CN212594314U - 一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁控制系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶片线切割技术领域，尤其涉及一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁控制系统，包括沉积缸，用于沉降泥浆碎渣，沉积缸设有泥浆出口；设置于沉积缸内的过滤组件，沉积缸通过过滤组件隔离形成内腔和外腔，泥浆出口、外腔和内腔依次连通，过滤组件包括至少一层过滤网，过滤网的网面与竖直方向倾斜设置；喷流管，喷流管开设有喷流孔，喷流孔容纳于内腔以用于向内腔注入泥浆。本实用新型有助于减小过滤网过滤的受力、磨损和过滤碎屑量，提高过滤网使用的寿命，实现泥浆的有效过滤，并提高泥浆过滤的效率，使过滤网在过滤过程中具有自清洁效果；另外，实现了过滤装置的自动化倾斜，减少人工，提高生产效率。

Description

一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁控制系统

技术领域

本实用新型涉及晶片线切割技术领域，尤其涉及一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁控制系统。

背景技术

现有晶片线切割设备在线切割过程中会经过至少两个过滤过程，其一为线切割轮轴箱泥浆过滤网；其二为泥浆过滤器，经过上述两道过滤装置已经将大部分大颗粒杂质过滤，并通过线切割机的泥浆过滤泵将过滤后的泥浆重新泵上线切割的钢线和晶片表面，线切割后的泥浆混合物再次经历上述的两个过滤过程，周而复始的完成晶片的线切割。

现有技术在线切割晶片后产生的泥浆，泥浆中混杂着碎晶片或石墨条碎屑容易通过泥浆过滤器漏入泥浆缸，并在循环切割的过程中泵入线切割设备中，从而进入钢线和线槽，引发跳线和断线异常；为了防止碎晶片或石墨条碎屑漏过过滤器的过滤孔，再次通过泥浆管泵入线切割设备中，一般会在泥浆管的管口加装丝袜，过滤碎晶片或石墨条碎屑。

但是，由于丝袜需要时常更换，而泥浆脏污、有异味，且泥浆过滤后的丝袜有碎渣伤手的风险等问题，导致工人产生懈怠更换丝袜的心理，工人时常忽略丝袜的更换，晶片碎片将伴随泥浆流动方向反复翻转，冲破丝袜，设备跳线和断线异常改善的效果较差；另外，泥浆脏污，工人换洗过滤器的积极性较差，容易导致过滤器堵塞印象泥浆流动的效率，从而降低生产的效率，同时影响了过滤器过滤网使用的寿命

实用新型内容

本实用新型的目的是提供有助于提高泥浆过滤效果，防止碎屑泵回线切割设备造成跳线，并有效减少工人换洗维护过滤设备次数，提高生产效率的一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁过滤系统。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶片线切割泥浆过滤装置，包括：

沉积缸，用于沉降泥浆碎渣，所述沉积缸设有泥浆出口；

设置于所述沉积缸内的过滤组件，所述沉积缸通过所述过滤组件隔离形成内腔和外腔，所述泥浆出口、外腔和内腔依次连通，所述过滤组件包括至少一层过滤网，所述过滤网的网面与竖直方向倾斜设置；

喷流管，所述喷流管开设有喷流孔，所述喷流孔容纳于所述内腔以用于向所述内腔注入泥浆。

可选的，所述沉积缸包括盖体和缸体，所述缸体上端开口，所述盖体边缘向内侧弯折形成上端开口的环形凹槽，所述环形凹槽套设于所述缸体外侧面，所述泥浆出口开设于所述盖体一侧并依次与所述环形凹槽和缸体连通。

可选的，所述沉积缸包括过滤部，所述过滤部设有导斜面，所述导斜面自上而下向内侧倾斜，所述过滤网下端抵接于所述导斜面上。

可选的，所述沉积缸包括沉积部，所述沉积部设有导向斜壁，所述导向斜壁自下而上向内侧倾斜，所述导向斜壁的上端与所述导斜面的下端连接。

可选的，所述喷流管上部的圆周侧开设有若干所述喷流孔，若干所述喷流孔沿所述喷流管的圆周方向和轴向方向布置。

可选的，还包括用于堵塞所述喷流孔的调节套筒，所述调节套筒套设于所述喷流管外侧并可沿所述喷流管的轴向方向移动。

可选的，所述过滤组件包括至少两层层叠布置的过滤网，其中，层叠于外侧的过滤网的网孔孔径小于层叠于内侧的过滤网的网孔孔径。

可选的，所述过滤网呈锥状结构，所述过滤网内侧形成有用于容纳泥浆的过滤腔，所述喷流孔容纳于所述过滤腔内。

另外，为了实现上述目的，本实用新型还提供一种晶片线切割泥浆过滤装置的清洁控制系统，包括：

泥浆流量计，用于检测沉积缸过滤后的泥浆流出的流量；

振动器，用于带动过滤网产生震动；

处理器，包括控制模块和判断模块；

其中，所述控制模块与所述振动器电连接，用于控制振动器的开关，所述判断模块与所述泥浆流量计连接，用于判断沉积缸过滤后的泥浆流出的流量是否小于预设流量阈值，当泥浆流量计测得的流量小于预设流量阈值时，控制模块控制振动器启动。

另外，为了实现上述目的，本实用新型还提供一种晶片线切割泥浆过滤装置的清洁控制系统，包括：

泥浆流量计，用于检测沉积缸过滤后的泥浆流出的流量；

清水阀，设置于沉积缸上开设的清洗进水口上用于控制清洗液从清洗进水口进入；

处理器，包括控制模块和判断模块；

其中，所述控制模块与所述清水阀电连接，用于控制振动器的开关，所述判断模块与所述泥浆流量计连接，用于判断沉积缸过滤后的泥浆流出的流量是否小于预设流量阈值，当泥浆流量计测得的流量小于预设流量阈值时，控制模块控制清水阀打开冲洗过滤网。

实施本实用新型的实施例，具有以下技术效果：

第一，本实用新型设置沉积缸，当喷流管将泥浆注入内腔时，较大颗粒的泥浆碎屑在重力作用下沉积于沉积缸底部，提高泥浆过滤的效果，并减小过滤网过滤的受力、磨损和过滤碎屑量，提高过滤网使用的寿命；

第二，沉积缸通过过滤组件隔离形成内腔和外腔，并将喷流管用于注入泥浆的喷流孔设置于内腔，从而使喷流管在持续向内腔注入泥浆的过程中，沉积缸的内腔压力大于外腔压力形成压力差，使内腔的泥浆自动经过过滤网过滤并向外腔流动，实现泥浆的有效过滤，并提高泥浆过滤的效率；

第三，由于在过滤过程中，碎屑容易吸附在过滤网的网面上，当碎屑积累到一定的数量，容易堵塞过滤网，导致过滤网的过滤效果降低，影响过滤的效率，本实用新型通过将过滤网的网面与竖直方向倾斜设置，碎屑在受到过滤网的阻碍时容易在自重作用下从过滤网上脱落，且在脱落过程中避免与过滤网接触产生二次粘附，使过滤网在过滤过程中具有自清洁效果。

另外，设置判断模块与泥浆流量计连接，用于判断沉积缸过滤后的泥浆流出的流量是否小于预设流量阈值，当泥浆流量计测得的流量小于预设流量阈值时，控制模块控制振动器启动，将堵塞过滤网的碎屑振落，实现过滤网的自动化清洁和维护，降低维护成本，减少人工拆卸清洁过滤网的次数，避免员工产生频繁清洁维护的消极心理，减少维护的时间，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型优选实施例的剖视图；

图2是本实用新型优选实施例中沉积缸的剖视图；

图3是本实用新型优选实施例中沉积缸的剖视图；

图4是本实用新型优选实施例中喷流管的结构示意图；

图5是本实用新型优选实施例中调节套筒的剖视图；

图6是本实用新型优选实施例中过滤组件的剖视图；

图7是本实用新型优选实施例中清洁控制系统的原理框图。

附图标记说明：

1、沉积缸，11、缸体，111、过滤部，112、导斜面，113、沉积部，114、导向斜壁，12、盖体，121、环形凹槽，13、泥浆出口，14、环形板，15、清洗口，16、排污口，17、泥浆入口；

2、喷流管，21、喷流孔，22、顶板，23、调节套筒，231、导流斜面，24、支撑杆，25、调节旋钮，26、挡泥部；

3、过滤组件，31、过滤网，32、过滤腔，33、流动间隙，34、盖板，35、环形过滤网；

4、振动器；

5、清水阀；

6、泥浆流量计；

7、处理器，71、控制模块，72、判断模块；

8、泥浆碎渣初沉缸。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

参考图1－图7，本实施例提供了一种晶片线切割泥浆过滤装置，包括：

沉积缸1，用于沉降泥浆碎渣，沉积缸1设有泥浆出口13；

设置于沉积缸1内的过滤组件3，沉积缸1通过过滤组件3隔离形成内腔和外腔，泥浆出口13、外腔和内腔依次连通，过滤组件3包括至少一层过滤网31，过滤网31的网面与竖直方向倾斜设置；

喷流管2，喷流管2开设有喷流孔21，喷流孔21容纳于内腔以用于向内腔注入泥浆。

第一，本实用新型设置沉积缸1，当喷流管2将泥浆注入内腔时，较大颗粒的泥浆碎屑在重力作用下沉积于沉积缸1底部，减小过滤网31过滤的受力、磨损和过滤碎屑量，提高过滤网31使用的寿命；

第二，沉积缸1通过过滤组件3隔离形成内腔和外腔，并将喷流管2用于注入泥浆的喷流孔21设置于内腔，从而使喷流管2在持续向内腔注入泥浆的过程中，沉积缸1的内腔压力大于外腔压力形成压力差，使内腔的泥浆自动经过过滤网31过滤并向外腔流动，实现泥浆的有效过滤，并提高泥浆过滤的效率；

第三，由于在过滤过程中，碎屑容易吸附在过滤网31的网面上，当碎屑积累到一定的数量，容易堵塞过滤网31，导致过滤网31的过滤效果降低，影响过滤的效率，本实用新型通过将过滤网31的网面与竖直方向倾斜设置，碎屑在受到过滤网31的阻碍时容易在自重作用下从过滤网31上脱落，且在脱落过程中避免与过滤网31接触产生二次粘附，使过滤网31在过滤过程中具有自清洁效果。

参考图1－图3，具体的，沉积缸1包括盖体12和缸体11，缸体11上端开口，盖体12边缘向内侧弯折形成上端开口的环形凹槽121，环形凹槽121套设于缸体11外侧面，泥浆出口13开设于盖体12一侧并依次与环形凹槽121和缸体11连通，使过滤后的泥浆与碎屑沉积方向相反，过滤后的泥浆从缸体11上方溢出进入环形凹槽121，然后从泥浆出口13排出，碎屑则在缸体11中向缸体11下方沉积，使泥浆中的碎屑与泥浆分离，提高过滤的效果。

进一步的，沉积缸1包括过滤部111，过滤部111设有导斜面112，导斜面112自上而下向内侧倾斜，过滤网31下端抵接于导斜面112上，一方面，抵接于导斜面112上的的过滤网31防止碎屑从过滤网31下端进入外腔，同时便于通过导斜面112支撑过滤网31，提高过滤网31安装的稳定性；另一方面，在过滤过程中，经过过滤网31过滤后的泥浆中的碎屑颗粒由于自重向下沉积，在碎屑颗粒落入导斜面112上时，可通过导斜面112引导碎屑颗粒穿过过滤网31回到内腔中沉积；

其中，沉积缸1包括沉积部113，沉积部113设有导向斜壁114，导向斜壁114自下而上向内侧倾斜，导向斜壁114的上端与导斜面112的下端连接，通过设置自下而上向内侧倾斜的导向斜壁114，沉积部113的口径逐渐变窄，使泥浆由于搅动从沉积部113向过滤部111流动时，提高泥浆流出沉积部113的速度和压力，使泥浆向过滤部111的上部流动增加泥浆在过滤部111流动的距离，增加泥浆在过滤部111停留的时间，提高过滤效果。

进一步的，泥浆出口13靠近环形凹槽121的底部，使泥浆从缸体11流出到下一工序过程中保持流动，避免泥浆堆积在环形凹槽121的底部结块，其中，环形凹槽121的开口端盖设有环形过滤网35，从而对进入环形凹槽121的泥浆进一步过滤，提高过滤的效果。

进一步的，本实施例缸体11的外侧壁设有背向缸体11方向延伸的环形板14，环形凹槽121抵接于环形板14上，提高盖体12与缸体11连接的可靠性，并为环形凹槽121提供支撑。

进一步的，为了方便将沉积部113沉积的碎屑、碎渣排出，沉积部113开设有排污口16和泥浆入口17，可通过在排污口16设置排污阀，实现泥浆沉降过程中排污口16关闭以及沉降后碎渣的排出时排污口16的开启，具体的，本实施例的排污口16和泥浆入口17开设于沉积部113下端，方便使沉积部113的碎屑、碎渣在自重作用下从排污口16排出，提高排污的效率；

其中，为了避免泥浆入口17通入的泥浆扰动沉积部113底部的碎屑，本实施例从泥浆入口17穿入喷流管22至缸体11上部，从而使泥浆从缸体11上部向下流动，避免扰动缸体11沉积的碎屑。

参考图1、图4和图5，在本实施例中，喷流管2上部的圆周侧开设有若干喷流孔21，若干喷流孔21沿喷流管2的圆周方向和轴向方向布置，使泥浆从喷流管2的上部均匀喷出，另外，通过设置用于堵塞喷流孔21的调节套筒23，调节套筒23套设于喷流管2外侧并可沿喷流管2的轴向方向移动，当调节套筒23沿着喷流管2轴向方向移动到开设有喷流孔21的位置时，调节套筒23阻碍了泥浆从喷流管2圆周侧上开设的喷流孔21中喷出，并根据调节套筒23的轴向移动，使喷出泥浆的喷流孔21数量改变，从而实现喷流管2的喷流量的调节，同时可通过调节喷流管2的喷射的流量改变喷流管2的内压，防止喷流管2内压过大损伤喷流管2。

具体的，本实施例中的调节套筒23与喷流管2螺纹连接，通过旋转调节套筒23，使调节套筒23沿着喷流管2的轴向移动，实现对喷流管2喷出泥浆的喷流孔21的数量的调节。

本实施例中的调节套筒23上端自下而上向外侧倾斜形成导流斜面231，使靠近调节套筒23上端的喷流孔21向导流斜面231喷出泥浆流时，泥浆流冲击导流斜面231并在导流斜面231的作用下向斜上方散开，一方面，提高了泥浆流喷射出的高度，另一方面，使喷流孔21喷出的泥浆流更均匀。

其中，本实施例中的若干喷流孔21沿圆周方向均匀布置于喷流管2上部，从而使泥浆从喷流管2上部的圆周方向均匀喷出。

进一步的，本实施例的喷流管2上端设有顶板2，顶板2开设有若干喷流孔21，调节套筒23设有挡泥部26，挡泥部26设有面向顶板2上的喷流孔21的挡泥平面，通过挡泥平面，使顶板2上的喷流孔21喷出的泥浆流冲击挡泥平面后向四周均匀散开，形成向四周均匀扩散的泥浆流。

为了使顶板2上的喷流孔21均匀喷出泥浆流，若干喷流孔21均匀布置于顶板2上，具体的，喷流管2上部以及顶板2上的喷流孔21的直径均为2－8mm。

参考图1和图6，进一步的，本实施例中的过滤组件3包括至少两层层叠设置的过滤网31，且层叠与外侧的过滤网31的网孔孔径小于层叠于内侧的过滤网31的网孔孔径，从而使泥浆从过滤网31内侧向过滤网31外侧流动的过程中，将泥浆中的碎渣由大到小逐级过滤，一方面，层叠设置的过滤网31增加了过滤的面积，提高过滤的效果，另一方面，将不同大小的颗粒在不同网孔孔径的过滤网31逐级过滤，可通过内层的过滤网31将大颗粒的碎屑过滤，这样内层较小网孔过滤网31的受力、磨损和过滤碎屑量大大减少，提高过滤组件3整体抗冲击性能和过滤性能，过滤组件3的使用寿命增加，实现泥浆的精密过滤。

另外，本实施例中的过滤网31呈锥状结构，当过滤网31的旋转轴与竖直方向平行布置时，使过滤的碎屑容易在自重作用下从过滤网31上脱落，且在脱落过程中避免与过滤网31接触产生二次粘附，使过滤网31在过滤过程中具有自清洁效果，过滤网31内侧形成有用于容纳泥浆的过滤腔32，喷流孔21容纳于过滤腔32内，从而使喷流管2在持续向过滤腔32注入泥浆的过程中，过滤网31内侧压力大于外侧压力形成压力差，使过滤腔32的泥浆在压力差的作用下自动经过过滤网31过滤并向外腔流动，实现泥浆的有效过滤，并提高泥浆过滤的效率。

具体的，本实施例中的过滤网31呈两端开口的喇叭状，过滤网31开口口径较小的一端密封盖设有盖板34，避免泥浆从过滤网31的上部溢出，另外，本实施例中的调节套筒23上端沿圆周方向间隔设有若干支撑杆24，通过间隔设置的支撑杆24，使若干支撑杆24之间形成有间隔，喷流孔21中喷出的泥浆可从间隔中喷出，另外，为了方便旋转调节套筒23沿喷流管2的轴向移动，支撑杆24上端连接有调节旋钮25，工人可抓住调节旋钮25旋转带动调节套筒23转动，因此，盖板34和盖体12上均开设有通孔，调节旋钮25通过连接杆穿过通孔与设置于容纳腔内的调节套筒23连接。

进一步的，为了保证过滤网31过滤的效果和稳定性，且由于过滤网31呈两端开口的喇叭状，此时，过滤网31的网面与竖直方向所成夹角为3－70°，一方面，使过滤网31的内侧面保持一定的倾斜角，使粘附在过滤网31的碎屑在自重力作用下脱落，同时，使过滤网31的倾斜角度在合适范围内，防止过滤网31的内侧面堆积碎屑，影响过滤效果，进一步优选的，本实施例中的过滤网31的网面与竖直方向所成夹角为5－40°。

其中，由于在过滤过程中，过滤的碎屑向下沉积集聚，为了防止过滤网31之间形成的流动间隙33堵塞，本实施例层叠于外侧的过滤网31的网面与竖直方向所成夹角大于层叠于内侧的过滤网31的网面与竖直方向所成夹角，从而使相邻两层过滤网31之间的间隙逐渐扩大，增强泥浆的流动性以及提高过滤的效率。

具体的，本实施例中的过滤网31的网孔孔径为0.6－2mm，实现晶片线切割泥浆产生的碎屑的过滤。

本实施例中的至少两层层叠设置的过滤网31同轴布置，使相邻两层过滤网31之间沿圆周方向形成间隔距离相同的间隙，提高过滤网31组件过滤的稳定性，具体的，本实施例中包括四层过滤网31，四层过滤网31同轴布置，其中，本实施例中由外侧向内侧方向，过滤网31的孔径依次为0.6－0.8mm、0.8－2.0mm、2.0－3.5mm、3.5－5.5mm。

在本实施例中，设有泥浆碎渣初沉缸8，泥浆碎渣初沉缸8的出口端与喷流管2的入口端连接，泥浆从上一工序进入泥浆碎渣初沉缸8，泥浆中的碎屑、碎渣在泥浆碎渣初沉缸8初沉缸中进行第一次沉积，沉积后的泥浆从喷流管2进入沉积缸1中，本实施例泥浆碎渣初沉缸8的竖直高度高于喷流孔21的竖直高度，从而使泥浆通过自重力从泥浆碎渣初沉缸8溢流到喷流管2的喷流孔21中喷出，可以理解的是，本领域技术人员还可以采用泥浆泵将泥浆从泥浆碎渣初沉缸8中泵送到喷流管2中喷出。

参考图1和图7，本一个实施例中，提供一种晶片线切割泥浆过滤装置的清洁控制系统，包括：

泥浆流量计6，用于检测沉积缸1过滤后的泥浆流出的流量，具体的，泥浆流量计6可为超声流量计，在非接触的条件下比较准确的实现流量实时监测；

振动器4，用于带动过滤网31产生震动；

处理器7，包括控制模块71和判断模块72；

其中，控制模块71与振动器4电连接，用于控制振动器4的开关，判断模块72与泥浆流量计6连接，用于判断沉积缸1过滤后的泥浆流出的流量是否小于预设流量阈值，当泥浆流量计6测得的流量小于预设流量阈值时，控制模块71控制振动器4启动，将堵塞过滤网31的碎屑振落，实现过滤网31的自动化清洁和维护，降低维护成本，减少人工拆卸清洁过滤网31的次数，避免员工产生频繁清洁维护的消极心理，减少维护的时间，提高生产效率。

在一个实施例中，提供一种晶片线切割泥浆过滤装置的清洁控制系统，包括：

泥浆流量计6，用于检测沉积缸1过滤后的泥浆流出的流量；

清水阀5，设置于沉积缸1上开设的清洗进水口上用于控制清洗液从清洗进水口进入；

处理器7，包括控制模块71和判断模块72；

其中，控制模块71与清水阀5电连接，用于控制振动器4的开关，判断模块72与泥浆流量计6连接，用于判断沉积缸1过滤后的泥浆流出的流量是否小于预设流量阈值，当泥浆流量计6测得的流量小于预设流量阈值时，控制模块71控制清水阀5打开，将堵塞过滤网31的碎屑通过通入沉积缸1中的清水进行清洗，实现过滤网31的自动化清洁和维护，降低维护成本，减少人工拆卸清洁过滤网31的次数，避免员工产生频繁清洁维护的消极心理，减少维护的时间，提高生产效率。

其中，该实施例为了方便向缸体11中通入清洗液进行清洗，清洗口15设置于过滤部111一侧，清洗口15靠近导斜面112上端，使清洗口15通入的清洗液冲击过滤部111设置的过滤组件3，加快过滤组件3表面污垢的脱落，提高清洗效果。

具体的，本实施例同时设置了上述的振动器4和清水阀5，进一步提高清洗过滤组件3的效果和效率。

综上，本实用新型设置沉积缸1，当喷流管2将泥浆注入内腔时，较大颗粒的泥浆碎屑在重力作用下沉积于沉积缸1底部，减小过滤网31过滤的受力、磨损和过滤碎屑量，提高过滤网31使用的寿命；

沉积缸1通过过滤组件3隔离形成内腔和外腔，并将喷流管2用于注入泥浆的喷流孔21设置于内腔，从而使喷流管2在持续向内腔注入泥浆的过程中，沉积缸1的内腔压力大于外腔压力形成压力差，使内腔的泥浆自动经过过滤网31过滤并向外腔流动，实现泥浆的有效过滤，并提高泥浆过滤的效率；

由于在过滤过程中，碎屑容易吸附在过滤网31的网面上，当碎屑积累到一定的数量，容易堵塞过滤网31，导致过滤网31的过滤效果降低，影响过滤的效率，本实用新型通过将过滤网31的网面与竖直方向倾斜设置，碎屑在受到过滤网31的阻碍时容易在自重作用下从过滤网31上脱落，且在脱落过程中避免与过滤网31接触产生二次粘附，使过滤网31在过滤过程中具有自清洁效果。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，本实用新型中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本实用新型范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，包括：

沉积缸，用于沉降泥浆碎渣，所述沉积缸设有泥浆出口；

设置于所述沉积缸内的过滤组件，所述沉积缸通过所述过滤组件隔离形成内腔和外腔，所述泥浆出口、外腔和内腔依次连通，所述过滤组件包括至少一层过滤网，所述过滤网的网面与竖直方向倾斜设置；

喷流管，所述喷流管开设有喷流孔，所述喷流孔容纳于所述内腔以用于向所述内腔注入泥浆。

2.根据权利要求1所述的晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，所述沉积缸包括盖体和缸体，所述缸体上端开口，所述盖体边缘向内侧弯折形成上端开口的环形凹槽，所述环形凹槽套设于所述缸体外侧面，所述泥浆出口开设于所述盖体一侧并依次与所述环形凹槽和缸体连通。

3.根据权利要求1或2所述的晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，所述沉积缸包括过滤部，所述过滤部设有导斜面，所述导斜面自上而下向内侧倾斜，所述过滤网下端抵接于所述导斜面上。

4.根据权利要求3所述的晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，所述沉积缸包括沉积部，所述沉积部设有导向斜壁，所述导向斜壁自下而上向内侧倾斜，所述导向斜壁的上端与所述导斜面的下端连接。

5.根据权利要求1所述的晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，所述喷流管上部的圆周侧开设有若干所述喷流孔，若干所述喷流孔沿所述喷流管的圆周方向和轴向方向布置。

6.根据权利要求5所述的晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，还包括用于堵塞所述喷流孔的调节套筒，所述调节套筒套设于所述喷流管外侧并可沿所述喷流管的轴向方向移动。

7.根据权利要求1所述的晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，所述过滤组件包括至少两层层叠布置的过滤网，其中，层叠于外侧的过滤网的网孔孔径小于层叠于内侧的过滤网的网孔孔径。

8.根据权利要求1或7所述的晶片线切割泥浆过滤装置，其特征在于，所述过滤网呈锥状结构，所述过滤网内侧形成有用于容纳泥浆的过滤腔，所述喷流孔容纳于所述过滤腔内。

9.一种如权利要求1－8任一项所述的晶片线切割泥浆过滤装置的清洁控制系统，其特征在于，包括：

泥浆流量计，用于检测沉积缸过滤后的泥浆流出的流量；

振动器，用于带动过滤网产生震动；

处理器，包括控制模块和判断模块；

其中，所述控制模块与所述振动器电连接，用于控制振动器的开关，所述判断模块与所述泥浆流量计连接，用于判断沉积缸过滤后的泥浆流出的流量是否小于预设流量阈值，当泥浆流量计测得的流量小于预设流量阈值时，控制模块控制振动器启动。

10.一种如权利要求1－8任一项所述的晶片线切割泥浆过滤装置的清洁控制系统，其特征在于，包括：

泥浆流量计，用于检测沉积缸过滤后的泥浆流出的流量；

清水阀，设置于沉积缸上开设的清洗进水口上用于控制清洗液从清洗进水口进入；

处理器，包括控制模块和判断模块；

其中，所述控制模块与所述清水阀电连接，用于控制振动器的开关，所述判断模块与所述泥浆流量计连接，用于判断沉积缸过滤后的泥浆流出的流量是否小于预设流量阈值，当泥浆流量计测得的流量小于预设流量阈值时，控制模块控制清水阀打开冲洗过滤网。

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