CN211575892U - 定位工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种定位工装。其中，定位工装包括：至少两个承托板；支撑柱，支撑柱的一端与至少两个承托板相连；固定座，支撑柱的另一端与固定座滑动相连；定位板，定位板与承托板滑动相连，定位板被配置为适于夹紧靶材生坯；其中，当靶材生坯大小发生变化时，定位板相对承托板滑动并夹紧靶材生坯。本实用新型通过定位板与承托板的相对移动代替了定位板与靶材之间的相对移动，平衡靶材与收缩时产生的摩擦力，从而抵消掉靶材在发生形变时与定位板产生的摩擦力，避免靶材在发生形变时由于靶材与摩擦力导致的靶材开裂或者变形，提高了利用该定位工装烧结的靶材的良品率。

Description

定位工装

技术领域

本实用新型涉及技术领域，具体而言，涉及一种定位工装。

背景技术

陶瓷靶材是一类非常重要的真空镀膜材料，例如ZnO、AZO、GZO、IZO、IGZO、ITO、TiO2、Nb2O5等。陶瓷靶材是一种或多种氧化物粉末经过混合、造粒、成型、烧结而成的陶瓷材料。经过多年的发展，目前，陶瓷靶材的生产虽然大量借鉴了传统陶瓷的制备工艺，但是仍然存在烧结致密度不够、开裂、孔洞等问题，其烧结工艺还有很大的提升空间。

传统的工艺在进行平面陶瓷靶材烧结时，生坯的摆放主要是将生坯平放在氧化铝等承烧板上，然后一起放进烧结炉中进行烧结，由于靶材的长度较短、质量轻、烧结收缩时的摩擦阻力小，因此满足了以往短节距靶材的生产要求。但是，随着靶材的长度逐渐要求加长，使靶材的重量显著增加，收缩时的摩擦阻力较大，导致靶材由于开裂而无法生产大尺寸的平面靶材，影响了良品率和取材率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型的第一方面提供了一种定位工装。

为了实现上述目的，根据本实用新型的第一方面的技术方案，提供了一种定位工装，包括：至少两个承托板；支撑柱，支撑柱的一端与至少两个承托板相连；固定座，支撑柱的另一端与固定座滑动相连；定位板，定位板与承托板滑动相连，定位板被配置为适于夹紧靶材生坯；其中，当靶材生坯大小发生变化时，定位板相对承托板滑动并夹紧靶材生坯。

在该技术方案中，定位工装包括至少两个承托板、支撑柱、固定座和定位板，定位板能够相对承托板滑动，承托板与定位板之间设置有滑移面，滑移面的摩擦力较小。定位板用于对靶材的装配和定位，在烧结靶材时，将靶材固定在定位板上进行加工。当靶材装配到定位板上烧结时，靶材在烧结过程中会发生形变，导致靶材的尺寸发生变化，当靶材的尺寸发生变化时，定位板可以随着靶材的尺寸变化而相对承托板移动，定位板与承托板之间的摩擦力小于定位板与靶材之间的摩擦力。即通过定位板与承托板的相对移动代替了定位板与靶材之间的相对移动，平衡靶材与收缩时产生的摩擦力，从而抵消掉靶材在发生形变时与定位板产生的摩擦力，避免靶材在发生形变时由于靶材与摩擦力导致的靶材开裂或者变形，提高了利用该定位工装烧结的靶材的良品率。支撑柱的一端与承托板固定相连，另一端与固定座滑动相连，即支撑柱能够相对固定座滑动，从而带动承托板的位置发生变化，实现可以通过相对固定座移动支撑柱来对承托板之间的间距进行调节，进而调节定位板之间的距离，实现该定位工装可以适配不同尺寸的靶材，其中，固定座上还设置有紧固件，通过紧固件将移动位置后的支撑柱与固定座进行紧固。

可以理解的是，上述定位工装适用于对大尺寸的平面靶材，将定位板上表面设置为水平面，能够使大尺寸的平面靶材可以完整的装配到定位板上，并且在烧结的过程中，避免由于靶材发生形变导致的靶材从定位板上脱落的情况的发生。

在上述任一技术方案中，每个承托板设有第一导向斜面；定位板设有第二导向斜面，第一导向斜面与第二导向斜面相接触，第二导向斜面相对第一导向斜面滑动。

在该技术方案中，每个承托板和定位板上分别设置有第一导向斜面和第二导向斜面，第一导向斜面与第二导向斜面作为承托板和定位板之间的接触面，使承托板和定位板之间的接触面为斜面，第二导向斜面相对第一导向斜面滑动，通过第一导向斜面和第二导向斜面使定位板可以相对承托板滑动，使定位板能够相对承托板滑动。

在上述任一技术方案中，至少两个承托板均匀分布于以垂线为轴的同一个分度圆上，每个承托板上均与一个定位板相接触。

在该技术方案中，至少两个承托板环形分布在同一分度圆上，并且至少两个承托板处于同一水平面上，保证至少两个承托板承载的定位板的上表面为水平面，利于放置和定位靶材。承托板的数量与定位板的数量相同，且定位板与承托板的设置方式相同，使至少两个定位板为相对设置的关系，实现了至少两个定位板可以对靶材进行稳定支撑的作用。

在上述任一技术方案中，围挡，围挡设于定位板远离垂线的一端，围挡适于与靶材生坯相接触。

在该技术方案中，定位板上还设置有围挡，围挡设置在定位板远离垂线的一端，即围挡处于定位板的外缘处，实现利用围挡对定位板上设置的靶材固定的作用，避免靶材相对定位板产生水平方向的移动，第一步加强定位板与靶材安装的稳定性。

在上述任一技术方案中，承托板自远离垂线至垂线的方向上的厚度逐渐减小；定位板自远离垂线至垂线的方向上的厚度逐渐增大。

在该技术方案中，至少两个承托板呈环形分布，至少两个承托板相对端为厚度较小的一端，至少两个定位板相对端为厚度较大的一端，即承托板上的第一导向斜面和定位板上的第二导向斜面配合使用时，使至少两个定位板能够向内移动，从而对放置在定位板上的靶材加紧固定。

可以理解的是，当靶材放置在至少两个定位板上，至少两个定位板在第一导向斜面和第二导向斜面的。

在上述任一技术方案中，第一导向斜面与垂线之间的夹角等于第二导向斜面与垂线之间的夹角；第一导向斜面与垂线之间的夹角的取值范围为82°至60°。

在该技术方案中，第一导向斜面与垂线之间的夹角和第二导向斜面与垂线之间的夹角相等，使第一导向斜面与第二导向斜面相装配时，可以使承托板的下表面与定位板的上表面相平行，并且将定位板的上表面和承托板的下表面设置与水平面相平行，使用于装配靶材的定位板与水平面相平行，使靶材在重力作用下平稳的固定在定位板的上表面，进一步加强了定位板对靶材的固定效果，第一导向斜面和第二导向斜面与垂线的夹角的取值范围在82°至60°之间，既保证了在重力作用下定位板能够相对承托板滑动从而对设置在定位板上的靶材起到向内的夹持作用，并且在靶材受热产生形变的情况下，靶材与定位板之间的摩擦力可以带动定位板相对承托板移动，避免了靶材与定位板之间的摩擦力导致靶材的开裂，从而提高了良品率。

在上述任一技术方案中，固定座包括：底座；定位槽，定位槽设于底座的上表面，配置为与支撑柱的另一端滑动连接。

在该技术方案中，固定座包括底座，底座上设置有定位槽，支撑柱的下端滑动连接于定位槽内部，实现支撑柱可以相对固定座移动。

可以理解的是，支撑柱的下端设置有滚轮，支撑柱可以通过滚轮在定位槽内滑动，并且固定座还设置有锁止结构，用于将移动完成的支撑柱的位置进行固定，其中锁止结构可以为定位销。

在上述任一技术方案中，定位板上表面铺设有氧化铝粉；和/或定位板与承托板之间铺设有氧化铝粉。

在该技术方案中，在定位板的上表面铺设有氧化铝粉，氧化铝粉能够降低定位板与靶材之间的摩擦力，使靶材在发生形变时不会由于靶材与定位板所产生的摩擦力导致靶材开裂。定位板与承托板之间设置的氧化铝粉能够降低定位板与承托板之间的摩擦力，保证了定位板能够相对承托板滑动。

可以理解的是，靶材在烧结的过程中会收缩，靶材与定位板之间的摩擦力较小，在收缩过程中，靶材不会由于摩擦力而导致开裂。靶材收缩的过程中，至少两个定位板受到重力以及第一导向斜面和第二导向斜面的作用会向内滑动夹紧靶材，避免靶材与定位板之间松动。通过在靶材与定位板之间，以及定位板与靶材之间设置降低摩擦力的氧化铝粉，使靶材不会由于与定位板的摩擦力导致开裂和损坏。

在上述任一技术方案中，氧化铝粉纯度大于99％。

在上述任一技术方案中，氧化铝的粒度为16-80目。

在该技术方案中，氧化铝粉的纯度大于99％且粒度为1-80目，能够保证靶材与定位板之间的摩擦力满足需求，以及定位板与承托板之间的摩擦力满足需求。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述部分中给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的定位工装的结构示意图；

图2示出了根据本实用新型的一个实施例的定位工装的固定座的结构示意图；

图3示出了根据本实用新型的一个具体实施例的平面靶材的烧结方法的流程示意图；

图4示出了根据本实用新型的另一个具体实施例的平面靶材的烧结方法的流程示意图；

图5示出了根据本实用新型的再一个具体实施例的平面靶材的烧结方法的流程示意图；

图6示出了根据本实用新型的又一个具体实施例的平面靶材的烧结方法的流程示意图；

图7示出了根据本实用新型的又一个具体实施例的平面靶材的烧结方法的流程示意图；

图8示出了根据本实用新型的又一个具体实施例的平面靶材的烧结方法的流程示意图。

其中，图1和图2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

100定位板，110围挡，200承托板，300支撑柱，400固定座，410底座，420定位槽，500靶材，L垂线。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图8描述根据本实用新型一个实施例的定位工装。

实施例一：

如图1所示，本实用新型的一个实施例中，提供一种定位工装，包括：至少两个承托板200；支撑柱300，支撑柱300的一端与至少两个承托板200相连；固定座400，支撑柱300的另一端与固定座400滑动相连；定位板100，定位板100与承托板200滑动相连，定位板100被配置为适于夹紧靶材500生坯；其中，当靶材500生坯大小发生变化时，定位板100相对承托板200滑动并夹紧靶材500生坯。

在该实施例中，定位工装包括至少两个承托板200、支撑柱300、固定座400和定位板100，定位板100能够相对承托板200滑动，承托板200与定位板100之间设置有滑移面，滑移面的摩擦力较小。定位板100用于对靶材500的装配和定位，在烧结靶材500时，将靶材500固定在定位板100上进行加工。当靶材500装配到定位板100上烧结时，靶材500在烧结过程中会发生形变，导致靶材500的尺寸发生变化，当靶材500的尺寸发生变化时，定位板100可以随着靶材500的尺寸变化而相对承托板200移动，定位板100与承托板200之间的摩擦力小于定位板100与靶材500之间的摩擦力。即通过定位板100与承托板200的相对移动代替了定位板100与靶材500之间的相对移动，平衡靶材500与收缩时产生的摩擦力，从而抵消掉靶材500在发生形变时与定位板100产生的摩擦力，避免靶材500在发生形变时由于靶材500与摩擦力导致的靶材500开裂或者变形，提高了利用该定位工装烧结的靶材500的良品率。支撑柱300的一端与承托板200固定相连，另一端与固定座400滑动相连，即支撑柱300能够相对固定座400滑动，从而带动承托板200的位置发生变化，实现可以通过相对固定座400移动支撑柱300来对承托板200之间的间距进行调节，进而调节定位板100之间的距离，实现该定位工装可以适配不同尺寸的靶材500，其中，固定座400上还设置有紧固件，通过紧固件将移动位置后的支撑柱300与固定座400进行紧固。

可以理解的是，上述定位工装适用于对大尺寸的平面靶材500，将定位板100上表面设置为水平面，能够使大尺寸的平面靶材500可以完整的装配到定位板100上，并且在烧结的过程中，避免由于靶材500发生形变导致的靶材500从定位板100上脱落的情况的发生。

在上述任一实施例中，每个承托板200设有第一导向斜面；定位板100设有第二导向斜面，第一导向斜面与第二导向斜面相接触，第二导向斜面相对第一导向斜面滑动。

在该实施例中，每个承托板200和定位板100上分别设置有第一导向斜面和第二导向斜面，第一导向斜面与第二导向斜面作为承托板200和定位板100之间的接触面，使承托板200和定位板100之间的接触面为斜面，第二导向斜面相对第一导向斜面滑动，通过第一导向斜面和第二导向斜面使定位板100可以相对承托板200滑动，使定位板100能够相对承托板200滑动。

在上述任一实施例中，至少两个承托板200均匀分布于以垂线L为轴的同一个分度圆上，每个承托板200上均与一个定位板100相接触。

在该实施例中，至少两个承托板200环形分布在同一分度圆上，并且至少两个承托板200处于同一水平面上，保证至少两个承托板200承载的定位板100的上表面为水平面，利于放置和定位靶材500。承托板200的数量与定位板100的数量相同，且定位板100与承托板200的设置方式相同，使至少两个定位板100为相对设置的关系，实现了至少两个定位板100可以对靶材500进行稳定支撑的作用。

在上述任一实施例中，围挡110，围挡110设于定位板100远离垂线L的一端，围挡110适于与靶材500生坯相接触。

在该实施例中，定位板100上还设置有围挡110，围挡110设置在定位板100远离垂线L的一端，即围挡110处于定位板100的外缘处，实现利用围挡110对定位板100上设置的靶材500固定的作用，避免靶材500相对定位板100产生水平方向的移动，第一步加强定位板100与靶材500安装的稳定性。

在上述任一实施例中，承托板200自远离垂线L至垂线L的方向上的厚度逐渐减小；定位板100自远离垂线L至垂线L的方向上的厚度逐渐增大。

在该实施例中，至少两个承托板200呈环形分布，至少两个承托板200相对端为厚度较小的一端，至少两个定位板100相对端为厚度较大的一端，即承托板200上的第一导向斜面和定位板100上的第二导向斜面配合使用时，使至少两个定位板100能够向内移动，从而对放置在定位板100上的靶材500加紧固定。

可以理解的是，当靶材500放置在至少两个定位板100上，至少两个定位板100在第一导向斜面和第二导向斜面的。

在上述任一实施例中，第一导向斜面与垂线L之间的夹角等于第二导向斜面与垂线L之间的夹角；第一导向斜面与垂线L之间的夹角的取值范围为82°至60°。

在该实施例中，第一导向斜面与垂线L之间的夹角和第二导向斜面与垂线L之间的夹角相等，使第一导向斜面与第二导向斜面相装配时，可以使承托板200的下表面与定位板100的上表面相平行，并且将定位板100的上表面和承托板200的下表面设置与水平面相平行，使用于装配靶材500的定位板100与水平面相平行，使靶材500在重力作用下平稳的固定在定位板100的上表面，进一步加强了定位板100对靶材500的固定效果，第一导向斜面和第二导向斜面与垂线L的夹角的取值范围在82°至60°之间，既保证了在重力作用下定位板100能够相对承托板200滑动从而对设置在定位板100上的靶材500起到向内的夹持作用，并且在靶材500受热产生形变的情况下，靶材500与定位板100之间的摩擦力可以带动定位板100相对承托板200移动，避免了靶材500与定位板100之间的摩擦力导致靶材500的开裂，从而提高了良品率。

如图2所示，在上述任一实施例中，固定座400包括：底座410；定位槽420，定位槽420设于底座410的上表面，配置为与支撑柱300的另一端滑动连接。

在该实施例中，固定座400包括底座410，底座410上设置有定位槽420，支撑柱300的下端滑动连接于定位槽420内部，实现支撑柱300可以相对固定座400移动。

可以理解的是，支撑柱300的下端设置有滚轮，支撑柱300可以通过滚轮在定位槽420内滑动，并且固定座400还设置有锁止结构，用于将移动完成的支撑柱300的位置进行固定，其中锁止结构可以为定位销。

在上述任一实施例中，定位板100上表面铺设有氧化铝粉；和/或定位板100与承托板200之间铺设有氧化铝粉。

在该实施例中，在定位板100的上表面铺设有氧化铝粉，氧化铝粉能够降低定位板100与靶材500之间的摩擦力，使靶材500在发生形变时不会由于靶材500与定位板100所产生的摩擦力导致靶材500开裂。定位板100与承托板200之间设置的氧化铝粉能够降低定位板100与承托板200之间的摩擦力，保证了定位板100能够相对承托板200滑动。

可以理解的是，靶材500在烧结的过程中会收缩，靶材500与定位板100之间的摩擦力较小，在收缩过程中，靶材500不会由于摩擦力而导致开裂。靶材500收缩的过程中，至少两个定位板100受到重力以及第一导向斜面和第二导向斜面的作用会向内滑动夹紧靶材500，避免靶材500与定位板100之间松动。通过在靶材500与定位板100之间，以及定位板100与靶材500之间设置降低摩擦力的氧化铝粉，使靶材500不会由于与定位板100的摩擦力导致开裂和损坏。

在上述任一实施例中，氧化铝粉纯度大于99％。

在上述任一实施例中，氧化铝的粒度为16-80目。

在该实施例中，氧化铝粉的纯度大于99％且粒度为1-80目，能够保证靶材500与定位板100之间的摩擦力满足需求，以及定位板100与承托板200之间的摩擦力满足需求。

实施例二：

如图1所示，本实用新型的一个具体实施例中，提供一种定位工装，包括：定位板、承托板和支撑柱。

承托板的上表面与水平面倾角为5°至30°，定位板下表面与承托板上表面角度相同。使组合后承托板下表面与定位板上表面平行。

承托板由4个支撑柱进行限位，防止承托板移动。

定位工装可以根据不同长度的靶材来调节支撑柱位置即可，不需要再重新制作承烧板。

定位板两侧设有围挡来卡住平面陶瓷靶材。

定位工装沿与靶材长度方向垂直。

靶材包含ZnO(氧化锌)、AZO(锌铝靶材)、GZO(镓锌靶材)、IZO(铟锌靶材)、IGZO(镓铟锌靶材)、ITO(铟锌靶材)、TiO2(二氧化钛靶材)、Nb2O5(五氧化二铌靶材)。

本实用新型在平面陶瓷靶材成型后，将加工好的靶材素坯放置在由两块定位板组成的平面上进行烧结。

定位板下表面与承托板上表面分别形成有第一导向斜面和第二导向斜面，第一导向斜面和第二导向斜面的角度相等。两个导向斜面之间会产生一个水平方向的分力，利用定位板的沿来传递给平面陶瓷靶材。来平衡烧结收缩的摩擦力。使靶材不会因为摩擦力太大而导致烧结开裂。

可以选择的是，第一导向斜面和第二导向斜面与水平面的倾角为5°至30°，优选为8°至15°。

可以选择的是，在承托板上表面与定位板下表面之间铺有氧化铝粉，来减少导向斜面的摩擦力。否则导向斜面的角度需要变大浪费烧结空间及承烧板成本。

可以选择的是，在定位板上表面铺有一层氧化铝粉，使其靶材不容易与承烧板粘连，同样减少摩擦力，有利于靶材宽度方向的收缩。

可以选择的是，氧化铝粉纯度大于99％。

可以选择的是，氧化铝粉的粒度为16-80目。

可以选择的是，承烧板材质为氧化铝，纯度大于99％。

可以选择的是，述所旋转陶瓷靶材为AZO靶材ITO靶材。

可以选择的是，本实用新型设计的承烧板和烧结方法适用于大尺寸的平面陶瓷靶材的烧结。

实施例三：

如图3所示，本实用新型的一个实施例中，提供一种平面靶材的烧结方法，包括：

步骤S102，将造粒粉体至成型盒中进行模压，再通过冷等静压形成靶材生坯；

步骤S104，将靶材生坯装配于定位工装，将靶材生坯在氧气氛围内于1560℃烧结，形成平面靶材毛坯。

其中，造粒粉体为三氧化二铟和二氧化锡的混合造粒粉体，三氧化二铟和二氧化锡的成分比为90：10wt％(wt％为重量含量百分数)。

在该实施例中，将造粒粉体投入闭合模腔内加热加压进行模压，模压完成后在进行冷等静压形成等待烧结的靶材生坯，然后将靶材生坯固定在实施例一中的固定工装中，利用固定工装将靶材生坯夹紧固定，在氧气氛围内以1560℃的温度对靶材生坯进行烧结，形成平面靶材毛坯。

可以理解的是，在对靶材生坯进行烧结时，靶材生坯会收缩，靶材生坯在收缩的过程中会带动定位工装的定位板相对承托板滑动，平衡了靶材生坯在烧结过程中收缩产生的与定位板之间的摩擦力，避免靶材生坯受到摩擦力的影响而导致的开裂变形的问题，从而提高了烧结成的平面靶材毛坯的良品率。

可以理解的是，其中，三氧化二铟和二氧化锡的成分比可以为90：10wt％、或93：7wt％或95：5wt％或97：3wt％。

实施例四：

如图4所示，本实用新型的一个具体实施例中，提供一种平面靶材的烧结方法，包括：

步骤S202，In2O3/SnO2成分比为90:10wt％的ITO造粒粉体，先经过模压，再经过230MPa冷等静压获得尺寸为1300mm×300mm×12mm靶材生坯；

步骤S204，ITO生坯在空气气氛下于1550℃烧结30h，得到黑色的ITO平面靶材毛坯。

其中，第一导向斜面和第二导向斜面角度为8°，承托板的上表面和上定位板的下表面之间铺有氧化铝粉，氧化铝粉纯度99％，粒度16um，In2O3和SnO2为三氧化二铟和二氧化锡。

在该实施例中，通过将平面陶瓷靶材生坯置于存在第一导向斜面的定位板上进行烧结，促进靶材的充分烧结，第一导向斜面和第二导向斜面的倾斜角为8°，可极大的降低靶材生坯在烧结时因收缩导致与承烧板的摩擦力，有利于靶材致密化及防止靶材开裂的缺陷，极大的提高了靶材的良率及取材率。

可以理解的是，ITO造粒粉体中，三氧化二铟和二氧化锡的成分比可以为90：10wt％、或93：7wt％或95：5wt％或97：3wt％。

实施例五：

如图5所示，本实用新型的另一个具体实施例中，提供一种平面靶材的烧结方法，包括：

步骤S302，In2O3/SnO2成分比为90:10wt％的ITO造粒粉体，先经过模压，再经过230MPa冷等静压获得尺寸为1200mm×300mm×12mm靶材生坯；

步骤S304，ITO生坯在空气气氛下于1550℃烧结30h，得到黑色的ITO平面靶材毛坯。

其中，第一导向斜面和第二导向斜面角度为10°，承托板的上表面和上定位板的下表面之间铺有氧化铝粉，氧化铝粉纯度99.5％，粒度32um。

在该实施例中，通过将平面陶瓷靶材生坯置于存在第一导向斜面的定位板上进行烧结，促进靶材的充分烧结，第一导向斜面和第二导向斜面的倾斜角为10°，可极大的降低靶材生坯在烧结时因收缩导致与承烧板的摩擦力，有利于靶材致密化及防止靶材开裂的缺陷，极大的提高了靶材的良率及取材率。

可以理解的是，ITO造粒粉体中，三氧化二铟和二氧化锡的成分比可以为90：10wt％、或93：7wt％或95：5wt％或97：3wt％。

实施例六：

如图6所示，本实用新型的再一个具体实施例中，提供一种平面靶材的烧结方法，包括：

步骤S402，In2O3/SnO2成分比为90:10wt％的ITO造粒粉体，先经过模压，再经过230MPa冷等静压获得尺寸为1500mm×300mm×12mm靶材生坯；

步骤S404，ITO生坯在空气气氛下于1550℃烧结30h，得到黑色的ITO平面靶材毛坯。

其中，第一导向斜面和第二导向斜面角度为12°，承托板的上表面和上定位板的下表面之间铺有氧化铝粉，氧化铝粉纯度99.5％，粒度60um。

在该实施例中，通过将平面陶瓷靶材生坯置于存在第一导向斜面的定位板上进行烧结，促进靶材的充分烧结，第一导向斜面和第二导向斜面的倾斜角为12°，可极大的降低靶材生坯在烧结时因收缩导致与承烧板的摩擦力，有利于靶材致密化及防止靶材开裂的缺陷，极大的提高了靶材的良率及取材率。

可以理解的是，ITO造粒粉体中，三氧化二铟和二氧化锡的成分比可以为90：10wt％、或93：7wt％或95：5wt％或97：3wt％。

实施例七：

如图7所示，本实用新型的又一个具体实施例中，提供一种平面靶材的烧结方法，包括：

步骤S502，In2O3/SnO2成分比为90:10wt％的ITO造粒粉体，先经过模压，再经过230MPa冷等静压获得尺寸为1500mm×300mm×12mm靶材生坯；

步骤S504，ITO生坯在空气气氛下于1550℃烧结30h，得到黑色的ITO平面靶材毛坯。

其中，第一导向斜面和第二导向斜面角度为8°，承托板的上表面和上定位板的下表面之间铺有氧化铝粉，氧化铝粉纯度99％，粒度16um。

在该实施例中，通过将平面陶瓷靶材生坯置于存在第一导向斜面的定位板上进行烧结，促进靶材的充分烧结，第一导向斜面和第二导向斜面的倾斜角为8°，可极大的降低靶材生坯在烧结时因收缩导致与承烧板的摩擦力，有利于靶材致密化及防止靶材开裂的缺陷，极大的提高了靶材的良率及取材率。

可以理解的是，ITO造粒粉体中，三氧化二铟和二氧化锡的成分比可以为90：10wt％、或93：7wt％或95：5wt％或97：3wt％。

实施例八：

如图8所示，本实用新型的又一个具体实施例中，提供一种平面靶材的烧结方法，包括：

步骤S602，ZnO/Al2O3成分比为98:2wt％的AZO造粒粉体，先经过模压，再经过220MPa冷等静压获得尺寸为1500mm×300mm×12mm靶材生坯；

步骤S604，AZO生坯在空气气氛下于1410℃烧结20h，得到黑色的ITO平面靶材毛坯。

其中，第一导向斜面和第二导向斜面角度为10°，承托板的上表面和上定位板的下表面之间铺有氧化铝粉，氧化铝粉纯度99％，粒度32um，ZnO和Al2O3为氧化锌和三氧化二铝。

可以理解的是，AZO造粒粉体中的ZnO/Al2O3成分比还可以为99:1wt％。

在该实施例中，通过将平面陶瓷靶材生坯置于存在第一导向斜面的定位板上进行烧结，促进靶材的充分烧结，第一导向斜面和第二导向斜面的倾斜角为12°，可极大的降低靶材生坯在烧结时因收缩导致与承烧板的摩擦力，有利于靶材致密化及防止靶材开裂的缺陷，极大的提高了靶材的良率及取材率。

在本实用新型中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一个实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种定位工装，其特征在于，包括：

至少两个承托板；

支撑柱，所述支撑柱的一端与所述至少两个承托板相连；

固定座，所述支撑柱的另一端与所述固定座滑动相连；

定位板，所述定位板与所述承托板滑动相连，所述定位板被配置为适于夹紧靶材生坯；

其中，当所述靶材生坯大小发生变化时，所述定位板相对所述承托板滑动并夹紧所述靶材生坯。

2.根据权利要求1所述的定位工装，其特征在于，

每个所述承托板设有第一导向斜面；

所述定位板设有第二导向斜面，所述第一导向斜面与所述第二导向斜面相接触，所述第二导向斜面相对所述第一导向斜面滑动。

3.根据权利要求2所述的定位工装，其特征在于，

所述至少两个承托板均匀分布于以垂线为轴的同一个分度圆上，每个所述承托板上均与一个定位板相接触。

4.根据权利要求3所述的定位工装，其特征在于，所述定位板包括：

围挡，所述围挡设于所述定位板远离所述垂线的一端，所述围挡适于与所述靶材生坯相接触。

5.根据权利要求4所述的定位工装，其特征在于，

所述承托板自远离所述垂线至所述垂线的方向上的厚度逐渐减小；

所述定位板自远离所述垂线至所述垂线的方向上的厚度逐渐增大。

6.根据权利要求5所述的定位工装，其特征在于，还包括：

所述第一导向斜面与所述垂线之间的夹角等于所述第二导向斜面与所述垂线之间的夹角；

所述第一导向斜面与所述垂线之间的夹角的取值范围为82°至60°。

7.根据权利要求1所述的定位工装，其特征在于，所述固定座包括：

底座；

定位槽，所述定位槽设于所述底座的上表面，配置为与所述支撑柱的另一端滑动连接。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的定位工装，其特征在于，还包括：

所述定位板上表面铺设有氧化铝粉；和/或

所述定位板与所述承托板之间铺设有氧化铝粉。

9.根据权利要求8所述的定位工装，其特征在于，

所述氧化铝粉纯度大于99％。

10.根据权利要求9所述的定位工装，其特征在于，

所述氧化铝的粒度为16-80目。

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