CN215665868U - 工件搬运系统和芯片检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种工件搬运系统和芯片检测装置，包括第一驱动组件、第二驱动组件、第三驱动组件及柔性连接组件；其中第一驱动组件包括沿第一方向运动的第一驱动件；第二驱动组件包括与所述第一驱动件同步且沿同方向运动的第二驱动件；第三驱动组件包括与所述第一驱动件连接的第三主体；柔性连接组件设置在所述第三主体与所述第二驱动件之间，以使所述第三主体能够相对于所述第二驱动件在第二方向上发生位移。本实用新型能够减小第三主体变形带来的对工件搬运系统的不利影响，延长工件搬运系统的使用寿命。另外，第三主体的加工精度要求降低、加工难度减小。

Description

工件搬运系统和芯片检测装置

技术领域

本实用新型涉及芯片制造及检测技术领域，特别是涉及工件搬运系统和芯片检测装置。

背景技术

随着芯片在各个领域的不断普及，芯片制造及检测方法及装置也不断更新迭代。现有的芯片检测装置中使用的工件搬运系统包括能够拾取工件的拾取单元及驱动拾取单元移动的驱动单元，一般通过拾取单元采用真空吸附或其他方式对芯片进行拾取，再利用驱动单元驱动保持有芯片的拾取单元位移，以对芯片进行不同工位之间的搬运。

传统技术中，驱动单元通常包括以下两种，一种是通过一侧Y轴组件驱动，另一侧Y轴组件无动力；另一种是两侧的Y轴组件同步驱动。

然而，在X轴组件较长或高速运动的情况下，目前的两种驱动方式均存在一定问题。因环境等各种因素可能会发生X轴组件变形的现象，传统的工件搬运系统中X轴组件与两侧的Y轴组件均为硬连接，如此，X轴组件的变形对工件搬运系统会带来较大影响。另外，传统的工件搬运系统还存在X轴组件加工精度不易控制、加工难度较大的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对X轴组件的变形对工件搬运系统带来较大影响，且X轴组件的加工精度不易控制、加工难度较大的问题，提供一种工件搬运系统。

一种工件搬运系统，包括第一驱动组件、第二驱动组件、第三驱动组件及柔性连接组件；其中第一驱动组件，包括第一主体、及设置于所述第一主体且沿第一方向运动的第一驱动件；第二驱动组件，包括第二主体、及设置于所述第二主体的第二驱动件，所述第二驱动件与所述第一驱动件同步且沿同方向运动；第三驱动组件，包括与所述第一驱动件连接的第三主体、及在所述第三主体上沿第二方向运动的第三驱动件；柔性连接组件，设置在所述第三主体与所述第二驱动件之间，以使所述第三主体能够相对于所述第二驱动件在所述第二方向上发生位移，所述第二方向与所述第一方向垂直。

上述工件搬运系统，为了减小因第三驱动组件变形而带来的对工件搬运系统的不利影响，延长工件搬运系统的使用寿命，设置有第一驱动件及与第一驱动件同步且沿同方向运动的第二驱动件，第一驱动件连接第三主体，并在第三主体与第二驱动件之间设置有柔性连接组件。根据工况将第三主体设置较长或高速运动的情况下，当第三驱动组件中第三主体发生变形，第三主体能够相对于第二驱动件在第二方向上发生位移，如此设置能够减小第三主体因变形与第二驱动件之间产生的额外应力，进而减小第三主体变形带来的对工件搬运系统的不利影响，有利于延长工件搬运系统的使用寿命。另外，第三主体与第二驱动件之间设置有柔性连接组件，第三主体的加工精度要求降低、加工难度减小。另外，在第三主体与第二驱动件之间设置有柔性连接组件，除了吸收变形误差外，柔性连接组件还可以在第一驱动件和第二驱动件不同步时，吸收第三主体的两端的位置偏差，进一步提高了工件搬运系统的工作稳定性。

下面对本申请的技术方案作进一步说明：

在其中一个实施例中，所述柔性连接组件包括与所述第三主体连接的第一连接件及与所述第二驱动件连接的第二连接件，所述第一连接件与所述第二连接件活动连接。

在其中一个实施例中，所述第一驱动组件为第一直线电机，所述第一驱动件包括所述第一直线电机的动子；所述第二驱动组件为第二直线电机，所述第二驱动件包括所述第二直线电机的动子。

在其中一个实施例中，所述第三驱动件上设置有第一拾取组件及第二拾取组件，所述第一拾取组件用于拾取保持有所述工件的载具，所述第二拾取组件用于拾取保持于所述载具的工件。

在其中一个实施例中，所述第一拾取组件包括设置于所述第三驱动件的第一驱动装置及连接于所述第一驱动装置的输出端的第一吸附组件，所述第一吸附组件用于吸附所述载具。

在其中一个实施例中，所述第二拾取组件包括吸附模组及能够驱动所述吸附模组沿第三方向运动的第二驱动装置，所述第三驱动件与所述吸附模组之间设置有辅助连接结构。

在其中一个实施例中，所述辅助连接结构包括配置于所述第三驱动件的第一辅助连接部、配置于所述吸附模组的第二辅助连接部及第一弹性件。

在其中一个实施例中，所述吸附模组包括至少两个吸附模块，每个所述吸附模块包括第三驱动装置及第二吸附组件，所述第三驱动装置包括设置于所述第二驱动装置的输出端的本体、及相对于所述本体沿所述第三方向运动的驱动部，所述第二吸附组件设置于所述驱动部的设定区域，所述驱动部与所述第二吸附组件之间设置第二弹性件，且所述第二弹性件配置为提供使所述第二吸附组件远离所述本体的驱动力。

在其中一个实施例中，所述吸附模组的一侧设置有视觉组件，所述视觉组件用于识别和定位所述工件。

另外，本实用新型还提供了一种芯片检测装置，包括如上所述的工件搬运系统。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供了的工件搬运系统的结构示意图；

图2为图1中A部分的局部放大图；

图3为本实用新型一实施例提供了的工件搬运系统的主视图；

图4为图3中B部分的局部放大图；

图5为本实用新型一实施例的柔性连接组件的结构示意图；

图6为图5中的柔性连接组件的侧视图；

图7为图6中C-C的剖视图；

图8为本实用新型一实施例的第一拾取组件与第二拾取组件位置的结构示意图；

图9为图8中第一拾取组件与第二拾取组件位置的另一视角的结构示意图；

图10为图8中第一拾取组件与第二拾取组件位置的主视图；

图11为本实用新型一实施例的第一拾取组件的结构示意图；

图12为本实用新型一实施例的第二拾取组件的结构示意图；

图13为图12中第二拾取组件的另一视角的结构示意图；

图14为本实用新型一实施例的吸附模块的结构示意图；

图15为图14中吸附模块的侧视图；

图16为图15中D-D的剖视图；

图17为图16中E部分的局部放大图。

附图标记：

10、工件搬运系统；100、第一驱动组件；110、第一驱动件；120、第一主体；121、第一滑轨；200、第二驱动组件；210、第二驱动件；220、第二主体；221、第二滑轨；300、第三驱动组件；310、第三驱动件；311、第一固定部；312、第二固定部；320、第三主体；321、第三滑轨；400、柔性连接组件；410、第一连接件；420、第二连接件；500、第一拾取组件；510、第一驱动装置；520、第一吸附组件；521、第三弹性件；522、第一真空气路接头；600、第二拾取组件；610、吸附模组；611、吸附模块；6111、第三驱动装置；6112、第二吸附组件；6113、本体；6114、驱动部；6114a、第一限位部；6114b、第二限位部；6115、第二弹性件；6116、吸杆；6117、吸嘴；6118、第二真空气路接头；6119、活动连接件；620、第二驱动装置；630、辅助连接结构；631、第一辅助连接部；632、第二辅助连接部；633、第一弹性件；700、视觉组件；710、相机；720、光源。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

传统的工件搬运系统10通常包括能够拾取工件的拾取单元及驱动拾取单元移动的驱动单元，以工件为芯片为例，具体是通过拾取单元对放置于工作台的芯片进行拾取，再利用驱动单元驱动保持有芯片的拾取单元位移，以对芯片进行不同工位之间的搬运。其中工件搬运系统10的驱动单元能够驱动拾取单元沿X轴方向或Y轴方向移动。传统的工件搬运系统10因环境等各种因素可能会造成X轴组件发生变形，而X轴组件与两侧的Y轴组件均为硬连接，如此设置，X轴组件的变形对工件搬运系统10会带来较大的影响。另外，传统的工件搬运系统10还存在X轴组件加工精度不易控制、加工难度较大的问题。

参见图1-图4，本实用新型一实施例提供了的工件搬运系统10，在本实施例中，工件为芯片。具体参见图1，工件搬运系统10包括第一驱动组件100、第二驱动组件200、第三驱动组件300及柔性连接组件400；其中，第一驱动组件100包括沿第一方向运动的第一驱动件110；第一驱动组件100还包括第一主体120，第一主体120具有沿第一方向的第一滑轨121，第一驱动件110与第一滑轨121配接，以提高第一驱动件110沿第一方向的运动稳定性。第二驱动组件200包括与第一驱动件110同步且沿同方向运动的第二驱动件210；第二驱动组件200还包括第二主体220，第二主体220具有沿第一方向的第二滑轨221，第二驱动件210与第二滑轨221配接，以提高第二驱动件210沿第一方向的运动稳定性。

继续参见图1，第三驱动组件300包括与第一驱动件110连接的第三主体320及在第三主体320上沿第二方向运动的第三驱动件310。

结合参见图2，柔性连接组件400设置在第三主体320与第二驱动件210之间，以使第三主体320能够相对于第二驱动件210在第二方向上发生位移。需要说明的是，第二方向与第一方向垂直。在本实施例中，第一方向为X轴方向，第二方向为Y轴方向。第一驱动组件100及第二驱动组件200为平行设置的Y轴组件；第三驱动组件300为与Y轴组件垂直设置的X轴组件。也就是说，X轴组件的变形包括第三驱动组件300的第三主体320的变形。上述工件搬运系统10，为了减小因X轴组件变形而带来的对工件搬运系统10的不利影响，延长工件搬运系统10的使用寿命，设置有第一驱动件110及与第一驱动件110同步且沿同方向运动的第二驱动件210，第一驱动件110与第三主体320连接，且在第三主体320与第二驱动件210之间设置有柔性连接组件400。根据工况将第三主体320设置较长或高速运动的情况下，当第三驱动组件300中第三主体320发生变形，即上述的X轴组件发生变形时，第三主体320能够相对于第二驱动件210在第二方向上发生位移，如此设置能够减小第三主体320因变形与第二驱动件210之间产生的额外应力，进而减小第三主体320变形带来的对工件搬运系统10的不利影响，有利于延长工件搬运系统10的使用寿命。另外，第三主体320与第二驱动件210之间设置有柔性连接组件400，第三主体320的加工精度要求降低、加工难度减小。另外，在第三主体320与第二驱动件210之间设置有柔性连接组件400，除了吸收变形误差外，柔性连接组件400还可以在第一驱动件110和第二驱动件210不同步时，即在第三主体320的两端的位移不一致而发生倾斜时，吸收第三主体320的两端的位置偏差，进一步提高了工件搬运系统10的工作稳定性。

参见图2、图5-图8，在一实施例中，柔性连接组件400包括与第三主体320连接的第一连接件410及与第二驱动件210连接的第二连接件420，第一连接件410与第二连接件420滑动连接。上述工件搬运系统10，通过可在第二方向上发生相对运动的第一连接件410与第二连接件420实现第三主体320与第二驱动件210之间的柔性连接。当第三主体320发生变形时，连接于第三主体320的第一连接件410相对于第二连接件420在第二方向上发生位移，减小了因变形而产生的额外应力。具体地，结合参见图2及图7，第一连接件410为两个连接柱，连接柱的一端伸入且固定于第三主体320，第二连接件420为通过螺栓可拆卸连接于第二驱动件210的连接块，两个连接柱贯穿连接块且能够相对于连接块滑动。需要说明的是，连接柱可以设置一个以上。另外，第一连接件410及第二连接件420除了上述的设置方式以外，也可以是其他方式，只要可以在第二方向上发生相对位移即可。

继续参见图1-图4，在一实施例中，第一驱动组件100为第一直线电机，第一驱动件110包括第一直线电机的动子；第二驱动组件200为第二直线电机，第二驱动件210包括第二直线电机的动子。上述工件搬运系统10，第一驱动组件100及第二驱动组件200均设置为直线电机，第一驱动件110与第二驱动件210同步且沿同方向运动，即采用龙门Y轴双驱动结构，降低了安装高度，提高了高速运动时的工作稳定性。相较于驱动单元采用单侧Y轴组件驱动的方式，采用直线电机的Y轴双驱动方式提高了两侧Y轴组件的同步性。另外，采用直线电机能够在保证一定机械刚性的前提下，节约滑轨侧面的安装空间。

结合参见图8-图10，第三驱动件310上设置有第一拾取组件500及第二拾取组件600，第一拾取组件500用于拾取保持有工件的载具，第二拾取组件600用于拾取保持于载具的工件。上述工件搬运系统10，将用于拾取载具的第一拾取组件500与用于拾取载具上的工件的第二拾取组件600均设置于第三驱动件310上，工作过程中将工件放置或以其他方式装载于载具上，先利用第一拾取组件500拾取载具，再利用第二拾取组件600拾取载具上的工件。现有技术中用于拾取载具的拾取组件和用于拾取工件的拾取组件独立设置驱动装置，而上述工件搬运系统10中第一拾取组件500与第二拾取组件600集成为一体的方式，提高了结构的利用率。继续参见图9，在一实施例中，第三驱动件310包括设置有第一拾取组件500的第一固定部311及设置有第二拾取组件600的第二固定部312。此种设置方式，在两个拾取组件集成为一体的基础上，设置较为合理。需要说明的是，除了上述设置方式，第一拾取组件500及第二拾取组件600在第三驱动件310上的固定方式、位置关系不限，根据具体需要进行设置即可。

结合参见图2，在一实施例中，第三驱动组件300的第三主体320具有沿第二方向的第三滑轨321，第三驱动件310与第三滑轨321配接，如此，可提高第三驱动件310沿第二方向运动的稳定性，也就是提高了第一拾取组件500及第二拾取组件600的运行稳定性，进而提高了工件搬运系统10的运行稳定性。

结合参见图9及图11，在一实施例中，第一拾取组件500包括设置于第三驱动件310的第一驱动装置510及连接于第一驱动装置510的输出端的第一吸附组件520，第一吸附组件520用于吸附载具。具体地，在一实施例中，第一吸附组件520包括吸盘，吸盘上设置有吸附区(图中未示出)，吸盘的吸附区通过第一真空气路接头522连通外部真空设备，在真空设备作用下，将载具吸附于吸盘的吸附区。在一实施例中，在吸盘与载具接触的位置设置第三弹性件521，以减小损伤载具的可能性。其中，第三弹性件521包括但不限于采用海绵。

参见图10、图12及图13，在一实施例中，第二拾取组件600包括吸附模组610及能够驱动吸附模组610沿第三方向运动的第二驱动装置620，第三驱动件310与吸附模组610之间设置有辅助连接结构630。上述工件搬运系统10，第三驱动件310与吸附模组610之间存在两个连接关系，如图8所示，其一是第三驱动件310上设置第二驱动装置620，第二驱动装置620的输出端连接吸附模组610。结合参见图10，另一个是辅助连接结构630，通过设置辅助连接结构630可以一定程度提高第三驱动件310与吸附模组610之间的连接可靠性。具体地，参见图12，在一实施例中，辅助连接结构630包括配置于第三驱动件310的第一辅助连接部631、配置于吸附模组610的第二辅助连接部632及第一弹性件633。以第二驱动装置620采用电缸为例，当电缸驱动吸附模组610时，第一弹性件633拉伸，当电缸不上电时，辅助连接结构630能够减小吸附模组610下落的可能性。在一实施例中，第一弹性件633为拉簧。除上述设置方式以外，辅助连接结构630还可以设置为伸缩组件(图中未示出)，具体地，伸缩组件包括伸缩杆及与伸缩杆配合的伸缩套筒，伸缩套筒与第三驱动件310的第一辅助连接部631连接，伸缩杆与吸附模组610的第二辅助连接部632连接。

继续参见12及图13，吸附模组610包括至少两个吸附模块611，每个吸附模块611包括第三驱动装置6111及第二吸附组件6112，第三驱动装置6111包括设置于第二驱动装置620的输出端的本体6113、及相对于本体6113沿第三方向运动的驱动部6114，第二吸附组件6112设置于驱动部6114的设定区域，驱动部6114与第二吸附组件6112之间设置第二弹性件6115，且第二弹性件6115配置为提供使第二吸附组件6112远离本体6113的驱动力。需要说明的是，在一实施例中，第三方向同时与上述的第一方向及第二方向垂直。当第一方向为X轴方向，第二方向为Y轴方向时，第三方向即为Z轴方向。

上述工件搬运系统10，吸附模组610包括至少两个吸附模块611，如此，能一次性吸附至少两个工件。在此基础上，每个吸附模块611设置有独立的第三驱动装置6111，即在第二驱动装置620能够驱动吸附模组610沿第三方向运动的前提下，第三驱动装置6111能够独立驱动第二吸附组件6112沿第三方向运动。当不同工件的拾取高度不同时，可通过单独驱动第二吸附组件6112以达到吸附不同高度工件的目的，使得工件搬运系统10的适用范围更加广泛。

进一步地，结合参见图14-图17，第三驱动装置6111包括本体6113及驱动部6114，第二吸附组件6112设置于驱动部6114的设定区域，驱动部6114与第二吸附组件6112之间设置第二弹性件6115，且第二弹性件6115配置为提供使第二吸附组件6112远离本体6113的驱动力。具体地，结合参加图16及图17，驱动部6114包括第一限位部6114a及第二限位部6114b，第二吸附组件6112上固定有活动连接件6119，活动连接件6119位于第一限位部6114a及第二限位部6114b之间，第二弹性件6115配置在第一限位部6114a与活动连接件6119之间。拾取工件过程中，驱动部6114抵接活动连接件6119，带动第二吸附组件6112向靠近载具的方向移动，当第二吸附组件6112接触并下压工件时，第二弹性件6115形变，对第二吸附组件6112与工件之间的应力进行缓冲，减小损伤工件的可能性。在一实施例中，第二弹性件6115为弹簧。

继续参见图14-图17，第二吸附组件6112包括一吸杆6116、吸杆6116的一端设置的吸嘴6117、吸杆6116的另一端设置的第二真空气路接头6118。第二真空气路接头6118连通外部真空设备，真空设备连通吸杆6116及吸嘴6117，吸嘴6117用于吸附载具上的工件。继续参见图14及图16，在一实施例中，第三驱动装置6111的本体6113开设有容纳空间(图中未标出)，部分的第二吸附组件6112容置于容纳空间且能够在容纳空间内相对于本体6113移动。上述吸附装置适用于紧凑型空间。在一实施例中，第二吸附组件6112包括吸杆6116，容纳空间设置为平行于驱动轴布设的通孔，至少部分的吸杆6116同轴容置于通孔。采用吸杆6116形式体积较小，更适用于紧凑型空间。需要说明的是，第二吸附组件6112也可以设置为带有真空气路的其他结构。继续参见图14，在一实施例中，第三驱动装置6111采用标准双作用气缸进行改造，即贯穿气缸的本体6113开设一容纳空间，降低了加工难度和装配精度，提高了安装和调试效率。在一实施例中，容纳空间配置有第一导向特征(图中未标出)，第二吸附组件6112配置有第二导向特征(图中未标出)，第一导向特征与第二导向特征相配合，以对第二吸附组件6112相对于本体6113的移动进行导向。例如，第一导向特征配置为容纳空间的至少部分内表面，第二导向特征配置为第二吸附组件6112的部分外表面，两者相配合，对移动进行导向，以提高动作的稳定性。

参见图8-图10，第二拾取组件600的一侧设置有视觉组件700，视觉组件700用于识别和定位工件。具体地，视觉组件700设置于吸附模组610的一侧。上述吸附装置能够利用视觉组件700识别工件的位置，进而较为准确地定位及拾取工件。在一实施例中，视觉组件700包括用于对工件进行拍照的相机710及调节拍摄光线的光源720。需要说明的是，在一实施例中，为了更准确地定位工件还可以在靠近吸附模组610的位置设置距离传感器，以测量工件所处的Z轴位置，进而有助于吸附模组610更加准确地吸附工件。

另外，本实用新型还提供了一种芯片检测装置，包括如上的工件搬运系统10。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种工件搬运系统，其特征在于，所述工件搬运系统包括：

第一驱动组件，包括第一主体、及设置于所述第一主体且沿第一方向运动的第一驱动件；

第二驱动组件，包括第二主体、及设置于所述第二主体的第二驱动件，所述第二驱动件与所述第一驱动件同步且沿同方向运动；

第三驱动组件，包括与所述第一驱动件连接的第三主体、及在所述第三主体上沿第二方向运动的第三驱动件；

柔性连接组件，设置在所述第三主体与所述第二驱动件之间，以使所述第三主体能够相对于所述第二驱动件在所述第二方向上发生位移，所述第二方向与所述第一方向垂直。

2.根据权利要求1所述的一种工件搬运系统，其特征在于，所述柔性连接组件包括与所述第三主体连接的第一连接件及与所述第二驱动件连接的第二连接件，所述第一连接件与所述第二连接件活动连接。

3.根据权利要求1所述的工件搬运系统，其特征在于，所述第一驱动组件为第一直线电机，所述第一驱动件包括所述第一直线电机的动子；所述第二驱动组件为第二直线电机，所述第二驱动件包括所述第二直线电机的动子。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的工件搬运系统，其特征在于，所述第三驱动件上设置有第一拾取组件及第二拾取组件，所述第一拾取组件用于拾取保持有工件的载具，所述第二拾取组件用于拾取保持于所述载具的工件。

5.根据权利要求4所述的工件搬运系统，其特征在于，所述第一拾取组件包括设置于所述第三驱动件的第一驱动装置及连接于所述第一驱动装置的输出端的第一吸附组件，所述第一吸附组件用于吸附所述载具。

6.根据权利要求4所述的工件搬运系统，其特征在于，所述第二拾取组件包括吸附模组及能够驱动所述吸附模组沿第三方向运动的第二驱动装置，所述第三驱动件与所述吸附模组之间设置有辅助连接结构。

7.根据权利要求6所述的工件搬运系统，其特征在于，所述辅助连接结构包括配置于所述第三驱动件的第一辅助连接部、配置于所述吸附模组的第二辅助连接部及第一弹性件。

8.根据权利要求6所述的工件搬运系统，其特征在于，所述吸附模组包括至少两个吸附模块，每个所述吸附模块包括第三驱动装置及第二吸附组件，所述第三驱动装置包括设置于所述第二驱动装置的输出端的本体、及相对于所述本体沿所述第三方向运动的驱动部，所述第二吸附组件设置于所述驱动部的设定区域，所述驱动部与所述第二吸附组件之间设置第二弹性件，且所述第二弹性件配置为提供使所述第二吸附组件远离所述本体的驱动力。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的工件搬运系统，其特征在于，所述吸附模组的一侧设置有视觉组件，所述视觉组件用于识别和定位工件。

10.一种芯片检测装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的工件搬运系统。

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