CN212025440U - 掩膜板组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种掩膜板组件，包括第一掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条，所述第一掩膜板包括第一框架、以及设置于所述第一框架相对的一组侧边框之间的第一支撑条，所述第一支撑条的第一区域上设置有包括多个第一通孔的第一镂空部，多个所述第一通孔用于与多种所述第一掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构。

Description

掩膜板组件

技术领域

本实用新型涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种掩膜板组件。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode)屏幕具有亮度高、画质好、节能等优点，已经成为面板行业的发展趋势，更是面板行业的高端产品，在其价格高的同时，客户对OLED屏幕的要求也越来越高。目前OLED行业均为采用mask(掩膜板)的方法蒸镀发光材料。

目前的EV mask中AA区的遮挡多采用F-mask(高精度金属掩膜板)的方式进行遮挡，由于不同的EL(发光层)膜层在不同的腔室中进行蒸镀，每个腔室中有许多需要测试的内容，如蒸镀PPA(位置精度)、膜厚、光学性能、电学性能等，故F-mask上设计有许多孔，不同的膜层对应的F-mask上的开孔位置也不同，故REML(红色发光层)、GEML(绿色发光层)、BEML(蓝色发光层)、RHTL(红色辅助发光层)、GHTL(绿色辅助发光层)分别对应5种不同的F-masksheet(掩膜板组件)，在mask的制作中需要进行5次开模，不仅成本较高，同时mask制作时间较长；且在mask的制作过程中，可能会出现一张或者几张mask制作错误、损坏等情况，如果损坏的几张F-mask均为一个腔室对应的F-mask，则会导致该腔室对应的FMM无法张网，EL器件无法按日程进行蒸镀，损坏的F-mask的修复或者重新制作均需要更长的时间，会导致项目日程delay，更严重的会导致首样日程delay。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种掩膜板组件，解决蒸镀EL器件成本高，以及部分掩膜板损坏则整个蒸镀流程延迟的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种掩膜板组件，包括第一掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条，所述第一掩膜板包括第一框架、以及设置于所述第一框架的相对的一组侧边框之间的第一支撑条，所述第一支撑条的第一区域上设置有包括多个第一通孔的第一镂空部，多个所述第一通孔用于与多种所述第一掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构；

所述第一镂空部包括三个所述第一通孔，三个所述第一通孔包括第一子通孔、第二子通孔、第三子通孔，其中所述第一子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第二子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第三子通孔用于蒸镀形成测试显示基板的第三颜色发光层的第一特性的第一功能结构。

可选的，还包括三种所述第一掩膜条，每个所述第一掩膜条的有效蒸镀图案在所述第一掩膜板上的正投影位于对应的所述第一通孔内。

可选的，还包括第二掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第二掩膜条，所述第二掩膜板包括第二框架，以及设置于所述第二框架的相对一组侧边框之间的第二支撑条，所述第二支撑条的第二区域上设置有包括多个第二通孔的第二镂空部，多个所述第二通孔用于与多种所述第二掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第二功能结构。

可选的，所述第二镂空部包括两个所述第二通孔，两个所述第二通孔包括第四子通孔和第五子通孔，其中所述第四子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构，所述第五子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构。

可选的，还包括两种所述第二掩膜条，每个所述第二掩膜条的有效蒸镀图案在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的所述第二通孔内。

可选的，所述第二掩膜条包括第一子掩膜条和第二子掩膜条，所述第一子掩膜条用于形成测试第一颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构，所述第二子掩膜条用于形成测试第二颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构，所述第一掩膜条包括第三子掩膜条和第四子掩膜条，所述第三子掩膜条用于形成测试第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第四子掩膜条用于形成测试第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构；

所述第一子掩膜条复用为所述第三子掩膜条，所述第二子掩膜条复用为所述第四子掩膜条。

可选的，还包括具有不同有效蒸镀图案的第三掩膜条，所述第一掩膜板上的所述第一支撑条上的第三区域设置有具有多个第三通孔的第三镂空部，多个所述第三通孔与多种所述第三掩膜条配合以蒸镀形成不同的第三功能结构。

所述第三镂空部至少包括三个所述第三通孔，分别用于与所述第一掩膜板相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色发光层、第二颜色发光层、第三颜色发光层的第二特性进行测试的第三功能结构。

可选的，还包括具有不同有效蒸镀图案的第四掩膜条，所述第二掩膜板上的所述第二支撑条上的第四区域设置有具有多个第四通孔的第四镂空部，多个所述第四通孔与多种所述第四掩膜条配合以蒸镀形成不同的第四功能结构。

可选的，所述第四镂空部至少包括两个所述第四通孔，分别用于与所述第二掩膜板相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色辅助发光层、第二颜色辅助发光层、第三颜色辅助发光层的所述第二特性进行测试的第四功能结构。

本实用新型的有益效果是：通过在第一支撑条的第一区域设置具有多个通孔的第一镂空部，使得与具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条、配合进行蒸镀的掩膜板可以通用，这样可以节省成本，且即使部分掩膜板损坏也不会导致整个蒸镀流程延迟。

附图说明

图1表示本实用新型实施例中在待蒸镀显示基板上蒸镀相应的功能结构的示意图；

图2表示本实用新型实施例中第一功能结构的位置示意图；

图3表示本实用新型实施例中蒸镀用于测试第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构的示意图；

图4表示本实用新型实施例中第一掩膜板与待蒸镀显示基板对应的部分结构示意图；

图5表示本实用新型实施例中第二掩膜板与待蒸镀显示基板对应的部分结构示意图；

图6表示本实用新型实施例中第一掩膜板与第一掩膜条相配合的示意图；

图7表示本实用新型实施例中第一掩膜条的示意图；

图8表示本实用新型实施例中第二掩膜板与第二掩膜条相配合的示意图；

图9表示本实用新型实施例中第二掩膜条的示意图；

图10表示本实用新型实施例中第三镂空部结构示意图；

图11表示本实用新型实施例中第四镂空部结构示意图；

图12表示本实用新型实施例中第一掩膜板的部分结构示意图一；

图13本实用新型实施例中第一掩膜板的部分结构示意图二；

图14表示本实用新型实施例中第二掩膜板的部分结构示意图一；

图15表示本实用新型实施例中第二掩膜板的部分结构示意图二。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

现有的掩膜板设计需要进行5次开模，不仅成本较高，且掩膜板的制作时间较长；如果掩膜板制作中出现事故，则可能导致整个项目延迟。

针对上述问题，本实施例提供一种掩膜板组件，包括第一掩膜板01，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条4，所述第一掩膜板01包括第一框架011、以及设置于所述第一框架011的相对的一组侧边框之间的第一支撑条2，所述第一支撑条2的第一区域上设置有包括多个第一通孔210的第一镂空部21，多个所述第一通孔210用于与多种所述第一掩膜条4进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构，参考图1。

通过在所述第一支撑条2的第一区域设置具有多个通孔的第一镂空部21，使得与具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条4、配合进行蒸镀的掩膜板可以通用，这样可以节省成本，且即使部分掩膜板损坏也不会导致整个蒸镀流程延迟。

传统技术中，一种掩膜条对应一种掩膜板，蒸镀形成一种功能结构，用于形成不同功能结构的掩膜板不能通用，蒸镀的功能结构的数量与掩膜板的数量是相同的，对应的掩膜板都需要单独开模制作，成本高，时间长，如果部分掩膜板损坏，则可能造成整个工艺流程的延迟。而本实施例中，一个掩膜板可以与多种掩膜条进行配合，也就是说，形成多种功能结构的掩膜板是可以通用的，减少制作掩膜板时的开模数量，降低成本，缩短了掩膜板的制作时长，且本实施例中的第一掩膜板01是可以通用的，在制作多种所述第一功能结构时相互之间可以借用，大大的避免了由于一个蒸镀腔室对应的掩膜板出现问题而导致整个项目延迟的情况，大大减小了项目延迟的风险。

参考图3、图4和图12，例如，需要在三个蒸镀腔室内，分别蒸镀形成三种第一功能结构(第一子功能结构101、第二子功能结构102和第三子功能结构103)，所述第一镂空部21包括三个所述第一通孔210(第一子通孔211、第二子通孔212和第三子通孔213)，在进行蒸镀时，一种第一掩膜条4上的有效蒸镀图案41与第一子通孔211相对应，以蒸镀形成第一子功能结构101，而第二子通孔212和第三子通孔213的位置被掩膜条遮挡不能进行蒸镀，参考图4、图6和图7，一种第一掩膜条4上的有效蒸镀图案与第二子通孔212相对应，以蒸镀形成第二子功能结构102，而第一子通孔211和第三子通孔213被掩膜条遮挡不能进行蒸镀，一种第一掩膜条4上的有效蒸镀图案与第三子通孔213相对应，以蒸镀形成第三子功能结构103，而由于所述第一镂空部21的设置，第一子通孔211和第二子通孔212的位置被掩膜条遮挡，不能进行蒸镀，蒸镀形成第一子功能结构101、第二子功能结构102和第三子功能结构103的掩膜板可以通用，也就是说，只有一次开模即可制作用于蒸镀形成三种所述第一功能结构的掩膜板，降低了制作成本，缩短了制作时间，并且在蒸镀形成其中一种第一功能结构的掩膜板损坏时，可以借用形成另外两种第一功能结构的掩膜板进行蒸镀，避免造成整个工艺流程的延迟。

需要说明的是，所述第一掩膜条4的种类的数量与所要形成的所述第一功能结构的种类的数量相同，一个所述第一镂空部21中所述第一通孔210的数量与所述第一掩膜条4的种类的数量相同，每个所述第一掩膜板01上所包括的所述第一镂空部21的数量可以根据实际需要设定。

需要说明的是，图12中表示的第一掩膜板01中仅表示出了一个第一支撑条2，所述第一支撑条2的数量可根据实际需要设定，所述第一支撑条2的设置方向也可根据实际需要设定，第一掩膜板01可以仅包括沿着一个方向延伸设置的第一支撑条2，第一掩膜板01也可以同时包括沿多个延伸方向设置的第一支撑条2，图12中所表示的仅是第一掩膜板01的一个示例性的结构，并不以此为限。

应当理解的是，图12中表示的第一掩膜板仅为示意图，表示第一掩膜板的组成结果，其中的第一支撑条的长宽比例、以及第一框架的长宽比例以实际需要设定，并不受限。

本实施例的一实施方式中，所述第一支撑条2为位于所述第一框架011内部的板状结构，所述第一支撑条2上设置有至少一个所述第一镂空部21，每个所述第一镂空部21的设置位置对应于一个显示面板的一侧，但并不以此为限。

所述第一镂空部21包括的所述第一通孔210的数量和位置可以根据实际需要设定，只要保证在掩膜板通用的情况下，与相应的掩膜条进行配合以形成需要的功能结构即可。

需要说明的是，一个所述第一镂空部21中的多个所述第一通孔210可以是独立的多个小孔，也可以是连通的、呈一个整体的大孔，蒸镀面积由所述第一掩膜条上的有效蒸镀图案来决定。

本实施例的一些实施方式中，所述第一镂空部21包括三个所述第一通孔210，三个所述第一通孔210包括第一子通孔211、第二子通孔212和第三子通孔213，其中所述第一子通孔211用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第二子通孔212用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第三子通孔213用于蒸镀形成测试显示基板的第三颜色发光层的第一特性的第一功能结构。

本实施例的一具体实施方式中，所述第一颜色发光层为红色发光层，所述第二颜色发光层为绿色发光层，所述第三颜色发光层为蓝色发光层，但并不以此为限。

在一些实施方式中，所述第一特性为蒸镀位置精度(PPA)，但并不以此为限。

三个所述第一通孔210包括与显示基板上的红色发光层的蒸镀位置相对应的红色通孔(即第一子通孔211)，与显示基板上的绿色发光层的蒸镀位置相对应的绿色通孔(即第二子通孔212)，与显示基板上的蓝色发光层的蒸镀位置相对应的蓝色通孔(即第三子通孔213)，参照4和图12，相对应的所述第一功能结构位于显示面板的一侧，参照图1-图3，而第一掩膜条4则包括用于形成测试红色发光层的第一特性的第一功能结构的红色掩膜条，用于形成测试绿色发光层的第一特性的第一功能结构的绿色掩膜条，用于形成测试蓝色发光层的第一特性的第一功能结构的蓝色掩膜条，红色掩膜条与所述第一掩膜板01相配合在第一蒸镀腔室内进行蒸镀时，红色掩膜条上的有效蒸镀图案与红色通孔相对应、以露出待蒸镀的位置，而此时，绿色通孔和蓝色通孔被红色掩膜条遮挡，不能进行蒸镀，蒸镀后的结构示意图如图3所示；同理，绿色掩膜条与所述第一掩膜板01相配合在第二蒸镀腔室内进行蒸镀时，绿色掩膜条上的有效蒸镀图案与绿色通孔相对应、以露出待蒸镀的位置，而此时，红色通孔和蓝色通孔被红色掩膜条遮挡，不能进行蒸镀；蓝色掩膜条与所述第一掩膜板01相配合在第三蒸镀腔室内进行蒸镀时，蓝色掩膜条上的有效蒸镀图案与蓝色通孔相对应、以露出待蒸镀的位置，而此时，绿色通孔和红色通孔被红色掩膜条遮挡，不能进行蒸镀。通过相同类型的掩膜板可以与不同种类的掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的功能结构。

图6和图7中表示的第一掩膜条4为用于形成测试红色发光层的第一特性的第一功能结构的红色掩膜条，其上的有效蒸镀图案包括与第一镂空部21上的第一子通孔211对应的第一有效蒸镀图案41。

需要说明的是，图6中的虚线通孔表示被遮挡的蒸镀位置，即虚线通孔表示的位置是被所述第一掩膜条4遮挡的，不能进行蒸镀。

本实施例的一些实施方式中，所述第一掩膜条4的种类的数量与所述第一镂空部21所述包含的所述第一通孔210的数量相同，所述第一镂空部21包括三个所述第一通孔210，则所述掩膜板组件还包括三种所述第一掩膜条4，每个所述第一掩膜条4的有效蒸镀图案在所述第一掩膜板01上的正投影位于对应的所述第一通孔210内。

在蒸镀时，所述第一掩膜条4和所述第一掩膜板01依次叠置于待蒸镀基板上，每个所述第一掩膜条4的有效蒸镀图案在所述第一掩膜板01上的正投影位于对应的所述第一通孔210内，以使得对应的所述第一通孔210将所述第一掩膜条4的有效蒸镀图案露出，便于蒸镀相应的图形。

本实施例中，所述掩膜板组件还包括第二掩膜板02，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第二掩膜条5，所述第二掩膜板02包括第二框架021，以及设置于所述第二框架021的相对的一组侧边框之间的第二支撑条3，所述第二支撑条3的第二区域上设置有包括多个第二通孔310的第二镂空部31，多个所述第二通孔310用于与多种所述第二掩膜条5进行配合以蒸镀形成不同的第二功能结构，参考图5、图8、图9和图14。

所述第一掩膜板01的设置，使得所述第一支撑条2的第一区域上设置包括多个所述第一通孔210的第一镂空部21，而在需要蒸镀不同于第一功能结构的其他功能结构时，即蒸镀区域的位置位于所述第一区域之外的区域时，还需要通过其他的掩膜板进行，所述第二掩膜板02的设置，使得与多个所述第二通孔310相配合以形成不同的所述第二功能结构的多种第二掩膜条5可以使用同一种掩膜板，也就是说，形成多种第二功能结构的掩膜板是通用的。

需要说明的是，图14中表示的第二掩膜板02中仅表示出了一个第二支撑条3，所述第二支撑条3的数量可根据实际需要设定，所述第二支撑条3的设置方向也可根据实际需要设定，第二掩膜板02可以仅包括沿着一个方向延伸设置的第二支撑条3，第二掩膜板02也可以同时包括沿多个延伸方向设置的第二支撑条3，图14中所表示的仅是第二掩膜板02的一个示例性的结构，并不以此为限。

应当理解的是，图14中表示的第二掩膜板仅为示意图，表示第二掩膜板的组成结果，其中的第二支撑条的长宽比例、以及第二框架的长宽比例以实际需要设定，并不受限。

需要说明的是，所述第二掩膜条5的种类的数量与所要形成的所述第二功能结构的种类的数量相同，一个所述第二镂空部31中所述第二通孔310的数量与所述第二掩膜条5的种类的数量相同，每个所述第二掩膜板02上所包括的所述第二镂空部31的数量可以根据实际需要设定。

在使用所述第一掩膜板01进行蒸镀的工艺流程和使用所述第二掩膜板02进行蒸镀的工艺流程处于同一条生产线时，可以进一步的缩短掩膜板的制作时间，根进一步的有效的避免由于部分掩膜板损坏而导致整个工艺流程延迟的问题。

在一些实施方式中，所述第一掩膜板01和所述第二掩膜板02的区别在于，同一位置的支撑条的不同的区域上分别设置有第一镂空部21和所述第二镂空部31，即当所述第一掩膜板01和所述第二掩膜板02叠置在一起时，所述第一掩膜板01上的第一支撑条2在所述第二掩膜板02上的正投影、与所述第二掩膜板02上的第二支撑条3重合，所述第一支撑条2上的所述第一镂空部21在所述第二掩膜板02上的正投影、位于所述第二支撑条3的所述第二区域之外的区域。

需要说明的是，所述第一掩膜条4的种类与所述第二掩膜条5的种类没有重叠时，所述第一掩膜板01和所述第二掩膜板02集成，即所述第一掩膜板01复用为所述第二掩膜板02，一种掩膜板上同时具有所述第一镂空部21和所述第二镂空部31，所述第一掩膜条4的种类和所述第二掩膜条5的种类存在重叠时，所述第一掩膜板01不能复用为所述第二掩膜板02，例如，进行一种第一功能结构的蒸镀时，采用所述第一掩膜板01与对应的一种所述第一掩膜条4相配合，进行一种第二功能结构的蒸镀时，采用所述第二掩膜板02和对应的一种所述第二掩膜条5相配合，第一掩膜条4和所述第二掩膜条5为同一种掩膜条，即在进行所述第一功能结构的蒸镀时，所述第一掩膜条4上的有效蒸镀图案会将对应形成所述第二功能结构的第二通孔310漏出，这样在蒸镀形成所述第一功能结构时，也有会蒸镀材料蒸镀于漏出的所述第二通孔310处。

本实施例中，所述第二镂空部31包括两个所述第二通孔310，两个所述第二通孔310包括第四子通孔312和第五子通孔313，其中所述第四子通孔312用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构(第四子功能结构104)，所述第五子通孔313用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构(第五子功能结构105)。

所述第二通孔310的数量根据实际需要设定，本实施例的一实施方式中，所述第一颜色辅助发光层为红色辅助发光层，所述第二颜色辅助发光层为绿色辅助发光层，但并不以此为限。

所述第二镂空部中的多个所述第二通孔310可以是相互独立的小通孔，也可以是相互连通为一个整体、呈一个大孔，此时由对应的所述第二掩膜条上的有效蒸镀图案来决定蒸镀形成的第二功能结构的具体位置和蒸镀面积。

所述第二镂空部31中的多个所述第二通孔310包括与红色辅助发光层的蒸镀位置对应的红色辅助通孔，以及与绿色辅助发光层的蒸镀位置相对应的绿色辅助通孔，所述第二掩膜条5包括用于形成测试红色辅助发光层的所述第一特性的红色辅助掩膜条，以及用于形成测试绿色辅助发光层的所述第一特性的绿色辅助掩膜条，红色辅助掩膜条与所述第二掩膜板02相配合在第四蒸镀腔室内进行蒸镀时，红色辅助掩膜条上的有效蒸镀图案与红色辅助通孔相对应、以露出待蒸镀的位置，而此时，绿色辅助通孔被红色辅助掩膜条遮挡，不能进行蒸镀，同理，绿色辅助掩膜条与所述第二掩膜板02相配合在第五蒸镀腔室内进行蒸镀时，绿色辅助掩膜条上的有效蒸镀图案与绿色辅助通孔相对应、以露出待蒸镀的位置，而此时，红色辅助通孔被绿色辅助掩膜条遮挡，不能进行蒸镀。

图8和图9中表示的第二掩膜条5为用于形成测试红色辅助发光层的第一特性的第二功能结构的红色辅助掩膜条，其上的有效蒸镀图案包括与第二镂空部31上的第四子通孔312对应的第二有效蒸镀图案51。

需要说明的是，图8中的虚线通孔表示被遮挡的蒸镀位置，即虚线通孔表示的位置是被所述第二掩膜条5遮挡的，不能进行蒸镀。

本实施例的一实施方式中，所述第二掩膜板02包括至少一个所述第二镂空部31，所述第一镂空部21与所述第二镂空部31蒸镀于显示基板板上的位置，位于显示基板上的显示面板区域的同一侧(显示基板上包括多个显示面板)，但并不以此为限。

本实施例中，还包括两种所述第二掩膜条5，每个所述第二掩膜条5的有效蒸镀图案在所述第二掩膜板02上的正投影位于对应的所述第二通孔310内。

在蒸镀时，所述第二掩膜条5和所述第二掩膜板02依次叠置于待蒸镀基板上，每个所述第二掩膜条5的有效蒸镀图案在所述第二掩膜板02上的正投影位于对应的所述第二通孔310内，以使得所述第二通孔310将所述第二掩膜条5上的有效蒸镀图案露出，便于蒸镀相应的图形。

本实施例中，所述第二掩膜条包括第一子掩膜条和第二子掩膜条，所述第一子掩膜条用于形成测试第一颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构，所述第二子掩膜条用于形成测试第二颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构，所述第一掩膜条包括第三子掩膜条和第四子掩膜条，所述第三子掩膜条用于形成测试第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第四子掩膜条用于形成测试第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构；

所述第一子掩膜条复用为所述第三子掩膜条，即同一掩膜条上同时具有用于形成测试第一颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构的有效蒸镀图案，和用于形成测试第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构的有效蒸镀图案，所述第二子掩膜条复用为所述第四子掩膜条，即同一掩膜条上同时具有用于形成测试第二颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构的有效蒸镀图案，和用于形成测试第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构的有效蒸镀图案。

例如，在所述第一颜色辅助发光层为红色辅助发光层、所述第一颜色发光层为红色发光层时，所述第一掩膜板01不能复用为所述第二掩膜板02，即所述第一镂空部21和所述第二镂空部31不能同时设置于同一掩膜板上，由于形成测试所述红色辅助发光层的第一特性的第二功能结构的掩膜条的种类与形成测试所述红色发光层的第一特性的第一功能结构的掩膜条的种类相同(例如，一个掩膜条上的有效蒸镀图案同时包括第一有效蒸镀图案41和第二有效蒸镀图案51，参考图7和图9)，所述第一镂空部21和所述第二镂空部31分别位于不同的掩膜板上，避免在同一蒸镀步骤中，蒸镀了两种不能同时蒸镀的功能结构。

本实施例中，所述掩膜板组件还包括具有不同有效蒸镀图案的第三掩膜条，所述第一掩膜板01上的所述第一支撑条2上的第三区域设置有具有多个第三通孔201的第三镂空部22，多个所述第三通孔201与多种所述第三掩膜条配合以蒸镀形成不同的第三功能结构，参考图10。

需要说明的是，图10中仅表示出了第一支撑条2上的一个第三镂空部22的示意图。

每个腔室中有许多需要测试的内容，如蒸镀PPA(蒸镀位置精度)、膜厚、光学性能、电学性能等，故掩膜板上设计有许多孔，不同的膜层对应的掩膜板上的开孔位置也不同，例如，进行蒸镀PPA(蒸镀位置精度)测试的的开孔对应于显示基板上每个显示面板的一侧，而膜厚、光学性能、电学性能等测试的开孔对应于显示基板的边缘，通过所述第三掩膜条与所述第一掩膜板01配合，在对应的所述第三通孔201处蒸镀材料，以进行相应的特性的测试。

本实施例中，所述第三镂空部22至少包括三个所述第三通孔201，分别用于与所述第一掩膜板01相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色发光层、第二颜色发光层、第三颜色发光层的第二特性进行测试的第三功能结构。

例如，对红色发光层的膜厚的测试，形成用于测试膜厚的第三功能结构的第三掩膜条与所述第一掩膜板01相配合，在对应的所述第三通孔201的位置蒸镀材料，以对红色发光层的膜厚进行测试，而此时只能在与形成用于测试膜厚的第三功能结构的第三掩膜条的有效蒸镀图案对应的第三通孔201才能蒸镀材料，而其他的第三通孔201则不可以，避免产生干扰。

需要说明的是，所述第三掩膜条的种类的数量与所要进行的测试的种类、以及测试的对象的数量有关，一个所述第三镂空部22中所述第三通孔201的数量与测试的对象数量有关，每个所述第一掩膜板上所包括的所述第三镂空部22的数量可以根据实际需要设定，例如，对红色发光层、绿色发光层和蓝色发光层的膜厚、电学性能分别进行测试，则所述第三掩膜条的种类包括六种，以分别对应于一种发光层的一种特性的测试，例如其中一种掩膜条用于蒸镀形成对红色发光层的膜厚进行测试的第三功能结构，而所述第三通孔201也包括六个，分别与六种所述第三掩膜条一一对应。

需要说明的是，所述第三镂空部22中的多个所述第三通孔201可是相互独立的多个小通孔，也可以是相互连通组成一个大的通孔(即一个镂空部由一个通孔形成)，此时，由所述第三掩膜条上的有效蒸镀图案来决定第三功能结构的具体位置和蒸镀面积。

本实施例中，所述掩膜板组件还包括具有不同有效蒸镀图案的第四掩膜条，所述第二掩膜板02上的所述第二支撑条3上的第四区域设置有具有多个第四通孔301的第四镂空部32，多个所述第四通孔301与多种所述第四掩膜条配合以蒸镀形成不同的第四功能结构，参考图11。

需要说明的是，图11中仅表示出了第二支撑条3上的一个第四镂空部32的示意图。

每个腔室中有许多需要测试的内容，如蒸镀PPA(蒸镀位置精度)、膜厚、光学性能、电学性能等，故掩膜板上设计有许多孔，不同的膜层对应的掩膜板上的开孔位置也不同，通过所述第四掩膜条与所述第二掩膜板02配合，在对应的所述第四通孔301处蒸镀材料，以对相应的第二功能结构进行相应的特性的测试。

本实施例中，所述第四镂空部32至少包括两个所述第四通孔301，分别用于与所述第二掩膜板02相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色辅助发光层、第二颜色辅助发光层、第三颜色辅助发光层的所述第二特性进行测试的第四功能结构。

例如，对红色辅助发光层的膜厚的测试，形成用于测试膜厚的功能结构的第四掩膜条与所述第二掩膜板02相配合，在对应的所述第四通孔301的位置蒸镀材料，以对红色辅助发光层的膜厚进行测试，而此时只能在与形成用于测试膜厚的功能结构的第四掩膜条的有效蒸镀图案对应的第四通孔301才能蒸镀材料，而其他的第四通孔301则不可以，避免产生干扰。

需要说明的是，所述第四掩膜条的种类的数量与所要进行的测试的种类以及测试对象的数量有关，一个所述第四镂空部32中所述第四通孔301的数量与所述第四掩膜条的种类的数量相同，每个所述第二掩膜板上所包括的所述第四镂空部32的数量可以根据实际需要设定，例如，对红色辅助发光层、绿色辅助发光层的膜厚、电学性能分别进行测试，则所述第四掩膜条的种类包括四种，以分别对应于一种辅助发光层的一种特性的测试，例如其中一种掩膜条用于蒸镀形成对红色辅助发光层的膜厚进行测试的第四功能结构，而所述第三通孔也包括四个，分别与四种所述第三掩膜条一一对应。

需要说明的是，所述第四镂空部32中的多个所述第四通孔301可是相互独立的多个小通孔，也可以是相互连通组成一个大的通孔(即一个镂空部由一个通孔形成)，此时，由所述第四掩膜条上的有效蒸镀图案来决定第四功能结构的具体位置和蒸镀面积。

在本实施例的一具体实施方式中，在五个蒸镀腔室内分别进行针对红色发光层(REML)、绿色发光层(GEM L)、蓝色发光层(BEML)、红色辅助发光层(RHTL)、绿色辅助发光层(GHTL)的多种特性进行测试的功能结构的蒸镀，采用所述第一掩膜板01用于蒸镀形成进行红色发光层(REML)、绿色发光层(GEM L)、蓝色发光层(BEML)的特性的测试的功能结构，每个腔室中有许多需要测试的内容，如蒸镀PPA(蒸镀位置精度)、膜厚、光学性能、电学性能等，故掩膜板上设计有许多孔，不同的膜层对应的掩膜板上的开孔位置也不同，图1-图3表示出了测试相应的膜层的PPA(蒸镀位置精度)的第一结构100(包括所述第一功能结构和所述第二功能结构)、测试膜厚的第二结构200(即所述第三功能结构)、测试电学性能的第三结构300和测试光学性能的第四结构400(即所述第四功能结构本实施例中)，显示基板1上包括多个显示面板11，每个显示面板11的一侧设置有所述第一结构100，显示基板1的边缘设置有所述第二结构200、第三结构300和第四结构400。

所述第一掩膜板01上的所述第一镂空部21中的多个第一通孔210、包括与测试红色发光层的第一特性的第一功能结构对应的红色通孔，与测试所述绿色发光层的第一特性的第一功能结构对应的绿色通孔、与测试所述蓝色发光层的第一特性的第一功能结构对应的蓝色通孔(需要说明的是，所述第一通孔210没有进行红色、绿色、或蓝色的颜色涂色，只是为了进行区分而与对应形成的结构进行对应命名)，并采用所述第二掩膜板02蒸镀形成测试红色辅助发光层(RHTL)、绿色辅助发光层(GHTL)的第一特性的第二功能结构，所述第二掩膜板02上的所述第二镂空部31中的所述第二通孔310、包括用于形成测试红色辅助发光层的第一特性的第二功能结构红色辅助通孔、以及用于形成测试绿色辅助发光层的第一特性的第二功能结构的绿色辅助通孔(需要说明的是，所述第二通孔310并没有进行红色或绿色的颜色涂色，只是为了进行区域而进行的不同的命名)。

所述第一特性为蒸镀位置精度测试，但并不以此为限。

进行蒸镀测试红色发光层的第一特性的第一功能结构时，将对应的所述第一掩膜条4的有效蒸镀图案与所述红色通孔相对应，而此时绿色通孔和蓝色通孔是被所述第一掩膜条4遮挡，同样的，进行蒸镀测试绿色发光层的第一特性的第一功能结构时，将对应的所述第一掩膜条4的有效蒸镀图案与所述绿色通孔相对应，而此时红色通孔和蓝色通孔是被所述第一掩膜条4遮挡，进行蒸镀测试蓝色发光层的第一特性的第一功能结构时，将对应的所述第一掩膜条4的有效蒸镀图案与所述蓝色通孔相对应，而此时绿色通孔和红色通孔是被所述第一掩膜条4遮挡。通过所述第二掩膜板02进行蒸镀测试所述红色辅助发光层的第一特性的第二功能结构和测试所述绿色辅助发光层的第一特性的第二功能结构的原理相同。

本实施方式中，还包括采用第三掩膜条与所述第一掩膜板01进行配合以对红色发光层、绿色发光层、和蓝色发光层的第一特性之外的其他各种特性进行测试，由于形成测试不同特性的功能结构的测试孔的位置不同，例如，形成蒸镀位置精度测试的功能结构对应于显示基板的显示面板的一侧，相应的通孔位于掩膜板的中部区域，而形成测试膜厚、电学性能等的功能结构对应于显示基板的边缘，相应的通孔位于掩膜板的边缘，可以采用所述第一掩膜板01与不同的第三掩膜条进行配合，第三掩膜条上具有的不同的有效蒸镀图案用于形成用于不同特性测试的功能结构，例如，用于对红色发光层进行膜厚测试的功能结构的蒸镀时，采用所述第一掩膜板01与相应的所述第三掩膜条进行配合蒸镀。

本实施方式中，还包括采用第四掩膜条与所述第二掩膜板02进行配合以对红色发光层、绿色发光层、和蓝色发光层的第一特性之外的各种特性进行测试，由于形成测试不同特性的功能结构的测试孔的位置不同，可以采用所述第二掩膜板02与不同的第四掩膜条进行配合，例如，形成蒸镀位置精度测试的功能结构对应于显示基板的显示面板的一侧，相应的通孔位于掩膜板的中部区域，而形成测试膜厚、电学性能等的功能结构对应于显示基板的边缘，相应的通孔位于掩膜板的边缘，第四掩膜条上具有的不同的有效蒸镀图案用于形成用于不同特性测试的功能结构，例如，用于对红色辅助发光层进行膜厚测试的功能结构的蒸镀时，采用所述第二掩膜板02与相应的所述第三掩膜条进行配合蒸镀。

需要说明的是，在传统技术中，采用五张掩膜板在五个蒸镀腔室中分别完成对红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层、红色辅助发光层、绿色辅助发光层的多种性能的测试，制作相应的掩膜板时，需要开模五次，成本高，制作时间长，在实际操作中，会预备两套掩膜板进行使用，即预备十张掩膜板，如果用于蒸镀同一结构的掩膜板均损坏，则整个蒸镀流程均会被延迟。本实施例中，将用于蒸镀测试红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层、红色辅助发光层、绿色辅助发光层的特性的功能结构的掩膜板划分为两类，采用所述第一掩膜板01蒸镀形成测试红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层的多种特性的功能结构，采用所述第二掩膜板02蒸镀形成测试红色辅助发光层、绿色辅助发光层的多种特性的功能结构，这样在制作掩膜板时，只需开模两次，节省成本，大大缩短了制作掩膜板的时间，且在实际操作中，仍然会预备十张掩膜板(因为有五个蒸镀腔室)，但是由于蒸镀测试红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层的特性的功能结构的第一掩膜板01可以通用，蒸镀测试红色辅助发光层、绿色辅助发光层的特性的功能结构的第二掩膜板02可以通用，即使进行蒸镀一个功能结构使用的掩膜板损坏了，还可以借用其他的可以通用的掩膜板进行蒸镀，避免导致整个工艺流程的延迟。

需要说明的是，实际应用中，在蒸镀形成对测试显示基板上的功能层(即待测试功能层，例如发光层)的各种特性的功能结构时，对应的发光层是与该功能结构同步蒸镀形成的，即所述第一掩膜板01的第一支撑条2上具有用于蒸镀形成不同的第一功能结构210的多个所述第一通孔210，且所述第一支撑条2上具有用于蒸镀形成待测试功能层的多个第一功能区通孔，当然，对应的第一掩膜条上的有效蒸镀图案包括与所述第一通孔210配合形成所述第一功能结构210的蒸镀图案，同时具有与所述第一功能区通孔配合形成待测试功能层的蒸镀图案。

例如，通过所述第一掩膜板01，在蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构时，该所述第一功能结构与所述第一颜色发光层是同步蒸镀形成的，即所述第一掩膜板01的第一支撑条2上具有第一子通孔，第一子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色发光层的第一特性的、第一功能结构，且所述第一掩膜板01的第一支撑条2上同时具有用于蒸镀形成第一颜色发光层的第一功能区通孔。参考图13，图13中表示了第一功能区通孔001的蒸镀位置。

例如，通过所述第二掩膜板02，用于蒸镀形成测试第一颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构时，该所述第二功能结构与所述第一颜色辅助发光层是同步蒸镀形成的，即所述第二掩膜板02的第二支撑条3上具有第四子通孔，第四子通孔用于蒸镀形成测试第一颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构，且所述第二掩膜板02的第二支撑条3上同时具有用于蒸镀形成第一颜色辅助发光层的第二功能区通孔。参考图15，图15中表示了第一功能区通孔001的蒸镀位置。

需要说明的是，应当理解的是，图15中表示的第二掩膜板仅为示意图，表示第二掩膜板02的组成结果，其中的第二支撑条3的长宽比例、以及第二框架021的长宽比例以实际需要设定，并不受限，且图15中仅仅示意出了第二支撑条3上具有所述第二通孔310和所述第二功能区通孔002，所述第二通孔310和所述第二功能区通孔002的大小尺寸、设置位置等并不受限制。

以上所述为本实用新型较佳实施例，需要说明的是，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。

Claims (10)

1.一种掩膜板组件，其特征在于，包括第一掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第一掩膜条，所述第一掩膜板包括第一框架、以及设置于所述第一框架的相对的一组侧边框之间的第一支撑条，所述第一支撑条的第一区域上设置有包括多个第一通孔的第一镂空部，多个所述第一通孔用于与多种所述第一掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第一功能结构；

所述第一镂空部包括三个所述第一通孔，三个所述第一通孔包括第一子通孔、第二子通孔、第三子通孔，其中所述第一子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第二子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第三子通孔用于蒸镀形成测试显示基板的第三颜色发光层的第一特性的第一功能结构。

2.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括三种所述第一掩膜条，每个所述第一掩膜条的有效蒸镀图案在所述第一掩膜板上的正投影位于对应的所述第一通孔内。

3.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括第二掩膜板，以及具有不同的有效蒸镀图案的多种第二掩膜条，所述第二掩膜板包括第二框架，以及设置于所述第二框架的相对的一组侧边框之间的第二支撑条，所述第二支撑条的第二区域上设置有包括多个第二通孔的第二镂空部，多个所述第二通孔用于与多种所述第二掩膜条进行配合以蒸镀形成不同的第二功能结构。

4.根据权利要求3所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第二镂空部包括两个所述第二通孔，两个所述第二通孔包括第四子通孔和第五子通孔，其中所述第四子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第一颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构，所述第五子通孔用于蒸镀形成测试显示基板上的第二颜色辅助发光层的所述第一特性的第二功能结构。

5.根据权利要求4所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括两种所述第二掩膜条，每个所述第二掩膜条的有效蒸镀图案在所述第二掩膜板上的正投影位于对应的所述第二通孔内。

6.根据权利要求5所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第二掩膜条包括第一子掩膜条和第二子掩膜条，所述第一子掩膜条用于形成测试第一颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构，所述第二子掩膜条用于形成测试第二颜色辅助发光层的第一特性的第二功能结构，所述第一掩膜条包括第三子掩膜条和第四子掩膜条，所述第三子掩膜条用于形成测试第一颜色发光层的第一特性的第一功能结构，所述第四子掩膜条用于形成测试第二颜色发光层的第一特性的第一功能结构；

所述第一子掩膜条复用为所述第三子掩膜条，所述第二子掩膜条复用为所述第四子掩膜条。

7.根据权利要求1所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括具有不同有效蒸镀图案的第三掩膜条，所述第一掩膜板上的所述第一支撑条上的第三区域设置有具有多个第三通孔的第三镂空部，多个所述第三通孔与多种所述第三掩膜条配合以蒸镀形成不同的第三功能结构。

8.根据权利要求7所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第三镂空部至少包括三个所述第三通孔，分别用于与所述第一掩膜板相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色发光层、第二颜色发光层、第三颜色发光层的第二特性进行测试的第三功能结构。

9.根据权利要求3所述的掩膜板组件，其特征在于，还包括具有不同有效蒸镀图案的第四掩膜条，所述第二掩膜板上的所述第二支撑条上的第四区域设置有具有多个第四通孔的第四镂空部，多个所述第四通孔与多种所述第四掩膜条配合以蒸镀形成不同的第四功能结构。

10.根据权利要求9所述的掩膜板组件，其特征在于，所述第四镂空部至少包括两个所述第四通孔，分别用于与所述第二掩膜板相配合、以蒸镀形成分别对第一颜色辅助发光层、第二颜色辅助发光层、第三颜色辅助发光层的第二特性进行测试的第四功能结构。

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