CN213140577U - 半导体清洗设备的传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种半导体清洗设备的传输装置，该传输装置包括半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，机械臂的两个端部分别与主体框架的左右两侧连接；主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且动力传输机构与其位于同侧的端部连接；驱动源设置在主体框架上，且与动力传输机构连接；动力传输机构用于将驱动源输出的动力传输至机械臂上，以带动机械臂沿主体框架、在竖直方向上下移动。应用本实用新型，可以避免机械臂在水平位置发生偏移，也可避免容器件在机械臂上传输时由于机械臂向下倾斜而造成传输误差。

Description

半导体清洗设备的传输装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体地，涉及一种半导体清洗设备的传输装置。

背景技术

随着半导体行业的快速发展，客户越来越倾向于稳定可靠的生产设备，同时设备的产能对于设备供应商来说越来越凸显其重要的意义。

例如，对晶圆进行清洗的清洗设备，其上往往具有传输晶圆的机械传输机构，该传输机构的机械臂大多是采用一端固定的悬置设置，则在传输过程中，机械臂可能会由于单边受力而向下倾斜，致使传输位置不够精确；或者由于晶圆在传输过程中在机械臂末端快速移动时引起共振而导致裂片、碎片等。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体清洗设备的传输装置，以避免机械臂在水平位置发生偏移。

为实现本实用新型的目的，提供一种半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，所述机械臂的两个端部分别与所述主体框架的左右两侧连接；所述主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且所述动力传输机构与其位于同侧的所述端部连接；所述驱动源设置在所述主体框架上，且与所述动力传输机构连接；所述动力传输机构用于将所述驱动源输出的动力传输至所述机械臂上，以带动所述机械臂沿所述主体框架、在竖直方向上下移动。

可选地，所述动力传输机构包括传动组件及平衡杆结构，所述传动组件设置在所述主体框架上，分别与所述驱动源和所述平衡杆结构连接；所述平衡杆结构与所述机械臂连接。

可选地，所述传动组件包括齿轮杆、至少一个第一同步带轮、至少一个第二同步带轮以及第一同步带；

所述第一同步带轮固定设置于所述主体框架的上部，所述第二同步带轮设置于所述主体框架的底部，所述第一同步带安装于所述第一同步带轮和所述第二同步带轮上，形成闭环；且所述第一同步带与所述平衡杆结构连接；

所述齿轮杆固定设置在所述主体框架的上部，用于将所述驱动源输出的动力传输至所述第一同步带轮、第二同步带轮和所述第一同步带，以使得所述同步带带动所述平衡杆结构在竖直方向上下移动。

可选地，所述传动组件还包括固定块，用于将所述同步带固定连接到所述平衡杆结构上。

可选地，所述传输装置还包括配重件，所述配重件通过传输结构与所述平衡杆机构连接，所述配重件用于平衡所述机械臂的端部的受力。

可选地，所述传输结构包括第二同步带和第三同步带轮，所述第三同步带轮固定设置在所述主体框架的上端，所述第二同步带安装在所述第三同步带轮上，且两端分别与所述配重件和所述平衡杆机构连接。

可选地，所述主体框架上的左右两侧均设置有竖直导轨，所述机械臂与所述导轨滑动连接。

可选地，所述导轨上设置有滑块，所述机械臂通过所述滑块与所述导轨连接。

可选地，所述机械臂为条杆状，且沿所述机械臂的长度方向设置有线性导轨。

可选地，所述驱动源包括旋转电机，所述旋转电机与所述齿轮杆连接，以驱动所述齿轮杆绕其中心轴转动。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的半导体清洗设备的传输装置，在机械臂的两端均固定连接有动力传输机构，在两端的动力传输机构可以同时带动机械臂运动，使机械臂的两端同时上下移动，可实现机械臂的水平升降，如此可以避免机械臂在水平位置发生偏移，也可避免容器件在机械臂上传输时由于机械臂向下倾斜而造成传输误差，因此机械臂的传输速度可以大幅度提升(无需为了传输稳定而特意缓慢升降)，同时机械臂水平方向不会因为容器件快速移动而形成共振，使得整体传输过程更加平稳。

附图说明

图1为本申请实施例提供的半导体清洗设备的传输装置的主视结构的示意图；

图2为本申请实施例提供的半导体清洗设备的传输装置的侧视结构的示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

请一并参照图1和图2，为本申请实施例提供的半导体清洗设备的传输装置的主视结构的示意图和侧视结构的示意图，该传输装置用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架60、机械臂10、驱动源50和动力传输机构。机械臂10的两个端部分别与主体框架60的左右两侧连接；主体框架60的左右两侧分别设置有动力传输机构，且动力传输机构与其位于同侧的端部连接；驱动源50设置在主体框架60上，且与动力传输机构连接；动力传输机构用于将驱动源50输出的动力传输至机械臂10上，以带动机械臂10沿主体框架60、在竖直方向上下移动。

如图1和图2所示，机械臂10可以但不限于是水平悬置设置，然后机械臂10可以在其两端的动力传输机构的带动下进行升降运动，且在机械臂10做升降运动的过程中，其机械手(图中未示出)可以在清洗槽与容器货架之间传输盛放晶圆的容器件(也可以是未盛放晶圆的空的容器件)。可以理解的是，械臂10两端的两套动力传输机构可以完全一致，也可以稍有差别，只要二者均能带动机械臂10进行升降运动即可。

本实施例提供的半导体清洗设备的传输装置，在机械臂10的两端均固定连接有动力传输机构，在两端的动力传输机构可以同时带动机械臂10运动，使机械臂10的两端同时上下移动，可实现机械臂 10的水平升降，如此可以避免机械臂10在水平位置发生偏移，也可避免容器件在机械臂10上传输时由于机械臂10向下倾斜而造成传输误差，因此机械臂10的传输速度可以大幅度提升(无需为了传输稳定而特意缓慢升降)，同时机械臂10水平方向不会因为容器件快速移动而形成共振，使得整体传输过程更加平稳。

需要说明的是，本实施例并不限定机械臂10、驱动源及动力传输机构的具体结构和材质，只要其共同作用能够能实现上述机械臂 10的水平升降运动即可。

于一具体实施方式中，动力传输机构可以包括传动组件30及平衡杆结构20，传动组件30可以设置在主体框架60上，分别与驱动源和平衡杆结构20连接；平衡杆结构20与机械臂10连接。其中，驱动源可以通过传动组件30与平衡杆结构20连接，用以带动平衡杆结构20作升降运动；平衡杆结构20又可以带动机械臂10作升降运动，从而实现了动力传输机构对机械臂10的水平传动。

进一步地，传动组件30可以包括齿轮杆40、至少一个第一同步带轮31a、至少一个第二同步带轮31b以及第一同步带32。其中，第一同步带轮31a可以固定设置于主体框架60的上部，第二同步带轮 31b可以设置于主体框架60的底部。第一同步带32可以安装于第一同步带轮31a和第二同步带轮31b上，形成闭环，且第一同步带32 可以与平衡杆结构20连接。齿轮杆40可以固定设置在主体框架60 的上部，用于将驱动源输出的动力传输至第一同步带轮31a、第二同步带轮31b和第一同步带32，以使得第一同步带32带动平衡杆结构 20在竖直方向上下移动。

在本实施例中，如图2所示，第一同步带轮31a和第二同步带轮31b分别固定在框架60的上端和下端，使得第一同步带32形成闭环，且第一同步带32可以与平衡杆结构20连接，以在转动过程中带动机械臂10作升降运动。如此，通过设置第一同步带轮31a和第二同步带轮31b及第一同步带32，便可带动平衡杆结构20和机械臂10 运动，从而实现了传动组件30的传动作用。且第一同步带轮31a和第二同步带轮31b固定设置，第一同步带32绕第一同步带轮31a和第二同步带轮31b转动轨迹稳定不变，使得该传动组件30的传动过程稳定可靠，进一步增强了该传输装置的传输稳定性，避免容器件在传输过程中产生偏移、共振等。

具体地，两端的动力传输机构可以各自设置齿轮杆40，也可以共用一根齿轮杆40，相应地，齿轮杆40可以分别与两端的第一同步带轮31a连接，齿轮杆40在驱动源的作用下绕其中心轴转动，并带动第一同步带轮31a、第二同步带轮31b和第一同步带32转动，使得第一同步带32带动平衡杆结构20及机械臂10在竖直方向上下移动。如此，通过一个齿轮杆40便可同时使两套动力传输机构运动，以便两套动力传输机构同时带动机械臂10作升降运动，从而保证了机械臂10两端同步动作。且结构简单，操作方便，成本较低。需要说明的是，本实施例并不以齿轮杆为限，只要其能实现上述带动平衡杆结构20及机械臂10进行升降运动即可，例如其也可以是光滑的杆状结构，上述第一同步带轮31a可直接设置于该转动件40上。

进一步地，传动组件30还可以包括固定件33，以用于将第一同步带32固定连接到平衡杆结构20上。具体地，固定件33可以固定在第一同步带32上，并与平衡杆结构20连接，如此，实现了第一同步带32与平衡杆结构20之间的固定连接和稳定传动，避免第一同步带32与平衡杆结构20直接连接产生形变，继而影响传动效果，甚至影响机械臂10的升降等。

于另一具体实施方式中，传输装置还可以包括配重件22，配重件22可以通过传输结构212与平衡杆机构20连接，配重件22用于平衡机械臂的端部的受力。

在本实施例中，配重件22可与机械臂10的重量相当，传输结构212可以分别与配重件22与平衡杆机构20连接，同时始终保持配重件22与机械臂10的杠杆平衡。如此，配重件22和机械臂10在平衡杆机构20的两端利用二者的重力作用达到杠杆平衡，根据重力作用及杠杆平衡原理，机械臂10在上升(下降)过程中，配重件22 会下降(上升)，而配重件22下降(上升)又会促进机械臂10上升 (下降)，从而能够减轻驱动源在驱动机械臂10升降过程中承受的负载，为机械臂10的升降提供助力。其中，设置配重件22通过重力作用便可实现杠杆平衡，原理和结构简单，易于实现，成本较低。

需要说明的是，本实施例不限定配重件22的具体结构和材质，只要其能实现上述配重动作用，并能减轻驱动源承受的负载即可。

更具体地，上述传输结构212可以包括第二同步带212和第三同步带轮211，第三同步带轮211可以固定设置在主体框架60的上端，第二同步带212可以安装在第三同步带轮211上，且其两端可以分别与配重件22和平衡杆机构20连接。如此，将配重件22和平衡杆机构20分别固定在第二同步带212的两端，而平衡杆机构20又与机械臂10连接，则在第二同步带212绕第三同步带轮211运动的同时，可以带动机械臂10和配重件22进行升降运动，从而具体实现了机械臂10和配重件22的杠杆平衡。且第三同步带轮211可以相当于一个定滑轮，可以降低第二同步带212及其两端的配重件22和机械臂10 的运动阻力，进一步减轻驱动源在驱动机械臂10升降过程中承受的负载。

其中，如图2所示，第三同步带轮211和第二同步带212可以均为两个，通过两个第二同步带212分别绕各自的第三同步带轮211 运动，以同时带动机械臂10和配重件22进行升降运动，可进一步提升线性传动的承载能力和传动的平稳性。

需要说明的是，本实施例并不以同步带和同步轮为限，其只是本实施例的一较佳实施方式，传动组件30也可以是其它结构，只要能实现上述连接和传动作用即可。例如，其也可以是链条和链轮。

于另一具体实施方式中，主体框架60的左右两侧还均可以设置竖直导轨，可以令机械臂10与导轨滑动连接，以使机械臂10可以沿导轨进行上下运动，以保证机械臂10的运动轨迹，保证容器件的传输准确性。更具体地，导轨上可以设置有滑块(当然滑块也可以设置在机械臂10上)，机械臂10通过滑块与导轨连接，通过设置滑块可减少机械臂10与主体框架60上的导轨之间的摩擦，使得机械臂10 的上下运动更加顺畅，也可增加机械臂10的使用寿命。

需要说明的是，上述导轨与滑块的结构只是本实施例的一种实施方式，本实施例并不以此为限，例如也可以在主体框架60上设置竖直滑槽，机械臂10可直接在滑槽内上下滑动。另外，本实施例也不以竖直为限，该导轨也可以与竖直方向具有一定夹角，只要能实现对机械臂10的上下运动进行引导即可。

另外，机械臂可以为条杆状，且沿机械臂的长度方向可以设置线性导轨，以便于机械臂10上的机械手可以沿着线性导轨传输容器件，可使得容器件的传输过程更加稳定可靠，进一步保证容器件的传输精度。

进一步地，上述驱动源可以包括旋转电机50，旋转电机50的输出轴可以与齿轮杆40连接，以驱动齿轮杆40绕其中心轴转动，便可同时驱动两套动力传输机构运动。且结构简单，操作方便，成本较低。

需要说明的是，本实施例并不以旋转电机50为限，只要其能实现上述驱动传动组件30的作用即可。

基于上述半导体清洗设备的传输装置相同的构思，本实施例还可提供一种半导体清洗设备，包括清洗腔室和传输装置，该传输装置为上述任一实施方式的传输装置，用于向清洗腔室传入可盛放晶圆的容器件或自清洗腔室传出可盛放晶圆的容器件。

本实施例提供的半导体清洗设备，由于包含上述半导体清洗设备的传输装置，至少可以实现上述半导体清洗设备的传输装置的有益效果，在此不再赘述。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体清洗设备的传输装置，用于在清洗槽与容器货架之间传输可盛放待清洗件的容器，包括主体框架、机械臂、驱动源和动力传输机构，其特征在于，所述机械臂的两个端部分别与所述主体框架的左右两侧连接；所述主体框架的左右两侧分别设置有动力传输机构，且所述动力传输机构与其位于同侧的所述端部连接；所述驱动源设置在所述主体框架上，且与所述动力传输机构连接；所述动力传输机构用于将所述驱动源输出的动力传输至所述机械臂上，以带动所述机械臂沿所述主体框架、在竖直方向上下移动。

2.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述动力传输机构包括传动组件及平衡杆结构，所述传动组件设置在所述主体框架上，分别与所述驱动源和所述平衡杆结构连接；所述平衡杆结构与所述机械臂连接。

3.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述传动组件包括齿轮杆、至少一个第一同步带轮、至少一个第二同步带轮以及第一同步带；

所述第一同步带轮固定设置于所述主体框架的上部，所述第二同步带轮设置于所述主体框架的底部，所述第一同步带安装于所述第一同步带轮和所述第二同步带轮上，形成闭环；且所述第一同步带与所述平衡杆结构连接；

所述齿轮杆固定设置在所述主体框架的上部，用于将所述驱动源输出的动力传输至所述第一同步带轮、第二同步带轮和所述第一同步带，以使得所述同步带带动所述平衡杆结构在竖直方向上下移动。

4.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述传动组件还包括固定块，用于将所述同步带固定连接到所述平衡杆结构上。

5.根据权利要求2或3所述的传输装置，其特征在于，所述传输装置还包括配重件，所述配重件通过传输结构与所述平衡杆机构连接，所述配重件用于平衡所述机械臂的端部的受力。

6.根据权利要求5所述的传输装置，其特征在于，所述传输结构包括第二同步带和第三同步带轮，所述第三同步带轮固定设置在所述主体框架的上端，所述第二同步带安装在所述第三同步带轮上，且两端分别与所述配重件和所述平衡杆机构连接。

7.根据权利要求1所述的传输装置，其特征在于，所述主体框架上的左右两侧均设置有竖直导轨，所述机械臂与所述导轨滑动连接。

8.根据权利要求7所述的传输装置，其特征在于，所述导轨上设置有滑块，所述机械臂通过所述滑块与所述导轨连接。

9.根据权利要求2所述的传输装置，其特征在于，所述机械臂为条杆状，且沿所述机械臂的长度方向设置有线性导轨。

10.根据权利要求3所述的传输装置，其特征在于，所述驱动源包括旋转电机，所述旋转电机与所述齿轮杆连接，以驱动所述齿轮杆绕其中心轴转动。

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