CN210837688U - 晶圆放置装置及晶圆取放设备 - Google Patents

Abstract

该实用新型涉及半导体芯片的生产设备，特别涉及晶圆放置装置及晶圆取放设备，能够提高晶圆生产过程中传送晶圆的良率。其中，所述晶圆放置装置设置有晶圆放置台以放置晶圆，包括：检测器件，用于检测所述晶圆在取放过程中是否会与晶圆的取放设备发生碰触，导致晶圆被刮伤。所述晶圆取放设备用于传送晶圆，包括：可以伸展和缩回的机械手臂，当机械手臂执行伸展动作抓取晶圆或者机械手臂执行完放回晶圆以后的缩回动作时都会触发检测器件的检测。

Description

晶圆放置装置及晶圆取放设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工处理设备领域，具体涉及一种晶圆放置装置及晶圆取放设备。

背景技术

现有技术中，在取放晶圆时，总是会发生取放设备与晶圆的碰撞，造成晶圆破损、刮伤，然而这些破损、刮伤往往都无法即时被发现，通常是在后续处理的过程中被检查发现，此时发生刮伤的晶圆可能已经经过了大半工序，最后产出的却仍是一个毁损的晶圆，严重降低晶圆的良率，浪费晶圆产线的生产力和人力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆放置装置及晶圆取放设备，能够提高晶圆生产的良率。

为了解决上述技术问题，以下提供了一种晶圆放置装置，设置有晶圆放置台以放置晶圆，包括：检测器件，用于检测所述晶圆在被取放的过程中是否会与取放晶圆的设备发生碰触。

可选的，所述检测器件在所述取放晶圆的设备伸入所述晶圆放置台以及从所述晶圆放置台缩回时开启，所述检测器件包括：光线出射端，用于出射检测光线，且出射方向与所述晶圆放置台所在平面平行；光线接收端，用于接收所述光线出射端出射的检测光线，所述光线接收端的接收口的朝向与所述光线出射端的出射方向在同一平面内。

可选的，所述光线接收端的数目为两个，均与所述光线出射端设置在同一平面内。

可选的，所述光线出射端、光线接收端所在的平面在所述晶圆放置台所在平面的正上方或正下方。

可选的，所述光线出射端、光线接收端所在的平面与所述晶圆放置台所在平面的距离小于一第一预设距离。

可选的，所述晶圆放置台的数目至少为两个，且每一晶圆放置台的正下方，以及每一晶圆放置台的正上方，都设置有所述检测器件。

可选的，各晶圆放置台相互平行的安装于一支撑架，在所述支撑架的长度方向上垒叠，且相邻两晶圆放置台之间的距离为第二预设距离；所述光线出射端、光线接收端也安装至所述支撑架，且能够沿所述支撑架的长度方向滑移。

可选的，所述支撑架表面设置有导轨，所述导轨的长度方向与所述支撑架的长度方向一致，所述光线出射端、光线接收端安装至所述导轨，并能够沿所述导轨的长度方向移动。

可选的，所述导轨设置于所述支撑架外侧，长度与所述支撑架的总长相一致。

可选的，还包括：控制器，连接至所述光线出射端、光线接收端，用于控制所述光线出射端出射检测光线，以及用于获取所述光线接收端的检测光线接收情况；驱动器件，连接至所述光线出射端、光线接收端，用于驱动所述光线出射端、光线接收端沿所述导轨的长度方向移动。

可选的，还包括：报警器件，连接至所述光线接收端，用于在所述光线接收端接收到的光线的进光量小于一第一预设阈值时发出警报。

为了解决上述技术问题，以下还提供了一种晶圆取放设备，包括所述的晶圆放置装置，以及一机械手臂，由所述机械手臂取放放置在所述晶圆放置装置内的晶圆。

可选的，还包括一控制器，分别连接至机械手臂和所述检测器件，用于控制所述检测器件在所述机械手臂伸入所述晶圆放置台以及从所述晶圆放置台内缩回时开启检测，并用于在所述检测器件检测到所述晶圆放置台会与所述机械手臂发生碰触后控制所述机械手臂停止取放晶圆。

本实用新型的晶圆放置装置及晶圆取放设备通过设置检测器件来检测所述晶圆放置台上放置的晶圆是否会与取放晶圆的设备发生碰触，能够有效的降低晶圆在取放过程中的被触碰导致破碎的风险，提高晶圆的良率。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中晶圆放置装置和晶圆取放设备的结构示意图。

图2为本实用新型的一种具体实施方式中检测器件检测晶圆放置台是否会与取放晶圆的设备发生触碰的示意图。

图3为本实用新型的一种具体实施方式中晶圆放置装置的局部放大示意图。

图4为本实用新型的一种具体实施方式中晶圆放置装置的连接关系示意图。

具体实施方式

研究发现，在取放晶圆的过程中，取放设备，如机械手臂等，很有可能倾斜，与待取放的晶圆发生碰撞，造成晶圆破损、刮坏，并且这种情况下造成的晶圆毁损是持续不断的，只要没有被发现，所述取放设备就会持续的取放晶圆的过程中碰撞晶圆，造成晶圆毁损，被毁损的晶圆也会被持续的投放到晶圆生产线进行后续生产，在降低了晶圆生产的良率，浪费晶圆生产线的生产力和人力。

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种晶圆放置装置及晶圆取放设备作进一步详细说明。

请参阅图1，本实用新型的一种具体实施方式中晶圆放置装置和晶圆取放设备的结构示意图。

在该具体实施方式中，提供了一种晶圆放置装置100，设置有晶圆放置台101以放置晶圆102，包括：检测器件105，用于检测所述晶圆102在被取放的过程中是否会与取放晶圆的设备发生碰触。

在该具体实施方式中，所述晶圆放置装置100通过设置检测器件105来判定检测所述晶圆放置台101上放置的晶圆102在取放过程中与取放晶圆102的设备发生碰触的风险，实际上就是在降低所述晶圆102在被取放的过程中被取放晶圆102的设备刮擦、碰坏的风险。这些风险只要能及时检测、发现，并予以处理，就能够有效的提高晶圆102生产的良率。

请参阅图2、3，其中图2为本实用新型的一种具体实施方式中检测器件105检测晶圆放置台101是否会与取放晶圆102的设备发生触碰的示意图，图3为本实用新型的一种具体实施方式中晶圆放置装置100的局部放大示意图。

在该具体实施方式中，所述检测器件105在所述取放晶圆的设备伸入所述晶圆放置台101以及从所述晶圆放置台101缩回时开启，且所述检测器件105包括：光线出射端201，用于出射检测光线，且出射方向与所述晶圆放置台101所在平面平行；光线接收端202，用于接收所述光线出射端201出射的检测光线，所述光线接收端202的接收口的朝向与所述光线出射端201的出射方向在同一平面内。

在该具体实施方式中，所述检测器件105在取放晶圆102的设备取放晶圆的过程中是关闭的，不会将该取放晶圆102的设备取放晶圆的动作误判为晶圆102将要与该取放晶圆102的设备发生碰触。所述检测器件105检测的状态只有在取放晶圆102的设备，如机械手臂103，进入晶圆放置台101和从所述晶圆放置台101内缩回时开启，以检测该取放晶圆102的设备与晶圆发生非正常碰触的趋势。

实际上，也可根据需要选择所述检测器件105，例如选择摄像机等图像采集装置，或红外感应器等，作为所述检测器件105来检测所述晶圆放置台101上放置的晶圆102在取放过程中是否会与取放晶圆102的设备发生碰撞。

在该具体实施方式中，光线出射端201出射的是集束性较强的激光，使得一旦取放晶圆102的设备方向发生偏移，就会阻挡激光光线的传播，使所述光线接收端202无法接收到自所述光线出射端201出射的激光光线，这时，所述光线接收端202就可以输出一个信号，告知用户所述晶圆放置台101表面放置的晶圆102可能会与取放晶圆102的设备发生碰触。

实际上，也可根据需要选择出射其他种类的光线。

另外，需要注意的是，在所述检测器件105开启时，所述光线出射端201和光线接收端202之间的检测光线收发是持续进行的，从而在所述晶圆放置台101上方或者下方一直形成由检测光线构成的检测平面。

在一种具体实施方式中，所述光线出射端201出射的是红外线。实际上可以根据需要选择所述光线出射端201出射的检测光线的种类，例如设置成紫外线，或设置成可见光。

在一种具体实施方式中，所述光线接收端202的数目为两个，均与所述光线出射端201设置在同一平面内。在一种具体实施方式中，所述光线出射端201的数目也可以根据实际需要进行设置。在该具体实施方式中，每一光线接收端202至多只对应接收一个光线出射端201发射的检测光线，以防止当一个光线接收端202同时对应接收到两个光线出射端201的检测光线、一道检测光线被取放晶圆102的设备阻挡、另一道检测光线不被取放晶圆102的设备阻挡时，不被阻挡的检测光线对最终的检测结果造成影响。

实际上，所述光线接收端202的数目也可以是三个以上。这样，可以构建一个检测平面，该检测平面由至少两道检测光线交织而成。

在该具体实施方式中，所述光线出射端201使用一分光器将光线出射到两个光线接收端202所在的方向，各个分光器出射的光线能够直直的入射到对应光线接收端202的接收口。

在该具体实施方式中，光线出射端201出射的是激光，因此由检测光线构成的平面一定是平行于所述晶圆放置台101所在平面的。在一种具体实施方式中，所述取放晶圆102的设备在正常运行、与晶圆放置台101表面放置的晶圆无碰触的可能性时，一定是水平的，与晶圆放置台101表面放置的晶圆102相互平行的，因此只要取放晶圆102的设备相对于晶圆放置台101发生倾斜，则一定会与所述检测光线构成的检测平面相交，阻挡检测光线的传播，因此，所述晶圆放置装置100能够起到很好的检测碰撞的作用。

在该具体实施方式中，所述光线接收端202的数目越多，检测所述晶圆放置台101上放置的晶圆102是否会与取放晶圆102的设备发生触碰时，获取到的检测结果更加准确。这是因为，光线接收端202的数目越多，所述检测平面内的检测光线越多，取放晶圆102的设备在倾斜时，触碰到检测平面内的检测光线的可能性就越大。

在一种具体实施方式中，所述光线接收端202包括一光线放大器，在接收光线的同时，将光线从模拟信号转换为数字信号，数值的大小直接与光强的大小相关，当光强较小时，数值为0。

在一种具体实施方式中，所述光线出射端201、光线接收端202所在的平面在所述晶圆放置台101所在平面的正上方或正下方，在所述晶圆放置台101所在平面的正上方或正下方形成检测平面，这样，就能对来自所述晶圆放置台101上方的触碰或来自所述晶圆放置台101下方的触碰进行检测。

实际上，可以根据需要设置多套光线出射端201、光线接收端202，以在所述晶圆放置台101的不同方位都形成检测平面。例如，在所述晶圆放置台101的上方和下方各设置一套光线出射端201、光线接收端202，在所述晶圆102放置平台的上方和下方分别形成一检测平面，同时对来自所述晶圆放置台101上方的触碰和来自所述晶圆放置台101下方的触碰进行检测，使得检测结果更加全面。

这还可以适用于具有多个晶圆放置台101的情况。具体的，所述晶圆放置台101的数目至少为两个，且每一晶圆放置台101的正下方，以及每一晶圆放置台101的正上方，都设置有所述一套光线出射端201、光线接收端202，以在每一个晶圆放置台101的上方和下方都形成所述检测平面，这样，在所述晶圆放置台101表面取放晶圆102时，所述晶圆放置装置100可以检测到从下方而来的触碰，以及检测到从下方而来的触碰，使得用户能够采取一定的措施来避免触碰，减少晶圆102的毁损，提高晶圆102的良率。

请参阅图4，为本实用新型的一种具体实施方式中晶圆放置装置100的连接关系示意图。

在该具体实施方式中，所述晶圆放置装置100还包括：报警器件403，连接至所述光线接收端202，用于在所述光线接收端202接收到的光线的进光量小于一第一预设阈值时发出警报。

实际上，所述晶圆放置装置100还包括控制器401，连接至所述光线出射端201、光线接收端202，用于控制所述光线出射端201出射检测光线，以及用于获取所述光线接收端202的检测光线接收情况。此时，所述光线接收端202先连接到所述控制器401，再连接到所述报警器件403，由所述控制器401来判断所述光线接收端202接收到的光线是否小于该第一预设阈值，并由所述控制器401来控制所述报警器件403在所述光线接收端202接收到的光线是否小于该第一预设阈值时发出警报。

在一种具体实施方式中，所述报警器件403包括蜂鸣器、LED灯等中的至少一种，用于至少实现声光报警中的一种。

在一种具体实施方式中，在具有多个晶圆放置台101时，各晶圆放置台101相互平行的安装于一支撑架，在所述支撑架的长度方向上垒叠，且相邻两晶圆放置台101之间的距离为第二预设距离。

在该具体实施方式中，所述支撑架包括三条平行设置的支撑柱104，所述支撑柱104的长度方向即为所述支撑架的长度方向。相邻两晶圆放置台101之间的距离应当满足晶圆102的取放要求，能够供取放晶圆102的装置进出。

在该具体实施方式中，所述光线出射端201、光线接收端202也安装至所述支撑架，且能够沿所述支撑架的长度方向滑移，使得所述光线出射端201、光线接收端202在工作状态下形成的检测平面的高度能够发生变化，与晶圆放置台101所在平面之间的距离也可根据需要进行调整。

在该具体实施方式中，晶圆放置台101的两个晶圆放置位之间设置有两套检测器件105，且同一根支撑杆上既安装有第一套检测器件105的光线出射端201，又安装有第二套检测器件105的光线接收端202，如图3所示。在该具体实施方式中，不同套的检测器件105所形成的检测平面平行，但具体的光线收发方向并不一定完全相同。

在该具体实施方式中，所述支撑架表面设置有导轨301，所述导轨301的长度方向与所述支撑架的长度方向一致，所述光线出射端201、光线接收端202安装至所述导轨301，并能够沿所述导轨301的长度方向移动。

在一种具体实施方式中，所述导轨301设置于所述支撑架外侧，长度与所述支撑架的总长相一致。这是因为，所述晶圆放置台101是设置在支撑架内侧的，若将导轨301设置在所述支撑架内侧，则在所述光线出射端201、光线接收端202沿导轨301的长度方向运动的过程中，光线出射端201、光线接收端202会被所述晶圆放置台101所阻挡，所述光线出射端201、光线接收端202的运动范围只能局限在特定的两个晶圆放置台101之间。

在一种具体实施方式中，所述光线出射端201和光线接收端202套设在所述导轨301表面，并能够绕所述导轨301旋转，这样，就能够根据需要调转所述光线出射端201的出射方向和所述光线接收端202的接收方向，以适用于不同的情形。

在该具体实施方式中，所述支撑柱104即作为所述导轨301，所述光线出射端201和光线接收端202套设在所述支撑柱104表面，可绕所述支撑柱104的长度方向做360°的旋转。

在该具体实施方式中，只设置一套光线出射端201、光线接收端202，为所述晶圆放置装置100的多个晶圆放置台101提供触碰检测服务。具体的，该一套光线出射端201、光线接收端202能够沿所述导轨301运动，且各个光线出射端201、光线接收端202的运动情况、位移都相同。这时，所述晶圆放置装置100获知到要对第一晶圆放置台101进行晶圆102的取放，该套光线出射端201、光线接收端202沿所述导轨301运动至所述第一晶圆放置台101的正上方或正下方，检测该第一晶圆放置台101上放置的晶圆102是否会与取放晶圆102的设备发生触碰。

这样，只凭借一套光线出射端201、光线接收端202就实现了对一个晶圆放置装置100的多个晶圆放置台101的碰撞检测，大大的节省了检测器件105的物料成本。

但在该具体实施方式中，需要能够获知将要进行取放操作的晶圆放置台101的具体位置，因此在一些具体实施方式中，需要根据实际的需求，在所述晶圆放置装置100中设置多套光线出射端201、光线接收端202，如给每一晶圆放置台101都设置一套光线出射端201、光线接收端202，或设置两套光线出射端201、光线接收端202，即上方、下方各设置一套，使得不需要获知将要进行取放操作的晶圆放置台101的具体位置，也能够实现多个晶圆放置台101的碰撞检测，且检测效果优秀。

在一种具体实施方式中，所述晶圆放置装置100还包括驱动器件402，连接至所述光线出射端201、光线接收端202，用于驱动所述光线出射端201、光线接收端202沿所述导轨301的长度方向移动。在一种具体实施方式中，所述驱动器件402包括驱动马达和驱动轴，所述驱动轴一端连接至所述驱动马达，另一端连接至所述光线出射端201、光线接收端202，且所述驱动轴的长度方向与导轨301的长度方向相同，从而驱动所述光线出射端201、光线接收端202沿所述导轨301的长度方向运动。

在一种具体实施方式中，在设置有多套光线出射端201、光线接收端202时，也设置有多套驱动器件402，每一套驱动器件402对每一套光线出射端201、光线接收端202分别进行驱动。

需要注意的是，对一套光线出射端201、光线接收端202而言，所述驱动器件402对所述光线出射端201、光线接收端202的驱动是相同的，因此，一套光线出射端201、光线接收端202内的各个光线出射端201、光线接收端202是连接到一套驱动器件402、由一套驱动器件402对各个光线出射端201、光线接收端202进行统一的驱动的，这样，能够保证所述光线出射端201、光线接收端202的高度一致，始终在与所述晶圆放置台101所在平面平行的平面上。

在一种具体实施方式中，所述驱动器件402也与所述控制器401连接，由所述控制器401控制所述光线出射端201、光线接收端202的高度，以改变所述光线出射端201和所述光线接收端202在工作状态下形成的检测平面的高度，从而改变所述晶圆放置装置100检测到触碰风险的时间。具体的，检测平面的高度越高，就能越早的检测到所述晶圆放置台101表面放置的晶圆102与取放晶圆102的设备发生触碰的可能，从而方便用户及时调整，以避免晶圆102的毁损。实际上，也不可将

在一种具体实施方式中，所述光线出射端201、光线接收端202所在的平面与所述晶圆放置台101所在平面的距离小于一第一预设距离。即所述检测平面与所述晶圆放置台101所在平面的距离小于所述第一预设距离。

这是因为，在一些具体实施方式中，取放晶圆102的设备在乍一进入所述晶圆放置台101、距离晶圆放置台101较远时会调整自身的位置，使自身呈水平状态来取放晶圆102。若所述光线出射端201、光线接收端202所在的平面与所述晶圆放置台101所在平面的距离过大，则可能在取放晶圆102的设备还在调整自身的位置、使自身水平的过程中，就检测到所述取放晶圆102的设备会触碰所述晶圆102，造成误报。

在实际的使用过程中，该第一预设距离可以根据实际需要进行设置。

在该具体实施方式中，还提供了一种晶圆取放设备，包括所述的晶圆放置装置100，以及一机械手臂103，由所述机械手臂103取放放置在所述晶圆放置装置100内的晶圆102。

在该具体实施方式中，所述晶圆取放设备通过设置有检测器件105的晶圆放置装置100，来防止机械手臂103与晶圆102发生碰撞，能够及时检测、发现晶圆102发生碰撞的情况，有效降低晶圆102在取放过程中被触碰、破碎、刮伤的风险，提高晶圆102生产的良率。

在该具体实施方式中，所述检测器件105包括：光线出射端201，用于出射检测光线，且出射方向与所述晶圆放置台101所在平面平行；光线接收端202，用于接收所述光线出射端201出射的检测光线，所述光线接收端202的接收口的朝向与所述光线出射端201的出射方向在同一平面内。

实际上，也可根据需要选择所述检测器件105，例如选择摄像机等图像采集装置或红外感应器等作为所述检测器件105，只要能检测到取放晶圆102的设备有与所述晶圆放置台101上放置的晶圆发生碰撞的趋势即可。在该具体实施方式中，取放晶圆102的设备有与所述晶圆放置台101上放置的晶圆发生碰撞的趋势，指的是取放晶圆102的设备本该水平伸入所述晶圆放置装置，或水平的从所述晶圆放置台内缩回，但却发生倾斜，不在水平。

在该具体实施方式中，光线出射端201出射的是集束性较强的激光，使得一旦激光光线被将要与晶圆放置台101接触的物件所阻挡，所述光线接收端202就无法接收到传输过来的激光光线，这时，所述光线接收端202就可以输出一个信号，告知用户所述晶圆放置台101上放置的晶圆102可能会与取放晶圆102的设备发生碰触。

实际上，也可根据需要选择出射其他种类的光线。

另外，需要注意的是，在所述检测器件105开启时，所述光线出射端201和光线接收端202之间的检测光线收发是持续进行的，从而在所述晶圆放置台101上方或者下方一直形成由检测光线构成的检测平面。

在一种具体实施方式中，所述光线接收端202的数目为两个，均与所述光线出射端201设置在同一平面内。在一种具体实施方式中，所述光线出射端的数目也可以根据实际需要进行设置。在该具体实施方式中，每一光线接收端202至多只对应接收一个光线出射端发射的检测光线，以防止当一个光线接收端202同时对应接收到两个光线出射端的检测光线、一道检测光线被取放晶圆102的设备阻挡、另一道检测光线不被取放晶圆102的设备阻挡时，不被阻挡的检测光线对最终的检测结果造成影响。

实际上，所述光线接收端202的数目也可以是三个以上。这样，可以构建一个检测平面，该检测平面由至少两道检测光线交织而成。

在该具体实施方式中，所述光线出射端201使用一分光器将光线出射到两个光线接收端202所在的方向，各个分光器出射的光线能够直直的入射到对应光线接收端202的接收口。

在该具体实施方式中，光线出射端201出射的是激光，因此由检测光线构成的平面一定是平行于所述晶圆放置台101所在平面的，而机械手臂103将要与晶圆放置台101发生碰撞时，一定会发生倾斜，与所述检测光线构成的检测平面相交，因此所述晶圆102取放装置能够起到很好的检测将要发生的碰撞的作用。

在一种具体实施方式中，所述晶圆取放设备还包括一控制器401，分别连接至机械手臂103和所述检测器件105，用于控制所述检测器件105在所述机械手臂103伸入所述晶圆放置台101以及从所述晶圆放置台101内缩回时开启检测，并用于在所述检测器件105检测到所述晶圆放置台101会与所述机械手臂103发生碰触后控制所述机械手臂103停止取放晶圆102，以防止机械手臂103在与晶圆102发生碰撞的趋势后还继续取放晶圆102，与晶圆102碰撞、刮擦，造成晶圆102的破损。

在该具体实施方式中，在所述控制器401的控制下，所述检测器件105在取放晶圆102的设备取放晶圆的过程中是关闭的，不会将该取放晶圆102的设备取放晶圆的动作误判为晶圆102将要与该取放晶圆102的设备发生碰触。所述检测器件105检测的状态只有在取放晶圆102的设备，如机械手臂103，进入晶圆放置台101和从所述晶圆放置台101内缩回时开启，以检测该取放晶圆102的设备与晶圆发生非正常碰触的趋势。

在一种具体实施方式中，机械手臂103和控制器相连接，机械手臂103执行伸展动作抓取晶圆102或者机械手臂103放完晶圆102以后进行缩回动作时，都会触发所述控制器401对检测器件105的开启：所述光线出射端201发出水平光束，所述光线接收端202接收自所述光线出射端201出射的光线。

在该具体实施方式中，当机械手臂102取放晶圆时候，随着机械手臂102的运动，如果所述检测器件105没有检测到碰触的风险，则晶圆102就没有刮伤的风险。接着所述控制器401就会控制所述检测器件105关闭，所述光线出射端201不再出射水平光束，所述光线接收端202也不再准备接收自所述光线出射端201出射的光线，停止对晶圆102的碰触风险的检测。

在该具体实施方式中，所述晶圆放置装置100还包括：报警器件403，连接至所述光线接收端202，用于在所述光线接收端202接收到的光线的进光量小于一第一预设阈值时发出警报。

在该具体实施方式中，所述光线接收端202先连接到所述控制器401，再连接到所述报警器件403，由所述控制器401来判断所述光线接收端202接收到的光线是否小于该第一预设阈值，并由所述控制器401来控制所述报警器件403在所述光线接收端202接收到的光线的进光量是否小于该第一预设阈值时发出警报。

在一种具体实施方式中，所述报警器件403包括蜂鸣器、LED灯等中的至少一种，用于至少实现声光报警中的一种。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (12)

1.一种晶圆放置装置，设置有晶圆放置台以放置晶圆，其特征在于，包括：

检测器件，用于检测所述晶圆在被取放的过程中是否会与取放晶圆的设备发生碰触，所述检测器件在所述取放晶圆的设备伸入所述晶圆放置台以及从所述晶圆放置台缩回时开启，且所述检测器件包括：

光线出射端，用于出射检测光线，且出射方向与所述晶圆放置台所在平面平行；

光线接收端，用于接收所述光线出射端出射的检测光线，所述光线接收端的接收口的朝向与所述光线出射端的出射方向在同一平面内。

2.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述光线接收端的数目为两个，均与所述光线出射端设置在同一平面内。

3.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述光线出射端、光线接收端所在的平面在所述晶圆放置台所在平面的正上方或正下方。

4.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述光线出射端、光线接收端所在的平面与所述晶圆放置台所在平面的距离小于一第一预设距离。

5.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述晶圆放置台的数目至少为两个，且每一晶圆放置台的正下方，以及每一晶圆放置台的正上方，都设置有所述检测器件。

6.根据权利要求5所述的晶圆放置装置，其特征在于，各晶圆放置台相互平行的安装于一支撑架，在所述支撑架的长度方向上垒叠，且相邻两晶圆放置台之间的距离为第二预设距离；

所述光线出射端、光线接收端也安装至所述支撑架，且能够沿所述支撑架的长度方向滑移。

7.根据权利要求6所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述支撑架表面设置有导轨，所述导轨的长度方向与所述支撑架的长度方向一致，所述光线出射端、光线接收端安装至所述导轨，并能够沿所述导轨的长度方向移动。

8.根据权利要求7所述的晶圆放置装置，其特征在于，所述导轨设置于所述支撑架外侧，长度与所述支撑架的总长相一致。

9.根据权利要求7所述的晶圆放置装置，其特征在于，还包括：

控制器，连接至所述光线出射端、光线接收端，用于控制所述光线出射端出射检测光线，以及用于获取所述光线接收端的检测光线接收情况；

驱动器件，连接至所述光线出射端、光线接收端，用于驱动所述光线出射端、光线接收端沿所述导轨的长度方向移动。

10.根据权利要求1所述的晶圆放置装置，其特征在于，还包括：

报警器件，连接至所述光线接收端，用于在所述光线接收端接收到的光线的进光量小于一第一预设阈值时发出警报。

11.一种晶圆取放设备，其特征在于，包括如权利要求1至10中任一项所述的晶圆放置装置，以及一机械手臂，由所述机械手臂取放放置在所述晶圆放置装置内的晶圆。

12.根据权利要求11所述的晶圆取放设备，其特征在于，还包括一控制器，分别连接至机械手臂和所述检测器件，用于控制所述检测器件在所述机械手臂伸入所述晶圆放置台以及从所述晶圆放置台内缩回时开启检测，并用于在所述检测器件检测到所述晶圆放置台会与所述机械手臂发生碰触后控制所述机械手臂停止取放晶圆。

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