CN214556111U - 多硅片挂具总装 - Google Patents

Abstract

本申请提出一种多硅片挂具总装，包括承载板、翻转驱动件、设于承载板的第一快速夹钳组件、设于承载板的第二快速夹钳组件以及压紧驱动机构。其中，承载板的正面和背面设有用于放置硅片的承载位；翻转驱动件用于往复翻转承载板，当承载板正面朝上时，承载板正面的承载位放入硅片，当承载板背面朝上时，承载板背面的承载位放入硅片；压紧驱动机构用于驱动第一快速夹钳组件将硅片压紧在承载板正面的承载位或松开硅片，以及用于驱动第二快速夹钳组件将硅片压紧在承载板背面的承载位或松开硅片。与现有技术相比，本申请方案中，硅片装载过程简单快捷，效率较高。

Description

多硅片挂具总装

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，尤其是涉及一种多硅片挂具总装。

背景技术

硅片被广泛应用于半导体领域，硅片在生产过程中需要经过一系列加工工序，其中包括清洗工序，硅片一般需要夹持在工装挂具上，然后由工装挂具携带硅片完成清洗工序，现有技术中，硅片装载在挂具上以及从挂具上卸下的过程较为繁杂，工作效率较低。

为此，需要提供一种技术方案可以简化硅片装载在挂具上或从挂具卸下的过程，提高动作效率。

实用新型内容

本实用新型提出一种多硅片挂具总装，其目的是简化硅片装载在挂具上或从挂具卸下的过程，提高动作效率。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种多硅片挂具总装，包括承载板、翻转驱动件、设于承载板的第一快速夹钳组件、设于承载板的第二快速夹钳组件以及压紧驱动机构。其中，承载板的正面和背面设有用于放置硅片的承载位；翻转驱动件用于往复翻转承载板以使承载板正面朝上或背面朝上，当承载板正面朝上时，承载板正面的承载位放入硅片，当承载板背面朝上时，承载板背面的承载位放入硅片；在承载板正面的承载位放入硅片时，第一快速夹钳组件将硅片压紧在承载板正面的承载位；在承载板背面的承载位放入硅片时，第二快速夹钳组件将硅片压紧在承载板背面的承载位；压紧驱动机构用于驱动第一快速夹钳组件将硅片压紧在承载板正面的承载位或松开硅片，以及用于驱动第二快速夹钳组件将硅片压紧在承载板背面的承载位或松开硅片。

在一实施方式中，第一快速夹钳组件包括第一快速夹钳，第一快速夹钳包括第一把手和第一压头，第一压头设有第一压紧支架，压紧驱动机构驱动第一把手，第一把手带动第一压头，从而驱使第一压紧支架将硅片压紧在承载板正面的承载位或松开硅片；第二快速夹钳组件包括第二快速夹钳，第二快速夹钳包括第二把手和第二压头，第二压头设有第二压紧支架，压紧驱动机构驱动第二把手，第二把手带动第二压头，从而驱使第二压紧支架将硅片压紧在承载板正面的承载位或松开硅片。

在一实施方式中，压紧驱动机构包括可横向移动和上下移动的横杆；第一把手设有第一U形槽，在承载板正面朝上时，横杆横向移动进入或移出第一U形槽，当横杆移入第一U形槽时，横杆上下移动，从而驱动第一把手；第二把手设有第二U形槽，在承载板背面朝上时，横杆横向移动进入或移出第二U形槽，当横杆移入第二U形槽时，横杆上下移动，从而驱动第二把手。

在一实施方式中，第一快速夹钳组件的数量配置为四个，四第一快速夹钳组件对称设于承载板正面的宽度方向上的两侧；第二快速夹钳组件的数量配置为四个，四第二快速夹钳组件对称设于承载板背面的宽度方向上的两侧，且四第二快速夹钳组件的位置与四第一快速夹钳组件的位置逐一对应；压紧驱动机构的数量配置为两个，两压紧驱动机构对称配置于承载板的宽度方向上的两侧；每个压紧驱动机构的横杆的配置数量为两个。

在一实施方式中，压紧驱动机构还包括横向驱动件以及设于横向驱动件的升降驱动件，横杆设于升降驱动件上，横向驱动件驱动升降驱动件横向移动，从而带动横杆横向移动；升降驱动件驱动横杆上下移动。

在一实施方式中，升降驱动件设有连杆，连杆的两端对称设有L形板组，L形板组包括两个间隔且对称设置的L形板，L形板的横向部朝向承载板延伸，每一L形板组对应于一横杆，横杆的两端分别与两L形板连接。

在一实施方式中，横向驱动件以及升降驱动件均为气缸。

在一实施方式中，第一压紧支架设有多个第一压紧柱，第一压紧支架通过第一压紧柱将硅片压紧在承载板正面的承载位；第二压紧支架设有多个第二压紧柱，第二压紧支架通过第二压紧柱将硅片压紧在承载板背面的承载位。

在一实施方式中，翻转驱动件的配置数量为两个，两翻转驱动件对称地连接于承载板长度方向上的两侧。

在一实施方式中，翻转驱动件为旋转气缸。

本实用新型的有益效果是：

本申请采用翻转驱动件来驱使承载板往复翻转，以便将硅片放置在承载板的正面和背面，利用压紧驱动机构来驱使第一快速夹钳组件和第二快速组件来压紧或松开硅片，硅片装载过程简单快捷，效率较高。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但不应构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型实施例的整体结构示意图示意图；

图2为本实用新型实施例的第一快速夹钳组件的结构示意图；

图3为本实用新型实施例的压紧驱动机构的结构示意图。

附图标注说明：10、承载板；11、承载位；20、翻转驱动件；30、第一快速夹钳组件；31、第一支架；32、第一把手；321、第一U形槽；33、第一连杆；34、第一压头；35、第一压紧支架；36、第一压紧柱；40、第二快速夹钳组件；50、压紧驱动机构；51、横向驱动件；52、升降驱动件；53、连杆；54、L形板；55、横杆。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

请参阅图1，本实施例公开一种多硅片挂具总装，包括承载板10、翻转驱动件20、设于承载板10的第一快速夹钳组件30、设于承载板10的第二快速夹钳组件40以及压紧驱动机构50。其中，承载板10的正面和背面设有用于放置硅片的承载位11，承载位11的数量为多个，多个承载位11阵列排布，承载位11可以为凹槽。翻转驱动件20用于往复翻转承载板10以使承载板10正面朝上或背面朝上，当承载板10正面朝上时，利用机械手往承载板10正面的每个承载位11放入一块硅片，当承载板10背面朝上时，利用机械手往承载板10背面的每个承载位11放入一块硅片。压紧驱动机构50用于驱动第一快速夹钳组件30将硅片压紧在承载板10正面的承载位11或松开硅片，以及用于驱动第二快速夹钳组件40将硅片压紧在承载板10背面的承载位11或松开硅片，具体的，在承载板10正面的承载位11放入硅片时，压紧驱动机构50驱动第一快速夹钳组件30将硅片压紧在承载板10正面的承载位11，然后压紧驱动机构50与第一快速夹钳组件30分离，利用第一快速夹钳组件30的自锁功能将硅片压紧在承载板10上；在承载板10背面的承载位11放入硅片时，压紧驱动机构50驱动第二快速夹钳组件40将硅片压紧在承载板10背面的承载位11，然后压紧驱动机构50与第二快速夹钳组件40分离，利用第二快速夹钳组件40的自锁功能将硅片压紧在承载板10上，承载板10正面和背面的承载位11都装载硅片时，承载板10在一升降气缸(图中未显示出)的带动下可以下移进入清洗池，对承载板10的正面和背面的硅片进行清洗，清洗完毕后，承载板10上移，承载板10的正面朝上，压紧驱动机构50驱动第一快速夹钳组件30松开硅片，机械手拿走硅片，翻转驱动件20驱动承载板10翻转，使承载板10的背面朝上，压紧驱动机构50驱动第二快速夹钳组件40松开硅片，机械手拿走硅片，完成硅片的清洗过程，当然，在其他实施例中，本实施例公开的多硅片挂具总装还可以用于硅片的其他加工工序中。

与现有技术相比，本实施例采用翻转驱动件20来驱使承载板10往复翻转，以便将硅片放置在承载板10的正面和背面，利用压紧驱动机构50来驱使第一快速夹钳组件30和第二快速组件来压紧或松开硅片，硅片装载过程简单快捷，期间无需人工操作，自动化程度较高，加工效率较高。

接下来，对本实施例的多硅片挂具总装的结构做进一步详述。

请参阅图1，在本实施例中，第一快速夹钳组件30的数量配置为四个，四个第一快速夹钳组件30对称设于承载板10正面的宽度方向上的两侧，每侧配置两个。第二快速夹钳组件40的数量配置为四个，四个第二快速夹钳组件40对称设于承载板10背面的宽度方向上的两侧，每侧配置两个。四个第二快速夹钳组件40的位置与四第一快速夹钳组件30的位置逐一对应。

请参阅图2，第一快速夹钳组件30包括第一快速夹钳，第一快速夹钳属于行业常用的快速夹钳中的其中一种，其具有自锁功能。具体的，第一快速夹钳包括第一支架31、呈L形的第一把手32、第一连杆33、杆状的第一压头34，第一支架31固定在承载板10的顶面，第一把手32的一端与第一支架31铰接，第一压头34的一端与第一支架31铰接，第一连杆33的两端分别铰接于第一把手32和第一压头34，第一压头34远离第一支架31的一端设有第一压紧支架35，第一压紧支架35设有多个第一压紧柱36。往承载板10正面的承载位11装载硅片时，压紧驱动机构50驱动第一把手32，使第一把手32转动，第一把手32通过第一连杆33带动第一压头34，第一压头34从而驱使第一压紧支架35压向硅片，第一压紧支架35通过第一压紧柱36将硅片压紧在承载板10正面的承载位11，此时，第一快速夹钳进入自锁状态，由于第一快速夹钳的自锁原理为本领域技术人员的常识，因而在此不对其原理进行详述。当从承载板10正面的承载位11卸下硅片时，压紧驱动机构50驱动第一把手32反向转动，第一把手32通过第一连杆33带动第一压头34反向转动，从而使第一压头34带动第一压紧支架35松开硅片。

在本实施例中，第二快速夹钳组件40与第一快速夹钳组件30的结构相同，因此在此不对第二快速夹钳组件40的零部件进行标注。第二快速夹钳组件40包括第二快速夹钳，第二快速夹钳属于行业常用的快速夹钳中的其中一种，其具有自锁功能。具体的，第二快速夹钳包括第二支架、第二把手、第二连杆、杆状的第二压头，第二支架固定在承载板10的背面，第二把手的一端与第二支架铰接，第二压头的一端与第二支架铰接，第二连杆的两端分别铰接于第二把手和第二压头，第二压头远离第二支架的一端设有第二压紧支架，第二压紧支架设有多个第二压紧柱。往承载板10背面的承载位11装载硅片时，压紧驱动机构50驱动第二把手，使第二把手转动，第二把手通过第二连杆带动第二压头，第二压头从而驱使第二压紧支架压向硅片，第二压紧支架通过第二压紧柱将硅片压紧在承载板10背面的承载位11，此时，第二快速夹钳进入自锁状态，由于第二快速夹钳的自锁原理为本领域技术人员的常识，因而在此不对其原理进行详述。当从承载板10背面的承载位11卸下硅片时，压紧驱动机构50驱动第二把手反向转动，第二把手通过第二连杆带动第二压头反向转动，从而使第二压头带动第二压紧支架松开硅片。

接下来，对压紧驱动机构50和第一快速夹钳组件30以及第二快速夹钳组件40之间的驱动方式做进一步阐述。

请参阅图3，压紧驱动机构50的数量配置为两个，两压紧驱动机构50对称配置于承载板10的宽度方向上的两侧。压紧驱动机构50包括两个可横向移动和上下移动的横杆55，压紧驱动机构50通过两个横杆55来同时驱动位于承载板10同一侧的两个第一快速夹钳组件30或两个第二快速夹钳组件40。在一个实现横杆55横向移动以及上下移动的方案中，压紧驱动机构50包括横向驱动件51以及设于横向驱动件51的升降驱动件52，横向驱动件51和升降驱动件52均为活动端直线伸缩的气缸，在其他方案中，横向驱动件51和升降驱动件52可以是移动模组或丝杆机构等。升降驱动件52的固定端设在横向驱动件51的活动端上，升降驱动件52的活动端设有连杆53，连杆53的两端对称设有L形板54组，L形板54组包括两个间隔且对称设置的L形板54，L形板54的横向部朝向承载板10延伸，每一L形板54组对应于一横杆55，横杆55的两端分别与两L形板54连接。

第一把手32设有第一U形槽321，在承载板10正面朝上时，横向驱动件51驱动升降驱动件52横向移动，从而带动两个横杆55横向移动进入各自对应的第一U形槽321内，当横杆55移入第一U形槽321时，升降驱动件52带动横杆55往上移动，同时，横杆55也沿第一U形槽321的长度方向移动，横杆55驱动第一把手32转动，由第一把手32带动第一连杆33、第一压头34、第一压紧支架35，使第一压紧支架35上的第一压紧柱36压紧硅片，并且第一快速夹钳进入自锁状态；然后，横向驱动件51带动升降驱动件52横向移离承载板10，从而使横杆55移出第一U形槽321，避免横杆55对承载板10的翻转过程造成干涉。当需要卸下硅片时，横向驱动件51驱动升降驱动件52横向移动，使横杆55移进第一U形槽321，然后升降驱动件52驱使横杆55下移，横杆55带动第一把手32反向转动，由第一把手32带动第一连杆33、第一压头34、第一压紧支架35，从而使第一压紧支架35松开硅片。

第二把手设有第二U形槽，在承载板10背面朝上时，横向驱动件51驱动升降驱动件52横向移动，从而带动两个横杆55横向移动进入各自对应的第二U形槽内，当横杆55移入第二U形槽时，升降驱动件52带动横杆55往上移动，同时，横杆55也沿第二U形槽的长度方向移动，横杆55驱动第二把手转动，由第二把手带动第二连杆、第二压头、第二压紧支架，使第二压紧支架上的第二压紧柱压紧硅片，并且第二快速夹钳进入自锁状态；然后，横向驱动件51带动升降驱动件52横向移离承载板10，从而使横杆55移出第二U形槽，避免横杆55对承载板10的翻转过程造成干涉。当需要卸下硅片时，横向驱动件51驱动升降驱动件52横向移动，使横杆55移进第二U形槽，然后升降驱动件52驱使横杆55下移，横杆55带动第二把手反向转动，由第二把手带动第二连杆、第二压头、第二压紧支架，从而使第二压紧支架松开硅片。

在本实施例中，翻转驱动件20的配置数量为两个，两翻转驱动件20对称地连接于承载板10长度方向上的两侧，翻转驱动件20为旋转气缸，旋转气缸的旋转轴与承载板10长度方向上的侧边连接，由旋转气缸的旋转轴驱动承载板10往复翻转。

只要不违背本实用新型创造的思想，对本实用新型的各种不同实施例进行任意组合，均应当视为本实用新型公开的内容；在本实用新型的技术构思范围内，对技术方案进行多种简单的变型及不同实施例进行的不违背本实用新型创造的思想的任意组合，均应在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多硅片挂具总装，其特征在于，包括：

承载板，所述承载板的正面和背面设有用于放置硅片的承载位；

翻转驱动件，用于往复翻转所述承载板以使所述承载板正面朝上或背面朝上，当所述承载板正面朝上时，所述承载板正面的承载位放入硅片，当所述承载板背面朝上时，所述承载板背面的承载位放入硅片；

设于所述承载板的第一快速夹钳组件，在所述承载板正面的承载位放入硅片时，所述第一快速夹钳组件将硅片压紧在所述承载板正面的承载位；

设于所述承载板的第二快速夹钳组件，在所述承载板背面的承载位放入硅片时，第二快速夹钳组件将硅片压紧在所述承载板背面的承载位；以及

压紧驱动机构，用于驱动所述第一快速夹钳组件将硅片压紧在所述承载板正面的承载位或松开硅片，以及用于驱动所述第二快速夹钳组件将硅片压紧在所述承载板背面的承载位或松开硅片。

2.如权利要求1所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述第一快速夹钳组件包括第一快速夹钳，所述第一快速夹钳包括第一把手和第一压头，所述第一压头设有第一压紧支架，所述压紧驱动机构驱动所述第一把手，所述第一把手带动所述第一压头，从而驱使所述第一压紧支架将硅片压紧在所述承载板正面的承载位或松开硅片；

所述第二快速夹钳组件包括第二快速夹钳，所述第二快速夹钳包括第二把手和第二压头，所述第二压头设有第二压紧支架，所述压紧驱动机构驱动所述第二把手，所述第二把手带动所述第二压头，从而驱使所述第二压紧支架将硅片压紧在所述承载板正面的承载位或松开硅片。

3.如权利要求2所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述压紧驱动机构包括可横向移动和上下移动的横杆；

所述第一把手设有第一U形槽，在所述承载板正面朝上时，所述横杆横向移动进入或移出所述第一U形槽，当所述横杆移入所述第一U形槽时，所述横杆上下移动，从而驱动所述第一把手；

所述第二把手设有第二U形槽，在所述承载板背面朝上时，所述横杆横向移动进入或移出所述第二U形槽，当所述横杆移入所述第二U形槽时，所述横杆上下移动，从而驱动所述第二把手。

4.如权利要求3所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述第一快速夹钳组件的数量配置为四个，四所述第一快速夹钳组件对称设于所述承载板正面的宽度方向上的两侧；

所述第二快速夹钳组件的数量配置为四个，四所述第二快速夹钳组件对称设于所述承载板背面的宽度方向上的两侧，且四所述第二快速夹钳组件的位置与四所述第一快速夹钳组件的位置逐一对应；

所述压紧驱动机构的数量配置为两个，两所述压紧驱动机构对称配置于所述承载板的宽度方向上的两侧；

每所述压紧驱动机构的横杆的配置数量为两个。

5.如权利要求4所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述压紧驱动机构还包括横向驱动件以及设于所述横向驱动件的升降驱动件，所述横杆设于所述升降驱动件上，所述横向驱动件驱动所述升降驱动件横向移动，从而带动所述横杆横向移动；所述升降驱动件驱动所述横杆上下移动。

6.如权利要求5所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述升降驱动件设有连杆，所述连杆的两端对称设有L形板组，所述L形板组包括两个间隔且对称设置的L形板，所述L形板的横向部朝向所述承载板延伸，每一L形板组对应于一所述横杆，所述横杆的两端分别与两所述L形板连接。

7.如权利要求5所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述横向驱动件以及所述升降驱动件均为气缸。

8.如权利要求2所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述第一压紧支架设有多个第一压紧柱，所述第一压紧支架通过所述第一压紧柱将硅片压紧在承载板正面的承载位；

所述第二压紧支架设有多个第二压紧柱，所述第二压紧支架通过所述第二压紧柱将硅片压紧在承载板背面的承载位。

9.如权利要求1所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述翻转驱动件的配置数量为两个，两所述翻转驱动件对称地连接于所述承载板长度方向上的两侧。

10.如权利要求9所述的多硅片挂具总装，其特征在于，所述翻转驱动件为旋转气缸。

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