CN211879340U - 一种免加热的凸模顶升式扩膜机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈、按压组件和载有晶圆裂片的环形治具和自粘保压圈，凸模顶升机构包括上端呈光滑曲面的圆柱型凸模、顶升杆、顶升气缸、支撑板以及稳速气缸，顶升气缸控制凸模上下循环往复移动，收边圈借助稳速气缸的顶伸动作，向上均匀扩撑开延展出的UV膜余料，按压组件包括按压气缸、按压杆、导杆导套组件、按压板以及加压气缸和加压板，该扩膜机利用凸模顶升机构、收边圈将UV膜自中心向外周均匀扩展，按压组件将环形治具紧密压合在工作台面上，待扩膜至调节裂片之间间距足够后，再罩上自粘保压圈，以此控制UV膜扩张后不会缩拢，再下料给下一工位进行拾取，实用方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及裂片扩膜设备技术领域，具体涉及一种免加热的凸模顶升式扩膜机。
背景技术
晶圆片在经过激光切割阵列分裂成若干个裂片，在后续机械手拾取单元片工序之前，需要将裂片之间的间距扩大，而晶圆片是与UV膜粘附住的，故利用扩膜设备将UV膜自中心向外扩膜，可以有效将裂片之间的间距调大，现有扩膜设备通常是将晶圆片与UV膜整体粘附在一环形治具上，并防止在中间圆台的加热组件上不，对UV膜进行微热后，压住环形治具并向上顶起UV膜，使得UV膜自中心向外均匀扩展，进而使得裂片之间的间距扩大，而微热过程对UV膜的热塑性有较大影响，对于受热不均匀的情况下会对UV膜，甚至是裂片本身造成无法修复的损伤，因此需要进一步改良设计一种免加热的、减少对UV膜和裂片损伤的扩膜设备，来调整裂片之间间距。
发明内容
本实用新型目的：鉴于背景技术中的技术需求，我们设计一种免加热的凸模顶升式扩膜机，利用凸模顶升机构、收边圈将UV膜自中心向外周均匀扩展，借助按压组件将环形治具紧密压合在工作台面上，待扩膜至调节裂片之间间距足够后，上端加罩上自粘保压圈，以此控制UV膜扩张后不会缩拢，再下料给下一工位的机械抓取设备进行拾取操作，实用方便。
为解决上述问题采取的技术方案是：
一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈、按压组件和载有晶圆裂片的环形治具和自粘保压圈，
所述凸模顶升机构设置在机架内，包括上端呈光滑曲面的圆柱型凸模、顶升杆、顶升气缸、支撑板以及匀速向上顶伸的稳速气缸，所述稳速气缸的缸体固定在机架底座上，其顶杆与支撑板中部固连，所述支撑板四角通过支撑柱与所述收边圈的底端面固连，支撑板中部固连有顶升气缸的底座，所述顶升气缸的顶杆与所述凸模通过顶升杆固连，顶升气缸控制凸模上下循环往复移动，而所述收边圈与凸模轴孔配合以轴线方向相对滑移，所述收边圈借助稳速气缸的顶伸动作，稳速向上均匀扩撑开经过凸模上端光滑曲面顶升而延展出的UV膜余料，
所述收边圈呈环形，与工作台面中部设有的通孔上下滑动配合，而所述环形治具外圈设有若干个与工作台面设有的定位销配合定位的定位孔，环形治具静置与工作台面上后，由所述按压组件按压住环形治具的外圈，并保压，使得凸模顶升机构配合收边圈能够持续地将UV膜料充分延展扩膜，进一步拉开裂片之间的间距，
所述按压组件包括对称设置在机架两侧的按压气缸、按压杆、导杆导套组件、按压板以及加压气缸和加压板，按压气缸控制按压杆上下移动，并控制按压板上下移动，向下则按压住环形治具，向上则释放环形治具，所述加压气缸固定在机架上端，竖直方向上与环形治具的中心对应，加压气缸的顶杆与加压板固连，加压板给予自粘保压圈与扩膜后的UV膜外圈足够的粘合按压力，使得UV膜与自粘保压圈传给你分粘合后，余料部分手动剥离，撤下环形治具。
进一步地，所述按压板中部设有与环形治具形状相同的通孔，孔径尺寸略大于环形治具的内孔孔径。
进一步地，所述自粘保压圈下端面设有环形自粘带，表面具有粘性。
进一步地，所述加压气缸与加压板之间设有限位板和支撑架，支撑架与机架固连，使得加压板稳定下压加力。
进一步地，所述收边圈上端环形面设有光滑圆角，使得UV膜扩张延展过程中减少阻力。
本实用新型的有益效果是：该免加热的凸模顶升式扩膜机利用凸模顶升机构、收边圈将UV膜自中心向外周均匀扩展，借助按压组件将环形治具紧密压合在工作台面上，待扩膜至调节裂片之间间距足够后，上端加罩上自粘保压圈，以此控制UV膜扩张后不会缩拢，再下料给下一工位的机械抓取设备进行拾取操作，实用方便。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实施例免加热的凸模顶升式扩膜机的结构示意图；
图2为本实施例免加热的凸模顶升式扩膜机的侧视图；
图3为本实施例所述凸模顶升机构顶升状态的结构示意图；
图4为图3中A处的局部放大图；
图5为本实施例所述环形治具、自粘保压圈和裂片的结构示意图；
其中，1-稳速气缸，2-支撑板，3-支撑柱，4-凸模，41-光滑曲面，5-按压板，6-按压杆，7-导杆导套组件，8-按压气缸，9-支撑架，10-加压气缸，11-限位板，12-加压气缸的顶杆，13-加压板，14-定位销，15-环形治具，151-定位孔，16-工作台面，17-收边圈，171-光滑圆角，18-顶升杆，19-顶升气缸，20-自粘保压圈，21-环形自粘带，22-UV膜，23-晶圆裂片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-5，本实施例提出一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈17、按压组件和载有晶圆裂片23的环形治具15和自粘保压圈20。
具体地说，所述凸模顶升机构设置在机架内，包括上端呈光滑曲面41的圆柱型凸模4、顶升杆18、顶升气缸19、支撑板2以及匀速向上顶伸的稳速气缸1，所述稳速气缸1的缸体固定在机架底座上，其顶杆与支撑板2中部固连，所述支撑板2四角通过支撑柱3与所述收边圈17的底端面固连，支撑板2中部固连有顶升气缸19的底座，所述顶升气缸19的顶杆与所述凸模4通过顶升杆18固连，顶升气缸19控制凸模4上下循环往复移动，而所述收边圈17与凸模4轴孔配合以轴线方向相对滑移，所述收边圈17借助稳速气缸1的顶伸动作，稳速向上均匀扩撑开经过凸模4上端光滑曲面41顶升而延展出的UV膜22的余料，所述收边圈17呈环形，与工作台面16中部设有的通孔上下滑动配合，而所述环形治具15外圈设有4个与工作台面16设有的定位销14配合定位的定位孔151，环形治具15静置与工作台面16上后，由所述按压组件按压住环形治具15的外圈，并保压，使得凸模顶升机构配合收边圈17能够持续地将UV膜22充分延展扩膜，进一步拉开裂片23之间的间距，所述按压组件包括对称设置在机架两侧的按压气缸8、按压杆6、导杆导套组件7、按压板5以及加压气缸10和加压板13，按压气缸8控制按压杆6上下移动，并控制按压板5上下移动，向下则按压住环形治具15，向上则释放环形治具15，所述加压气缸10固定在机架上端，竖直方向上与环形治具15的中心对应，加压气缸的顶杆12与加压板13固连，加压板13给予自粘保压圈20与扩膜后的UV膜22外圈足够的粘合按压力，使得UV膜22与自粘保压圈20传给你分粘合后，余料部分手动剥离，撤下环形治具15。
进一步的实施方案是，所述按压板5中部设有与环形治具15形状相同的通孔，孔径尺寸略大于环形治具15的内孔孔径。
进一步的实施方案是，所述自粘保压圈20下端面设有环形自粘带21，表面具有粘性。
进一步的实施方案是，所述加压气缸10与加压板13之间设有限位板11和支撑架9，支撑架9与机架固连，使得加压板13稳定下压加力。
进一步的实施方案是，所述收边圈17上端环形面设有光滑圆角171，使得UV膜22扩张延展过程中减少阻力。
上面结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但是本实用新型并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下做出各种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种免加热的凸模顶升式扩膜机，包括凸模顶升机构、收边圈、按压组件和载有晶圆裂片的环形治具和自粘保压圈，其特征在于：
所述凸模顶升机构设置在机架内，包括上端呈光滑曲面的圆柱型凸模、顶升杆、顶升气缸、支撑板以及匀速向上顶伸的稳速气缸，所述稳速气缸的缸体固定在机架底座上，其顶杆与支撑板中部固连，所述支撑板四角通过支撑柱与所述收边圈的底端面固连，支撑板中部固连有顶升气缸的底座，所述顶升气缸的顶杆与所述凸模通过顶升杆固连，顶升气缸控制凸模上下循环往复移动，而所述收边圈与凸模轴孔配合以轴线方向相对滑移，所述收边圈借助稳速气缸的顶伸动作，稳速向上均匀扩撑开经过凸模上端光滑曲面顶升而延展出的UV膜余料，
所述收边圈呈环形，与工作台面中部设有的通孔上下滑动配合，而所述环形治具外圈设有若干个与工作台面设有的定位销配合定位的定位孔，环形治具静置与工作台面上后，由所述按压组件按压住环形治具的外圈，并保压，使得凸模顶升机构配合收边圈能够持续地将UV膜料充分延展扩膜，进一步拉开裂片之间的间距，
所述按压组件包括对称设置在机架两侧的按压气缸、按压杆、导杆导套组件、按压板以及加压气缸和加压板，按压气缸控制按压杆上下移动，并控制按压板上下移动，向下则按压住环形治具，向上则释放环形治具，所述加压气缸固定在机架上端，竖直方向上与环形治具的中心对应，加压气缸的顶杆与加压板固连，加压板给予自粘保压圈与扩膜后的UV膜外圈足够的粘合按压力，使得UV膜与自粘保压圈传给你分粘合后，余料部分手动剥离，撤下环形治具。
2.根据权利要求1所述的免加热的凸模顶升式扩膜机，其特征在于：所述按压板中部设有与环形治具形状相同的通孔，孔径尺寸略大于环形治具的内孔孔径。
3.根据权利要求1所述的免加热的凸模顶升式扩膜机，其特征在于：所述自粘保压圈下端面设有环形自粘带，表面具有粘性。
4.根据权利要求1所述的免加热的凸模顶升式扩膜机，其特征在于：所述加压气缸与加压板之间设有限位板和支撑架，支撑架与机架固连，使得加压板稳定下压加力。
5.根据权利要求1所述的免加热的凸模顶升式扩膜机，其特征在于：所述收边圈上端环形面设有光滑圆角，使得UV膜扩张延展过程中减少阻力。
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| CN114566450A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-05-31 | 珠海市硅酷科技有限公司 | 晶圆上料装置 |
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