述插板(6)通过螺钉(9)连接第二定位板(3)。
3.根据权利要求1所述的石英舟顶齿定位烧结模具，其特征在于：所述第二定位板(3)有两个。
4.根据权利要求1所述的石英舟顶齿定位烧结模具，其特征在于：所述第三定位板(8)与第一定位板(2)固定。
5.根据权利要求1所述的石英舟顶齿定位烧结模具，其特征在于：所述第一定位板(2)有两个，其中一个第一定位板(2)与底板(1)固定，另一个第三定位板(8)与底板(1)滑动连接。
Priority Applications (1)
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| CN202122574399.2U CN215906091U (zh) | 2021-10-25 | 2021-10-25 | 一种石英舟顶齿定位烧结模具 |
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Publications (1)
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ID=80312980
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Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114853320A (zh) * | 2022-05-03 | 2022-08-05 | 浙江奥博石英科技股份有限公司 | 一种槽棒插片石英舟加工设备 |
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2021
- 2021-10-25 CN CN202122574399.2U patent/CN215906091U/zh active Active
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN114853320A (zh) * | 2022-05-03 | 2022-08-05 | 浙江奥博石英科技股份有限公司 | 一种槽棒插片石英舟加工设备 |
| CN114853320B (zh) * | 2022-05-03 | 2024-02-06 | 浙江奥博石英科技股份有限公司 | 一种槽棒插片石英舟加工设备 |
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