CN211238192U - 一种翻舟的夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种翻舟的夹持装置，包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置。本实用新型通过夹持装置的松开或者夹紧完成了花篮的夹紧或者放开；本装置结构稳定，在夹紧装置启动时，能从多方位保证花篮是被稳定夹紧的，且夹紧速度快；另外一方面，活塞头和传动板的传动连接，能延长本装置的使用寿命，而滑轨和导向条的滑动连接能保证夹紧装置在夹紧或者松开的过程中始终保持直线运动。

Description

一种翻舟的夹持装置

技术领域

本实用新型涉及一种翻舟的夹持装置。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。

在半导体或光伏材料加工过程中，花篮是需要被传输的，这种传输包括从上一个工位移动至下一个工位，而传输的方向也会多样，例如，平行移动、上下移动或者是转动等，这个传输会根据需求的不同而作调整的，但是不管是哪种方式上的传输，在传输的途中都需要保证花篮其稳定性，防止花篮在传输途中发生花篮脱落等情况。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种结构稳定的翻舟夹持装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种翻舟的夹持装置，包括机架，机架上设置有用于夹紧或者松开花篮的夹持装置。

进一步的；机架上设置有滑轨，夹持装置能沿着滑轨前后移动。

进一步的；夹持装置包括气缸、活塞杆、通过气缸控制且沿着滑轨前后移动的夹持件，活塞杆的端部设置有活塞头，夹持件上设置有传动板，活塞头与传动板传动连接。

进一步的；夹持件还包括带有夹持开口的夹持台，开口的内壁上设置有弧面和夹持面，夹持面与开口的底面向内倾斜设置。

进一步的；夹持件还包括移动底座，移动底座包裹着滑轨移动。

进一步的；移动底座上还设置有导向条，导向条上设置有能与滑轨配合的导向槽。

进一步的；底面与滑轨平行。

进一步的；活塞头的截面呈工字型。

进一步的；传动板上设置有U形槽，该U形槽能与活塞头卡接。

进一步的；活塞头包括第一连接块、第二连接块和连接柱，第一连接块一侧与活塞杆连接，另一侧通过连接柱与第二连接块，连接柱能穿出传动板上的U形槽，U形槽与活塞头间隙配合。

综上所述，本实用新型通过夹持装置的松开或者夹紧完成了花篮的夹紧或者放开；本装置结构稳定，在夹紧装置启动时，能从多方位保证花篮是被稳定夹紧的，且夹紧速度快；另外一方面，活塞头和传动板的传动连接，能延长本装置的使用寿命，而滑轨和导向条的滑动连接能保证夹紧装置在夹紧或者松开的过程中始终保持直线运动。

附图说明

图1为本实用新型的夹紧装置与机架配合状态示意图1。

图2为本实用新型的夹紧装置与机架配合状态示意图2。

图3为本实用新型的花篮结构示意图。

图4为本实用新型的夹紧装置结构示意图1。

图5为本实用新型的夹紧装置结构示意图2。

图6为本实用新型的夹持台结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好的理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。在整个加工过程中，需要将舟、小舟或者花篮进行传输，这种传输通常包括将舟、小舟或者花篮进行平行移动、上下移动或者是转动一定角度，当然这种运输包括了空置的舟、小舟或者花篮，或者是装载了半导体或者光伏材料的舟、小舟或者花篮，当然这种运输均是为了加工半导体或者光伏材料所需，本实用新型涉及一种翻舟机构，这种机构是用来完成舟、小舟或者花篮的转动传输；简单的说，就是需要从上一个工位将待加工件运输至翻舟机构中，当然这里指出的代加工件是指空置的舟、小舟或者花篮，或者是带有半导体或者光伏材料的舟、小舟或者花篮，由翻舟机构完成转动待加工件的目的后，最终再将转动一定角度后的待加工件，从翻舟机构中移出。翻舟机构是将待加工件完成转动的过程，因此，如何将待加工件全方位的固定在翻舟机构中，是翻舟机构首先要解决的问题，全方位的固定是指无论将舟、小舟或者花篮如何转动，代加工件均是牢牢固定在翻舟机构的工位内部，假设翻舟机构翻动的是空置的舟、小舟或者花篮，那么只需要考虑舟、小舟或者花篮的固定即可，假设翻舟机构翻动的是带有待加工件的舟、小舟或者花篮，由于舟、小舟或者花篮至少有一个面是用于移出或者放入待加工件的，也就是舟、小舟或者花篮至少有一个面是不能完全固定待加工件的，在转动整个舟、小舟或者花篮的过程中，代加工件就很容易从舟、小舟或者花篮中掉落，因此，此时不仅要考虑舟、小舟或者花的固定性，还需要考虑待加工件的固定性，不让待加工件从舟、小舟或者花中脱落。

如图1-3所示，一种翻舟的夹持装置，包括机架1，机架1上设置有用于夹紧或者松开花篮2的夹持装置；机架1上设置有滑轨3，夹持装置能沿着滑轨3前后移动，夹持装置包括气缸4、活塞杆5、通过气缸4控制且沿着滑轨3前后移动的夹持件6，活塞杆5的端部设置有活塞头7，夹持件6上设置有传动板61，活塞头7与传动板61传动连接。简单的说，夹持装置是用于控制花篮2的加紧或者松开；而夹持装置通常是成对设置在机架上的，夹持装置是通过气缸4带动活塞杆5的前后运动从而实现夹持件6相对或者相向运动，夹持件6相对运动时夹持装置处于松开花篮2的状态；而夹持件6相向运动时，夹持装置处于加紧花篮2的状态；另外，通常成对设置的夹持装置是同步运动的，即能同时启动相对运动或者相向运动；也能同时停止启动相对运动或者相向运动，有良好的同步性能，而控制成对设置的夹持装置的同步性能，主要靠电控装置同时启动或者关闭气缸4。这样子的同步性也能保证花篮2在被加紧的时候两侧的受力是均匀的，也就保证了花篮2内承载的半导体或光伏材料不易破损。另外，需要说明的是通过夹持装置对花篮2的夹紧或者松开，即能保证花篮2能被很好的固定从而达到运输花篮2的目的，也能保证花篮2在输送过程中的速率，因为通过夹持装置是通过气缸来实现其夹紧或者松开。

如图4-6所示；夹持件6包括带有夹持开口621的夹持台62；花篮2的两侧设置有夹耳21，夹耳21能与夹持开口621配合。具体的说，夹持件6处于夹紧的状态时，夹耳21位于夹持开口621内，此时，花篮2受到夹持件6一个相向的夹紧的力，也就是花篮2的横向上受到了夹紧的力，此时，夹耳21位于开口621内，且夹耳21的底面与开口621的底面624相互接触，作为优选的，底面624与滑轨3相互平行，也就是夹持开口621处承托了花篮2在纵向上的重力，这样子就保证了夹持件6在纵向和横向上均能保证花篮2处于夹紧的状态；作为优选的，开口621的内壁上设置有弧面622和夹持面623；弧面622主要用于导向，便于夹耳21进入或者退出开口621，而夹持面623与夹耳21的侧面相互接触，夹持面623与开口621的底面624向内倾斜设置，也就是弧面622和夹持面623的连接处会略微突出，这样子能保证夹持件6夹紧夹耳21时，夹紧夹耳21正好卡设在夹持面623围成的区域内部，保证其夹持的牢固性。

夹持件6还包括移动底座64，移动底座64包裹着滑轨3移动； 具有的说移动底座64的中心位置上设置有移动槽66，滑轨3能穿出该移动槽66，移动槽66能保证移动底座64在移动的过程中不易晃动，保证其稳定性；另外，为了进一步保证移动底座64在移动过程中不发生任何位移的偏差，移动底座64上还是设置有导向条65，导向条65上设置有能与滑轨3配合的导向槽651，也就是导向槽651可以看做移动槽66的延伸段，移动底座64加长了与滑轨3连接的凹槽，能进一步保证在移动底座64移动过程中，其方向是沿着滑轨3移动的，不易发生微小的偏差，加大该装置的使用寿命。

控制夹持装置前后移动的关键在于活塞杆端部的活塞头7和传动板61的连接；活塞头7的截面呈工字型；传动板61上设置有U形槽611，该U形槽611能与活塞头7卡接，也就是U形槽611卡设在工字型活塞头7的凹槽处。活塞头7包括第一连接块71、第二连接块72和连接柱73，第一连接块71一侧与活塞杆5连接，另一侧通过连接柱73与第二连接块72，连接柱73能穿出U形槽611，U形槽611与活塞头7间隙配合。本实用新型装置没有将U形槽611和活塞头7固定，主要是为了延长机器的使用寿命；如果全部固定连接，传动板61容易折断，影响其使用寿命。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。

Claims (10)

1.一种翻舟的夹持装置，包括机架(1)，其特征在于：机架(1)上设置有用于夹紧或者松开花篮(2)的夹持装置。

2.根据权利要求1所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述机架(1)上设置有滑轨(3)，夹持装置能沿着滑轨(3)前后移动。

3.根据权利要求2所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述夹持装置包括气缸(4)、活塞杆(5)、通过气缸(4)控制且沿着滑轨(3)前后移动的夹持件(6)，活塞杆(5)的端部设置有活塞头(7)，夹持件(6)上设置有传动板(61)，活塞头(7)与传动板(61)传动连接。

4.根据权利要求3所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述夹持件(6)还包括带有夹持开口(621)的夹持台(62)，开口(621)的内壁上设置有弧面(622)和夹持面(623)，夹持面(623)与开口(621)的底面(624)向内倾斜设置。

5.根据权利要求3所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述夹持件(6)还包括移动底座(64)，移动底座(64)包裹着滑轨(3)移动。

6.根据权利要求5所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述移动底座(64)上还设置有导向条(65)，导向条(65)上设置有能与滑轨(3)配合的导向槽(651)。

7.根据权利要求4所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述底面(624)与滑轨(3)平行。

8.根据权利要求3所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述活塞头(7)的截面呈工字型。

9.根据权利要求3所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述传动板(61)上设置有U形槽(611)，该U形槽(611)能与活塞头(7)卡接。

10.根据权利要求3所述的一种翻舟的夹持装置，其特征在于：所述活塞头(7)包括第一连接块(71)、第二连接块(72)和连接柱(73)，第一连接块(71)一侧与活塞杆(5)连接，另一侧通过连接柱(73)与第二连接块(72)，连接柱(73)能穿出传动板(61)上的U形槽(611)，U形槽(611)与活塞头(7)间隙配合。

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