CN215665867U - 吸附结构及芯片检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种吸附结构及芯片检测装置，其包括吸附组件、驱动装置及连接组件；其中，吸附组件用以吸附待拾取工件；驱动装置包括本体、及能够相对于所述本体作平移往复运动的驱动部；连接组件包括第一连接部、第二连接部和弹性件，所述第一连接部可相对移动地安装于所述驱动部的设定区域，所述第二连接部与所述吸附组件连接，所述弹性件设置在所述驱动部与所述第一连接部之间，且所述弹性件被配置为提供使所述连接组件远离所述本体的驱动力。本实用新型中吸附组件能够吸取工件，且不易损伤工件。另外，此种方式将弹性件独立设置在吸附组件外部，便于拆卸及更换。

Description

吸附结构及芯片检测装置

技术领域

本实用新型涉及芯片制造及检测技术领域，特别是涉及吸附结构及芯片检测装置。

背景技术

随着芯片在各个领域的不断普及，芯片制造及检测方法及装置也不断更新迭代。在芯片制造及检测的过程中，一般需要对芯片进行不同位置之间的移动，例如，在芯片将要制造完成时，一般需要通过芯片检测装置对芯片进行电特性检测。在检测前，一般需要通过上料机构将芯片移动至上料位置，再将芯片从上料位置移动至检测位置，在检测后，再从检测位置拾取芯片并移动至下料位置。

传统技术中，芯片检测装置对芯片进行不同位置之间的移动通常采用真空吸附的方式，即芯片检测装置的吸附组件通过管路连通至真空发生装置，吸附组件的吸嘴从吸取位置拾取芯片，之后由移动机构驱动吸附组件带动芯片移动至放置位置，吸嘴从放置位置释放芯片。

然而，目前的芯片检测装置缺少起缓冲作用的弹性件，在拾取芯片的过程中，存在吸嘴压伤芯片的风险。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的芯片检测装置缺少弹性件，存在吸嘴压伤芯片的风险问题，提供一种吸附结构及芯片检测装置。

一种吸附结构，其包括吸附组件、驱动装置及连接组件；其中，吸附组件用以吸附待拾取工件；驱动装置包括本体、及能够相对于所述本体作平移往复运动的驱动部；连接组件包括第一连接部、与所述第一连接部一体式连接的第二连接部和弹性件，所述第一连接部可相对移动地安装于所述驱动部的设定区域，所述第二连接部与所述吸附组件连接，所述弹性件设置在所述驱动部与所述第一连接部之间，且所述弹性件被配置为提供使所述连接组件远离所述本体的驱动力。

下面对本申请的技术方案作进一步说明：

在其中一个实施例中，所述驱动部贯穿且滑动连接于所述第一连接部，所述驱动部配置有第一限位部及第二限位部，所述第一连接部位于所述第一限位部及第二限位部之间，所述弹性件配置于所述第一限位部与所述第一连接部之间，所述第一连接部能够抵接于所述第二限位部。

在其中一个实施例中，所述弹性件包括弹簧。

在其中一个实施例中，所述驱动部包括驱动轴，所述弹簧套设于所述驱动轴。

在其中一个实施例中，所述第一连接部设置有限位凹部，所述弹簧的一端限位于所述限位凹部的内部。

在其中一个实施例中，所述驱动装置的本体开设有容纳空间，所述吸附组件部分容置于所述容纳空间且能够在所述容纳空间内相对于所述本体移动。

在其中一个实施例中，所述驱动部包括驱动轴，所述吸附组件包括吸杆，所述容纳空间设置为平行于所述驱动轴布设的通孔，所述吸杆至少部分同轴容置于所述通孔。

在其中一个实施例中，所述容纳空间内配置有第一导向特征，所述吸附组件配置有第二导向特征，所述第一导向特征与所述第二导向特征相配合，以对所述吸附组件相对于所述本体的移动进行导向。

在其中一个实施例中，所述吸附组件包括吸杆、固定于所述吸杆的限位组件、及活动设置于所述吸杆的端部的吸嘴；所述限位组件包括能够向外扩张的弹性部及设置于弹性部的抵接部，所述抵接部与所述吸嘴配合，以能将所述吸嘴限位于所述吸杆的端部，所述吸嘴通过推动所述抵接部而使所述弹性部扩张，以能将所述吸嘴自所述吸杆的端部移除。

上述吸附结构，为了减小当吸附组件接触并下压待拾取工件时，吸附组件压伤工件的风险。连接组件可相对移动地安装于驱动部，且在驱动部与连接组件的第一连接部之间设置弹性件。如此设置，当驱动部抵接于连接组件，连接组件随驱动部向靠近/远离待拾取工件的方向移动，吸附组件随连接组件移动，直至吸附组件接触并下压待拾取工件，吸附组件的一端吸附待拾取工件的同时，吸附组件与待拾取工件之间产生作用力，吸附组件带动连接组件挤压弹性件，弹性件发生形变，以对两者之间除真空吸附力以外的作用力进行缓冲。此过程中，吸附组件能够吸取工件，且不易损伤工件。另外，此种方式将弹性件独立设置在吸附组件外部，便于拆卸及更换。

此外，本申请还提供一种芯片检测装置，其包括如上所述的吸附结构。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中的吸附结构的结构示意图；

图2为图1中的吸附结构的另一视角的结构示意图；

图3为图1中的吸附结构的另一视角的结构示意图；

图4为本实用新型一实施例中的吸附结构的主视图；

图5为图4中A-A向的剖视图；

图6为本实用新型一实施例中的吸附结构的侧视图；

图7为图6中B-B向的剖视图；

图8为图7中I部分的局部放大图。

附图标记：

10、吸附结构；100、吸附组件；110、吸杆；120、吸嘴；130、真空气路接头；140、限位组件；141、弹性部；142、抵接部；200、驱动装置；210、本体；211、容纳空间；212、安装孔位；220、驱动部；221、驱动轴；2211、连接螺栓；2212、活塞杆；2213、连接柱；2214、垫片；230、第一限位部；240、第二限位部；300、连接组件；310、第一连接部；311、限位凹部；312、连接块；320、第二连接部；321、夹持臂；322、连接件；400、弹性件。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

参见图1-图8，一种芯片检测装置，用于吸附工件并在吸取位置与放置位置往复运动。在本实施例中，工件为芯片。芯片检测装置通常包括移动机构及吸附结构10，移动机构能够带动吸附结构10沿X轴、Y轴或Z轴方向移动，以使吸附结构10在吸取位置与放置位置往复运动。例如，在一些实施例中，移动机构包括X轴驱动装置、Y轴驱动装置及Z轴驱动装置，X轴驱动装置连接于Y轴驱动装置，Z轴驱动装置连接于X轴驱动装置，Z轴驱动装置连接吸附结构10。亦或者，在一些实施例中，移动机构仅设置X轴驱动装置及Y轴驱动装置。

继续参见图1-图8，本实用新型一实施例提供的一种吸附结构10，以真空吸附方式拾取工件，包括吸附组件100、驱动装置200及连接组件300。其中，吸附组件100的一端与外部真空装置连接，吸附组件100的另一端设置有吸嘴120，吸嘴120用于吸附待拾取工件；驱动装置200用于驱动吸附组件100在Z轴方向移动；连接组件300用于连接吸附组件100与驱动装置200。具体地，参见图1、图2及图7，驱动装置200包括本体210、及能够相对于本体210作平移往复运动的驱动部220；连接组件300包括第一连接部310、与第一连接部310一体式连接的第二连接部320和弹性件400，第一连接部310可相对移动地安装于驱动部220的设定区域，第二连接部320与吸附组件100连接，弹性件400设置在驱动部220与第一连接部310之间，且弹性件400被配置为提供使连接组件300远离本体210的驱动力。

上述吸附结构10，为了减小当设置于吸附组件100一端的吸嘴120接触并下压待拾取工件时，吸嘴120压伤芯片的风险。将连接组件300活动设置于驱动部220，且在驱动部220与连接组件300之间设置弹性件400，如此，当驱动部220抵接于连接组件300，连接组件300随驱动部220向靠近/远离待拾取工件的方向移动，吸附组件100随连接组件300移动，直至吸附组件100接触并下压待拾取工件，吸附组件100的一端设置的吸嘴120吸附待拾取工件的同时，吸附组件100与待拾取工件之间产生作用力，吸附组件100带动连接组件300挤压弹性件400，弹性件400发生形变，以对吸附组件100与待拾取工件之间除真空吸附力以外的作用力进行缓冲。此过程中，吸附组件100能够吸取芯片，且不易损伤芯片。另外，相较于将弹性元件设置在吸附组件100内部，例如，在固定吸杆和活动吸杆之间设置弹性元件进行缓冲的方式，此种方式将弹性元件独立设置在吸附组件100外部，便于拆卸及更换。需要说明的是，继续参见图2及图3，第一连接部310与第二连接部320一体成型，以减少实现功能的部件数量，便于设置。继续参见图1，在一实施例中，驱动装置200采用双作用气缸，往复运动可以到达预定位置，吸附组件100偏摆可控制在0.1mm以内，重复定位精度0.02mm。

继续参见图7及图8，在一实施例中，驱动部220贯穿且滑动连接于第一连接部310，驱动部220配置有第一限位部230及第二限位部240，第一连接部310位于第一限位部230及第二限位部240之间，弹性件400配置于第一限位部230与第一连接部310之间，第一连接部310能够抵接于第二限位部240。上述吸附结构10，当第一连接部310抵接于第二限位部240时，固定有吸附组件100的连接组件300随驱动部220向靠近/远离待拾取工件的方向移动。当吸附组件100接触并下压待拾取工件，第一连接部310相对于驱动部220移动并挤压弹性件400。如此设置，不需要单独设置与弹性件400相配合的附加结构，将弹性件400设置于驱动部220，能够节约所需的安装空间，有利于装置小型化。在一实施例中，弹性件400设置为弹簧。具体地，参见图8，弹簧的一端固定安装于第一限位部230，弹簧的另一端抵接于第一连接部310，需要说明的是，除了上述的设置方式，弹簧也可以采用其他连接方式设置于第一限位部230及第一连接部310之间。例如，弹簧的两端均采用抵接方式连接。弹性件400除了设置为弹簧还可以设置为弹性材质的套圈。

继续参见图8，在一实施例中，驱动部220包括驱动轴221，弹簧套设于驱动轴221。如此，驱动轴221能够对弹簧进行一定程度的限位，无需另设弹簧限位件，结构较为简单。在一实施例中，第一连接部310设置弹簧的位置开设有限位凹部311，以对弹簧进行限位。在一实施例中，第一连接部310的一侧内嵌一个连接块312，连接块312的上表面与弹簧抵接。与之配合地，继续参见图8，驱动轴221包括活塞杆2212、与活塞杆2212螺纹连接的连接螺栓2211、套接于连接螺栓2211的连接柱2213，及设置在连接块312与连接螺栓2211之间的垫片2214。在此实施中，第一限位部230为连接柱2213远离垫片2214的端部，第二限位部240为垫片2214靠近连接块312的表面。需要说明的是，驱动部220也可设置为其他方式，第一限位部230及第二限位部240根据驱动部220的结构适应性配置即可。

参见图3，在一实施例中，第二连接部320包括两个夹持臂321，吸附组件100通过连接件322可拆卸地夹持于两个夹持臂321之间，如此，便于吸附组件100的拆卸及维修。

参见图7及图8，在一实施例中，驱动装置200的本体210开设有容纳空间211，部分的吸附组件100容置于容纳空间211且能够在容纳空间211内相对于本体210移动。上述吸附结构10有利于装置小型化，适用于紧凑型空间。继续参见图7及图8，在一实施例中，吸附组件100包括一吸杆110，容纳空间211设置为平行于驱动轴221布设的通孔，即通孔的轴线平行于驱动轴221的轴线，至少部分的吸杆110同轴容置于通孔。采用吸杆110以使体积较小，更加适用于紧凑型空间。需要说明的是，吸附组件100也可以设置为带有真空气路的其他结构。继续参见图1，在一实施例中，驱动装置200采用标准双作用气缸进行改造，即贯穿气缸的本体210开设一容纳空间211，降低了加工难度和装配精度，提高了安装和调试效率。另外，参见图1，在一实施例中，驱动装置200的本体210上还开设有安装孔位212，便于安装及拆卸。

进一步地，在一些实施例中，容纳空间211配置有第一导向特征(图中未示出)，吸附组件100配置有第二导向特征(图中未示出)，第一导向特征与第二导向特征相配合，以对吸附组件100相对于本体210的移动进行导向。例如，可以将第一导向特征配置为容纳空间211的至少部分内表面，第二导向特征配置为吸附组件100的部分外表面，两者相配合，对移动进行导向，以提高动作的稳定性。亦或者，第一导向特征设置为限位滑槽，具体可以是在形成容纳空间211的内壁上沿轴向开设的滑槽。与之配合地，第二导向特征设置为滑块，具体可以是在吸附组件100的外表面固定的凸块。需要说明的是，也可以在吸附组件100与容纳空间211之间设置其他形式的导向特征。

参见图3，在一实施例中，吸附组件100包括吸杆110、固定于吸杆110的限位组件140、及活动设置于吸杆110的端部的吸嘴120；限位组件140包括能够向外扩张的弹性部141及设置于弹性部141的抵接部142，抵接部142能够将吸嘴120限位于吸杆110的端部，吸嘴120通过推动抵接部142而使弹性部141扩张，以能将吸嘴120自吸杆110的端部移除。吸杆110的一端通过真空气路接头130与外部真空装置连接，吸附组件100的另一端悬置于本体210外部以吸附待拾取工件。上述吸附结构10，吸嘴120部分为快拆结构，不同尺寸的芯片可以更换不同尺寸吸嘴，拆卸较为便捷，以提高更换效率。

此外，本申请还提供一种芯片检测装置，其包括上述的吸附结构10。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种吸附结构，其特征在于，所述吸附结构包括：

吸附组件，用以吸附待拾取工件；

驱动装置，包括本体、及能够相对于所述本体作平移往复运动的驱动部；

连接组件，包括第一连接部、与所述第一连接部一体式连接的第二连接部和弹性件，所述第一连接部可相对移动地安装于所述驱动部的设定区域，所述第二连接部与所述吸附组件连接，所述弹性件设置在所述驱动部与所述第一连接部之间，且所述弹性件被配置为提供使所述连接组件远离所述本体的驱动力。

2.根据权利要求1所述的吸附结构，其特征在于，

所述驱动部贯穿且滑动连接于所述第一连接部，

所述驱动部配置有第一限位部及第二限位部，

所述第一连接部位于所述第一限位部及第二限位部之间，所述弹性件配置于所述第一限位部与所述第一连接部之间，所述第一连接部能够抵接于所述第二限位部。

3.根据权利要求1或2所述的吸附结构，其特征在于，所述弹性件包括弹簧。

4.根据权利要求3所述的吸附结构，其特征在于，所述驱动部包括驱动轴，所述弹簧套设于所述驱动轴。

5.根据权利要求3所述的吸附结构，其特征在于，所述第一连接部设置有限位凹部，所述弹簧的一端限位于所述限位凹部的内部。

6.根据权利要求1或2所述的吸附结构，其特征在于，所述驱动装置的本体开设有容纳空间，所述吸附组件部分容置于所述容纳空间且能够在所述容纳空间内相对于所述本体移动。

7.根据权利要求6所述的吸附结构，其特征在于，所述驱动部包括驱动轴，所述吸附组件包括吸杆，所述容纳空间设置为平行于所述驱动轴布设的通孔，所述吸杆至少部分同轴容置于所述通孔。

8.根据权利要求6所述的吸附结构，其特征在于，所述容纳空间内配置有第一导向特征，所述吸附组件配置有第二导向特征，所述第一导向特征与所述第二导向特征相配合，以对所述吸附组件相对于所述本体的移动进行导向。

9.根据权利要求1或2所述的吸附结构，其特征在于，所述吸附组件包括吸杆、固定于所述吸杆的限位组件、及活动设置于所述吸杆的端部的吸嘴；所述限位组件包括能够向外扩张的弹性部及设置于弹性部的抵接部，所述抵接部与所述吸嘴配合，以能将所述吸嘴限位于所述吸杆的端部，所述吸嘴通过推动所述抵接部而使所述弹性部扩张，以能将所述吸嘴自所述吸杆的端部移除。

10.一种芯片检测装置，其特征在于，包括如所述权利要求1-9中任意一项所述的吸附结构。

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