CN211238186U - 一种翻舟紧固装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种翻舟紧固装置,包括基准部和用于限位花篮移动部；移动部能够相对基准部位移。本实用新型的能保证翻舟机构在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落，通过移动板的上下移动，能从横向上固定花篮，从而达到全方位固定花篮的目的。

Description

一种翻舟紧固装置

技术领域

本实用新型涉及一种翻舟紧固装置。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。

在半导体或光伏材料加工过程中，花篮是需要被传输的，这种传输包括从上一个工位移动至下一个工位，而传输的方向也会多样，例如，平行移动、上下移动或者是转动等，这个传输会根据需求的不同而作调整的，但是不管是哪种方式上的传输，在传输的途中都需要保证花篮其稳定性，防止花篮在传输途中发生花篮脱落等情况。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种翻舟紧固装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种翻舟紧固装置,其特征在于：包括基准部和用于限位花篮移动部；移动部能够相对基准部位移。

进一步的；基准部包括第一基准板和第二基准板；沿着第二基准板的短边方向设置有能限定移动部移动路径的第二导轨。

进一步的；移动部包括与第二基准板平行的第二移动板和与第一基准板平行的第一移动板；第二移动板上设置有能与第二导轨配合的第二滑块。

进一步的；基准板上设置有能够推动移动架移动的驱动件，移动部上设置有能与驱动件配合的连接件。

进一步的；第一移动板的两侧设置有用于支撑花篮的支撑柱，且两侧的支撑柱对称设置。

进一步的；支撑柱包括底座、支撑件和支撑头；底座固定于第一移动板上，支撑件位于底座上部，且支撑件顶面的宽度大于底座的宽度。

进一步的；支撑头在远离第二移动板的一侧设有弧度面；弧度面能与花篮的立柱相配合。

进一步的；第一移动板上还设置有挡条；挡条的长度大于两支撑住的间距。

进一步的；连接件上设置有开口，该开口卡设置在驱动件的活塞头上，驱动件能通过活塞头带动连接件往复运动。

进一步的；底座上设有卡口，支撑件能够被卡接在卡口上，支撑件具有用于安装支撑头的表面，支撑头固定连接在支撑件的该表面上，支撑件的该表面可以延伸至超出底座的宽度范围。

综上所述，本实用新型的能保证翻舟机构在翻转花篮的过程中,无论转动角度如何，均能保证花篮及花篮内的硅片均不会掉落；通过传动块和第一腰型孔、第二腰型孔配合，能达到占用空间小但拉动移动台距离大的效果；通过移动台的左右移动；能从竖直方向上固定花篮，通过移动板的上下移动，能从横向上固定花篮，从而达到全方位固定花篮的目的。

附图说明

图1为本实用新型的翻舟机构和花篮配合结构示意图。

图2为本实用新型的翻舟固定装置结构示意图一。

图3为本实用新型的翻舟固定装置结构示意图二。

图4为本实用新型的翻舟固定装置结构示意图三。

图5为本实用新型的花篮结构示意图。

图6为本实用新型的翻舟紧固装置结构示意图一。

图7为本实用新型的翻舟紧固装置结构示意图二。

图8为本实用新型的翻舟紧固装置结构示意图三。

图9为本实用新型的支撑住结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好的理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。在整个加工过程中，需要将舟、小舟或者花篮进行传输，这种传输通常包括将舟、小舟或者花篮进行平行移动、上下移动或者是转动一定角度，当然这种运输包括了空置的舟、小舟或者花篮，或者是装载了半导体或者光伏材料的舟、小舟或者花篮，当然这种运输均是为了加工半导体或者光伏材料所需，本实用新型涉及一种翻舟机构，这种机构是用来完成舟、小舟或者花篮的转动传输；简单的说，就是需要从上一个工位将待加工件运输至翻舟机构中，当然这里指出的代加工件是指空置的舟、小舟或者花篮，或者是带有半导体或者光伏材料的舟、小舟或者花篮，由翻舟机构完成转动待加工件的目的后，最终再将转动一定角度后的待加工件，从翻舟机构中移出。翻舟机构是将待加工件完成转动的过程，因此，如何将待加工件全方位的固定在翻舟机构中，是翻舟机构首先要解决的问题，全方位的固定是指无论将舟、小舟或者花篮如何转动，代加工件均是牢牢固定在翻舟机构的工位内部，假设翻舟机构翻动的是空置的舟、小舟或者花篮，那么只需要考虑舟、小舟或者花篮的固定即可，假设翻舟机构翻动的是带有待加工件的舟、小舟或者花篮，由于舟、小舟或者花篮至少有一个面是用于移出或者放入待加工件的，也就是舟、小舟或者花篮至少有一个面是不能完全固定待加工件的，在转动整个舟、小舟或者花篮的过程中，代加工件就很容易从舟、小舟或者花篮中掉落，因此，此时不仅要考虑舟、小舟或者花的固定性，还需要考虑待加工件的固定性，不让待加工件从舟、小舟或者花中脱落。

如图1-5所示，一种翻舟固定装置，包括固定板1和用于固定花篮2的移动台3, 固定板1和移动台3之间设置有传动机构，使得移动台3能够相对于固定板1移动。本实用新型的翻舟固定装置通常是成对设置在翻舟机构的机架上，移动台3在移动的过程中也都是同时移动的，也就是同时相对移动或者同时相向移动；简单的说，就是需要在翻舟机构中固定花篮2时，就将成对设置的移动台3就相互靠近，直到两移动台3均与花篮2相接触，且能固定花篮2；需要将花篮2拿出或者放入翻舟机构时，两移动台3就相互远离，直到不妨碍花篮2拿出或者放入翻舟机构中。

传动机构包括传动块5和传动块5的驱动装置4，该驱动装置4通常为气缸，传动块5设置在固定板1和移动台3之间，也就是固定板1和移动台3分别位于传动块5的两侧面，传动块5通过转动轴53与固定板1转动连接，也就是转动轴53作为一个转动的支点，传动块5能沿着该支点转动；而移动台3相对于固定板1的移动主要是靠着传动块5的转动，而带动移动台3移动。

固定板1上设置有第一导轨12，移动台3上固接有能沿着第一导轨12滑动的第一滑块32，第一导轨12和第一滑块32的配合能保证固定板1和移动台3的相对平移，且能保证其平移的轨迹，驱动装置4能驱动传动块5转动从而带动移动台3沿着第一导轨12来回移动。传动块5包括传动杆51、导向杆52和传动板54，传动杆51、导向杆52均垂直设置于传动板54的两侧；固定板1上设置有第一腰型孔11，作为优选的，第一腰型孔11为弧形，传动杆51和转动轴53的安装方向相同，传动杆51能够从第一腰形孔11中穿出，并连接到驱动装置4，驱动装置4能推动传动杆51在第一腰形孔11中来回移动，从而带动传动板54的转动。移动台3上设置有第二腰型孔31，作为优选的，第二腰型孔31为直条型，导向杆52能在第二腰型孔31内滑动，导向杆52在第二腰型孔31内的滑动轨迹与移动台3的滑动轨迹是相互垂直的，这样就保证了在传动块5转动过程中，移动台3受到的拉力或者推动力的方向始终与移动台3移动的方向是一致的，从而保证减小了拉动或者推动移动台3所需要的力的大小，也就是更省力。另外，传动板54为L型，转动轴53设置在传动板54的交点处，转动轴53垂直于传动板54；传动杆51到转动轴53的距离小于导向杆52到转动轴53的距离。由于传动杆51能在第一腰型孔11移动，那么传动板54就存在最大转动角度的问题，也就是存在角度的局限性问题，而导向杆52到转动轴53的距离的长短就能影响移动台3移动移动距离的长短；导向杆52到转动轴53的距离越短，移动台3能移动的距离越短；相反；导向杆52到转动轴53的距离越长，移动台3能移动的距离越长，因此，通常都是传动杆51到转动轴53的距离小于导向杆52到转动轴53的距离；而导向杆52到转动轴53的距离则取决于本实用新型的固定装置所需要打开或者闭合的距离。另外；移动台3的边缘还设置有Z型固定块33；Z型固定块33能与花篮2的底面22相抵，保证了花篮2在一个方向是固定的，也就是Z型固定块33是随着移动台3移动而移动的，而Z型固定块33就能在一个方向上固定花篮2。

具体的说，第一腰型孔11包括第一端111和第二端112；第二腰型孔31包括第三端311和第四段312；第二端112和第三端311位于第一腰型孔11和第二腰型孔31最接近处，第二端112和第四段312位于第一腰型孔11和第二腰型孔31最远离处。驱动装置4能带的传动杆51第一腰型孔11内移动，也就是传动杆51即能和第一端111相抵，也能和第二端112相抵。当传动杆51与第二端112相抵时，导向杆52位于靠近第三端311的一侧，此时，移动台3向固定板1外部移动，也就是远离固定板1，而成对设置的移动台3是相互靠近的，也就是本实用新型固定装置的夹紧的状态；当在驱动装置4的推动下，传动杆51与第一端111相抵时，导向杆52则位于靠近第四段312的一侧，此时，移动台3向固定板1靠近，而成对设置的移动台3是相互远离的，也就是本实用新型固定装置的放开的状态；综上所述，移动台3的远离或者靠近是取决于传动块5的转动。

如图5-9所示，一种翻舟紧固装置,包括基准部和用于限位花篮2移动部；移动部能够相对基准部位移; 基准部包括第一基准板61和第二基准板62；沿着第二基准板62的短边方向设置有能限定移动部移动路径的第二导轨63;也就是移动部能沿着短边方向上来回移动。花篮2包括底面22、顶面23和立柱21；花篮2的底面22、顶面23和四根立柱21形成了长方体结构；移动部与立柱21相接触，限定了花篮2在一个方向上位置。本实用新型的翻舟紧固装置通常是成对设置在翻舟机构的机架上，移动部在移动的过程中也都是同时移动的，也就是同时靠近或同时远离基准部；简单的说，就是需要在翻舟机构中固定花篮2时，就将成对设置的移动部同时向基准部靠近，直到两移动部均与花篮2的立柱21相接触，且能固定花篮2；需要将花篮2拿出或者放入翻舟机构时，两移动部同时远离基准部，直到不妨碍花篮2拿出或者放入翻舟机构中。

移动部包括与第二基准板62平行的第二移动板72和与第一基准板61平行的第一移动板71；第二移动板72上设置有能与第二导轨63配合的第二滑块73，也就是第二移动板72始终与第一基准板61相互平行。基准板上设置有能够推动移动架移动的驱动件8，移动部上设置有能与驱动件8配合的连接件74，作为优选的，驱动件8为气缸；通常第二导轨63是成对设置的；而第二滑块73也是成对设置的，这样子能保证，驱动件8在通过连接件74推动移动部的时候，移动部的第一移动板71始终保持平衡状态。另外，连接件74上设置有开口741，该开口741卡设置在驱动件8的活塞头81上，驱动件8能通过活塞头81带动连接件74往复运动，从而带动移动部沿着第二基准板62移动。

第一移动板71的两侧设置有用于支撑花篮2的支撑柱75，由于花篮2的立柱21的长度较长，因此，两侧的支撑柱75对称设置，用于支撑花篮2的立柱21。支撑柱75包括底座751、支撑件752和支撑头753；底座751固定于第一移动板71上，支撑件752位于底座751上部，且支撑件752顶面的宽度大于底座751的宽度；底座751上设有卡口，支撑件752能够被卡接在卡口上，支撑件752具有用于安装支撑头753的表面，支撑头753固定连接在支撑件752的该表面上，支撑件752的该表面可以延伸至超出底座751的宽度范围。支撑头753在远离第二移动板72的一侧设有弧度面754；弧度面754能与花篮2的立柱21相配合；弧度面的底部和用于安装支撑头的表面形成平滑的过渡。花篮2的立柱21的外侧能与弧度面754相接触，也就是弧度面754能与立柱21的外侧贴合，用于支撑立柱21；而支撑件752的表面延伸超出底座751的宽度范围，也可支撑住立柱21，是的支撑柱75能更加稳定的支撑起花篮2。

另外；第一移动板71上还设置有挡条76；挡条76能托住硅片；防止在转动花篮2的过程中硅片的掉落，因此，作为优选的，挡条76的长度大于两支撑住75的间距。

综上所述，第一导轨12与第二导轨63是相互垂直的，第一导轨12能保证移动台3在沿着固定板1横向平移；而移动部则能视为是移动台3的一部分，而最终达到的效果就是移动台3整体能横向运动，而移动台3的某一个部分，这里指的是移动部能纵向运动；也可以说移动部既能横向运动，也能纵向运动；从而达到在纵向和横向上均能固定花篮2的作用。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种翻舟紧固装置,其特征在于：包括基准部和用于限位花篮(2)移动部；移动部能够相对基准部位移。

2.根据权利要求1所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述基准部包括第一基准板(61)和第二基准板(62)；沿着第二基准板(62)的短边方向设置有能限定移动部移动路径的第二导轨(63)。

3.根据权利要求2所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述移动部包括与第二基准板(62)平行的第二移动板(72)和与第一基准板(61)平行的第一移动板(71)；第二移动板(72)上设置有能与第二导轨(63)配合的第二滑块(73)。

4.根据权利要求3所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述基准板上设置有能够推动移动架移动的驱动件(8)，移动部上设置有能与驱动件(8)配合的连接件(74)。

5.根据权利要求3所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述第一移动板(71)的两侧设置有用于支撑花篮(2)的支撑柱(75)，且两侧的支撑柱(75)对称设置。

6.根据权利要求5所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述支撑柱(75)包括底座(751)、支撑件(752)和支撑头(753)；底座(751)固定于第一移动板(71)上，支撑件(752)位于底座(751)上部，且支撑件(752)顶面的宽度大于底座(751)的宽度。

7.根据权利要求6所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述支撑头(753)在远离第二移动板(72)的一侧设有弧度面(754)；弧度面(754)能与花篮(2)的立柱(21)相配合。

8.根据权利要求5所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述第一移动板(71)上还设置有挡条(76)；挡条(76)的长度大于两支撑住(75)的间距。

9.根据权利要求4所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述连接件(74)上设置有开口(741)，该开口(741)卡设置在驱动件(8)的活塞头(81)上，驱动件(8)能通过活塞头(81)带动连接件(74)往复运动。

10.根据权利要求6所述的一种翻舟紧固装置，其特征在于：所述底座(751)上设有卡口，支撑件(752)能够被卡接在卡口上，支撑件(752)具有用于安装支撑头(753)的表面，支撑头(753)固定连接在支撑件(752)的该表面上，支撑件(752)的该表面可以延伸至超出底座(751)的宽度范围。

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