CN203225242U

CN203225242U - 输送电子元件用抓取装置

Info

Publication number: CN203225242U
Application number: CN 201220750120
Authority: CN
Inventors: 王振荣; 黄春杰; 张路
Original assignee: Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Current assignee: Shanghai Xinyang Semiconductor Material Co Ltd
Priority date: 2012-12-31
Filing date: 2012-12-31
Publication date: 2013-10-02
Anticipated expiration: 2022-12-31

Abstract

本实用新型公开了一种输送电子元件用抓取装置，其特征在于，包括机架和驱动件以及两个抓持件，所述驱动件设于所述机架上，至少一个所述抓持件可往复运动地设置；所述驱动件驱动所述抓持件往复运动。本实用新型输送电子元件用抓取装置不仅能够实现自动抓持和松开花篮，从而节省人力、提高晶圆生产效率，而且操作简单、容易制造。

Description

输送电子元件用抓取装置

技术领域

本实用新型涉及一种输送电子元件用抓取装置。

背景技术

晶圆在生产加工过程中，具有多道不同的加工工序。由于晶圆厚度薄等特殊性质，将晶圆从一道工序运送到另一道工序时，需要使用专门的夹持装置来夹持晶圆，然后将夹持装置固定在运送装置上进行传送。传统的输送电子元件用抓取装置包括盛装晶圆的花篮以及用于抓持花篮的抓持件，抓持件两端分别设置卡块，卡块卡持在花篮上。现有的这种输送电子元件用抓取装置，利用卡块卡持在花篮上，当晶圆运送至所需位置后，需要用力向外拉动卡块使卡块脱离花篮以卸下花篮；而晶圆在运送过程中为防止其落下，一般需要较大的夹持力来加紧花篮，这导致在卸下花篮时耗时、费力，不利于晶圆的规模化生产。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种能够实现自动抓持和松开，从而节省人力、提高晶圆生产效率的输送电子元件用抓取装置。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

输送电子元件用抓取装置，其特征在于，其特征在于，包括机架和驱动件以及两个抓持件，所述驱动件设于所述机架上，至少一个所述抓持件可往复运动地设置；所述驱动件驱动所述抓持件往复运动。

优选地是，所述抓持件为两块相对设置的L形板；至少一个所述L形板可运动地设置；所述驱动件驱动至少一个L形板运动。

优选地是，所述驱动件还包括弹簧，所述驱动件为单作用气缸，所述单作用气缸安装在所述机架上且与所述抓持件连接，所述弹簧一端安装在所述机架上、另一端连接在所述抓持件上；所述单作用气缸驱动所述抓持件运动而使所述弹簧产生弹性变形，产生弹性变形的弹簧使所述抓持件复位。

优选地是，所述单作用气缸为两个，每个单作用气缸驱动一个抓持件运动；所述弹簧为拉伸弹簧，每个拉伸弹簧与一个抓持件连接。

优选地是，所述夹持组件还包括滑块，机架上设置有导轨；所述滑块滑动地设于所述导轨上；所述驱动件驱动所述滑块移动；所述抓持件安装于所述滑块上。

优选地是，所述夹持组件还包括连接杆，所述连接杆一端连接在所述滑块上，另一端连接在所述抓持件上。

优选地是，所述驱动件为双作用气缸，所述双作用气缸的两个活塞杆分别连接一个所述抓持件；两个抓持件分别位于双作用气缸两侧。

优选地是，所述驱动件为直线电机，所述直线电机驱动所述抓持件运动。

本实用新型输送电子元件用抓取装置不仅能够实现自动抓持和松开花篮，从而节省人力、提高晶圆生产效率，而且操作简单、容易制造。

附图说明

图1为本实用新型输送电子元件用抓取装置的立体图。

图2为本实用新型输送电子元件用抓取装置另一角度的立体图。

图3为图2中输送电子元件用抓取装置A处的局部放大图。

图4为图1所示输送电子元件用抓取装置的俯视图。

图5为本实用新型输送电子元件用抓取装置的张开时的工作状态图。

图6为本实用新型输送电子元件用抓取装置的抓持花篮时的工作示意图。

图7为本实用新型输送电子元件用抓取装置的松开花篮时的工作示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：如图1至图7所示：输送电子元件用抓取装置，包括机架1、驱动件2、用于抓持容器6的两个抓持件3、两块滑块（41、42）以及四根连接杆5。驱动件2安装在机架1上。滑块（41、42）滑动地安装在机架1上。驱动件2连接在滑块（41、42）上。滑块（41、42）通过连接杆5与抓持件3连接。抓持件3包括两块夹板(31、32)，两块夹板为两块相对设置的L形板。每块夹板下端具有向内弯折的卡持部（311、312）。容器6两侧设有向外突出的突出部（611、612）。卡持部（311、312）卡持在突出部（611、612）上。

驱动件2包括两台单作用气缸（21、22)以及四根弹簧（23、24、25、26）。单作用气缸（21、22)以及弹簧（23、24、25、26）一端连接在机架1上，另一端连接在滑块（41、42）上。单作用气缸（21、22)以及弹簧（23、24、25、26）一端连接在机架1上，另一端连接在滑块（41、42）上。

滑块（41、42）底面两端分别设有导槽（411、421）。机架1上设有两条导轨11。导槽（411、421）与导轨11配合，从而将滑块（41、42）滑动地安装在机架1上。滑块（41、42）上分别连接有两根连接杆5。每根连接杆5穿过机架1连接在抓持件3上。连接杆5为直线光轴。

本实用新型输送电子元件用抓取装置的工作原理详述如下：

如图5所示，工作时，首先启动单作用气缸（21、22），单作用气缸的活塞杆伸出并分别推抵滑块（41、42）沿着导轨11背向运动。滑块（41、42）向外滑动，分别带动四根连接杆5推抵夹板（31、32）张开，松开容器6。在此过程中，弹簧(23、24、25、26)被拉伸而产生弹性回复力。

如图6和图7所示，然后将张开的夹板（31、32）移向容器6，并使卡持部（311、312）位于突出部（61、62）下方。单作用气缸（21、22）停止工作，滑块（41、42）在弹簧(23、24、25、26)弹性回复力作用下沿着导轨11向内滑动。滑块（41、42）通过连接杆5带动两块夹板（31、32）向内运动。最后，使得卡持部311卡持在突出部（611、612）上，卡持部312卡持在突出部62上，抓紧容器6。

本实施例中的单作用气缸可以用双作用气缸取代。双作用气缸的两个活塞杆分别连接一块夹板。双作用气缸取代位于两块夹板之间。

本实施例中的单作用气缸可以用电机等驱动组件取代。

本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。

Claims

1.输送电子元件用抓取装置，其特征在于，包括机架和驱动件以及两个抓持件，所述驱动件设于所述机架上，至少一个所述抓持件可往复运动地设置；所述驱动件驱动所述抓持件往复运动。

2.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述抓持件为两块相对设置的L形板；至少一个所述L形板可运动地设置；所述驱动件驱动至少一个L形板运动。

3.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述驱动件还包括弹簧，所述驱动件为单作用气缸，所述单作用气缸安装在所述机架上且与所述抓持件连接，所述弹簧一端安装在所述机架上、另一端连接在所述抓持件上；所述单作用气缸驱动所述抓持件运动而使所述弹簧产生弹性变形，产生弹性变形的弹簧使所述抓持件复位。

4.根据权利要求3所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述单作用气缸为两个，每个单作用气缸驱动一个抓持件运动；所述弹簧为拉伸弹簧，每个拉伸弹簧与一个抓持件连接。

5.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述夹持组件还包括滑块，机架上设置有导轨；所述滑块滑动地设于所述导轨上；所述驱动件驱动所述滑块移动；所述抓持件安装于所述滑块上。

6.根据权利要求5所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述夹持组件还包括连接杆，所述连接杆一端连接在所述滑块上，另一端连接在所述抓持件上。

7.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述驱动件为双作用气缸，所述双作用气缸的两个活塞杆分别连接一个所述抓持件；两个抓持件分别位于双作用气缸两侧。

8.根据权利要求1所述的输送电子元件用抓取装置，其特征在于，所述驱动件为直线电机，所述直线电机驱动所述抓持件运动。