CN212340852U - 一种晶圆凸块推拉力测试机 - Google Patents
一种晶圆凸块推拉力测试机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212340852U CN212340852U CN202020174267.3U CN202020174267U CN212340852U CN 212340852 U CN212340852 U CN 212340852U CN 202020174267 U CN202020174267 U CN 202020174267U CN 212340852 U CN212340852 U CN 212340852U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- handle
- pull force
- connecting plate
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种晶圆凸块推拉力测试机，属于晶圆推拉力测试技术领域，包括顶架、下夹具组件、升降锁紧组件和底座，所述顶架的下端设置有升降锁紧组件，所述升降锁紧组件的一侧连接有横板，所述横板的上端固定有下夹具组件，本实用新型通过在内管两两之间连接一侧凿有凹槽的连接板，外管外侧连接的握把一侧嵌接有插杆，插杆一端固定的插块嵌入凹槽内，这种结构配合伸缩弹簧初始情况插块刚好卡入凹槽内的情况能够实现对升降停止后的缩紧，支撑座的侧壁贯穿上端凿有定位槽的活动杆，上端与把手转动连接的调节螺杆嵌入定位槽内，这种结构能够实现对压板间距的调整，进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆推拉力测试技术领域，具体涉及一种晶圆凸块推拉力测试机。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，推拉力测试机用于在半导体晶圆生产过程中对产品的质量进行检测，推拉力测试机用于测试各种材料、半成品及成品的抗拉强度、抗压强度及伸长量，可做剥离、撕裂、抗弯、抗折、压缩等试验，适合金属、塑料、橡胶、纺织品、合成化学制品、电线电缆、皮革等行业使用。
在进行推拉力测试的过程中，下夹具组件的升降过程是完全有液压缸控制活塞杆的移动实现的，这种结构并没有对升降停留后的部分进行锁紧，当出现液压缸装置出现故障或其他问题时，横板可能会因为输出动力消失出现自动下落的情况这样容易使晶圆凸块摔坏，另外，上下夹具对于晶圆凸块的固定都是范围难以调节的，当更换成其他尺寸的待测晶圆凸块时调节起来会很不方便。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种晶圆凸块推拉力测试机，具有升降锁紧，夹具可调节特点。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆凸块推拉力测试机，包括顶架、下夹具组件、升降锁紧组件和底座，所述顶架的下端设置有升降锁紧组件，且顶架的顶端下端固定有伸缩杆，所述伸缩杆的下端连接有上夹具，所述升降锁紧组件的一侧连接有横板，且升降锁紧组件的底端设置有底座，所述横板的上端固定有下夹具组件，且横板的下端连接有活塞杆，所述底座的上端安装有液压缸。
优选的，所述下夹具组件包括定位槽、活动杆、支撑座、压力传感器本体、拉力传感器本体、支撑板、橡胶垫、压板、调节螺杆、把手和延伸板，其中，所述支撑座的内底端安装有压力传感器本体，且支撑座的侧壁贯穿有活动杆，所述压力传感器本体的上端固定有支撑板，所述支撑板的内部安装有拉力传感器本体，所述活动杆的上端凿有定位槽，且活动杆靠近支撑座的一端固定有压板，所述压板远离活动杆的一侧粘接有橡胶垫，所述定位槽的内部嵌入有调节螺杆，所述调节螺杆的下端贯穿有延伸板，且调节螺杆的顶端连接有把手。
优选的，所述升降锁紧组件包括内管、伸缩弹簧、插杆、握把、外管、插块和连接板，其中，所述外管的内部贯穿有内管，且外管的外侧连接有伸缩弹簧，所述内管的一侧固定有连接板，所述伸缩弹簧远离内管的一端连接有握把，所述握把靠近外管的一侧嵌接有插杆，所述插杆靠近连接板的一端固定有插块。
优选的，所述顶架与上夹具之间通过伸缩杆连接构成伸缩结构，所述液压缸通过安装座固定在底座的上端，且液压缸的输出端通过活塞杆与横板连接。
优选的，所述支撑板与支撑座的内底端之间通过压力传感器本体连接固定，且支撑板与拉力传感器本体为一体式结构。
优选的，所述延伸板通过电弧焊焊接在支撑座的外侧，所述调节螺杆的下端贯穿延伸板内部凿有的通孔嵌入定位槽内，且调节螺杆与把手之间通过轴承转动连接，所述橡胶垫通过强力黏胶粘接在压板的一侧。
优选的，所述内管通过电弧焊焊接在顶架与底座之间，且内管两两之间通过连接板连接固定，所述外管套接在两两连接的内管的外周与内管构成滑动结构。
优选的，所述连接板的一侧凿有凹槽，所述插块通过嵌入凹槽内与连接板连接固定，所述插杆远离连接板的一端通过卡环嵌接在握把的一侧，所述握把与外管之间通过伸缩弹簧连接，所述伸缩弹簧位于初始状态时插块刚好卡入连接板一侧凿有的凹槽内。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过在内管两两之间连接一侧凿有凹槽的连接板，外管套接在内管的外周与内管构成滑动结构，并且外管外侧通过伸缩弹簧连接的握把一侧嵌接有贯穿外管的插杆，插杆一端固定的插块嵌入凹槽内，这种结构配合伸缩弹簧初始情况插块刚好卡入凹槽内的情况能够实现对升降停止后的锁紧。
2、本实用新型通过在支撑座的侧壁贯穿上端凿有定位槽的活动杆，活动杆一端固定的压板的一侧粘接有橡胶垫，上端与把手转动连接的调节螺杆贯穿延伸板的一端嵌入定位槽内，这种结构能够通过移动活动杆配合转动把手实现对压板间距的调整，进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型下夹具组件的结构示意图；
图3为本实用新型升降锁紧组件的结构示意图；
图中：1、顶架；2、下夹具组件；201、定位槽；202、活动杆；203、支撑座；204、压力传感器本体；205、拉力传感器本体；206、支撑板；207、橡胶垫；208、压板；209、调节螺杆；210、把手；211、延伸板；3、升降锁紧组件；31、内管；32、伸缩弹簧；33、插杆；34、握把；35、外管；36、插块；37、连接板；4、底座；5、液压缸；6、活塞杆；7、横板；8、上夹具；9、伸缩杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种晶圆凸块推拉力测试机，包括顶架1、下夹具组件2、升降锁紧组件3和底座4，顶架1的下端设置有升降锁紧组件3，且顶架1的顶端下端固定有伸缩杆9，伸缩杆9的下端连接有上夹具8，升降锁紧组件3的一侧连接有横板7，且升降锁紧组件3的底端设置有底座4，横板7的上端固定有下夹具组件2，且横板7的下端连接有活塞杆6，底座4的上端安装有液压缸5，为了实现对上夹具8和下夹具组件2的高度调节，顶架1与上夹具8之间通过伸缩杆9连接构成伸缩结构，液压缸5通过安装座固定在底座4的上端，且液压缸5的输出端通过活塞杆6与横板7连接。
下夹具组件2包括定位槽201、活动杆202、支撑座203、压力传感器本体204、拉力传感器本体205、支撑板206、橡胶垫207、压板208、调节螺杆209、把手210和延伸板211，其中，支撑座203的内底端安装有压力传感器本体204，且支撑座203的侧壁贯穿有活动杆202，压力传感器本体204的上端固定有支撑板206，支撑板206的内部安装有拉力传感器本体205，为了实现对晶圆凸块的推拉力测试，支撑板206与支撑座203的内底端之间通过压力传感器本体204连接固定，且支撑板206与拉力传感器本体205为一体式结构；活动杆202的上端凿有定位槽201，且活动杆202靠近支撑座203的一端固定有压板208，压板208远离活动杆202的一侧粘接有橡胶垫207，定位槽201的内部嵌入有调节螺杆209，调节螺杆209的下端贯穿有延伸板211，且调节螺杆209的顶端连接有把手210，为了实现对压板208间距的调节进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定，延伸板211通过电弧焊焊接在支撑座203的外侧，调节螺杆209的下端贯穿延伸板211内部凿有的通孔嵌入定位槽201内，且调节螺杆209与把手210之间通过轴承转动连接，橡胶垫207通过强力黏胶粘接在压板208的一侧。
升降锁紧组件3包括内管31、伸缩弹簧32、插杆33、握把34、外管35、插块36和连接板37，其中，外管35的内部贯穿有内管31，且外管35的外侧连接有伸缩弹簧32，内管31的一侧固定有连接板37，为了使外管35能够沿着内管31进行滑动，内管31通过电弧焊焊接在顶架1与底座4之间，且内管31两两之间通过连接板37连接固定，外管35套接在两两连接的内管31的外周与内管31构成滑动结构；伸缩弹簧32远离内管31的一端连接有握把34，握把34靠近外管35的一侧嵌接有插杆33，插杆33靠近连接板37的一端固定有插块36，为了对升降后的外管35进行锁紧固定，连接板37的一侧凿有凹槽，插块36通过嵌入凹槽内与连接板37连接固定，插杆33远离连接板37的一端通过卡环嵌接在握把34的一侧，握把34与外管35之间通过伸缩弹簧32连接，伸缩弹簧32位于初始状态时插块36刚好卡入连接板37一侧凿有的凹槽内。
本实用新型中液压缸5为已经公开的广泛运用于日常生活的已知技术，其工作原理为：由缸筒和缸盖、活塞、密封装置、缓冲装置与排气装置组成，将液压能转变为机械能的、做直线往复运动的液压执行元件，本实施例选用的型号为YYG-1718。
本实用新型中伸缩杆9为已经公开的广泛运用于日常生活的已知技术，其工作原理为：采用金属带材或塑料片材卷制而成的可伸缩空心圆柱体杆，其特征是金属带材或塑料片材预先定型为具有记忆功能的小于杆体外径的弹力卷曲层，从而具有自紧功能，使卷曲层始终具有对杆体施加压力的弹性势能，本实施例选用的型号为SSG-417。
本实用新型的工作原理及使用流程：首先，将待测晶圆凸块放置在支撑板206的上端，推动活动杆202直至橡胶垫207与晶圆凸块紧贴在一起，然后转动把手210带动调节螺杆209进行移动，因为调节螺杆209贯穿延伸板211的一端尺寸与定位槽201的形状相符，所以将调节螺杆209移动至一端嵌入定位槽201内，这种结构能够灵活实现对压板208间距的调节进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定，然后上夹具8同时对晶圆凸块也进行固定，接着在液压缸5的作用下推动活塞杆6进一步推动横板7，从而实现对夹固有晶圆凸块的下夹具组件2的高度调节，这时拉动握把34，因为握把34靠近外管35一侧嵌接有贯穿外管35的插杆33，插杆33靠近内管31两两之间连接的连接板37的一端固定有插块36，并且在伸缩弹簧32初始状态下插块36刚好嵌入连接板37一侧凿有的凹槽内，所以握把34的拉动能够使插块36脱离连接板37，继而实现外管35沿着内管31进行滑动，当滑动停止时，松开握把34，插块36即可重新嵌入连接板37一侧凿有的凹槽内，从而实现对外管35的锁紧固定，这种结构能够避免液压缸5出现故障时横板7因为缺少输出动力而自动下落的情况，进一步避免晶圆凸块摔坏，接着在伸缩杆9进行伸缩的配合情况下，实现压力传感器本体204和拉力传感器本体205对晶圆凸块推拉力的测试。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种晶圆凸块推拉力测试机，包括顶架(1)、下夹具组件(2)、升降锁紧组件(3)和底座(4)，其特征在于：所述顶架(1)的下端设置有升降锁紧组件(3)，且顶架(1)的顶端下端固定有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的下端连接有上夹具(8)，所述升降锁紧组件(3)的一侧连接有横板(7)，且升降锁紧组件(3)的底端设置有底座(4)，所述横板(7)的上端固定有下夹具组件(2)，且横板(7)的下端连接有活塞杆(6)，所述底座(4)的上端安装有液压缸(5)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述下夹具组件(2)包括定位槽(201)、活动杆(202)、支撑座(203)、压力传感器本体(204)、拉力传感器本体(205)、支撑板(206)、橡胶垫(207)、压板(208)、调节螺杆(209)、把手(210)和延伸板(211)，其中，所述支撑座(203)的内底端安装有压力传感器本体(204)，且支撑座(203)的侧壁贯穿有活动杆(202)，所述压力传感器本体(204)的上端固定有支撑板(206)，所述支撑板(206)的内部安装有拉力传感器本体(205)，所述活动杆(202)的上端凿有定位槽(201)，且活动杆(202)靠近支撑座(203)的一端固定有压板(208)，所述压板(208)远离活动杆(202)的一侧粘接有橡胶垫(207)，所述定位槽(201)的内部嵌入有调节螺杆(209)，所述调节螺杆(209)的下端贯穿有延伸板(211)，且调节螺杆(209)的顶端连接有把手(210)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述升降锁紧组件(3)包括内管(31)、伸缩弹簧(32)、插杆(33)、握把(34)、外管(35)、插块(36)和连接板(37)，其中，所述外管(35)的内部贯穿有内管(31)，且外管(35)的外侧连接有伸缩弹簧(32)，所述内管(31)的一侧固定有连接板(37)，所述伸缩弹簧(32)远离内管(31)的一端连接有握把(34)，所述握把(34)靠近外管(35)的一侧嵌接有插杆(33)，所述插杆(33)靠近连接板(37)的一端固定有插块(36)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述顶架(1)与上夹具(8)之间通过伸缩杆(9)连接构成伸缩结构，所述液压缸(5)通过安装座固定在底座(4)的上端，且液压缸(5)的输出端通过活塞杆(6)与横板(7)连接。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述支撑板(206)与支撑座(203)的内底端之间通过压力传感器本体(204)连接固定，且支撑板(206)与拉力传感器本体(205)为一体式结构。
6.根据权利要求2所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述延伸板(211)通过电弧焊焊接在支撑座(203)的外侧，所述调节螺杆(209)的下端贯穿延伸板(211)内部凿有的通孔嵌入定位槽(201)内，且调节螺杆(209)与把手(210)之间通过轴承转动连接，所述橡胶垫(207)通过强力黏胶粘接在压板(208)的一侧。
7.根据权利要求3所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述内管(31)通过电弧焊焊接在顶架(1)与底座(4)之间，且内管(31)两两之间通过连接板(37)连接固定，所述外管(35)套接在两两连接的内管(31)的外周与内管(31)构成滑动结构。
8.根据权利要求3所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述连接板(37)的一侧凿有凹槽，所述插块(36)通过嵌入凹槽内与连接板(37)连接固定，所述插杆(33)远离连接板(37)的一端通过卡环嵌接在握把(34)的一侧，所述握把(34)与外管(35)之间通过伸缩弹簧(32)连接，所述伸缩弹簧(32)位于初始状态时插块(36)刚好卡入连接板(37)一侧凿有的凹槽内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020174267.3U CN212340852U (zh) | 2020-02-14 | 2020-02-14 | 一种晶圆凸块推拉力测试机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020174267.3U CN212340852U (zh) | 2020-02-14 | 2020-02-14 | 一种晶圆凸块推拉力测试机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212340852U true CN212340852U (zh) | 2021-01-12 |
Family
ID=74064630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202020174267.3U Active CN212340852U (zh) | 2020-02-14 | 2020-02-14 | 一种晶圆凸块推拉力测试机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212340852U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112916471A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-08 | 武汉百臻半导体科技有限公司 | 一种芯片清洗机的装夹芯片装置及其使用方法 |
| CN114654339A (zh) * | 2022-05-25 | 2022-06-24 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种薄片晶圆边缘抛光治具 |
-
2020
- 2020-02-14 CN CN202020174267.3U patent/CN212340852U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112916471A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-08 | 武汉百臻半导体科技有限公司 | 一种芯片清洗机的装夹芯片装置及其使用方法 |
| CN114654339A (zh) * | 2022-05-25 | 2022-06-24 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种薄片晶圆边缘抛光治具 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN212340852U (zh) | 一种晶圆凸块推拉力测试机 | |
| CN201222026Y (zh) | 一种万能试验机管材拉伸试验夹具 | |
| CN207423670U (zh) | 一种后锚固钢筋抗拉拔试验位移传感器固定装置 | |
| EP2610038B1 (en) | Clamper, in-water-chamber operation device, and clamping method | |
| US9490037B2 (en) | Clamper and in-channel-head operation device | |
| CN116448303A (zh) | 一种轴承的密封圈拉出力检测装置 | |
| CN210704392U (zh) | 一种弹簧式检漏夹具 | |
| CN213623071U (zh) | 一种钢绞线张拉千斤顶 | |
| CN204535965U (zh) | 一种试验台用阀类部件气动卡紧装置 | |
| EP3644040A1 (en) | Machine for testing mechanical properties | |
| CN212693474U (zh) | 一种锚杆拉拔仪 | |
| CN212027708U (zh) | 一种新型实用的手动液压管钳 | |
| CN210893905U (zh) | 一种液压自动90度旋转压紧松开装置 | |
| CN209743762U (zh) | 一种压力管道安装支撑装置 | |
| CN202019432U (zh) | 一种麦克风支架拉杆的膨胀固定装置 | |
| CN210361052U (zh) | 一种气动夹持装置 | |
| CN111442945A (zh) | 一种煤岩样取芯固定装置 | |
| CN110696417A (zh) | 一种压缩夹具 | |
| CN217580843U (zh) | 一种千斤顶式冷挤压套筒连接螺纹钢筋的装置结构 | |
| CN214843853U (zh) | 一种液压缸压力检测装置 | |
| CN208420539U (zh) | 一种螺栓拉伸试验夹具 | |
| CN212904218U (zh) | 一种适用于多尺寸柔性波纹管的工装夹具 | |
| CN212030406U (zh) | 一种扩管管口直径测量机构 | |
| CN220145253U (zh) | 一种新型内撑夹紧夹具 | |
| CN215767964U (zh) | 一种棒料拉伸夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20221123 Address after: 530000 No. T964, Floor 2, Building 16, No. 8, Jinlong Road, Nanning District, Nanning City, Guangxi Zhuang Autonomous Region Patentee after: Guangxi Huaxin Zhenbang Semiconductor Co.,Ltd. Address before: 221000 room 213, Clean Technology Industrial Park Service Center, Xuzhou Economic and Technological Development Zone, Jiangsu Province Patentee before: LIANLI (Xuzhou) Semiconductor Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |