CN212810267U - 一种晶圆测试用探针台升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆测试用探针台升降机构，包括支撑架、底箱和防护槽板，支撑架的顶部与防护槽板的底部固定连接，底箱内腔的一侧通过固定杆固定连接有齿条，底箱内腔的另一侧固定连接有滑轨，滑轨的内部通过滑块滑动连接有电机箱，电机箱内腔的底部通过支撑板固定连接有电机，电机的输出端贯穿电机箱并延伸至电机箱的表面，本实用新型涉及晶圆探针台技术领域。该晶圆测试用探针台升降机构，能够对测试台进行很好的升降，一定程度上提高了测试台的传动精度，且在传动时通过支撑杆、U型架、固定板的分级传动，保证了测试台运动时的稳定性，整体实用性，保证了U型板运动时的稳定性，对整体具有很好的保护作用。

Description

一种晶圆测试用探针台升降机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆探针台技术领域，具体为一种晶圆测试用探针台升降机构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999%，探针台是半导体前端加工工艺中对晶圆电路进行测试，标记测试结果的好坏并收集信号的半自动机械设备。旋转升降机构是探针台核心功能机构之一，现有的探针台升降机构，一般是采用丝杆进行转动，这种传动的精度比较一般，且传动时稳定性不是很好，且现有的探针台和升降结构是一体的，不便于使用者进行维修。

传统的晶圆测试用探针台升降机构，不能够对测试台进行很好的升降，一定程度上降低了测试台的传动精度，且在传动时通过支撑杆、U型架、固定板的分级传动，难以保证测试台运动时的稳定性，整体实用性不强，难以保证U型板运动时的稳定性，对整体不具有很好的保护作用，不够安全可靠。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆测试用探针台升降机构，解决了探针台升降机构升降时精度不高且稳定性不强的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆测试用探针台升降机构，包括支撑架、底箱和防护槽板，所述支撑架的顶部与防护槽板的底部固定连接，所述底箱内腔的一侧通过固定杆固定连接有齿条，并且底箱内腔的另一侧固定连接有滑轨，所述滑轨的内部通过滑块滑动连接有电机箱，并且电机箱内腔的底部通过支撑板固定连接有电机，所述电机的输出端贯穿电机箱并延伸至电机箱的表面，并且电机输出端延伸至电机箱表面的一端固定连接有齿轮，所述齿轮的一侧与齿条的一侧啮合，所述电机箱的顶部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶端贯穿底箱并延伸至底箱的顶部，并且支撑杆延伸至底箱顶部的一端固定连接有U型架，所述U型架顶部的两侧均固定连接有固定板，所述固定板的顶部贯穿防护槽板并延伸至防护槽板的顶部，并且固定板延伸至防护槽板顶部的表面固定连接有测试台。

优选的，所述U型架底部的两侧均固定连接有滑轮，并且滑轮的内部与底箱的表面滑动连接。

优选的，所述电机箱的背面开设有散热网孔。

优选的，所述支撑架内壁的两侧均固定连接有限定箱，所述U型架的两侧均固定连接有支杆，所述支杆的一端贯穿限定箱并延伸至限定箱的内腔，并且支杆延伸至限定箱内腔的一端固定连接有滚轮，所述滚轮的一侧与限定箱内腔的一侧滑动连接。

优选的，所述U型架的两侧且位于支杆的顶部均固定连接有滑板，所述滑板的一侧贯穿限定箱并延伸至限定箱的内腔，并且滑板延伸至限定箱内腔的一侧与限定箱内腔的一侧滑动连接。

优选的，所述U型架的表面固定连接有控制按钮。

有益效果

本实用新型提供了一种晶圆测试用探针台升降机构。与现有技术相比具备以下有益效果：

（1）、该晶圆测试用探针台升降机构，通过滑轨的内部通过滑块滑动连接有电机箱，并且电机箱内腔的底部通过支撑板固定连接有电机，电机的输出端贯穿电机箱并延伸至电机箱的表面，并且电机输出端延伸至电机箱表面的一端固定连接有齿轮，齿轮的一侧与齿条的一侧啮合，电机箱的顶部固定连接有支撑杆，支撑杆的顶端贯穿底箱并延伸至底箱的顶部，并且支撑杆延伸至底箱顶部的一端固定连接有U型架，U型架顶部的两侧均固定连接有固定板，能够对测试台进行很好的升降，一定程度上提高了测试台的传动精度，且在传动时通过支撑杆、U型架、固定板的分级传动，保证了测试台运动时的稳定性，整体实用性强。

（2）、该晶圆测试用探针台升降机构，通过支撑架内壁的两侧均固定连接有限定箱，U型架的两侧均固定连接有支杆，支杆的一端贯穿限定箱并延伸至限定箱的内腔，并且支杆延伸至限定箱内腔的一端固定连接有滚轮，滚轮的一侧与限定箱内腔的一侧滑动连接，U型架的表面固定连接有控制按钮，电机箱的背面开设有散热网孔，保证了U型板运动时的稳定性，对整体具有很好的保护作用，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型底箱结构的剖视图；

图3为本实用新型限定箱结构的剖视图；

图4为本实用新型电机箱内部结构的侧视图。

图中：1支撑架、2底箱、3防护槽板、4齿条、5滑轨、6电机箱、7电机、8齿轮、9支撑杆、10 U型架、11固定板、12测试台、13滑轮、14限定箱、15支杆、16滚轮、17滑板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆测试用探针台升降机构，包括支撑架1、底箱2和防护槽板3，支撑架1的顶部与防护槽板3的底部固定连接，支撑架1内壁的两侧均固定连接有限定箱14，U型架10的两侧均固定连接有支杆15，支杆15的一端贯穿限定箱14并延伸至限定箱14的内腔，并且支杆15延伸至限定箱14内腔的一端固定连接有滚轮16，滚轮16的一侧与限定箱14内腔的一侧滑动连接，底箱2内腔的一侧通过固定杆固定连接有齿条4，并且底箱2内腔的另一侧固定连接有滑轨5，滑轨5的内部通过滑块滑动连接有电机箱6，并且电机箱6内腔的底部通过支撑板固定连接有电机7，电机7的输出端贯穿电机箱6并延伸至电机箱6的表面，并且电机7输出端延伸至电机箱6表面的一端固定连接有齿轮8，齿轮8的一侧与齿条4的一侧啮合，电机箱6的顶部固定连接有支撑杆9，支撑杆9的顶端贯穿底箱2并延伸至底箱2的顶部，并且支撑杆9延伸至底箱2顶部的一端固定连接有U型架10，U型架10的两侧且位于支杆15的顶部均固定连接有滑板17，滑板17的一侧贯穿限定箱14并延伸至限定箱14的内腔，并且滑板17延伸至限定箱14内腔的一侧与限定箱14内腔的一侧滑动连接，U型架10的表面固定连接有控制按钮，U型架10底部的两侧均固定连接有滑轮13，并且滑轮13的内部与底箱2的表面滑动连接，电机箱6的背面开设有散热网孔，散热网孔可以对电机7工作时产生的热量进行散发，U型架10顶部的两侧均固定连接有固定板11，固定板11的顶部贯穿防护槽板3并延伸至防护槽板3的顶部，并且固定板11延伸至防护槽板3顶部的表面固定连接有测试台12。

使用时，使用者可以将待测试的物体放置在测试台12上，然后使用者就可以启动电机7，电机7启动后会带动齿轮8的转动，因为齿轮8和齿条4啮合，且滑轨5可以对电机箱6的位置进行限定，这样电机箱6就可以进行直线运动，进而带动了支撑杆9的运动，继而带动了U型架10的运动，U型架10运动后会带动固定板11的运动，进而带动了测试台12的运动，且在U型架10运动的过程中会带动支杆15的运动，进而带动了滚轮16在限定箱14的内壁运动，且滑板17在限定箱14内运动后可以对U型架10的直线运动起到一定的稳定作用，且固定板11和U型架10之间与支撑杆9和U型架10之间均是通过螺钉进行固定，便于使用者进行拆装。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆测试用探针台升降机构，包括支撑架（1）、底箱（2）和防护槽板（3），所述支撑架（1）的顶部与防护槽板（3）的底部固定连接，其特征在于：所述底箱（2）内腔的一侧通过固定杆固定连接有齿条（4），并且底箱（2）内腔的另一侧固定连接有滑轨（5），所述滑轨（5）的内部通过滑块滑动连接有电机箱（6），并且电机箱（6）内腔的底部通过支撑板固定连接有电机（7），所述电机（7）的输出端贯穿电机箱（6）并延伸至电机箱（6）的表面，并且电机（7）输出端延伸至电机箱（6）表面的一端固定连接有齿轮（8），所述齿轮（8）的一侧与齿条（4）的一侧啮合，所述电机箱（6）的顶部固定连接有支撑杆（9），所述支撑杆（9）的顶端贯穿底箱（2）并延伸至底箱（2）的顶部，并且支撑杆（9）延伸至底箱（2）顶部的一端固定连接有U型架（10），所述U型架（10）顶部的两侧均固定连接有固定板（11），所述固定板（11）的顶部贯穿防护槽板（3）并延伸至防护槽板（3）的顶部，并且固定板（11）延伸至防护槽板（3）顶部的表面固定连接有测试台（12）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用探针台升降机构，其特征在于：所述U型架（10）底部的两侧均固定连接有滑轮（13），并且滑轮（13）的内部与底箱（2）的表面滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用探针台升降机构，其特征在于：所述电机箱（6）的背面开设有散热网孔。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用探针台升降机构，其特征在于：所述支撑架（1）内壁的两侧均固定连接有限定箱（14），所述U型架（10）的两侧均固定连接有支杆（15），所述支杆（15）的一端贯穿限定箱（14）并延伸至限定箱（14）的内腔，并且支杆（15）延伸至限定箱（14）内腔的一端固定连接有滚轮（16），所述滚轮（16）的一侧与限定箱（14）内腔的一侧滑动连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆测试用探针台升降机构，其特征在于：所述U型架（10）的两侧且位于支杆（15）的顶部均固定连接有滑板（17），所述滑板（17）的一侧贯穿限定箱（14）并延伸至限定箱（14）的内腔，并且滑板（17）延伸至限定箱（14）内腔的一侧与限定箱（14）内腔的一侧滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用探针台升降机构，其特征在于：所述U型架（10）的表面固定连接有控制按钮。

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